传感器原理及应用-ppt课件.ppt

1、2020/11/241教材传感器原理及应用 黄贤武 郑筱霞 编箸2020/11/242参考书n传感器原理、设计与应用（第三版）刘迎春叶湘滨编箸国防科技大学出版社n传感器原理与应用技术 刘爱华，满宝元编著 人民邮电出版社,2006年精品资料2020/11/244 你怎么称呼老师？ 如果老师最后没有总结一节课的重点的难点，你是否会认为老师的教学方法需要改进？ 你所经历的课堂，是讲座式还是讨论式？ 教师的教鞭 “不怕太阳晒，也不怕那风雨狂，只怕先生骂我笨，没有学问无颜见爹娘 ” “太阳当空照，花儿对我笑，小鸟说早早早”2020/11/2452020/11/246第一章基本概念基本概念 1-1 传感器

2、的定义与组成传感器的定义与组成 1-2 传感器的特性传感器的特性 1-3 传感器的误差及信噪传感器的误差及信噪比比2020/11/247第一章基本概念基本概念1-1 传感器的定义与组成传感器的定义与组成 1-2 传感器的特性传感器的特性 1-3 传感器的误差及信噪比传感器的误差及信噪比2020/11/2481-11-1传感器的定义与组成传感器的定义与组成n传感器的定义传感器的定义 n传感器的分类传感器的分类 n被测量与能量变换被测量与能量变换 2020/11/249一、传感器的定义一、传感器的定义 1、定义n所谓传感器是来自“感觉”一词传感器技术属现代高新技术（电五官） n根据GB7665-8

3、7，【传感器】（TransducerSensor）的定义定义为：能感受规定的被测量并按一定规律转换成可用信号输出的器件或装置，通常由敏感元件和转换元件组成。n我国往往把“传感器”和“敏感元件”等同使用2020/11/2410传感器的定义传感器的定义2、传感器的组成n敏感元件敏感元件（Sensing element） 直接感受或响应被测量的部分。有时也将敏感元件称为传感器。n转换元件转换元件（Transduction element） 能将敏感元件感受或响应的被测量转换成适于传输或测量的电信号部分。2020/11/2411传感器的定义传感器的定义3、传感器的特征参数传感器的特征参数n被测量传感器

4、输入量，是传感器命名和分类的重要依据。n输出量含有原始信号，且为便于接收与处理的信号形式。2020/11/2412传感器的定义传感器的定义4、传感器的传感器的应用从被检测对象中获取原始信号（1）用于自动检测系统 2020/11/2413传感器的定义传感器的定义4、传感器的传感器的应用续（2）用于测控系统 2020/11/24142020/11/24152020/11/24162020/11/24172020/11/24182020/11/24192020/11/2420n汽车扭距测量汽车扭距测量 机床加工精度测量机床加工精度测量2020/11/24212020/11/24222020/11/2

5、4232020/11/2424n密歇根大学的机械手装配模型密歇根大学的机械手装配模型2020/11/2425机器人服务员机器人服务员2020/11/2426AGV自动送货车自动送货车香港理工香港理工AGV模型模型2020/11/2427医学医学2020/11/24282020/11/2429航天航天2020/11/2430传感器与环境保护传感器与环境保护2020/11/2431 烟尘浊度测量烟尘浊度测量2020/11/24322020/11/2433二、传感器的分类二、传感器的分类 1 1、按传感器输入量（用途）分类、按传感器输入量（用途）分类 生产厂家往往按输入量分类，以向户提供基本的使用信

6、息。 如：位移传感器、速度传感器、加速度传感器、力传感器、压力传感器、流速传感器、温度传感器、光强传感器、湿度传感器、粘度传感器、浓度传感器、。 2020/11/2434传感器的分类传感器的分类 2、按传感器工作机理分类 此种分类方法能表示输入变量和输出变之间的关系。 2020/11/2435传感器的分类传感器的分类 2、按传感器工作机理分类续1（1）物性型传感器 是利用某些功能材料本身所具有的内在特性及效应把被测量直接转换为电量的传感器。如：各种压电晶体传感器。（2）结构型传感器 是以结构（如形状、尺寸）为基础，利用某些物理规律实现把被测量转换为电量。如：气隙型电感式传感器。 2020/11

7、/2436传感器的分类传感器的分类 2、按传感器工作机理分类续2（3）化学传感器 是利用化学反应的原理，把无机和有机化学物质的成分、浓度等转换为电信号的传感器。如：离子选择性电极。（4）生物传感器是一种利用生物活性物质选择性的识别和测定生物化学物质的传感器。近年来发展很快。2020/11/2437传感器的分类传感器的分类 3、按信息能量变换方式分类在传感器内部，信息的传递与变换伴随着能量的流动。（1）能量变换型：传感器从被测对象中获取能量，用于直接输出。如：热电偶、光电池、压电式、电磁感应式、固体电解质气敏传感器等。（2）能量控制型：传感器从被测对象中获取能量，用于控制激励源，故又称有源型传感

