[材料科学]101101材料研究测试方法51电子光学基础课件.ppt

1、2022-8-912022-8-922022-8-932022-8-942022-8-95 第第5 5章章 电子光学基础电子光学基础n引言 n电子波与电磁透镜n电磁透镜的像差和分辨本领n电磁透镜的景深和焦长2022-8-96引言 电镜的发展历史n1924年，德布罗意计算出电子波的波长n1926年，布施发现轴对称非均匀磁场能使电子波聚焦n19321933年间，德国的劳尔和鲁斯卡等研制成功世界上第一台电子显微镜n1939年，德国的西门子公司生产出分辨本领优于10nm的商品电子显微镜2022-8-977.1 电子波与电磁透镜n光学显微镜的局限性n电子波的波长n电磁透镜2022-8-98光学显微镜的局

2、限性n一个世纪以来，人们一直用光学显微镜来揭示金属材料的显微组织，借以弄清楚组织、成分、性能的内在联系。但光学显微镜的分辨本领有限，对诸如合金中的G.P 区（几十埃）无能为力。2022-8-99n最小分辨距离计算公式 其中 最小分辨距离 波长 透镜周围的折射率 透镜对物点张角的一半，称为数值孔径，用 N.A 表示ndsinn2022-8-910n由于光的衍射，使得由物平面内的点O1、O2 在象平面形成B1、B2圆斑（Airy斑）。若O1、O2靠的太近，过分重叠，图象就模糊不清。2022-8-911 O1O2dLB2B1Md强度D图（a）点O1、O2 形成两个Airy斑；图（b）是强度分布。（a

3、）（b）2022-8-912图（c）两个Airy斑明显可分辨出。图（d）两个Airy斑刚好可分辨出。图（e）两个Airy斑分辨不出。I0.81I2022-8-913n对于光学显微镜，N.A的值均小于1，油浸透镜也只有1.51.6，而可见光的波长有限，因此，光学显微镜的分辨本领不能再次提高。n提高透镜的分辨本领：增大数值孔径是困难的和有限的，唯有寻找比可见光波长更短的光线才能解决这个问题。2022-8-914电子的波长比可见光波长更短的电磁波有：1）紫外线 会被物体强烈的吸收；2）X 射线 无法使其会聚；3）电子波 根据德布罗意物质波的假设，即电子具有微粒性，也具有波动性。电子波 h Plank

4、 常数，m v 电子速度 mvhSJ.g.2022-8-915 显然，越大，越小，电子的速度与其加速电压（U)有关，即而则 埃eEmv mEevCe.E2022-8-916电子波长与加速电压的关系（经相对论修正）加速电压（kV）1020305060波长（）0.1220.08590.06980.05360.0487加速电压（kV）701002005001000波长（）0.04480.03700.02510.01420.00872022-8-917 1.电子可以凭借轴对称的非均匀电场、磁场的力，使其会聚或发散，从而达到成象的目的。n由静电场制成的透镜 静电透镜n由磁场制成的透镜 磁透镜 电磁透镜2

5、022-8-9182.磁透镜和静电透镜相比有如下的优点 磁透镜 静电透镜1.改变线圈中的电流强度可很方便的控制焦距和放大率；2.无击穿，供给磁透镜线圈的电压为60到100伏；3.象差小。1.需改变很高的加速电压才可改变焦距和放大率；2.静电透镜需数万伏电压，常会引起击穿；3.象差较大。目前，应用较多的是磁透镜，我们只是分析磁透镜是如何工作的。2022-8-9193.磁透镜结构剖面图课本图8-32022-8-9204.磁透镜使电子会聚的原理OOz图1-3（a）电子在磁透镜中的运动轨迹AC2022-8-921OOArvvCzvr图1-3（b）A点位置的B 和v的分解情况zvrrvzB1F2FzBr

6、Ftv2022-8-922电子在磁场中要受到磁场作用力：)(BvFe即)sin(BvevBF)(zreBvF)(rzeBvF圆周运动ttvFFF21切向运动)(rtreFBv 向轴运动2022-8-923Oz图1-4 带铁壳的带极靴的透镜O2022-8-924有极靴B（z）没有极靴无铁壳z图7-3 磁感应强度分布图 带有极靴的电子透镜使有效磁场集中到沿透镜轴向几毫米的范围内2022-8-9257.2 电子透镜的象差与分辨本领 电磁透镜也存在缺陷，使得实际分辨距离远小于理论分辨距离，对电镜分辨本领起作用的象差有几何象差（球差、象散等）和色差。几何象差是因为透镜磁场几何形状上的缺陷而造成的；色差是

