第4章电感式传感器及应用课件.ppt

1、第4章 电感式传感器及应用2022-10-19引言引言n利用电磁感应原理将被测非电量如位移、压力、流量、利用电磁感应原理将被测非电量如位移、压力、流量、振动等转换成线圈自感量振动等转换成线圈自感量L或互感量或互感量M的变化，再由测的变化，再由测量电路转换为电压或电流的变化量输出，这种装置称量电路转换为电压或电流的变化量输出，这种装置称为电感式传感器。电感式传感器具有结构简单，工作为电感式传感器。电感式传感器具有结构简单，工作可靠，测量精度高，零点稳定，输出功率较大等一系可靠，测量精度高，零点稳定，输出功率较大等一系列优点，其主要缺点是灵敏度、线性度和测量范围相列优点，其主要缺点是灵敏度、线性度

2、和测量范围相互制约，传感器自身频率响应低，不适用于快速动态互制约，传感器自身频率响应低，不适用于快速动态测量。这种传感器能实现信息的远距离传输、记录、测量。这种传感器能实现信息的远距离传输、记录、显示和控制，在工业自动控制系统中被广泛采用。显示和控制，在工业自动控制系统中被广泛采用。n电感式传感器种类很多，本章主要介绍自感式、互感电感式传感器种类很多，本章主要介绍自感式、互感式和电涡流式式和电涡流式3种传感器种传感器 2022-10-19主要章节内容主要章节内容n4.1自感式传感器自感式传感器 n4.2差动变压器式传感器差动变压器式传感器 n4.3电涡流传感器电涡流传感器 2022-10-19

3、4.1自感式传感器自感式传感器 n自感式传感器是利用自感量随气隙变化自感式传感器是利用自感量随气隙变化而改变的原理制成的，用来测量位移。而改变的原理制成的，用来测量位移。自感式传感器主要有闭磁路变隙式和开自感式传感器主要有闭磁路变隙式和开磁路螺线管式，它们又都可以分为单线磁路螺线管式，它们又都可以分为单线圈式与差动式两种结构形式。圈式与差动式两种结构形式。2022-10-19内容内容n4.1.1 基本工作原理基本工作原理 n4.1.2 自感式传感器的测量电路自感式传感器的测量电路 n4.1.3 自感式传感器应用举例自感式传感器应用举例 2022-10-19电感传感器的基本工作原理演示气隙变小，

4、电感变大，电流变小F F2022-10-194.1.1 基本工作原理基本工作原理n线圈的自感量等于线圈中通入单位电流线圈的自感量等于线圈中通入单位电流所产生的磁链数，即线圈的自感系数所产生的磁链数，即线圈的自感系数n 为磁链，为磁链，为磁通（为磁通（Wb），），I为流为流过线圈的电流（过线圈的电流（A），），N为线圈匝数。根为线圈匝数。根据磁路欧姆定律：据磁路欧姆定律：，为磁导率，为磁导率，S为磁路截面积，为磁路截面积，为磁路总长度。为磁路总长度。/LININ/NIS ll2022-10-19线圈的电感量线圈的电感量 n 为磁路的磁阻为磁路的磁阻/mRlS22mNN SNLIlR 变磁阻式传感

5、器 2022-10-19结论结论n只要被测非电量能够引起空气隙长度或只要被测非电量能够引起空气隙长度或等效截面积发生变化，线圈的电感量就等效截面积发生变化，线圈的电感量就会随之变化。会随之变化。n电感式传感器从原理上可分为变气隙长电感式传感器从原理上可分为变气隙长度式和变气隙截面式两种类型，前者常度式和变气隙截面式两种类型，前者常用于测量直线位移，后者常用于测量角用于测量直线位移，后者常用于测量角位移。位移。2022-10-19自感式传感器自感式传感器1线圈 2铁芯 3衔铁 4测杆 5导轨 6工件 7转轴2022-10-191变气隙式（闭磁路式）自感传感器变气隙式（闭磁路式）自感传感器 n由电