8、器。如：电阻式、电感式、电容式、霍尔式、。2020/11/2438三、被测量与能量变换三、被测量与能量变换1 1、示容变量和示强变量、示容变量和示强变量(1)示容变量或称为流通变量、扩展量(Extensive) 示容变量是与空间分布成比例的量，表示能容纳多少的量。如：长度、面积、体积、质量、位移、速度、电荷、磁力线、电流、热流、熵、。2020/11/2439被测量与能量变换被测量与能量变换 1、示容变量和示强变量(2)示强变量或跨越变量,密集量(Intensive) 示强变量是指在某种场合下，表示作用程度的量。 如：力、压力、温度、温差、电压、磁通、光通、气体浓度、湿度。2020/11/244

9、0被测量与能量变换被测量与能量变换 1、示容变量和示强变量示容量与示强量组合之积是与某种能量相对应的。 如：力与位移之积是功、力与速度之积是功率、压力与体积之积是气体力学能量、温度与熵之积是热能、温差与热流之积是热功率、电压与电荷之积是电能、电压与电流之积是电功率。2020/11/2441被测量与能量变换被测量与能量变换 2、传感器能量变换 传感器的工作过程可以视为是将示容量与示强量由一种组合变成另一种组合。2020/11/2442被测量与能量变换被测量与能量变换 3 3、能量变换与误差、能量变换与误差（1）传感器从被测物体拾取能量时对被测物体的状态产生了影响，从而导致了误差。如：热电偶测温时

10、，输入的热流是被测物体传递的，若热电偶的热容量过大，将使被测物体的温度下降，从而产生误差。（2）传感器输出端的负载消耗传感器的能量时，亦对被测物体造成误差。 传感器对被测物体的影响越小，负载对传感器输出的影响越小，测量精度就越高。2020/11/2443被测量与能量变换被测量与能量变换 4 4、传感器信号变换 根据传感器输出信号是模拟量或是数字量，可将信号变换分为两大类。【模拟变换】输入为模拟量，输出为模拟量。【数字变换】输入为模拟量，输出为数字量。 2020/11/2444被测量与能量变换被测量与能量变换 5、传感器的输入与输出特性 （1）传感器的输入特性（负荷效应）传感器的输入特性是用来衡

11、量传感器对被测对象的影响程度。其主要参数是广义输入阻抗Zi，定义为由于示强变量X与示容变量x的乘积为能量W（或功率），则有能量或功率：2020/11/2445被测量与能量变换被测量与能量变换 5、传感器的输入与输出特性可知： 当被测量为示强变量时（如：被测量为力、压力、温度等），传感器广义输入阻抗越大，从被测对象吸收的能量就越小，误差也就越小。 当被测量为示容变量时（如：位移、速度、加速度等），传感器广义输入阻抗则越小越好。 当被测示容变量为0时（如：用力传感器测量静态力时），此时被测点处于力平衡状态，速度为0，此时输入特性应用静态刚度来表示静态刚度：，此时被测力的功： kFW22020/11

12、/2446被测量与能量变换被测量与能量变换 5、传感器的输入与输出特性（2）传感器的输出特性（阻抗匹配）传感器的输出特性是用来衡量传感器承受负载能力大小的重要参数。主要参数是广义输出阻抗Zo，定义为 从提高负载能力出发，Zo 越小越好，承载能力强；从获得最大功率出发，Zo 等于负载阻抗。总的要求是：希望从被测对象处获取较小的能量，而输出大的有用信号。 2020/11/2447四、传感器的发展趋势四、传感器的发展趋势n发现新现象n开发新材料n采用微细加工技术n集成化n智能化n仿生传感器2020/11/2448第一章基本概念基本概念1-1 传感器的定义与组成传感器的定义与组成 1-2 传感器的特性

13、传感器的特性 1-3 传感器的误差及信噪比传感器的误差及信噪比 2020/11/24491-2 传感器的特性传感器的特性n传感器的静态特性传感器的静态特性 n传感器的动态特性传感器的动态特性 传感器的特性就是对输入输出关系的描述，理想的特性是在任何情况下输入与输出都是一一对应的。分静态特性和动态特性。 2020/11/24501-2 传感器的特性传感器的特性一、传感器的静态特性【静态特性】：输入不随时间变化时（在稳态信号作用下），传感器输出与输入之间的关系。 、变换函数（静态特性的一般数学模型）、变换函数（静态特性的一般数学模型） 变换函数反映传感器输入与输出间的关系式， y=f(x) 其中x

