减少污染物传输到洁净室内课件.ppt

1、洁净室的运行与管理南京天惠利净化工程有限公司南京天惠利净化工程有限公司第1章 洁净室的制度与纪律洁净室内的人员是洁净室室内污染的重要来源。洁净室内的人员是洁净室室内污染的重要来源。洁净室内几乎所有的微生物均是来自人员。因此，洁净室内几乎所有的微生物均是来自人员。因此，必须尽可能减少洁净室内人员活动所造成的和传必须尽可能减少洁净室内人员活动所造成的和传播的污染，以确保室内洁净度及降低维护费用。播的污染，以确保室内洁净度及降低维护费用。制订洁净室的纪律，其目的就是使产品的污染风制订洁净室的纪律，其目的就是使产品的污染风险降至最低。险降至最低。1.1 严格控制进入洁净室的人员人在行走时，每分钟可以产

2、生约百万个粒径人在行走时，每分钟可以产生约百万个粒径0.5m的的粒子以及几千个带有微生物的粒子。洁净室内人员越粒子以及几千个带有微生物的粒子。洁净室内人员越多，散发的粒子数量必然也越多。因此，应尽量控制多，散发的粒子数量必然也越多。因此，应尽量控制洁净室内人员数量，也就是说仅允许必需的人员进入洁净室内人员数量，也就是说仅允许必需的人员进入洁净室。洁净室。1.1.1 对洁净室工作人员的基本要求1.对洁净室工作人员身体状况的基本要求；对洁净室工作人员身体状况的基本要求；2.对洁净室工作人员卫生习惯的基本要求；对洁净室工作人员卫生习惯的基本要求；3.对洁净室工作人员携带私人物品的限制。对洁净室工作人

3、员携带私人物品的限制。1.1.2 对洁净室维修人员和服务人员的基本要求1.获得许可方能进入获得许可方能进入2.培训与监督培训与监督3.穿着洁净服穿着洁净服4.洁净室专用工具洁净室专用工具5.带入工具部件需清洗带入工具部件需清洗6.文字、图纸、资料的进入文字、图纸、资料的进入7.产尘作业需隔离产尘作业需隔离8.维修工作后的清扫维修工作后的清扫1.2 洁净室内需遵守的纪律为保证产品不受污染，洁净室内的工作人员必须为保证产品不受污染，洁净室内的工作人员必须遵守相关的行为准则。洁净室管理人员必须制订遵守相关的行为准则。洁净室管理人员必须制订出一套与其洁净室产品要求相适应的规章制度，出一套与其洁净室产品

4、要求相适应的规章制度，在人员培训中，予以宣讲、公布。在人员培训中，予以宣讲、公布。1.2.1 防止沿通道逆向气流增加污染的纪律为防止空气不会从高污染区向低污染区，由洁净为防止空气不会从高污染区向低污染区，由洁净室外走廊向生产车间气流逆向流动，工作人员应室外走廊向生产车间气流逆向流动，工作人员应遵守以下纪律：遵守以下纪律：1.人员必须经过更衣区进出洁净室人员必须经过更衣区进出洁净室2.洁净室所有的门应随时关闭洁净室所有的门应随时关闭3.手动关门、开门的动作要慢手动关门、开门的动作要慢4.穿过气闸室的注意点穿过气闸室的注意点图图1 1 门不得敞开门不得敞开图图.2 门上安装有关门门上安装有关门器器

5、1.2.2 防止工作人员在洁净室内的不当动作增加污染的纪律为保证人员的动作不会在洁净室内造成过多的污为保证人员的动作不会在洁净室内造成过多的污染，应考虑下面的相关建议：染，应考虑下面的相关建议：1.工作人员不允许有不当行为工作人员不允许有不当行为人员污染物的产生量与活动量成正比。因此，要人员污染物的产生量与活动量成正比。因此，要求洁净室所有人员不要求洁净室所有人员不要“轻举妄动轻举妄动”，任何移动，任何移动都应慎重，并按规定要求进行，不允许过多无用都应慎重，并按规定要求进行，不允许过多无用的举止。的举止。图图3 3 粒子散发与人的活动的关系粒子散发与人的活动的关系表1 粒子散发与人的活动的关系

