ESD控制方案认证检验检测技术.ppt

1、ESD控制方案认证检验检测技术ESDESD控制方案认证检验控制方案认证检验检测技术检测技术主讲：刘长雄主讲：刘长雄一、认证检验计划要求一、认证检验计划要求文件化文件化的质量管理体系架构的质量管理体系架构质量手册质量手册程序文件程序文件作业标准、检查标准作业标准、检查标准质量记录、作业记录质量记录、作业记录质量方针、目标质量方针、目标文件化的管理体系文件化的管理体系写做记说一致写做记说一致ESD控制方案控制方案方案计划方案计划、验证计划、验证计划、其它作业指导书其它作业指导书验证记录、作业记录验证记录、作业记录ESD S20.20标准要求标准要求ISO9001标准要求标准要求1 1、静电放电控制

2、方案计划、静电放电控制方案计划目的：目的：本标准的目的是提供行政和技术上的要求，本标准的目的是提供行政和技术上的要求，以及建以及建立，实施和维护静电放电的控制方案立，实施和维护静电放电的控制方案(文中称文中称“方案方案”)”)。各单位应制定一个静电放电控制方案计划，各单位应制定一个静电放电控制方案计划，将方案中的将方案中的每一个要求都一一列出。这些要求是：每一个要求都一一列出。这些要求是：培训培训 认证检验认证检验 接地及等电位相连系统接地及等电位相连系统 人员接地人员接地 静电放电保护区之要求静电放电保护区之要求 包装系统包装系统 标记标记静电放电控制方案计划是实施和检验静电放电控制方案的静

3、电放电控制方案计划是实施和检验静电放电控制方案的首要文件。首要文件。其目标是全面实施和整合一个与内部质量系统其目标是全面实施和整合一个与内部质量系统要求相符合的方案。该静电放电控制方案计划应要求相符合的方案。该静电放电控制方案计划应适用于单适用于单位内部工作的各个方面。位内部工作的各个方面。2 2、认证检验计划、认证检验计划 认证检验计划的建立，是要认证检验计划的建立，是要确保单位能够满足静电放电确保单位能够满足静电放电方案计划的要求。方案计划的要求。认证检验计划应该明确要进行认证检验计划应该明确要进行检验的技术要求，相关的检验的技术要求，相关的测试范围及认证频率。测试范围及认证频率。根据此计

4、划进行认证检验。认证根据此计划进行认证检验。认证检验计划还应规定，检验计划还应规定，检测和测试方法及设备。检测和测试方法及设备。如果单位采用的方法与本文件所列出的标准有差异，必如果单位采用的方法与本文件所列出的标准有差异，必须提供一个修改声明作为静电放电控制方案计划的一部须提供一个修改声明作为静电放电控制方案计划的一部分存档。分存档。认证检验纪录认证检验纪录应该被确认并保存，以便应该被确认并保存，以便证明符证明符合合了静电放电了静电放电控制方案中的技术要求控制方案中的技术要求。所选择的测试设备应能够完成认证检验计划中定义的测所选择的测试设备应能够完成认证检验计划中定义的测量项目。量项目。检查频

5、率建议可根据稽检查频率建议可根据稽查之历史查之历史据据订定订定3、合格检验与认证检验、合格检验与认证检验 标准中有哪些标准中有哪些合格检验合格检验及及认证检验参数认证检验参数要求？要求？哪些物品哪些地方要认证检验？哪些物品哪些地方要认证检验？要用什么检验设备？要用什么检验设备？用什么方法检验？用什么方法检验？在静电放电控制产品和材料的初始选择的时候采用在静电放电控制产品和材料的初始选择的时候采用产品合产品合格检验格检验。可采用的方法为：可采用的方法为：产品规范复查，独立实验室评估或内部产品规范复查，独立实验室评估或内部实验室评估。实验室评估。4、哪些物品要定期验证？、哪些物品要定期验证？ESD