14、为输入量，y为输出量。几种典型的变换函数如下表2020/11/2451一、传感器的静态特性、变换函数 通常，要求传感器在静态情况下的输入与输出保持线性关系，实际上，如上表所示，很难满足理想的线性关系，一般用多项式表示 只有当二阶以上的项为0时，才满足理想的线性关系。 2020/11/2452一、传感器的静态特性 2、灵敏度（静态灵敏度） 当输入变化为x时，有： 其中k(x)称为灵敏度，是传感器在工作点上的微商（dydx），是静态特性的最主要指标。当k(x)为定值时，即y与x成比例，由测量值y便可直接求得x。灵敏度具有可比性。2020/11/2453一、传感器的静态特性 3、精度传感器的精度是指

15、测量结果的可靠程度，它以给定的准确度表示重复某个读数的能力，其误差愈小，则精度愈高。定义为：传感器的精度表示传感器在规定条件下允许的最大绝对误差相对于传感器满量程输出的百分比， 其中，A为测量范围内允许的最大绝对误差。在应用中，为了简化传感器的精度的表示方法，引用了精度等级的概念，分为：0.05、0.1、0.2、0.3、0.5、1.0、1.5、2.0。精度等级越小精度越高 2020/11/2454一、传感器的静态特性 4、线性度（非线性误差） 在规定条件下，传感器校准曲线与拟合直线间最大偏差与满量程（F.S）输出值的百分比称为线性度。 线性度： 拟合方法有基端线性拟合、最佳直线拟合和最小二乘法

16、拟合。 2020/11/2455一、传感器的静态特性 5、最小检测量和分辨率 是指传感器能确切反映被测量的最低极限量 x，小于这个量的区域称为死区。对于数字传感器，常用分辨率来表示。最小检测量(或感度)的影响因素二：(1) 输入的变动量x在传感器内部被吸收 如：带有螺纹或齿条传递的传感器，由于螺纹和螺母间、齿轮和齿条间存在间隙，当输入变量x小于这一间隙时，便被传感器内部吸收。2020/11/2456一、传感器的静态特性 5、最小检测量和分辨率续1(2) 传感器输入、输出端均存在噪声干扰，x过小时，被外界噪声所淹没。最小检测量： 其中，C为系数，一般取15，N为噪声电平，K为灵敏度。对于数字式传

17、感器，则用输出数字指示值最后一位数字所代表的输入量来表示，称为分辨率。2020/11/2457一、传感器的静态特性 6、滞后性在输入量增加过程中测得的某一点输出值，与在输入减少过程测得的同一点值不一样，这种现象称为滞后。图中曲线称为滞环特性曲线。2020/11/2458一、传感器的静态特性 6、滞后性续1对滞后性的衡量，一般用滞环的最大偏差或最大偏差的一半与满量程输出值的百分比来表示，称为滞环误差 或 如果传感器存在滞后性，则输入与输出就不能保持一一的对应关系，因此应尽量使之变小。产生滞后性的原因主要是材料的物理性质所造成的。2020/11/2459一、传感器的静态特性 7、重复性重复性是指在

18、同一工作条件下，输入量按同一方向在全量程范围内连续变动多次所得特性曲线的不一致性。 2020/11/2460一、传感器的静态特性 7、重复性续1不一致性一般用各测量值正、反行程标准偏差最大值的两位或三倍值与满量程输出值的百分比来表示（或称为回差） 或 其中，为标准偏差。 2020/11/2461一、传感器的静态特性 8、零点漂移传感器无输入（或某一输入值不变）时，每隔一段时间进行读数，其输出偏离零值（或原指示值），即为零点飘移，用百分比表示： 其中，y0为最大零点偏差（或相应偏差）。 2020/11/2462一、传感器的静态特性 9、温度漂移温漂表示温度变化时，传感器输出值的偏离程度。一般以温

19、度变化1时，输出最大偏差与满量程的百分比表示： 其中，max为输出最大偏差，T为温度变化范围。 2020/11/24631-2 传感器的特性传感器的特性二、传感器的动态特性【传感器动态特性】传感器的响应特性。【传感器响应】当输入信号随时间变化时，输出信号随之变化的情况。2020/11/2464二、传感器的动态特性 1、动态特性的一般数学模型 由于传感器在工作中，质量加速或减速需要时间，能量存取需要时间，信号在传输过程中克服阻力需要时间，所以输出信号总是要迟后输入信号，不可能同步变化。动态特性的一般数学模型为一常系数微分方程: 式中，y(t)为输出信号，x(t)为输入信号，a0,a1,an及b0