6、0.3m产尘量产尘量活动状况活动状况0.3m产尘量产尘量活动状况活动状况100，000站立或坐下，无活动7，500，000步行500，000站立或坐下，前腕及头轻微活动10，000，000步行1，000，000站立或坐下，全手腕、手、头，躯体运动10，000，000登上椅子的动作2，500，000起立或坐下的动作15，000，000体操5，000，000步行30，000，000跳跃2.操作人员要正确站位操作人员要正确站位人员相对产品而言，应处在正确的位置上，这样人员相对产品而言，应处在正确的位置上，这样污染物才不致落在产品上。人员在单向流中工作污染物才不致落在产品上。人员在单向流中工作时，他们

7、应避免处于产品和洁净空气源之间。操时，他们应避免处于产品和洁净空气源之间。操作方法应预先计划好，使这类污染降至最低。作方法应预先计划好，使这类污染降至最低。水平气流 垂直气流(a)产品保护产品保护(b)(b)人员人员/产品产品/环境保护环境保护图图4 4 在水平、垂直单向流中生产人员的正确站位在水平、垂直单向流中生产人员的正确站位3.移动或拿起产品的方法移动或拿起产品的方法为防止戴有手套的手沾污产品，建议采用为防止戴有手套的手沾污产品，建议采用“无接无接触触”方式抓起产品。虽然在洁净室中人员戴有手方式抓起产品。虽然在洁净室中人员戴有手套，尽管污染会少些，但它仍然可能成为污染源。套，尽管污染会少

8、些，但它仍然可能成为污染源。图图5 不得用手直接触摸产品不得用手直接触摸产品图图6 不得用裸手捏住产品边缘不得用裸手捏住产品边缘图图7 不得用戴手套的手指抓住产品不得用戴手套的手指抓住产品“无接触”方式：长夹子与真空棒的示例图图8 长夹子可减少接触污染长夹子可减少接触污染 图图9 用真空棒抓住产品用真空棒抓住产品4.人员不应靠身体来搬运材料人员不应靠身体来搬运材料尽管人员穿着的洁净服比普通服装或工作服洁净尽管人员穿着的洁净服比普通服装或工作服洁净得多，但服装上仍然存在粒子、纤维及微生物并得多，但服装上仍然存在粒子、纤维及微生物并且有可能因不当操作转移到所搬运的物品上。且有可能因不当操作转移到所

9、搬运的物品上。图图10 不得抱着材料不得抱着材料5.人员不宜触摸、倚靠洁净室的任何表面人员不宜触摸、倚靠洁净室的任何表面尽管洁净室的表面比室外要洁净得多，但在其表尽管洁净室的表面比室外要洁净得多，但在其表面，在室内设备的表面上，仍会存留有粒子、纤面，在室内设备的表面上，仍会存留有粒子、纤维及细菌。如果人员从这些表面上粘上污染物，维及细菌。如果人员从这些表面上粘上污染物，这些污染物就可能传到产品。在洁净室内无需用这些污染物就可能传到产品。在洁净室内无需用手时，宜两手抓紧置于身前手时，宜两手抓紧置于身前象手术医生所做象手术医生所做的那种姿势。的那种姿势。图图11 不得触摸工作台等的表面不得触摸工作

10、台等的表面6.人员在工作时不应说话人员在工作时不应说话说话、咳嗽、打喷嚏等都会使唾液从口罩与皮肤说话、咳嗽、打喷嚏等都会使唾液从口罩与皮肤的缝隙处喷出而污染产品。在咳嗽或打喷嚏时，的缝隙处喷出而污染产品。在咳嗽或打喷嚏时，必须将头从产品处移开。打喷嚏后一般都要更换必须将头从产品处移开。打喷嚏后一般都要更换口罩。口罩一定要罩在鼻子上而不得戴在鼻下。口罩。口罩一定要罩在鼻子上而不得戴在鼻下。图图12 打喷嚏时喷出的打喷嚏时喷出的粒子粒子 图图13 发字母发字母“F”音时喷出的粒子音时喷出的粒子图图14 要正确地佩戴口罩要正确地佩戴口罩1.2.3 防止洁净室内材料使用不当而增加污染的纪律1.在洁净室