6、 TR53-01ESD TR53-01：2019-2019-静电放电保护设备和材料之达标验证静电放电保护设备和材料之达标验证-建议下建议下所述之静电放电防护品、材所述之静电放电防护品、材及设备等应定期接受功能性及设备等应定期接受功能性验证检测：验证检测：接地接地/搭接系统搭接系统工作台面工作台面手腕带手腕带手腕带性能测试器手腕带性能测试器防静电鞋防静电鞋地板材质地板材质服装服装座椅座椅移动式设备移动式设备(手推手推)包装包装静电消除器静电消除器人员接地系统人员接地系统设备定期保养、校准设备定期保养、校准5 5、ESD ESD 物品检测频物品检测频与方式与方式6、静电用品静电用品测试标准测试标准

7、项目项目标准标准手腕带及手腕带连接手腕带及手腕带连接ANSI/ESD S1.1ANSI/ESD S1.1防静电服防静电服ANSI/ESD STM 2.1ANSI/ESD STM 2.1离子风机离子风机/离子静电消除器离子静电消除器ANSI/ESD STM3.1 ANSI/ESD SP3.3ANSI/ESD STM3.1 ANSI/ESD SP3.3台垫台垫/工作台工作台ANSI/ESD S4.1 ANSI/ESD S4.2ANSI/ESD S4.1 ANSI/ESD S4.2防静电地板防静电地板/地面工程地面工程ANSI/ESD S7.1ANSI/ESD S7.1防静电座椅防静电座椅ANSI/

8、ESD STM12.1ANSI/ESD STM12.1防静电鞋防静电鞋/拖鞋拖鞋/脚束带脚束带ANSI/ESD STM9.1 ESD SP9.2ANSI/ESD STM9.1 ESD SP9.2地板地板-鞋系统鞋系统ANSI/ESD STM97.1 ANSI/ESD STM97.2屏蔽包装袋屏蔽包装袋ANSI/ESD STM11.31防静电材料防静电材料ANSI/ESD STM11.11-STM11.12 STM13.1交流设备交流设备烙铁及工具烙铁及工具ESD STM13.1-2000取放设备取放设备ESD SP10.1-2000术语、方法及技术要求术语、方法及技术要求ADV11.2ESD

9、ADV1.0ESD ADV1.0标识：标识：ANSI/ESD S8.1ANSI/ESD S8.1接地：接地：ANSI/ESD S6.1ANSI/ESD S6.1工作站：工作站：ESD ADV53.1ESD ADV53.1包装：包装：ANSI/ESD S541ANSI/ESD S541操作指南操作指南ESD ADV2.0ESD ADV2.0（手册）（手册）7 7、ESDAESDA认可的认证机构认可的认证机构 DNV Certification,Inc.DNV Certification,Inc.BSI,Inc.BSI,Inc.QMI,A Division of CSA Group QMI,A D

10、ivision of CSA Group National Quality Assurance,USA(NQA,USA)National Quality Assurance,USA(NQA,USA)Lloyds Register Quality Assurance,Lloyds Register Quality Assurance,Inc.(LRQA)Inc.(LRQA)TUV America,Inc TUV America,Inc SGS SA SGS SA PSB Certification PSB Certification BVQi(NA),Inc.BVQi(NA),Inc.二、符合性

11、验证技术二、符合性验证技术1、接地、接地/搭接系统符合性验证搭接系统符合性验证目的：目的：确保确保EPA EPA 工作站内所有之工作台面、固定式装置、手持式装工作站内所有之工作台面、固定式装置、手持式装置及人员接地装置等均应置及人员接地装置等均应接至共同接地点接至共同接地点(Common point ground(Common point ground；CPGCPG)。共同接地点再。共同接地点再接至接至ESD ESD 接地接地/搭接搭接考点考点。一般一般ESD ESD 接地接地/搭接搭接考点应为考点应为交交电电(AC)(AC)设备接地点设备接地点。采用采用辅助辅助接地接地时，应搭接至时，应搭接

12、至交交电电(AC)(AC)设备接地设备接地。检测设备：检测设备：(A)(A)直直奥姆计：奥姆计：可可测范围应为测范围应为 0.10.11M1M，精确，精确应为应为10%10%。(B)(B)交交电插座分析器：电插座分析器：指示设备接地导线是否存在。地线与中线、指示设备接地导线是否存在。地线与中线、火线与中性线、火线与接地线是否装置颠倒、设备接地线阻抗是否火线与中性线、火线与接地线是否装置颠倒、设备接地线阻抗是否符合规范要求、符合规范要求、(C)(C)交交电电电电测试器测试器(阻抗计阻抗计)：测设备接地导体自电源插座至主测设备接地导体自电源插座至主电源控制盘中性搭接点间之阻抗值，也具可检测接线正确