20、,b1,bm均为常数。 2020/11/2465二、传感器的动态特性 1、动态特性的一般数学模型续1对上式两边进行拉氏变换，得 则得系统的传递函数如下 在一般情况下，上面的传递函数可以分解为分母 为一次多项式和二次多项式的分式形式，用一次多项式作分母的系统称为传递函数的一阶系统（即惯性环节），用二次多项式作分母的系统称为传递函数的二阶系统（即振荡环节）。所以一阶和二阶系统的响应是最基本的响应。2020/11/2466传感器的动态特性 2、零阶传感器的数学模型 零阶传感器的微分方程只有a0、b0两个系数，方程为: 或 其中k为静态灵敏度，所以零阶系统的动态特性即就是系统的静态特性。 2020/1

21、1/2467传感器的动态特性 2、零阶传感器的数学模型-续1典型的零阶系统如线性电位器输出电压与电刷位移之间的关系： 2020/11/2468传感器的动态特性3、一阶传感器的数学模型(惯性环节) n一阶系统的方程式为 或 其中(a1/a0)，称为时间常数，(b0/a0)为静态灵敏度。n一阶系统函数（传递函数）2020/11/2469传感器的动态特性3、一阶传感器的数学模型-续1 典型的一阶传感器如热电偶2020/11/2470传感器的动态特性3、一阶传感器的数学模型-续2 微分方程如下: 其中:Rmc，为热电偶的时间常数，R 为介质与热电偶之间的热阻， m 热电偶质量， c 为热电偶的比热，

22、mc 为热电偶的热容量。2020/11/2471传感器的动态特性4、二阶传感器的数学模型(振荡环节) n二阶系统的微分方程为n二阶系统函数（拉氏传递函数） 2020/11/2472传感器的动态特性4、二阶传感器的数学模型-续1式中 ，为静态刚度； ，无阻尼固有频率； ，阻尼比。 上述三个量称为二阶传感器的特征量。典型的二阶传感器有光线示波器的振动子、铠装热电偶（即带保护套管的热电偶）。2020/11/2473传感器的动态特性5、传感器的动态特性【时域方面】采用瞬态响应法（阶跃响应）【频域方面】采用频率响应法（正弦响应）（1）单位阶跃响应函数为2020/11/2474传感器的动态特性5、传感器的

23、动态特性阶跃响应1（2）一阶传感器的阶跃响应 其中， ，为时间常数。2020/11/2475传感器的动态特性5、传感器的动态特性阶跃响应2（3）二阶传感器的阶跃响应 二阶系统分欠阻尼系统（R 时，有：其中，1，为工作臂 Rx 的电阻相对变化率。 2020/11/24134金属电阻应变传感器五、测量电路2 2、直流电桥的特点及基本类型、直流电桥的特点及基本类型、结构：直流电桥是由连接成环形的四个电阻（桥臂电阻）所组成，由一直流电源提供能量，输出端与放大器相连。2020/11/24135金属电阻应变传感器五、测量电路、电桥平衡条件：此时，测量输出端的输出为零。 2020/11/24136金属电阻应

24、变传感器五、测量电路、桥路输出电压若输出端放大器的输入阻抗很高，则可视为输出端开路，即：RL，此时两支路中的电流分别为 在 R1 和 R3 上的压降分别为 2020/11/24137金属电阻应变传感器五、测量电路则桥路输出端的电压为2020/11/24138金属电阻应变传感器五、测量电路、电桥的电压灵敏度若R1为电阻式传感器，R2、R3、R4 为固定桥臂，R10、R20、R30、R40为平衡时的初始阻值，此时输出为零，当RL，R1变化R 时，则输出为2020/11/24139金属电阻应变传感器五、测量电路令，根据平衡条件：(桥臂比），则 如果R1，略去分母中的R，则有 则电压灵敏度为： 202

25、0/11/24140金属电阻应变传感器五、测量电路提高 KU 的途径：n提高电源电压（受电源耗散功的限制）；n选择合适的桥臂比n（n=1时最大： ）。 2020/11/24141金属电阻应变传感器五、测量电路3 3、电桥的结构形式、电桥的结构形式（1）串联对称式：相等两桥臂同在一个支路中形成串联形式。即 2020/11/24142金属电阻应变传感器五、测量电路在单臂工作时，R1=R10+R，取RL=，此时有 令 ，根据平衡条件：，则 略去分母中的R，近似有： 2020/11/24143金属电阻应变传感器五、测量电路从上式中可看出：n输出电压的大小只与R有关，且成正比；n必须有高稳定性电源，以维

