1、新興新興科技科技實習實習無塵室 課程教授:熊京民 博士 課程助理:阿寶學長 志欽學長 薄膜技術實驗室:ME301 授課時間:星期五 3、4節課 授課地點:ME213網路資源機械系熊京民老師的教學網頁 下載實驗課程的PPT檔案以及實驗課程表http:/140.127.6.1/Hsuing/index2.htm學期實驗進度表課程大綱介紹 實習課程:真空鍍膜(CAPD)真空濺鍍機(Sputter)雷射(LASER)電化學(平板電極)黃光微影 RCA clean 授課方式 新興科技實習選修人數:30人 分為兩組:A組及B組(每組各15人)第一週 課程介紹 第二週B組上課 A組實驗 第三週B組實驗 A組
2、上課 第四週B組上課 A組實驗 第五週B組實驗 A組上課 .分組方式 A、B兩組各分成六小組 A組:三組為3人 三組為2人 B組:三組為3人 三組為2人 PS:於9/25 10點在ME213公佈分組名單真空鍍膜(CAPD)課程內容 1.陰極電弧電漿沉積系統設備介紹2.長晶原理3.製備ZnO薄膜實驗真空濺鍍機(Sputter)1.濺鍍設備介紹2.試片清洗流程3.操作流程介紹4.ZnO薄膜製備及厚膜量測課程內容雷射實驗 1.2雷射機設備與教學2.雷射實驗步驟與檢測課程內容電化學(平板電極)1.恆電位儀設備及教學2.開迴路實驗步驟與量測3.極化曲線實驗步驟與量測課程內容黃光微影製程實驗1.實驗目的及原理2.藥品與儀器3.實驗流程與步驟4.實驗結果課程內容試片清洗(RCA clean)實驗評分方式 1.平時成績 閱讀測驗 30%點名 10%2.繳交實驗報告(實驗一實驗三)30%3.繳交實驗報告(實驗四實驗六)30%Thanks for your attention