6、感式可知，变气隙长度式传感器的由电感式可知，变气隙长度式传感器的线性度差、示值范围窄、自由行程小，线性度差、示值范围窄、自由行程小，但在小位移下灵敏度很高，常用于小位但在小位移下灵敏度很高，常用于小位移的测量。移的测量。1线圈 2铁芯 3衔铁2022-10-192螺线管式（开磁路式）自感式传感器螺线管式（开磁路式）自感式传感器 n螺线管式自感式传感器常采用差动式。螺线管式自感式传感器常采用差动式。n它是在螺线管中插入圆柱形铁芯而构成的。其它是在螺线管中插入圆柱形铁芯而构成的。其磁路是开放的，气隙磁路占很长的部分。有限磁路是开放的，气隙磁路占很长的部分。有限长螺线管内部磁场沿轴线非均匀分布，中间

7、强，长螺线管内部磁场沿轴线非均匀分布，中间强，两端弱。插入铁芯的长度不宜过短也不宜过长，两端弱。插入铁芯的长度不宜过短也不宜过长，一般以铁芯与线圈长度比为一般以铁芯与线圈长度比为0.5、半径比趋于、半径比趋于1为宜。铁磁材料的选取决定于供桥电源的频率，为宜。铁磁材料的选取决定于供桥电源的频率，500Hz以下多用硅钢片，以下多用硅钢片，500Hz以上多用薄以上多用薄膜合金，更高频率则选用铁氧体。从线性度考膜合金，更高频率则选用铁氧体。从线性度考虑，匝数和铁芯长度有一最佳数值，应通过实虑，匝数和铁芯长度有一最佳数值，应通过实验选定。验选定。2022-10-19结构结构n差动式电感传感差动式电感传感

8、器对外界影响，器对外界影响，如温度的变化、如温度的变化、电源频率的变化电源频率的变化等基本上可以互等基本上可以互相抵消，衔铁承相抵消，衔铁承受的电磁吸力也受的电磁吸力也较小，从而减小较小，从而减小了测量误差。了测量误差。1测杆 2衔铁 3线圈 2022-10-19特性特性n从输出特性曲线（如从输出特性曲线（如图图4-5所示）可以看所示）可以看出，差动式电感传感出，差动式电感传感器的线性较好，且输器的线性较好，且输出曲线较陡，灵敏度出曲线较陡，灵敏度约为非差动式电感传约为非差动式电感传感器的两倍。感器的两倍。1、2L1、L2的特性 3差动特性 2022-10-194.1.2 自感式传感器的测量电

9、路自感式传感器的测量电路n自感式传感器的测量电路用来将电感量的变化自感式传感器的测量电路用来将电感量的变化转换成相应的电压或电流信号，以便供放大器转换成相应的电压或电流信号，以便供放大器进行放大，然后用测量仪表显示或记录。进行放大，然后用测量仪表显示或记录。n测量电路有交流分压式、交流电桥式和谐振式测量电路有交流分压式、交流电桥式和谐振式等多种，常用的差动式传感器大多采用交流电等多种，常用的差动式传感器大多采用交流电桥式桥式。n交流电桥的种类很多，差动形式工作时其电桥交流电桥的种类很多，差动形式工作时其电桥电路常采用双臂工作方式。两个差动线圈电路常采用双臂工作方式。两个差动线圈Z1和和Z2分别

10、作为电桥的两个桥臂，另外两个平衡臂分别作为电桥的两个桥臂，另外两个平衡臂可以是电阻或电抗，或者是带中心抽头的变压可以是电阻或电抗，或者是带中心抽头的变压器的两个二次绕组或紧耦合线圈等形式。器的两个二次绕组或紧耦合线圈等形式。2022-10-191变压器交流电桥变压器交流电桥 n电桥有两臂为传感电桥有两臂为传感器的差动线圈的阻器的差动线圈的阻抗，所以该电路又抗，所以该电路又称为差动交流电桥称为差动交流电桥 变压器式交流电桥电路图 2022-10-19分析分析n设设O点为电位参考点，根据电路的基本点为电位参考点，根据电路的基本分析方法，可得到电桥输出电压为分析方法，可得到电桥输出电压为n当传感器的

11、活动铁芯处于初始平衡位置当传感器的活动铁芯处于初始平衡位置时，两线圈的电感相等，阻抗也相等，时，两线圈的电感相等，阻抗也相等，即，其中表示活动铁芯处于初始平衡位即，其中表示活动铁芯处于初始平衡位置时每一个线圈的阻抗。置时每一个线圈的阻抗。n电桥输出电压，电桥处于平衡状态。电桥输出电压，电桥处于平衡状态。1oABAB2121()2ZUUVVUZZ2022-10-19变化时变化时n当铁芯向一边移动时，则一个线圈的阻当铁芯向一边移动时，则一个线圈的阻抗增加抗增加，10ZZZ20ZZZ0o22001()222ZZZUUUZZ 2022-10-19变化后的电压变化后的电压n当传感器线圈为高当传感器线圈为