26、持UE不变，否则会影响输出；n只有当 2R4 时，上式才成立。2020/11/24144金属电阻应变传感器五、测量电路()并联对称式 相等两桥臂分别接入不同支路的对称位置。即 2020/11/24145金属电阻应变传感器五、测量电路在单臂工作时，R1=R10+R，取 RL=，此时有令 ，则有 2020/11/24146金属电阻应变传感器五、测量电路从上式中可看出:n输出电压除与R 和 UE 有关外，还与同一支路中桥臂比m有关，n当m=1时，与串联对称式相同。 2020/11/24147金属电阻应变传感器五、测量电路（3）等臂电桥 组成桥路的四个臂，其阻值均相等。即 平衡条件： ， 假设 RL=

27、，根据应变片的工作情况，分三种情况加以分析 2020/11/24148金属电阻应变传感器五、测量电路 单臂工作：电桥工作臂 R1 为电阻传感元件。 输出电压2020/11/24149金属电阻应变传感器五、测量电路 半桥线路（双臂工作）：电桥工作臂 R1 和R2 为电阻传感元件。输出电压 从公式中可以看出 nUO 与R 之间为线性关系；n输出电压为单臂时的两倍。2020/11/24150金属电阻应变传感器五、测量电路 全桥线路（四臂工作）：电桥的四个工作 臂均为电阻传感元件。输出电压: 从公式中可以看出nUO 与R 之间为线性关系；n输出电压为单臂时的倍；n输出电压UO 与电源电压 UE 的比值

28、在数值上等于R。2020/11/24151金属电阻应变传感器五、测量电路、负载电阻为有限值的情况上述均假定 RL=，当 RL 为有限值时，则负载 RL 上的压降为 式中，RTh为等效内阻 上式说明，在考虑负载后，输出电压缩小了 倍。2020/11/24152金属电阻应变传感器五、测量电路、桥路的电阻平衡n在桥路中，实际上很艰使桥臂电阻绝对相同，总会存在差异，因此，必须设计调零电路，以使初始状态达到平衡。n调零电路一般由两个电阻（其中一个为可调电阻）组成星形连接电路。 2020/11/24153金属电阻应变传感器五、测量电路带调零电路的电桥。 可调平衡范围2020/11/24154金属电阻应变传

29、感器五、测量电路6、非线性误差及其补偿方法从前述电桥的输出电压知： 其中，说明桥的输出出电压与输入电压之间为非线性关系，只有在时，略去分母中的，才能满足线性关系，但测量的应变较大时，这种条件难于满足，因而会造成较大的误差，此时需要采取其它的补偿方法。 2020/11/24155金属电阻应变传感器五、测量电路(1) 提高桥臂比n 提高桥臂比n可使的影响下降，可适当减少非线性误差，当n=1时，桥的输出电压最大。 (2) 采用差动电桥 采用差动电桥是最佳方案，从前述串联对称式电桥知，当采用半桥差动结构时，其输出为 ,为线性关系。 若采用全桥差动电路，则输出为 亦为线性关系。2020/11/24156

30、金属电阻应变传感器五、测量电路（3）采用恒流源供桥当供桥电源采用恒流源时，电桥输出为 解得 2020/11/24157金属电阻应变传感器五、测量电路则输出电压为 对于等臂电桥R1=R2=R3=R4，在单臂工作时，其输出为 而恒压供桥时为则输出电压为 2020/11/24158金属电阻应变传感器五、测量电路7、交流电桥平衡条件 电桥的输出电压： 2020/11/24159金属电阻应变传感器五、测量电路交流电桥 单臂交流电桥输出电压 差动交流电桥（半桥线路）输出电压 双差动交流电桥（全桥线路）输出电压 2020/11/24160金属电阻应变传感器五、测量电路交流电桥应变仪组成方框图 2020/11

31、/241612-2金属电阻应变传感器六、应变式传感器的应用应变式传感器的应用 用应变片制成的传感器应用很广，如力传感器、扭矩传感器、加速度传感器、压力传感器、称重传感受器等，量程从几克到几百吨。2020/11/24162金属电阻应变传感器六、应变式传感器的应用 （1）柱式传感器结构：、弹性敏感元件为实心或空心圆柱。、应变片将敏感元件的应变转换为电阻。分别在轴向和周向各布置4个应变片。2020/11/24163金属电阻应变传感器六、应变式传感器的应用在弹性范围内，应力与应变成正比，则轴向和周向的应变片感受的应变为, 轴向应变： 周向应变：其中，S 为弹性元件的截面积，F 为作用力，E 为弹性模量