13、性。电源控制盘中性搭接点间之阻抗值，也具可检测接线正确性。(D)(D)条适当长条适当长之检测之检测接接导线导线。现场现场CPG须标识出来须标识出来最好是最好是AC地与静电地线分开地与静电地线分开万用表万用表/直直奥姆计奥姆计电压档：量交流、直流电压值电压档：量交流、直流电压值电阻档：量接地、手环阻抗电阻档：量接地、手环阻抗插头与拉环间阻抗为插头与拉环间阻抗为1M1M10%10%设备对设备对CPGCPG1.01.0欧姆欧姆 与防雷地线距离与防雷地线距离20M!总接地总接地1010欧姆欧姆 断路器的使用交流电插座分析器交流电插座分析器左零右火上地左零右火上地是否正确是否正确地、中线阻抗地、中线阻抗

14、交交电插座分析器电插座分析器交交电电电电测试器测试器(阻抗计阻抗计)1.0欧姆欧姆 接地点对接地点对CPG1.0欧姆欧姆 钳形接地电阻测试仪钳形接地电阻测试仪测量原理：测量回路电阻，仪表的钳口部分由电压线圈及电流线圈组测量原理：测量回路电阻，仪表的钳口部分由电压线圈及电流线圈组成。电压线圈提供激励信号，并在被测回路上感应一个电势成。电压线圈提供激励信号，并在被测回路上感应一个电势E E。在。在电势电势E E的作用下将在被测回路产生电流的作用下将在被测回路产生电流I I。仪表对。仪表对E E及及I I进行量测，并进行量测，并通过欧姆定理：通过欧姆定理：R=E/IR=E/I测量范围：测量范围：0.

15、1-1000,0.1-1000,分辨率；分辨率；0.01.0.01.1.01.0欧姆欧姆 自动厂房静电接地系统监测器：自动厂房静电接地系统监测器：可同时并实时监测可同时并实时监测个作业员腕带和个作业员腕带和个工作枱面个工作枱面的的ESDESD接地接地况况 有独有独的安全警报声响告警装置的安全警报声响告警装置 采用电阻回采用电阻回监控方式，准确而有效监控方式，准确而有效连续式静电腕带及工作台监测器：连续式静电腕带及工作台监测器：配有配有字显示操控面板及管字显示操控面板及管锁锁实时实时测接地系统之测接地系统之ACAC与与DCDC阻抗阻抗可实时监测并有声光警报，可实时监测并有声光警报，256256组

16、记忆装置，组记忆装置，可接计算机可接计算机印监测纪印监测纪报告报告可侦测可侦测ESDESD接地和接地和ACAC接地是否混接接地是否混接2、防静电手腕带接地实时监测器符合性验证、防静电手腕带接地实时监测器符合性验证 标准没有作要求3 3、工作台面符合性验证、工作台面符合性验证目的：确保目的：确保ESD ESD 防护工作台面、架子、抽屉、防护工作台面、架子、抽屉、ESD ESD 防护储存防护储存设备是否搭接至接地设备是否搭接至接地/搭接搭接考点。电阻是否符合。考点。电阻是否符合。(1)(1)检测设备：检测设备：高阻表高阻表(MeggerMeter/High Resistance(MeggerMet

17、er/High Resistance Ohmmeter)Ohmmeter)(A)(A)测量范围测量范围:1:110103 3 1.9991.99910101313(至少要至少要1010次方以上，最次方以上，最大可测电阻大可测电阻1 110101616)(B)(B)圆柱电极圆柱电极 ：符合：符合ANSI/EOS/ESD4.1ANSI/EOS/ESD4.1规定。重规定。重2.272.270.06kg0.06kg、半径半径63.563.50.25mm 0.25mm 体积圆柱、导电接触材体积圆柱、导电接触材硬硬等级应为等级应为Shore AShore A：50-7050-70。10V 10V 测试电压