12、高Q值时，则线圈的电阻远小值时，则线圈的电阻远小于其感抗于其感抗 n当活动铁芯向另一边（反方向）移动时当活动铁芯向另一边（反方向）移动时 n差动式自感传感器采用变压器交流电桥为测量差动式自感传感器采用变压器交流电桥为测量电路时，电桥输出电压既能反映被测体位移量电路时，电桥输出电压既能反映被测体位移量的大小，又能反映位移量的方向，且输出电压的大小，又能反映位移量的方向，且输出电压与电感变化量呈线性关系。与电感变化量呈线性关系。o202LUUL 2022-10-192带相敏整流的交流电桥带相敏整流的交流电桥 n上述变压器式交流电桥中，由于采用交上述变压器式交流电桥中，由于采用交流电源，则不论活动铁

13、芯向线圈的哪个流电源，则不论活动铁芯向线圈的哪个方向移动，电桥输出电压总是交流的，方向移动，电桥输出电压总是交流的，即无法判别位移的方向。即无法判别位移的方向。n常采用带相敏整流的交流电桥常采用带相敏整流的交流电桥.n 2022-10-19结构结构带相敏整流的交流电桥电路 2022-10-19（1）初始平衡位置时）初始平衡位置时n当差动式传感器的当差动式传感器的活动铁芯处于中间活动铁芯处于中间位置时，传感器两位置时，传感器两个差动线圈的阻抗个差动线圈的阻抗Z1=Z2=Z0，其，其等效电路如图所示。等效电路如图所示。铁芯处于初始平衡位置时的等效电路 2022-10-19（2）活动铁芯向一边移动时

14、）活动铁芯向一边移动时 n当活动铁芯向当活动铁芯向线圈的一个方线圈的一个方向移动时，传向移动时，传感器两个差动感器两个差动线圈的阻抗发线圈的阻抗发生变化，等效生变化，等效电路如图电路如图4-9所示。所示。铁芯向线圈一个方向移动时的等效电路 2022-10-19结果结果oDCii20001221()2ZZUVVUUZZZZoDCi200121()2ZUVVUZZZ在Ui的正半周 在Ui的负半周 2022-10-19n只要活动铁芯向一方向移动，无论在交只要活动铁芯向一方向移动，无论在交流电源的正半周还是负半周，电桥输出流电源的正半周还是负半周，电桥输出电压均为正值。电压均为正值。2022-10-1

15、9（3）活动铁芯向相反方向移动时）活动铁芯向相反方向移动时n当活动铁芯向线圈的另一个方向移动时，当活动铁芯向线圈的另一个方向移动时，用上述分析方法同样可以证明，无论在用上述分析方法同样可以证明，无论在的正半周还是负半周，电桥输出电压均的正半周还是负半周，电桥输出电压均为负值。为负值。2022-10-19应用应用n采用带相敏整流的采用带相敏整流的交流电桥，其输出交流电桥，其输出电压既能反映位移电压既能反映位移量的大小，又能反量的大小，又能反映位移的方向，所映位移的方向，所以应用较为广泛。以应用较为广泛。1理想特性曲线 2实际特性曲线2022-10-194.1.3自感式传感器应用举例自感式传感器应

16、用举例n用于测量位移，还可以用于测量振动、用于测量位移，还可以用于测量振动、应变、厚度、压力、流量、液位等非电应变、厚度、压力、流量、液位等非电量。量。2022-10-191自感式测厚仪自感式测厚仪 n采用差动结构，其测量电采用差动结构，其测量电路为带相敏整流的交流电路为带相敏整流的交流电桥。当被测物体的厚度发桥。当被测物体的厚度发生变化时，引起测杆上下生变化时，引起测杆上下移动，带动可动铁芯产生移动，带动可动铁芯产生位移，从而改变了气隙的位移，从而改变了气隙的厚度，使线圈的电感量发厚度，使线圈的电感量发生相应的变化。此电感变生相应的变化。此电感变化量经过带相敏整流的交化量经过带相敏整流的交流