32、，为泊松比。2020/11/24164金属电阻应变传感器六、应变式传感器的应用当采用全桥差动结构时，输出为与作用力在正比。 2020/11/24165金属电阻应变传感器六、应变式传感器的应用（2）梁式力传感器（等强度梁或等截面梁）n等强度弹性元件是一特殊形式的悬臂梁。2020/11/24166金属电阻应变传感器六、应变式传感器的应用沿梁的长度方向上的截面抗弯模量W的变化与弯矩M的变化成正比梁各点的应变值为(等强度各点相等) 式中, bx 为与x 对应的梁宽；h 为梁的厚度； F 被测作用力。 2020/11/24167金属电阻应变传感器六、应变式传感器的应用若等臂结构，即: ， ，电桥输出为

33、2020/11/24168金属电阻应变传感器六、应变式传感器的应用n应变式加速度传感器是典型的梁式传感器，弹性元件为悬臂梁，加速度感受元件为一惯性质量块 m 2020/11/24169金属电阻应变传感器六、应变式传感器的应用 测量原理：惯性质量块在加速度的作用下，产生惯性力 F = ma，梁在惯性力的作用下发生变形，应变片电阻发生变化，产生输出信号，输出信号大小与加速度成正比。 2020/11/24170金属电阻应变传感器六、应变式传感器的应用n电阻应变式电子称 -梁式传感器的另一个典型应用 它是在一个S 型双弯曲悬臂梁上贴四片应变片，组成桥路。 双弯曲梁的应变为 式中，b为梁厚 2020/1

34、1/24171金属电阻应变传感器六、应变式传感器的应用桥路输出为 2020/11/24172金属电阻应变传感器六、应变式传感器的应用(3) 应变式压力传感器弹性元件为一薄壁圆板，应变片贴于圆板上。 2020/11/24173金属电阻应变传感器六、应变式传感器的应用 当均布压力作用于薄板时圆板上各点的径向应力和切向应变分布2020/11/24174金属电阻应变传感器六、应变式传感器的应用 当均布压力作用于薄板时，圆板上各点的径向应力和切向应力可用以下两式表示 径向应力： 切向应力： 其中，R 和 h 分别为圆板的半径和厚度，x 为离圆心的径向距离。2020/11/24175金属电阻应变传感器六、

35、应变式传感器的应用 圆板边缘处（x = R）的应力为径向应力： 切向应力： 可见，圆板周边处的径向应力最大 2020/11/24176金属电阻应变传感器六、应变式传感器的应用圆板内任一点的应变值计算公式为在圆板中心处（x = 0）的应变值为 在圆板边缘处（x = R）的应变值为2020/11/24177金属电阻应变传感器六、应变式传感器的应用n贴片时径向应变片应避开r=0 处，一般在圆片边缘处沿径向贴两片，在中间沿切向贴两片。n应变片R1、R4 和 R2、R3 接在桥路的相邻臂内，以提高灵敏度并进行温度补偿。 2020/11/24178第二章 电阻式传感器及检测电路电阻式传感器及检测电路 2-

36、1 线绕电位器式传感器线绕电位器式传感器 2-2 金属电阻应变传感器金属电阻应变传感器 2-3 压阻式传感器压阻式传感器 2020/11/241792-3 压阻式传感器压阻式传感器一、压阻式传感器的结构及工作原理压阻式传感器的结构及工作原理 压阻式传感器是在半导体材料的基片上用集成电路工艺制成的扩散电阻，直接作为敏感元件而制成的传感器。优点：灵敏度高，横向效应小，滞后和蠕变小。缺点：温度稳定性差，非线性较大。2020/11/241802-3 压阻式传感器一、压阻式传感器的结构及原理压阻式传感器的结构及原理、压阻效应、压阻效应【压阻效应】沿半导体的某一轴向施加一定的载荷而产生应变时，其电阻率会发

37、生变化，这种现象称为压阻效应。 半导体材料的应变与电阻的相对变化之间的关系如下 2020/11/24181一、压阻式传感器的结构及原理压阻式传感器的结构及原理 压阻效应有：则灵敏度为： 由于 K 值一般为70160，而（1+2）约为 1.6，故可以略去，则: 2020/11/24182一、压阻式传感器的结构及原理压阻式传感器的结构及原理、扩散硅压阻器件、扩散硅压阻器件扩散硅压阻器件是一个由四个扩散电阻构成的惠斯登电桥。设计要求：、等臂电桥（四个桥臂电阻值相等）；、差动结构（电桥相邻两臂的压阻效应 大小相等符号相反）；、四个桥臂的温度系数相同。2020/11/24183 这样的电桥为理想压阻电桥

38、，桥臂电阻是应变和温度 t 的函数:电桥电源既可用恒压电源也可用恒流电源。用恒压电源供电时，电桥输出为: 用恒流电源供电时，电桥输出为: 其中: ， ， t为电阻温度系数，kt为灵敏度温度系数。一、压阻式传感器的结构及原理压阻式传感器的结构及原理 扩散硅压阻器件)1 (tRRtO)1 (tkKKtO2020/11/24184一、压阻式传感器的结构及原理压阻式传感器的结构及原理、压阻器件的特性、压阻器件的特性 、温度性能 温度系数较大，当温度变化时，产生温漂，且压阻系数随温度而变化。 、线性度 在数百微应变范围内呈线性。2020/11/241852-3 压阻式传感器二、应用n压阻式压力传感器（固