18、测试电压测测属表面，属表面，电极间之电极间之电阻应小于电阻应小于1.01.010103 3。(C)(C)直直(DC)(DC)奥姆计奥姆计：可：可测范围应为测范围应为0.10.11M1M，精确，精确应为应为10%10%。(D)(D)条适当长条适当长之检测之检测接导线。接导线。(2)(2)检测程序：检测程序：(A)(A)验证前，勿验证前，勿即清洁即清洁 ESD ESD 防护工作台面。防护工作台面。(B)(B)将所有将所有 ESDS ESDS 从工作台面移除。从工作台面移除。(C)(C)工作台面上导电物品及具独工作台面上导电物品及具独接地的交接地的交电气设备仍电气设备仍维持接地维持接地。(D)(D)

19、将一条检测导线一端将一条检测导线一端接至电极，另一端接至电极，另一端接至整合性电阻测试器。接至整合性电阻测试器。(E)(E)将另一条检测导线一端将另一条检测导线一端接至整合性电阻测试器，另一端接至整合性电阻测试器，另一端接至接至接地接地考点。考点。(F)(F)将电极置于工作台面正中央，测试电压设定为将电极置于工作台面正中央，测试电压设定为10V10V，经一段适当之，经一段适当之测试时间或待测试时间或待值稳定。值稳定。(G)(G)指示电阻小于指示电阻小于 1.0 1.010106 6，则再，则再继续测试。地面距离继续测试。地面距离100CM 100CM 其其它工作表面距离它工作表面距离30CM3

20、0CM，测试，测试3-53-5次取平均次取平均.(H)(H)指示电阻等于或大于指示电阻等于或大于 1.0 1.0106106，则将测试电压改设定，则将测试电压改设定100V100V，再再重新测试工作表面。重新测试工作表面。(I)(I)检测应包括检测应包括 ESD ESD 防护工作台上防护工作台上磨损处或具明显脏污处。磨损处或具明显脏污处。工作表面点对点阻抗测试工作表面点对点阻抗测试大于大于1.0 x106，但应小于，但应小于1.0 x109电压小于电压小于200V测五次取平均。测五次取平均。工作表面点对点阻抗测试工作表面点对点阻抗测试大于大于1.0 x106，但应小于，但应小于1.0 x109

21、电压小于电压小于200V 工作表面点对地阻抗测试工作表面点对地阻抗测试大于大于1.0 x106，但应小于，但应小于1.0 x109电压小于电压小于200V测五次取平均测五次取平均表面阻抗测试仪表面阻抗测试仪将表放在被测表面上，按住红色的测量钮，持续发亮的发光二极管将表放在被测表面上，按住红色的测量钮，持续发亮的发光二极管（LEDLED）指示出测量的表面阻抗量级。）指示出测量的表面阻抗量级。测五次取平均。测五次取平均。量程指示 103=1103=1千欧姆绿色千欧姆绿色LEDLED 104=10104=10千欧姆千欧姆 绿色绿色LEDLED 105=100105=100千欧姆千欧姆 绿色绿色LED

22、LED 106=1106=1兆欧姆兆欧姆 黄色黄色LEDLED 107=10107=10兆欧姆兆欧姆 黄色黄色LEDLED 108=100108=100兆欧姆兆欧姆 黄色黄色LEDLED 109=1000109=1000兆欧姆兆欧姆 黄色黄色LEDLED 1010=100001010=10000兆欧姆兆欧姆 黄色黄色LEDLED 1011=1000001011=100000兆欧姆黄色兆欧姆黄色LEDLED 1012=10000001012=1000000兆欧姆兆欧姆 红色红色LEDLED 1012=1012=绝缘绝缘 红色红色LEDLED 此表还可测量对地电阻此表还可测量对地电阻每十二个月需校

23、准表面阻抗表每十二个月需校准表面阻抗表4、防静电手腕带符合性验证、防静电手腕带符合性验证检测设备：检测设备：(A)(A)整合性电阻整合性电阻()测试器：测试器：测范围至少为测范围至少为1.01.010101010奥姆计，开奥姆计，开测试电压为测试电压为DC10VDC10V与与100V(100V(10%)10%)。(B)(B)手持式电极：手持式电极：锈钢圆柱棒、长锈钢圆柱棒、长75mm(3inches)75mm(3inches)以上，直径以上，直径25mm(1inches)25mm(1inches)、钢棒一端接香蕉插头或、钢棒一端接香蕉插头或纹端子测试线。纹端子测试线。(C)(C)一条适当长一条