17、电桥测量后，送测量仪流电桥测量后，送测量仪表显示，其大小与被测物表显示，其大小与被测物的厚度成正比。的厚度成正比。1可动铁芯 2测杆 3被测物体2022-10-192位移测量位移测量 n测量时测头的测端测量时测头的测端与被测件接触，被与被测件接触，被测件的微小位移使测件的微小位移使衔铁在差动线圈中衔铁在差动线圈中移动，线圈的电感移动，线圈的电感值将产生变化，这值将产生变化，这一变化量通过引线一变化量通过引线接到交流电桥，电接到交流电桥，电桥的输出电压就反桥的输出电压就反映被测件的位移变映被测件的位移变化量。化量。1引线 2线圈 3衔铁 4测力弹簧 5导杆 6密封罩 7测头2022-10-19其

18、他电感测微头2022-10-194.2差动变压器式传感器差动变压器式传感器n把被测的非电量变化转换为线圈互感变化的传把被测的非电量变化转换为线圈互感变化的传感器称为互感式传感器。因这种传感器是根据感器称为互感式传感器。因这种传感器是根据变压器的基本原理制成的，并且其二次绕组都变压器的基本原理制成的，并且其二次绕组都用差动形式连接，所以又叫差动变压器式传感用差动形式连接，所以又叫差动变压器式传感器，简称差动变压器。器，简称差动变压器。n有变隙式、变面积式和螺线管式等有变隙式、变面积式和螺线管式等 n在非电量测量中，应用最多的是螺线管式的差在非电量测量中，应用最多的是螺线管式的差动变压器，它可以测

19、量动变压器，它可以测量1100mm范围内的范围内的机械位移，并具有测量精度高、灵敏度高、结机械位移，并具有测量精度高、灵敏度高、结构简单、性能可靠等优点。构简单、性能可靠等优点。2022-10-194.2.1 基本工作原理基本工作原理 螺线管式差动变压器结构示意图 1 一次绕组 2二次绕组 3衔铁 4测杆 螺线管式差动变压器原理图 2022-10-19输出特性输出特性n由于在一定的范围内，互感由于在一定的范围内，互感的变化的变化M与位移与位移x成正比，成正比，所以输出电压的变化与位移所以输出电压的变化与位移的变化成正比。实际上，当的变化成正比。实际上，当衔铁位于中心位置时，差动衔铁位于中心位置

20、时，差动变压器的输出电压并不等于变压器的输出电压并不等于零，通常把差动变压器在零零，通常把差动变压器在零位移时的输出电压称为零点位移时的输出电压称为零点残余电压（如图残余电压（如图4-15所示所示e）。它的存在使传感器的）。它的存在使传感器的输出特性曲线不过零点，造输出特性曲线不过零点，造成实际特性与理论特性不完成实际特性与理论特性不完全一致。全一致。零点残余电动势 2022-10-19零点电势零点电势n零点残余电动势使得传感器在零点附近零点残余电动势使得传感器在零点附近的输出特性不灵敏，为测量带来误差。的输出特性不灵敏，为测量带来误差。为了减小零点残余电动势，可采用以下为了减小零点残余电动势

21、，可采用以下方法。方法。n（1）尽可能保证传感器尺寸、线圈电气）尽可能保证传感器尺寸、线圈电气参数和磁路对称。参数和磁路对称。n（2）选用合适的测量电路。）选用合适的测量电路。n（3）采用补偿线路减小零点残余电动势。）采用补偿线路减小零点残余电动势。2022-10-194.2.2 测测 量量 电电 路路 n差动变压器输出的是交流电压，若用交差动变压器输出的是交流电压，若用交流电压表测量，只能反映衔铁位移的大流电压表测量，只能反映衔铁位移的大小，而不能反映移动方向。另外，其测小，而不能反映移动方向。另外，其测量值中将包含零点残余电压。为了达到量值中将包含零点残余电压。为了达到能辨别移动方向及消除