11、中应使用污染程度低的抹布在洁净室中应使用污染程度低的抹布2.洁净室之间应尽可能减少材料的移动洁净室之间应尽可能减少材料的移动3.防止加工品被污染防止加工品被污染4.废弃物的处理废弃物的处理1.3 洁净室工作人员的教育培训洁净室内人员的活动对洁净室的整体环境影响深洁净室内人员的活动对洁净室的整体环境影响深远。操作人员缺乏正确指导与规范，洁净室的功远。操作人员缺乏正确指导与规范，洁净室的功效可能完全丧失，产品质量将完全没有保证。因效可能完全丧失，产品质量将完全没有保证。因此，洁净室管理部门要制定对洁净室相关人员的此，洁净室管理部门要制定对洁净室相关人员的教育培训计划与制度。教育培训计划与制度。1.

12、3.1 参与培训的人员国际标准国际标准ISO 14644-5洁净室及相关环境的洁净室及相关环境的“运行运行”篇中规定：培训计划应该保证各组人员都受到适篇中规定：培训计划应该保证各组人员都受到适当的教育与培训。当的教育与培训。其中各组人员包括：操作人员、生产管理巡视人其中各组人员包括：操作人员、生产管理巡视人员、工艺技术人员与科研人员、洁净室设施运行员、工艺技术人员与科研人员、洁净室设施运行维修人员、工程监理人员和项目经理、洁净室施维修人员、工程监理人员和项目经理、洁净室施工人员、服务人员与清洁人员以及来访人员。工人员、服务人员与清洁人员以及来访人员。1.3.2 培训课程的内容国际标准国际标准I

13、SO 14644-5对培训课程的内容提出如下对培训课程的内容提出如下原则作参考。原则作参考。黑体黑体字的标题为字的标题为ISO 14644-5的培训提纲的培训提纲，对，对不同不同的对象、不同的教育背景、理解能力等，培训的的对象、不同的教育背景、理解能力等，培训的具体内容应有所区别。具体内容应有所区别。1.洁净室是如何工作的（设计、气流和空气过滤）洁净室是如何工作的（设计、气流和空气过滤）How the cleanroom works(design,airflow,and air filtration)为什么要设置洁净室、洁净环境对所研究的课题，所生为什么要设置洁净室、洁净环境对所研究的课题，所

14、生产的产品的影响或作用；产的产品的影响或作用；送入洁净室的洁净空气是稀释、排替室内污染物的主要送入洁净室的洁净空气是稀释、排替室内污染物的主要手段；手段；洁净室的送风方式：单向流（垂直、水平）、紊流与混洁净室的送风方式：单向流（垂直、水平）、紊流与混合流；合流；洁净室与邻室压差和整体压力梯度的作用与实现方法。洁净室与邻室压差和整体压力梯度的作用与实现方法。2.洁净室的洁净室的标准（标准（Cleanroom Standards）国家标准国家标准GB50073-2001关于洁净室分级的关于洁净室分级的方法；方法；国际标准国际标准ISO 14644关于洁净室分级的关于洁净室分级的方法；方法；表示分级

15、浓度限值的平行线表示分级浓度限值的平行线图。图。图图15 ISO分级浓度限值图示分级浓度限值图示3.污染源（污染源（Sources of Contamination）人员带入和人体释放的污染；人员带入和人体释放的污染；物料带入的污染；物料带入的污染；工艺过程产生与散发的污染；工艺过程产生与散发的污染；围护结构和设备表面沉积与吸附的污染物二次飞扬；围护结构和设备表面沉积与吸附的污染物二次飞扬；由空调送、回风系统进入的污染；由空调送、回风系统进入的污染；洁净室用品如抹布、笔、纸等选择不当而产生的污染。洁净室用品如抹布、笔、纸等选择不当而产生的污染。4.个人卫生（个人卫生（Personal Hygi