24、适当长检测导线。检测导线。3.5107欧姆欧姆 0.8106欧姆欧姆-1.2106欧姆欧姆 5、人体综合阻抗测试、人体综合阻抗测试检测设备：检测设备：(A)(A)整合性电阻整合性电阻()测试器：测试器：测范围为测范围为5.05.010104 4 1.01.010101010 奥奥姆计，开姆计，开测试电压为测试电压为DC 7DC 730V30V。(B)(B)手持式电极：手持式电极：锈钢圆柱棒、长锈钢圆柱棒、长75mm(3inches)75mm(3inches)以上，直径以上，直径25mm25mm(1 inches)(1 inches)、钢棒一端接香蕉插头或、钢棒一端接香蕉插头或纹端子导线。纹端子

25、导线。(C)(C)足部电极：导电足部电极：导电属板属板 305mm2(12inches2)305mm2(12inches2)。(D)(D)条适当长条适当长之检测之检测接导线。接导线。3.5107欧姆欧姆 1.0109欧姆欧姆 6、静电鞋阻抗测量、静电鞋阻抗测量 1 1 109 109 欧姆欧姆 100 100伏伏 3.5 3.5 107 107欧姆欧姆7、防静电移动式设备、防静电移动式设备(手推手推)符合性验证符合性验证 1 1 109 109 欧姆欧姆8、防静电地板符合性验证、防静电地板符合性验证(1)(1)检测设备：检测设备：-与工作表面测量一致与工作表面测量一致(A)(A)整合性电阻整合

26、性电阻()测试器：测试器：测范围至少为测范围至少为1.01.010101010 之奥姆计，之奥姆计，并且其开并且其开测试电压为测试电压为DC10VDC10V与与100V(100V(10%)10%)。6 6次方以下用次方以下用10V10V档。档。否则用否则用100V100V档。档。(B)(B)圆柱电极：重圆柱电极：重2.272.270.06kg0.06kg、半径、半径63.563.50.25mm0.25mm体积圆柱、导电接体积圆柱、导电接触材触材硬硬等级等级Shore AShore A：50-7050-70。当选用。当选用10V 10V 测试电压，测试电压，测测属属表面时，其表面时，其电极间之电

27、阻应小于电极间之电阻应小于1.01.0103103。(C)(C)条适当长条适当长之检测之检测接导线。接导线。点对地测量点对地测量注意：地面距离注意：地面距离100CM100CM，其它，其它30CM30CM、测试、测试5 5次取平均次取平均1109欧姆欧姆 点对点测量点对点测量注意：注意：地面距离地面距离100CM100CM，其它，其它30CM30CM、测试、测试5 5次取平均次取平均4646为导电地板，为导电地板，6969为静电耗散地板为静电耗散地板1109欧姆欧姆 9、防静电服装符合性验证、防静电服装符合性验证(1)(1)检测设备检测设备:一般为高阻仪一般为高阻仪(A)(A)整合性电阻整合性

28、电阻()测试器：开测试器：开测试电压为测试电压为DC 100V(DC 100V(10%)10%)，范围至，范围至少为少为1.01.010101212。(B)(B)圆柱电极：重圆柱电极：重为为2.272.270.06kg0.06kg、半径、半径63.563.50.25mm 0.25mm 体积圆柱、体积圆柱、导电接触材导电接触材硬硬等级等级Shore AShore A：50-7050-70。(C)(C)条适当长条适当长之检测之检测接导线。接导线。(D)(D)绝缘支撑板：平坦绝缘板，大小足以支撑进绝缘支撑板：平坦绝缘板，大小足以支撑进 ESD ESD 材材检测工作。检测工作。符合符合ASTM D-2