22、零点残余电动势能辨别移动方向及消除零点残余电动势目的，实际测量时，常常采用差动整流目的，实际测量时，常常采用差动整流电路和相敏检波电路。电路和相敏检波电路。2022-10-191差动整流电路差动整流电路 n是把差动变压器的两个次级输出电压分别整流，然后是把差动变压器的两个次级输出电压分别整流，然后将整流的电压或电流的差值作为输出，这样二次电压将整流的电压或电流的差值作为输出，这样二次电压的相位和零点残余电压都不必考虑。的相位和零点残余电压都不必考虑。n差动整流电路同样具有相敏检波作用，图中的两组差动整流电路同样具有相敏检波作用，图中的两组（或两个）整流二极管分别将二次线圈中的交流电压（或两个）

23、整流二极管分别将二次线圈中的交流电压转换为直流电，然后相加。由于这种测量电路结构简转换为直流电，然后相加。由于这种测量电路结构简单，不需要考虑相位调整和零点残余电压的影响，且单，不需要考虑相位调整和零点残余电压的影响，且具有分布电容小和便于远距离传输等优点，因而获得具有分布电容小和便于远距离传输等优点，因而获得广泛的应用。但是，二极管的非线性影响比较严重，广泛的应用。但是，二极管的非线性影响比较严重，而且二极管的正向饱和压降和反向漏电流对性能也会而且二极管的正向饱和压降和反向漏电流对性能也会产生不利影响，只能在要求不高的场合下使用。产生不利影响，只能在要求不高的场合下使用。n一般经相敏检波和差

24、动整流后的输出信号还必须经过一般经相敏检波和差动整流后的输出信号还必须经过低通滤波器，把调制的高频信号衰减掉，只允许衔铁低通滤波器，把调制的高频信号衰减掉，只允许衔铁运动产生的有用信号通过。运动产生的有用信号通过。2022-10-19典型电路典型电路差动整流电路 2022-10-192差动相敏检波电路差动相敏检波电路 差动相敏检波电路 等效电路 2022-10-19（2）工作原理）工作原理n传感器衔铁上移传感器衔铁上移n传感器衔铁下移传感器衔铁下移L 21L(2)LR uun RRL 21L(2)LR uun RR 2022-10-19（3）波形图）波形图相敏检波电路波形图 2022-10-1

25、94.2.3 差动变压器式传感器的应用差动变压器式传感器的应用 n差动变压器不仅可以直接用于位移测量，差动变压器不仅可以直接用于位移测量，而且还可以测量与位移有关的任何机械而且还可以测量与位移有关的任何机械量，如振动、加速度、应变、压力、张量，如振动、加速度、应变、压力、张力、比重和厚度等。力、比重和厚度等。2022-10-191振动和加速度的测量振动和加速度的测量n衔铁受振动和衔铁受振动和加速度的作用，加速度的作用，使弹簧受力变使弹簧受力变形，与弹簧联形，与弹簧联接的衔铁的位接的衔铁的位移大小反映了移大小反映了振动的幅度和振动的幅度和频率以及加速频率以及加速度的大小。度的大小。振动传感器及其

26、测量电路1弹性支撑 2差动变压器2022-10-192力和压力的测量力和压力的测量n当力作用于传感器当力作用于传感器时，弹性元件产生时，弹性元件产生变形，从而导致衔变形，从而导致衔铁相对线圈移动。铁相对线圈移动。线圈电感量的变化线圈电感量的变化通过测量电路转换通过测量电路转换为输出电压，其大为输出电压，其大小反映了受力的大小反映了受力的大小。小。差动变压器式力传感器 1上部 2衔铁 3线圈 4变形部 5下部 2022-10-19微压力传感器微压力传感器n在无压力作用时，膜在无压力作用时，膜盒在初始状态，与膜盒在初始状态，与膜盒联接的衔铁位于差盒联接的衔铁位于差动变压器线圈的中心动变压器线圈的中

27、心部位。当压力输入膜部位。当压力输入膜盒后，膜盒的自由端盒后，膜盒的自由端产生位移并带动衔铁产生位移并带动衔铁移动，差动变压器产移动，差动变压器产生一正比于压力的输生一正比于压力的输出电压。出电压。1差动变压器 2衔铁 3罩壳 4插头 5通孔 6底座 7膜盒 8接头 9线路板 电感式微压力传感器 2022-10-194.3电涡流传感器电涡流传感器n根据法拉第电磁感应原理，块状金属导体置于根据法拉第电磁感应原理，块状金属导体置于变化的磁场中或在磁场中作切割磁力线运动时，变化的磁场中或在磁场中作切割磁力线运动时，导体内将产生呈涡旋状的感应电流，此电流叫导体内将产生呈涡旋状的感应电流，此电流叫电涡流