16、ene）强调作为洁净室工作人员个人卫生与生产、科研强调作为洁净室工作人员个人卫生与生产、科研的关系；的关系；洁净室人员应有良好的卫生习惯。洁净室人员应有良好的卫生习惯。5.清洁（清洁（Cleaning）造成二次飞扬；造成二次飞扬；因接触而污染了洁净服、手套、指套，进而污染产品因接触而污染了洁净服、手套、指套，进而污染产品随时随地、频繁地进行清洁；随时随地、频繁地进行清洁；全面、彻底的清洁工作则由清洁人员、清洁公司按照全面、彻底的清洁工作则由清洁人员、清洁公司按照规定来进行。规定来进行。6.洁净服程序（洁净服程序（Cleaning Clothing Procedures）用鞋清洁机、洁净室用粘垫

17、等除掉鞋上的污物；用鞋清洁机、洁净室用粘垫等除掉鞋上的污物；脱去外套等室外服装；脱去外套等室外服装；按要求摘下首饰；按要求摘下首饰；清除化妆品，按要求涂润湿剂（清除化妆品，按要求涂润湿剂（moisturiser）；）；必要时穿上鞋套；必要时穿上鞋套；洗手，必要时涂皮肤润湿剂；洗手，必要时涂皮肤润湿剂；必要时，穿或换上洁净内衣；必要时，穿或换上洁净内衣；6.洁净服程序（洁净服程序（Cleaning Clothing Procedures）换上洁净室专用的内鞋（换上洁净室专用的内鞋（Cleanroom-dedicated under shoes）或鞋套；）或鞋套；领取或拿出洁净服包装袋；领取或拿出

18、洁净服包装袋；如需要，戴上手套再动洁净服；如需要，戴上手套再动洁净服；带上面罩和头套；带上面罩和头套；穿上套服或外衣；穿上套服或外衣；利用跨越台（利用跨越台（crossover bench）穿上鞋套或洁净室专用鞋；）穿上鞋套或洁净室专用鞋；6.洁净服程序（洁净服程序（Cleaning Clothing Procedures）穿洁净服时用的手套可以脱下或仍戴在手上，在其外再穿洁净服时用的手套可以脱下或仍戴在手上，在其外再套上工艺用手套；套上工艺用手套；在通长的镜子前面检查，确保全套装备都穿戴好；在通长的镜子前面检查，确保全套装备都穿戴好；进入洁净室。进入洁净室。7.维护程序（维护程序（Maint

19、enance Procedures）所有这些工作都必须有申报、审核和备案程序；所有这些工作都必须有申报、审核和备案程序；进入的人员应与操作人员相同，依照同样的进入进入的人员应与操作人员相同，依照同样的进入程序和衣着；程序和衣着；整个维护工作应在洁净室管理人员监督下进行；整个维护工作应在洁净室管理人员监督下进行；记录维护工作的全过程，包括问题的诊断、更换记录维护工作的全过程，包括问题的诊断、更换的零件、日期、时间和进行维护的人员等。的零件、日期、时间和进行维护的人员等。8.如何测试和监测洁净室如何测试和监测洁净室（How a Cleanroom is Tested and Monitored）“

20、测试测试”是检验所建洁净室是否达到规定技术指标的是检验所建洁净室是否达到规定技术指标的基本手段和重要程序，洁净室正常运行中，洁净度、基本手段和重要程序，洁净室正常运行中，洁净度、温、湿度、压差等重要指标的监测，是考核洁净室的温、湿度、压差等重要指标的监测，是考核洁净室的受控状态；受控状态；工作人员不能随意变更监测设备的位置，不允许发生工作人员不能随意变更监测设备的位置，不允许发生和妨碍监测仪器正常工作的任何举动；和妨碍监测仪器正常工作的任何举动；测试资料和数据要保存完好。测试资料和数据要保存完好。9.在洁净室内如何行动（在洁净室内如何行动（How to act in a Cleanroom）进

21、入洁净室内的各种人员都按章办事，严格执行洁进入洁净室内的各种人员都按章办事，严格执行洁净室的纪律，不做任何违规的行动；净室的纪律，不做任何违规的行动；在洁净室内按规定路线稳步行走，按规定动作姿式在洁净室内按规定路线稳步行走，按规定动作姿式进行操作等；进行操作等；要让每个工作人员理解规范行动的重要性，使之成要让每个工作人员理解规范行动的重要性，使之成为自我约束的自觉行动。为自我约束的自觉行动。10.解说工艺程序和所采用的技术或科学解说工艺程序和所采用的技术或科学（Explanation of Work Process and Technologies or Sciences Employed）对