39、态压力传感器）其结构与应变式压力传感器类似，弹性元件为一块圆形硅膜片，在膜片上利用集成电路的工艺扩散四个阻值相等的硅电阻。n压阻式加速度传感器其结构与应变式加速度传感器类似，弹性元件为一硅制悬臂梁，在梁的根部利用集成电路的工艺扩散四个阻值相等的硅电阻，梁的自由端装有一惯性质量块用来感受加速度。 2020/11/241862-3 压阻式传感器三、测量桥路及温度补偿三、测量桥路及温度补偿 、恒流供电电桥、恒流供电电桥为了减少温度影响，压阻器件多采用恒流源供电。当采用等臂差动结构时，桥路输出为 式中， 为温度引起的阻值变化。可见，此时桥路输出与温度无关。2020/11/24187三、测量桥路及温度补

40、偿、零点温度补偿用串、并联电阻法进行补偿。2020/11/24188三、测量桥路及温度补偿 零点温度补偿n串联电阻 RS 用于调零；n并联电阻 RP 用于补偿；其值通过计算求得。n在电源回路中串联一定数量的二极管可以对灵敏度温度补偿，因为二极管 PN 结的温度特性为负值，温度升高时，二极管正向压降减少，桥路输出电压增高。 2020/11/24189第三章第三章 电容式传感器电容式传感器 3-1 概述概述 3-2 电容式传感器的测量电路电容式传感器的测量电路 3-3 电容式传感器的应用电容式传感器的应用 2020/11/24190第三章第三章 电容式传感器电容式传感器【能量变换】属能量控制型传感

41、器 2020/11/24191第三章第三章 电容式传感器电容式传感器n【原理】由一个恒定的激励源在两金属导体之间建立一电场，被测对象通过某种方式改变或调制电场的某一参数，使电场能量发生变化，测出能量的变化就可获得所需的信号。n【用途】检测位移、液位、湿度、含水量n【类型】变面积（A）型，变介质介电常数()，变极板间距（d）型。n【特点】测量范围大、灵敏度高、动态响应时间短、机械损失小、结构简单；寄生电容影响较大、线性度较差、受大气温度和湿度影响 2020/11/24192第三章第三章 电容式传感器电容式传感器 3-1 概述概述 3-2 电容式传感器的测量电路电容式传感器的测量电路 3-3 电容

42、式传感器的应用电容式传感器的应用 2020/11/241933-1 概述概述一、电容传感器的工作原理 平板电容器的电容量，在忽略边缘效应时，有: 式中: A为两极板间的有效覆盖面积； d 为两极板间的距离； 为两极板间介质的介电常数； 2020/11/24194概述概述一、电容传感器的工作原理 r为介质的相对介电常数； 0为真空的介电常数 从电容量表达式可看出：电容量与覆盖面积成正比，与相对介电常数成正比，与两极板间距成反比。因此，通过改变复盖面积或相对介电常数或极板间距，都可以引起电容量的相对变化，这是电容传感器的基本工作原理。 2020/11/24195概概 述述二、典型的电容传感器 、变

43、面积（、变面积（A A）型型改变两极板间的有效覆盖面积来获得电容量的变化。 2020/11/24196二、典型的电容传感器1、变面积（A）型、角位移式 电容量与角位移成线性关系。灵敏度，增大初始电容C0 可以提高灵敏度K。 2020/11/24197二、典型的电容传感器1、变面积（A）型、直线位移式 灵敏度 ，增大初始电容C0 可以提高灵敏度K。 2020/11/24198二、典型的电容传感器1、变面积（A）型（3）圆柱直线位移式 灵敏度 ，增大初始电容 C0 可以提高灵敏度K。 2020/11/24199概概 述述二、典型的电容传感器、变介质介电常数、变介质介电常数()() 平板式 电容量为

44、两个电容C0 和C1 的串联，其值为: 2020/11/24200二、典型的电容传感器2、变介质介电常数（） 、圆筒式两个电容C0和C1并联，其值为 2020/11/24201二、典型的电容传感器2、变介质介电常数（）可见，传感器电容量与液位高度 h1 成线性关系。物质名称物质名称 相对介电常数相对介电常数r r 物质名称物质名称 相对介电常数相对介电常数r r 水 80 玻璃 3.7 甲醇 37 沥青 2.7 乙醇 2025 砂 35 盐 6 空气及其它气体 11.2 纸 22020/11/24202二、典型的电容传感器、变极板间距（、变极板间距（d d）型型 2020/11/24203二、