28、，这种现象称为电涡流效应。电涡流，这种现象称为电涡流效应。n根据电涡流效应制成的传感器称为电涡流式传根据电涡流效应制成的传感器称为电涡流式传感器。按照电涡流在导体内的贯穿情况，感器。按照电涡流在导体内的贯穿情况，此此传感器可分为高频反射式和低频透射式两类，传感器可分为高频反射式和低频透射式两类，但从基本工作原理上来说仍是相似的。电涡流但从基本工作原理上来说仍是相似的。电涡流式传感器最大的特点是能对位移、厚度、表面式传感器最大的特点是能对位移、厚度、表面温度、速度、应力、材料损伤等进行非接触式温度、速度、应力、材料损伤等进行非接触式连续测量，另外还具有体积小、灵敏度高、频连续测量，另外还具有体积

29、小、灵敏度高、频率响应宽等特点，应用极其广泛。率响应宽等特点，应用极其广泛。2022-10-194.3.1 电涡流传感器的工作原理电涡流传感器的工作原理 n线圈阻抗的变化完全取决于被测线圈阻抗的变化完全取决于被测金属导体的电涡流效应。金属导体的电涡流效应。n而电涡流效应既与被测体的电阻而电涡流效应既与被测体的电阻率率、磁导率、磁导率以及几何形状有关，以及几何形状有关，又与线圈几何参数、线圈中激磁又与线圈几何参数、线圈中激磁电流频率电流频率 有关，还与线圈与导有关，还与线圈与导体间的距离体间的距离x有关。因此，传感有关。因此，传感器线圈受电涡流影响时的等效阻器线圈受电涡流影响时的等效阻抗抗Z的函

30、数关系式为的函数关系式为Z=F（，R，x）电涡流传感器原理图 2022-10-19n如果保持上式中其他参数不变，而只改如果保持上式中其他参数不变，而只改变其中一个参数，传感器线圈阻抗变其中一个参数，传感器线圈阻抗Z就仅就仅仅是这个参数的单值函数。通过与传感仅是这个参数的单值函数。通过与传感器配用的测量电路测出阻抗器配用的测量电路测出阻抗Z的变化量，的变化量，即可实现对该参数的测量。即可实现对该参数的测量。2022-10-194.3.2 电涡流传感器基本结构和类型电涡流传感器基本结构和类型 n1电涡流传感器基本结构电涡流传感器基本结构 n2电涡流传感器基本类型电涡流传感器基本类型 2022-10

31、-191电涡流传感器基本结构电涡流传感器基本结构n电涡流式传感器的基本电涡流式传感器的基本结构主要由线圈和框架结构主要由线圈和框架组成。根据线圈在框架组成。根据线圈在框架上的安置方法，传感器上的安置方法，传感器的结构可分为两种形式：的结构可分为两种形式：一种是单独绕成一只无一种是单独绕成一只无框架的扁平圆形线圈，框架的扁平圆形线圈，由胶水将此线圈粘接于由胶水将此线圈粘接于框架的顶部框架的顶部 图4-26 CZF3型电涡流式传感器 1壳体 2框架 3线圈 4保护套 5填料 6螺母 7电缆 2022-10-19n另一种是在框另一种是在框架的接近端面架的接近端面处开一条细槽，处开一条细槽，用导线在槽

32、中用导线在槽中绕成一只线圈，绕成一只线圈，如图如图4-27所示所示的的CZF1型电涡型电涡流式传感器。流式传感器。图4-27 CZF1型电涡流式传感器1电涡流线圈 2前端壳体 3位置调节螺4信号处理电路 5夹持螺母 6电源指示灯阈值指示灯 8输出屏蔽电缆线 9电缆插头 2022-10-192电涡流传感器基本类型电涡流传感器基本类型n电涡流在金属导体内的渗透深度与传感电涡流在金属导体内的渗透深度与传感器线圈的激励信号频率有关，故电涡流器线圈的激励信号频率有关，故电涡流式传感器可分为高频反射式和低频透射式传感器可分为高频反射式和低频透射式两类。目前高频反射式电涡流传感器式两类。目前高频反射式电涡流