22、提高员工的素质，增强工作责任心和自觉地维对提高员工的素质，增强工作责任心和自觉地维护洁净室的制度是有很大帮助的。护洁净室的制度是有很大帮助的。11.安全和应急响应安全和应急响应（Safety and Emergency Respose）洁净室一旦发生火警或遭遇其他自然灾害时，洁洁净室一旦发生火警或遭遇其他自然灾害时，洁净室的人员如何应对？净室的人员如何应对？如何有序撤离？安全通道在何处？如何有序撤离？安全通道在何处？1.3.3 对洁净室人员行为的监控从保证生产、科研的有效性出发，应该对洁净室从保证生产、科研的有效性出发，应该对洁净室培训参与人员的行动进行监控，确保相关人员认培训参与人员的行动进

23、行监控，确保相关人员认真地遵守洁净室的纪律。真地遵守洁净室的纪律。对确实严重违背洁净室纪律的人员需予以警示或对确实严重违背洁净室纪律的人员需予以警示或再培训。通过培训再培训。通过培训考核考核监控监控再培训的完整再培训的完整环节，使得洁净室工作人员的行为达到规章制度环节，使得洁净室工作人员的行为达到规章制度的严格要求。的严格要求。第2章 人员进出洁净室与洁净服装洁净服的类型随洁净室的种类而有所不同；洁净服的类型随洁净室的种类而有所不同；不论选择何种服装，进入洁净室前一定要将其穿不论选择何种服装，进入洁净室前一定要将其穿戴好；戴好；多次使用的洁净服应定期进行清洁和处理；多次使用的洁净服应定期进行清

24、洁和处理；应有科学的保存洁净服的方法。应有科学的保存洁净服的方法。2.1 人员进入洁净室的清洁流程2.1.1 到达洁净室前个人卫生不良的人员不应进入洁净室；个人卫生不良的人员不应进入洁净室；人员沐浴的频繁程度应怎样才合理；人员沐浴的频繁程度应怎样才合理；在洁净服内穿着何种服装最适宜？在洁净服内穿着何种服装最适宜？进入洁净室前必须要去除其所施用的化妆品；进入洁净室前必须要去除其所施用的化妆品；戒指、手表、贵重物品也要求从身上取下来放好。戒指、手表、贵重物品也要求从身上取下来放好。2.1.2 更换洁净服更换洁净服的最好方法就是要保证洁净服外表尽更换洁净服的最好方法就是要保证洁净服外表尽可能少受到污

25、染，更衣室一般分成三个小区：可能少受到污染，更衣室一般分成三个小区：（1）预更（一更）区；）预更（一更）区；（2）更衣（二更）区；）更衣（二更）区；（3）洁净室入口区。）洁净室入口区。1.洁净服一更区洁净服一更区人员在更换洁净服之前，最好先擤鼻子，还要先人员在更换洁净服之前，最好先擤鼻子，还要先上厕所；上厕所；洁净室专用擦鞋机可用来清除鞋上的污染物；洁净室专用擦鞋机可用来清除鞋上的污染物；在洁净室入口处常常使用粘垫或粘毯。在洁净室入口处常常使用粘垫或粘毯。图图16 洁净室用擦鞋机洁净室用擦鞋机 图图1 17 洁净室粘垫洁净室粘垫在预更区中，需要完成下述的任务：在预更区中，需要完成下述的任务：人

26、员脱下便装；人员脱下便装；取下手表和戒指，存放好香烟、打火机、钱夹及其他随身取下手表和戒指，存放好香烟、打火机、钱夹及其他随身物品；物品；去除化妆品，如需要，可以涂润肤霜；去除化妆品，如需要，可以涂润肤霜；戴上一次性软帽或发套；戴上一次性软帽或发套；穿上一次性鞋罩，或换上洁净室专用鞋；穿上一次性鞋罩，或换上洁净室专用鞋；若更衣或二更区没有洗手装置，则宜洗手、并使手干燥；若更衣或二更区没有洗手装置，则宜洗手、并使手干燥；从预更区进入更衣区。这两个区可以用门也可以用换鞋台从预更区进入更衣区。这两个区可以用门也可以用换鞋台作为分界线。作为分界线。2.洁净服二更区洁净服二更区洁净服的穿戴要从上向下顺序