45、典型的电容传感器、变极板间距（d）型 当间距 d0 减少 d 时，电容量为其中，得相对变化值为 2020/11/24204二、典型的电容传感器、变极板间距（d）型当d 1，传感器的总阻抗(等效电路总阻抗)为: 电感相对变化为: 可见，并联电容后，传感器的灵敏度提高了。因此，在测量中，如改变了电缆，则需重新标定。 2020/11/24283三、测量电路 2 2、测量电路、测量电路 （1） 交流电桥 电感线圈一般接成差动式。电桥的平衡条件为 电桥的输出电压幅值为： 2020/11/24284三、测量电路 2 2、测量电路、测量电路（2）变压器电桥 电桥的两个平衡臂为变压器的两个副边。电桥的输出与前

46、面交流电桥类似。 2020/11/24285第四章第四章 电感式传感器电感式传感器 4-1 4-1 自感式传感器自感式传感器 4-2 4-2 差动变压器式传感器差动变压器式传感器4-3 4-3 电涡流式传感器电涡流式传感器2020/11/242864-2 差动变压器差动变压器 差动变压器大都采用螺管型，这是一种互感式电感传感器。 2020/11/242874-2 4-2 差动变压器式差动变压器式传感器传感器一、结构及工作原理1、结构：差动变压器大都采用螺管型，较少采用气隙型。主要元件有：初级线圈、次级线圈、线圈框架和衔铁组成。2020/11/242884-2 差动变压器式差动变压器式传感器传感

47、器一、结构及工作原理2、工作原理差动变压器与一般变压器基本相同，不同之点是：一般变压器是闭合磁路，而差动变压器是开磁路，且衔铁是运动的。差动变压器是工作在互感变化的基础上。 2020/11/242894-2 差动变压器式差动变压器式传感器传感器二、特性分析 、等效电路、等效电路在忽略线圈寄生电容和衔铁损耗的情况下，差动变压器的等效电路为： 2020/11/24290二、特性分析 、等效电路变压器初级线圈的复数电流为其中,为激励电压的角频率； L1、R1 分别为初级线圈的电感和电阻。在次级中产生的感应电压为 其中，M1、M2分别为初级与次级线圈1、2间的互感。2020/11/24291二、特性分

48、析 、等效电路则，空载输出电压为 电压的有效值为： 其中，U20为磁芯处于中间位置时（ ）的输出电压。 2020/11/24292二、特性分析 、等效电路输出阻抗为：2020/11/24293二、特性分析 、等效电路磁芯移动时的三种情况 （1）磁芯在中间位置； （2）磁芯左行时；（3）磁芯右行时。 2020/11/24294二、特性分析 、等效电路（1）磁芯在中间位置： （残余电压） （2）磁芯左行时： （3）磁芯右行时： 2020/11/24295二、特性分析 、等效电路输出曲线2020/11/24296二、特性分析、特性分析 、灵敏度差动变压器有负载时，次级线圈输出总电压有效值为 式中 为

49、灵敏度系数； ，为非线性部分； 2020/11/242972、特性分析 、灵敏度 ，铁芯位移量； lA 铁芯长度；b0、b1 分别为次级线圈和初级线圈的长度 d 两线圈间的气隙厚度；r1、r0 分别为线管的内、外径。 上式说明，铁芯位移 x 和输出电压 UO 之间不是线性关系。2020/11/242982、特性分析 、灵敏度 灵敏度系数 K1 与线圈的结构尺寸、初级线圈匝数、激励电源的电压和频率等因素有关。 灵敏度系数与激励电压关系： 灵敏度系数与线圈匝数 N 的关系 当原边线圈电阻 R1L1 时，有： ，A为常数。所以，提高匝数比可以提高差动变压器的灵敏度。2020/11/242992、特性

50、分析 、误差分析 影响误差的主要因素是零点残余电压。当变压器的铁芯处于中间位置时，在理想条件下，其输出电压应为零；但实际上，在使用桥式电路时，在零点仍然有一微小的电压值（从几mV到几十mV）存在，称为零点残留电压。产生的原因：差动变压器两个次级线圈不可能完全一样；磁性材料磁化曲线的非线性。消除和减少方法：提高工艺精度；选用好的测量电路；采用补偿电路（调相补偿电路、调零补偿电路、R 或 L 补偿电路等）。2020/11/243004-2 差动变压器式差动变压器式传感器传感器三、测量电路 差动应压器的输出电压为交流，与衔铁位移量成正比，用交流表测量其输出只能反映衔铁位移的大小，不能反映其移运方向，