33、传感器应用较广泛。应用较广泛。2022-10-19（1）高频反射式）高频反射式n高频（高频（1MHz）激励电流产生的高）激励电流产生的高频磁场作用于金属板的表面，由于频磁场作用于金属板的表面，由于集肤效应，在金属板表面将形成涡集肤效应，在金属板表面将形成涡电流。与此同时，该涡流产生的交电流。与此同时，该涡流产生的交变磁场又反作用于线圈，引起线圈变磁场又反作用于线圈，引起线圈自感自感L或阻抗或阻抗ZL的变化。线圈自感的变化。线圈自感L或阻抗或阻抗ZL的变化与金属板距离的变化与金属板距离h、金、金属板的电阻率属板的电阻率、磁导率、磁导率、激励电、激励电流流i及角频率及角频率等有关，若只改变距等有关

34、，若只改变距离离h而保持其他参数不变，则可将位而保持其他参数不变，则可将位移的变化转换为线圈自感的变化，移的变化转换为线圈自感的变化，通过测量电路转换为电压输出。高通过测量电路转换为电压输出。高频反射式涡流传感器多用于位移测频反射式涡流传感器多用于位移测量。量。高频反射式电涡流传感器 2022-10-19（2）低频透射式）低频透射式 低频透射式电涡流传感器 2022-10-194.3.3 测量电路测量电路 n1电桥电路电桥电路 n2调幅式（调幅式（AM）电路）电路 n3调频（调频（FM）式电路（）式电路（100kHz1MHz）2022-10-191电桥电路电桥电路n静态时，电桥平衡，桥路输静态

35、时，电桥平衡，桥路输出出UAB0。工作时，传感。工作时，传感器接近被测体，电涡流效应器接近被测体，电涡流效应等效电感等效电感L发生变化，测量发生变化，测量电桥失去平衡，即电桥失去平衡，即UAB0，经线性放大后送检波器检波经线性放大后送检波器检波后输出直流电压后输出直流电压U。2022-10-192调幅式（调幅式（AM）电路）电路n石英振荡器产生稳频、稳幅高频振荡电压（石英振荡器产生稳频、稳幅高频振荡电压（100kHz1MHz）用于激励电涡流线圈。金属材料在高频磁场中）用于激励电涡流线圈。金属材料在高频磁场中产生电涡流，引起电涡流线圈端电压的衰减，再经高放、产生电涡流，引起电涡流线圈端电压的衰减

36、，再经高放、检波、低放电路，最终输出的直流电压检波、低放电路，最终输出的直流电压Uo反映了金属反映了金属体对电涡流线圈的影响）。体对电涡流线圈的影响）。2022-10-193调频（调频（FM）式电路（）式电路（100kHz1MHz）n当电涡流线圈与被测体的距离当电涡流线圈与被测体的距离x 改变时，电涡改变时，电涡流线圈的电感量流线圈的电感量L也随之改变，引起也随之改变，引起LC振荡器振荡器的输出频率变化，此频率可直接用计算机测量。的输出频率变化，此频率可直接用计算机测量。如果要用模拟仪表进行显示或记录时，必须使如果要用模拟仪表进行显示或记录时，必须使用鉴频器，将用鉴频器，将 f转换为电压转换为

37、电压 Uo。2022-10-194.3.4 电涡流传感器的应用电涡流传感器的应用 n涡流式传感器的特点是结构简单，易于进行非涡流式传感器的特点是结构简单，易于进行非接触的连续测量，灵敏度较高，适用性强接触的连续测量，灵敏度较高，适用性强 n 利用位移利用位移x作为变换量，可以做成测量位移、作为变换量，可以做成测量位移、厚度、振幅、振摆、转速等传感器，也可做成厚度、振幅、振摆、转速等传感器，也可做成接近开关、计数器等；接近开关、计数器等；利用材料电阻率利用材料电阻率 作作为变换量，可以做成测量温度，材质判别等传为变换量，可以做成测量温度，材质判别等传感器；感器；利用导磁率利用导磁率 作为变换量，

38、可以做成作为变换量，可以做成测量应力，硬度等传感器；测量应力，硬度等传感器；利用变换量利用变换量x、等的综台影响，可以做成探伤装置。等的综台影响，可以做成探伤装置。2022-10-191测量转速测量转速 n在软磁材料制成的输入轴上加工一键槽在软磁材料制成的输入轴上加工一键槽（或装上一个齿轮状的零件），在距输（或装上一个齿轮状的零件），在距输入表面入表面d0处设置电涡流传感器，输入轴处设置电涡流传感器，输入轴与被测旋转轴相连。与被测旋转轴相连。实物图 2022-10-19原理原理n当旋转体转动时，输出轴的距离发生当旋转体转动时，输出轴的距离发生d0+d的变化。由于电涡流效应，这种变化将导致振的变