27、进行；洁净服的穿戴要从上向下顺序进行；一套新服装在使用前先要检查其尺寸是否合适；一套新服装在使用前先要检查其尺寸是否合适；戴上口罩和头罩或帽子，头发必须包在里边不得露出来；戴上口罩和头罩或帽子，头发必须包在里边不得露出来；如果洗手装置安装在本区内，那么现在就该洗手，洗手后如果洗手装置安装在本区内，那么现在就该洗手，洗手后就不能再触摸身体易附着污染物的部位，如头发和脸；就不能再触摸身体易附着污染物的部位，如头发和脸；取出连体服将其打开，注意避免衣服碰到地面；取出连体服将其打开，注意避免衣服碰到地面；抓住连体服两个袖口和两个裤角的抓住连体服两个袖口和两个裤角的4个角，先穿进一条腿，个角，先穿进一条

28、腿，再穿进另一条腿；再穿进另一条腿；抓住服装腰部里侧，同时抓住部分服装。抓住服装腰部里侧，同时抓住部分服装。3.洁净室入口区洁净室入口区使用换鞋台穿好洁净室的套鞋或长靴；使用换鞋台穿好洁净室的套鞋或长靴；可以戴上护目镜，能防止眉毛和眼睫毛落在产品上；可以戴上护目镜，能防止眉毛和眼睫毛落在产品上；穿衣镜前检查服装穿戴是否正确；穿衣镜前检查服装穿戴是否正确；在进入洁净室前，还宜踏过粘垫。在进入洁净室前，还宜踏过粘垫。2.1.3 离开洁净室的更衣程序应将返回洁净室时要再次使用的服装保存好，避应将返回洁净室时要再次使用的服装保存好，避免其受到污染。免其受到污染。2.2 人员散发的污染物来源与传播途径2

29、.2.1 人体散发的粒子及其释放机制随人的活动强度增大，散发的粒子数量增多。随人的活动强度增大，散发的粒子数量增多。表2 不同衣着、不同动作时的人体产尘 产尘 衣着 状态0.5m颗粒数（Pcs/（pmin）测试者一般工作服白色无菌工作服全包式洁净工作服静 站3391031131035.6103栗田守敏静 坐3021031121037.45103腕上下运动298010330010318.7103上身前屈224010354010324.2103腕自由运动224010328910320.5103脱 帽1310103/头上下左右63110315110311.2103上身扭动85010326710314

30、.9103屈 身312010360510337.3103踏 步230010386010344.8103步 行29201031010103561032.2.2 微生物的来源与传播途径洁净室空气中大多数带有微生物的粒子均来自洁净室空气中大多数带有微生物的粒子均来自于人员的呼吸及皮肤。人体最外层的外皮细胞于人员的呼吸及皮肤。人体最外层的外皮细胞每每100小时脱落一层。小时脱落一层。表3 人体各部位的带菌或粒子数身体部位细菌或粒子数细菌手1001000个/cm2额104105个/cm2头 皮约106/cm2腋 下106107个/cm2鼻 液107个/g(mL)尿 液约108个/g(mL)粪 便108个

31、/g粒子皮肤的面积约皮肤的置换约每5d更新一次散发的微粒108/d表4 人体表面带菌的种类检出部位经常检出的细菌种类眼葡萄球菌鼻葡萄球菌、G-、G+杆菌棒状杆菌、乳杆菌口葡萄球菌、棒状杆菌、链球菌、奈氏球菌耳葡萄球菌、棒状杆菌、G+、G-杆菌、芽孢杆菌喉链球菌、葡萄球菌、奈氏球菌、乳杆菌头葡萄球菌、棒状杆菌、芽孢杆菌、C-杆菌手葡萄球菌、链球菌、芽孢杆菌2.3 洁净服的设计与制作洁净服的设计、面料的选择与制作直接关系到洁净服的设计、面料的选择与制作直接关系到人员在洁净室中散发尘、菌量的多少，也涉及人员在洁净室中散发尘、菌量的多少，也涉及洁净服的成本及耐久性、清洗便利与否等等方洁净服的成本及耐久