29、57ASTM D-257规定，规定，绝缘板表面电阻应大于绝缘板表面电阻应大于1.01.010101313/sq/sq。静电工作服表面阻抗测试静电工作服表面阻抗测试 防静电装服防静电装服(袖口对袖口袖口对袖口)符合性验证符合性验证可接地可接地1109欧姆欧姆 普通静电服普通静电服11011欧姆欧姆 系统电阻系统电阻3.5107欧姆欧姆 新品反复摩擦新品反复摩擦2020次静电电压小于次静电电压小于100V100V10、防静电座椅符合性验证、防静电座椅符合性验证 综合阻抗点对地综合阻抗点对地点对点 1 1 109 109 欧姆欧姆点对点测量 1 1 109 109 欧姆欧姆11、其它用品表面阻抗、其

30、它用品表面阻抗 1 1 109 109 欧姆欧姆12、静电消除器（离子风扇）符合性验证、静电消除器（离子风扇）符合性验证检测设备：检测设备：(A)(A)充电板监测器充电板监测器(CPM(CPM：charge plate moniter)charge plate moniter)：可携式：可携式验证工具组包括：电场计、可拆式验证工具组包括：电场计、可拆式(隔隔导电导电)平板、平平板、平板充电器及接地线等组件。板充电器及接地线等组件。(B)(B)码表或其它适当码表或其它适当测放电时间之工具。测放电时间之工具。(C)(C)测测尺。尺。离子风机离子风机产生原理：产生原理：A A、强电场的条件下空气电晕

31、电离，产生正负离子；、强电场的条件下空气电晕电离，产生正负离子；B B、A A射线和射线和射线作用空气分子使之成为空气离子；射线作用空气分子使之成为空气离子；C C、高能射线（、高能射线（X X射射线）作用空气分让基电离线）作用空气分让基电离离子风机按形式分为离子风机按形式分为:台式离子风机，卧式离子风机，悬挂式离子风台式离子风机，卧式离子风机，悬挂式离子风机，微型离子风机机，微型离子风机输入电压：输入电压：100VAC 50 100VAC 50、60Hz,120VAC/60Hz,230VAC/50Hz60Hz,120VAC/60Hz,230VAC/50Hz最大功率：最大功率：25W 25W左

32、右左右离子平衡：离子平衡：0+/-25V0+/-25V（有的设备是本能，无需调较）（有的设备是本能，无需调较）消散速度：消散速度：由由1000V1000V至至100V100V小于小于1.51.5秒秒（最大风量）（最大风量）覆盖范围：覆盖范围：30cm 30cm*150cm150cm显示：显示：亮亮-有高压电产生离子有高压电产生离子显示报警：显示报警：测量仪内的感应器损坏测量仪内的感应器损坏保养三步曲保养三步曲 清洁清洁 检测检测 调较调较STM3.1-2000STM3.1-2000消散时间：用户自定消散时间：用户自定残留电压残留电压50伏特伏特 检测程序检测程序放电时间放电时间(衰减时间衰减时

33、间)试验：试验：(a)(a)启动检测设备，并依照制造商建议予以设备置于稳定启动检测设备，并依照制造商建议予以设备置于稳定态。态。(b)(b)将检测平板短暂性接地，并设定将检测平板短暂性接地，并设定(或验证或验证)为为电压值。电压值。(c)(c)请勿于请勿于子化气子化气场内，将可携式验证仪器进场内，将可携式验证仪器进归归(或进或进充电充电)动作。动作。(d)(d)将检测平板充电至超过各电极初始检测电压之适当伏特将检测平板充电至超过各电极初始检测电压之适当伏特(如如120012001500V)1500V)。(e)(e)将检测板面向静电消除风扇的气将检测板面向静电消除风扇的气方向。方向。(f)(f)

34、放电时间放电时间测始于检测板电压衰减至初始测试电压测始于检测板电压衰减至初始测试电压(如如1000V)1000V)时，并停止时，并停止于检测板电压衰减至最终测试电压于检测板电压衰减至最终测试电压(如如100V)100V)。(g)(g)针对另一电极重复上述程序。针对另一电极重复上述程序。(h)(h)记记各电极放电时间各电极放电时间(秒秒)。残余电压残余电压(offset voltage)(offset voltage)(剩余剩余子子)试验：试验：(a)(a)启动检测设备，并依照制造商建议予以设备置于稳定启动检测设备，并依照制造商建议予以设备置于稳定态。态。(b)(b)将检测平板短暂性接地，并设定