39、化。由于电涡流效应，这种变化将导致振荡谐振回路的品质因数变化，使传感器线圈电荡谐振回路的品质因数变化，使传感器线圈电感随感随d的变化也发生变化，它们将直接影响的变化也发生变化，它们将直接影响振荡器的电压幅值和振荡频率。因此，随着输振荡器的电压幅值和振荡频率。因此，随着输入轴的旋转，从振荡器输出的信号中包含有与入轴的旋转，从振荡器输出的信号中包含有与转数成正比的脉冲频率信号。该信号由检波器转数成正比的脉冲频率信号。该信号由检波器检出电压幅值的变化量，然后经整形电路输出检出电压幅值的变化量，然后经整形电路输出脉冲频率信号脉冲频率信号f，该信号经电路处理便可得到，该信号经电路处理便可得到被测转速。被

40、测转速。2022-10-192测位移测位移 n接通电源后，在电涡流探头的有效面（感应工作面）接通电源后，在电涡流探头的有效面（感应工作面）将产生一个交变磁场。当金属物体接近此感应面时，将产生一个交变磁场。当金属物体接近此感应面时，金属表面将吸取电涡流探头中的高频振荡能量，使振金属表面将吸取电涡流探头中的高频振荡能量，使振荡器的输出幅度线性地衰减，根据衰减量的变化，可荡器的输出幅度线性地衰减，根据衰减量的变化，可计算出与被检物体的距离、振动等参数。这种位移传计算出与被检物体的距离、振动等参数。这种位移传感器属于非接触测量，工作时不受灰尘等非金属因素感器属于非接触测量，工作时不受灰尘等非金属因素的

41、影响，寿命较长，可在各种恶劣条件下使用。的影响，寿命较长，可在各种恶劣条件下使用。2022-10-194电涡流接近开关电涡流接近开关 n接近开关又称无触点行程开关。常用的接近开关又称无触点行程开关。常用的接近开关有电涡流式（俗称电感接近开接近开关有电涡流式（俗称电感接近开关）、电容式、磁性干簧开关、霍尔式、关）、电容式、磁性干簧开关、霍尔式、光电式、微波式、超声波式等光电式、微波式、超声波式等 n它能在一定的距离（几毫米至几十毫米）它能在一定的距离（几毫米至几十毫米）内检测有无物体靠近。当物体与其接近内检测有无物体靠近。当物体与其接近到设定距离时，就可以发出到设定距离时，就可以发出“动作动作”

42、信信号。接近开关的核心部分是号。接近开关的核心部分是“感辨头感辨头”，它对正在接近的物体有很高的感辨能力。它对正在接近的物体有很高的感辨能力。2022-10-19实物实物 接近开关外形图2022-10-19原理原理n电涡流式接近开关属于一种开关量输出的位置电涡流式接近开关属于一种开关量输出的位置传感器。原理图如图传感器。原理图如图4-36所示，它由所示，它由LC高频高频振荡器和放大处理电路组成，利用金属物体在振荡器和放大处理电路组成，利用金属物体在接近这个能产生交变电磁场的振荡感辨头时，接近这个能产生交变电磁场的振荡感辨头时，使物体内部产生涡流。这个涡流反作用于接近使物体内部产生涡流。这个涡流

43、反作用于接近开关，使接近开关振荡能力衰减，内部电路的开关，使接近开关振荡能力衰减，内部电路的参数发生变化，由此识别出有无金属物体接近，参数发生变化，由此识别出有无金属物体接近，进而控制开关的通或断。这种接近开关所能检进而控制开关的通或断。这种接近开关所能检测的物体必须是导电性能良好的金属物体。测的物体必须是导电性能良好的金属物体。2022-10-19接近开关原理图接近开关原理图 2022-10-19转速测量2022-10-19接近开关外形n接近开关外形2022-10-19偏心和振动检测2022-10-19电涡流表面探伤掌上型掌上型电涡流电涡流探伤仪探伤仪2022-10-19休息一下！2022-10-19