32、性、清洗便利与否等等方面的问题。面的问题。2.3.1 洁净服装设计与面料1.洁净服的类型洁净服的类型标准较低的洁净室中可以穿着拉链式长服戴帽子标准较低的洁净室中可以穿着拉链式长服戴帽子及穿套鞋。及穿套鞋。一般洁净室适合使用分体式洁净服，在较高标准一般洁净室适合使用分体式洁净服，在较高标准的洁净室中，一般使用拉链式连体服、齐膝高的的洁净室中，一般使用拉链式连体服、齐膝高的长靴及一个套入服装领口的头罩。长靴及一个套入服装领口的头罩。a.a.用于标准较低的洁净室用于标准较低的洁净室 b.b.用于一般洁净室用于一般洁净室 c.c.用于标准较高的洁净室用于标准较高的洁净室图图18 18 三种常用类型的洁

33、净服三种常用类型的洁净服2.服装的选择服装的选择不同洁净室中使用的洁净服种类各有不同。美国不同洁净室中使用的洁净服种类各有不同。美国环境科学与技术学会（环境科学与技术学会（IEST）在其推荐准则（）在其推荐准则（RP-CC003.2）中，说明了在不同等级的洁净室内所要）中，说明了在不同等级的洁净室内所要穿着的不同种类的洁净服。穿着的不同种类的洁净服。表5 IEST-RP-CC-003.2中各种级别洁净室的服装类型服装类型ISO 7级与8级（10万级与万级）ISO 6级（100级）ISO 5级（100级）ISO 4级与3级（10级与1级）长服RASAS（NR*）NR两件套ASASASAS连体服A

34、SRRR鞋套RASAS（NR*）NR靴子ASRRR专用鞋ASASASAS发罩RRRR头罩ASASRR面罩ASASRR通讯头盔ASASASAS纺织手套ASASASNR屏障手套ASASASR内服ASASASR注：R=推荐 NR=不推荐 AS=根据具体情况 （NR*）=不推荐用于非单向流表6 无菌洁净室服装类型（IEST RP CC-003.2）服装类型ISO 7级（1万级）ISO 6级和5级（1000级和100级）ISO 4级与3级（10级与1级）长服NRNRNR两件套NRNRNR连体服RRR鞋套NRNRNR靴子RRR专用鞋ASASAS发罩RRR头罩ASRR面罩R*R*R*通讯头盔ASASAS纺织

35、手套屏障手套NRRNRNRRR内服ASASR注：R=推荐 NR=不推荐 AS=根据具体情况 （NR*）=不推荐用于非单向流2.4 洁净室服装的处理与更换洁净室服装在使用过程中会受到污染，必须定期洁净室服装在使用过程中会受到污染，必须定期用清洗干净或新服装替换。一次性的洁净服穿着用清洗干净或新服装替换。一次性的洁净服穿着一次后即扔掉，多次使用的服装要在洁净室洗衣一次后即扔掉，多次使用的服装要在洁净室洗衣房中洗涤。房中洗涤。2.4.1 洁净室服装处理洁净洗衣房是专为洗涤洁净服建造的。图洁净洗衣房是专为洗涤洁净服建造的。图19就是就是一个典型的洁净洗衣房的平面设计图。一个典型的洁净洗衣房的平面设计图

36、。图图19 洁净洗衣房流程图洁净洗衣房流程图2.4.2 换洗频度生产工艺对污染越敏感，服装的换洗频度越高。生产工艺对污染越敏感，服装的换洗频度越高。洁净服可一周换洗一次或一周换洗二次，无菌药洁净服可一周换洗一次或一周换洗二次，无菌药品生产区，欧美各国规定人员每次进入时都要换品生产区，欧美各国规定人员每次进入时都要换上新洗涤的服装。上新洗涤的服装。表7 美国环境科学技术学会推荐准则 IEST RP-CC-003所建议的服装换洗频度洁净度等级ISO 7级和8级（万级与10万级）ISO 6级（千级）ISO5级（百级）ISO 4级（10级）ISO 3级（1级）换洗频度每周2次每周2至3次每日每次进入洁