35、将检测平板短暂性接地，并设定(或验证或验证)为为电压值。电压值。(c)(c)请勿于请勿于子化气子化气场内，将可携式验证仪器进场内，将可携式验证仪器进归归(或进或进充电充电)动作。动作。(d)(d)将检测板面向静电消除风扇的气将检测板面向静电消除风扇的气方向。方向。(e)(e)等待使用者规范之时间。等待使用者规范之时间。(f)(f)纪纪检测板上之残余电压检测板上之残余电压(offset voltage)(offset voltage)(或剩余或剩余子子)。带电平板监测仪带电平板监测仪(Charge Plate Monitor)离子平衡电压、静电消散时间、人体静电压、防静电材料性能等测离子平衡电压

36、、静电消散时间、人体静电压、防静电材料性能等测量量-ANSI EOS/ESD S3.1-ANSI EOS/ESD S3.1监测监测空气离子平衡空气离子平衡监测电荷从固定电压点到需要终结点监测电荷从固定电压点到需要终结点(通常为原始电量的通常为原始电量的1010）的）的衰衰减速度减速度.立式离子风机测量消散时间：用户自定消散时间：用户自定残留电压残留电压50伏特伏特 悬挂式离子风机测量13、防静电包装材、防静电包装材之符合性验证之符合性验证 ANSI/ESD S541 ESDS ANSI/ESD S541 ESDS 物品之包装材物品之包装材 定期检测程序定期检测程序建议：反正摩擦后电压少于建议：

37、反正摩擦后电压少于100V静电防护材料分类及测量三三 其它设备的使用及测量其它设备的使用及测量1 1、静电场表、静电场表(Field Meter)(Field Meter)(静电电压表静电电压表)有效检测有效检测ESDESD工作场所设备，工作台面，工具的带静电电荷。工作场所设备，工作台面，工具的带静电电荷。电场测量范围电场测量范围+/-20Kv +/-20Kv*2 LED 2 LED确定确定标准测距标准测距:25mm+/-1mm25mm+/-1mm ESD ESDSTM3.1-2000 lonization STM3.1-2000 lonization 标准标准可配离子平衡测量板（可配离子平衡

38、测量板（+/-200V+/-200V）精精 度度:低范围精度为：正负低范围精度为：正负0.1kv 0.1kv；高范围精度为：正负；高范围精度为：正负1kv1kv静电场可测静电场可测:+/-(0.00-20.0kV):+/-(0.00-20.0kV)（自动显示调整）（自动显示调整）2、温、温/湿度计湿度计 测量范围：室内温度（测量范围：室内温度（-3050-3050）湿度）湿度（20%99%20%99%）EPAEPA区相对湿度区相对湿度30%-70%30%-70%，3、静电电荷量测量、静电电荷量测量测量器件上的静电荷测量器件上的静电荷1.1.将器件放入法拉第罩将器件放入法拉第罩,记录读数记录读数

39、A A2.2.将器件移出法拉第罩将器件移出法拉第罩,记录读数记录读数B B移动电荷移动电荷=B,=B,稳定电荷稳定电荷=A-B=A-B铁尖端部位与接地点之间电阻值，通电热铁尖端部位与接地点之间电阻值，通电热态下时电阻值应小态下时电阻值应小于于2.0(2.0(或电压低于或电压低于2mV)2mV)；未通电未通电态下时，电阻值应小于态下时，电阻值应小于2.02.0。铁尖端电压测铁尖端电压测及消及消散电散电测试时，所测得之尖端电压应小于测试时，所测得之尖端电压应小于AC/DC 20 mVAC/DC 20 mV，消散电，消散电应小于应小于10 mA10 mA。每日或定期检测消散电每日或定期检测消散电及电阻值，以确保尖端电压应小于及电阻值，以确保尖端电压应小于20 mV20 mV。4、电烙铁、电烙铁5、手持工具、手持工具 防静电手持工具之电阻测试方法。标准建议电阻值应为防静电手持工具之电阻测试方法。标准建议电阻值应为小于小于109109 电池驱动式或气动式手持工具电阻值应小于电池驱动式或气动式手持工具电阻值应小于1.01.010121012。6 6、自动取放设备、自动取放设备AHE AHE（ESD SP10.1ESD SP10.1）自行制订认证检验规定 100 100伏伏7 7、ESDESD电脑监视系统电脑监视系统