7、由于电子波的波长或能量发生一定幅度的改变而造成的。2022-8-926 球 差 球差是由于电子透镜的中心区域和边沿区域对电子的会聚能力不同而造成的。远轴的电子通过透镜折射得比近轴电子要厉害的多，以致两者不交在一点上，结果在象平面成了一个漫散圆斑，半径为Rs 还原到物平面，则rs=Rs/M rs表示球差大小的量，物平面上两点距离小于2 rs 时，该透镜不能分辨，M:为透镜的放大倍数。rs=1/4Cs3 Cs为球差系数。为孔径角，透镜分辨本领随增大而迅速变坏。341sSMMCr341sSMsCMrrsC2022-8-927P象P透镜物P光轴图8-4 球差2022-8-928象散 磁场不对称时，就出

8、现象散。有的方向电子束的折射比别的方向强，如图1-5（b）所示，在A平面运行的电子束聚焦在PA点，而在B平面运行的电子聚焦在PB点，依次类推。这样，圆形物点的象就变成了椭圆形的漫散圆斑，其平均半径为还原到物平面 为象散引起的最大焦距差；透镜磁场不对称，可能是由于极靴被污染，或极靴的机械不对称性，或极靴材料各向磁导率差异引起。象散可由附加磁场的电磁消象散器来校正。AMAfMr21AAfr21Af2022-8-929平面BPA透镜平面物P光轴PBfA 平面A图8-5（b）象散 2022-8-930色差 色差是由于电子的能量不同、从而波长不一造成的，电子透镜的焦距随着电子能量而改变，因此，能量不同的

9、电子束将沿不同的轨迹运动。产生的漫散圆斑还原到物平面，其半径为 是透镜的色差系数，大致等于其焦距；是电子能量的变化率。EECrcCEEcC2022-8-931能量为E的电子轨迹象1透镜物P光轴图1-5（c）色差能量为E-E的电子轨迹象22022-8-932 引起电子束能量变化的主要有两个原因：一是电子的加速电压不稳定；二是电子束照射到试样时，和试样相互作用，一部分电子发生非弹性散射，致使电子的能量发生变化。使用薄试样和小孔径光阑将散射角大的非弹性散射电子挡掉，将有助于减小色散。2022-8-933 在电子透镜中，球差对分辨本领的影响最为重要，因为没有一种简便的方法使其矫正，而其它象差，可以通过

10、一些方法消除PAY ATTENTION2022-8-934理论分辨距离 光学显微镜的分辨本领基本上决定于象差和衍射，而象差基本上可以消除到忽略不计的程度，因此，分辨本领主要取决于衍射。电子透镜中，不能用大的孔径角，若这样做，球差和象差就会很大，但可通过减小孔径角的方法来减小象差，提高分辨本领，但不能过小。2022-8-935 显微镜的分辨极限是 电镜情况下，因此 可见，光阑尺寸过小，会使分辨本领变坏，这就是说，光阑的最佳尺寸应该是球差和衍射两者所限定的值sin.ndn532.d.sC4/14.1sbestC2022-8-936相对应的最佳光阑直径式中的f 为透镜的焦距。将 代入前面可得 目前，

11、通用的较精确的理论分辨公式和最佳孔径角公式为 将各类电镜缺陷的影响减至最小，电子透镜的分辨本领比光学透镜提高了一千倍一千倍左右。fDbestbestbest4/14/3minsCAd/min.sCd/min.sC2022-8-9371.3 电磁透镜的景深和焦长 电磁透镜分辨本领大，景深大，焦长长。场深是指在保持象清晰的前提下，试样在物平面上下沿镜轴可移动的距离，或者说试样超越物平面所允许的厚度。焦深是指在保持象清晰的前提下，象平面沿镜轴可移动的距离，或者说观察屏或照相底版沿镜轴所允许的移动距离。电子透镜所以有这种特点，是由于所用的孔径角非常小的缘故。这种特点在电子显微镜的应用和结构设计上具有重

12、大意义。2022-8-938 景深的关系可以从图1-6推导出来。在 的条件下，景深如 弧度时，Df 大约是 2002000nm，这就是说，厚度小于2000 nm的试样，其间所有细节都可调焦成象。由于电子透镜景深大，电子透镜广泛应用在断口观察上。rX rXtgXDf2222310101，nmr 2022-8-9392MXRL2L1Qi2XQDf透镜象平面2022-8-940图8-10是焦长的示意图。由图可以看出，由于所以这里的M是总放大倍数。可见，焦长是很大的。例如，时，DL80cm。因此，当用倾斜观察屏观察象时，以及当照相底片不位于观察屏同一象平面时，所拍照的象依然是清晰的。tgMrDi2tgLtgL21222MDrMDfiMMtgtgLLtg21nmr1倍，2000M102rad2022-8-941屏透镜L1L2DL2d最小 M