37、净室时到每日两次每次进入洁净室时第3章 洁净室的日常清洁工作洁净室的设计与建造，都尽其可能地防止产生污洁净室的设计与建造，都尽其可能地防止产生污染，但生产工艺、设备及其维护工作，人员的存染，但生产工艺、设备及其维护工作，人员的存在及其活动等，都会产生污染，并在洁净室中散在及其活动等，都会产生污染，并在洁净室中散布污染。因此，洁净室及设备所有的表面都应频布污染。因此，洁净室及设备所有的表面都应频繁地进行清洁，以防止对生产工艺带来风险。繁地进行清洁，以防止对生产工艺带来风险。3.1 清洁表面和清洁级别的分类对不同区域及其表面的洁净度，要依据其对洁净室对不同区域及其表面的洁净度，要依据其对洁净室的产

38、品和工艺的影响，划分为不同的级别，对不同的产品和工艺的影响，划分为不同的级别，对不同级别的表面宜采用不同的清洁方法，科学地划分表级别的表面宜采用不同的清洁方法，科学地划分表面清洁级别有助于洁净室清洁工作的合理进行。面清洁级别有助于洁净室清洁工作的合理进行。3.1.1 所清洁表面的级别1.关键表面（关键表面（critical surface）处于生产位置周围的表面，应该保持在最清洁的状态，处于生产位置周围的表面，应该保持在最清洁的状态，因为这些表面污染物可直接污染产品和工艺。因为这些表面污染物可直接污染产品和工艺。2.普通洁净室表面（普通洁净室表面（General Cleanroom Surfa

39、ce）洁净室内不处在生产关键位置，或被单向流隔离在外的洁净室内不处在生产关键位置，或被单向流隔离在外的表面，均视为表面，均视为“普通普通”表面，应进行定期的清洁，以防表面，应进行定期的清洁，以防止把污染传输到关键区。止把污染传输到关键区。3.1.1 所清洁表面的级别3.更衣室和气闸室的表面更衣室和气闸室的表面（Surface of Changingrooms and Airlocks）更衣室和气闸室等相对于洁净室而言属于更衣室和气闸室等相对于洁净室而言属于“外区外区”，但这些区域由于人员活动频繁，往往受到高度污染，但这些区域由于人员活动频繁，往往受到高度污染，有必要频繁进行清洁，以降低污染等级

40、，减少污染物有必要频繁进行清洁，以降低污染等级，减少污染物传输到洁净室内。传输到洁净室内。3.1.2 表面清洁级别的分类1.粗放级清洁（粗放级清洁（Gross Cleaning）主要清除粒径大于主要清除粒径大于50m的污染粒子，这种粒径的污的污染粒子，这种粒径的污染物通常是在地面上，也是带入更衣室和气闸室中最染物通常是在地面上，也是带入更衣室和气闸室中最典型的粒子；典型的粒子；生产作业或工艺过程中，破裂或散落的材料残渣是另生产作业或工艺过程中，破裂或散落的材料残渣是另一污染源，一般存在于工作台表面和地面；一污染源，一般存在于工作台表面和地面；工艺设备、洁净室设施的维护、维修也可能散发大粒工艺设

41、备、洁净室设施的维护、维修也可能散发大粒子污染。子污染。3.1.2 表面清洁级别的分类2.中等级清洁（中等级清洁（Intermediate Cleaning）清除粒径在清除粒径在1050m范围的较小污染粒子。中等级清范围的较小污染粒子。中等级清洁的对象是洁净室的一般表面，通常是墙面、工作台洁的对象是洁净室的一般表面，通常是墙面、工作台和洁净通道。在粗放级清洁工作之后，这些较小粒径和洁净通道。在粗放级清洁工作之后，这些较小粒径的污染物往往依然存在，而中等级清洁工作则能为这的污染物往往依然存在，而中等级清洁工作则能为这些表面提供较高一级的清洁度。些表面提供较高一级的清洁度。3.1.2 表面清洁级别

42、的分类3.精细级清洁（精细级清洁（Precision Cleaning）清除粒径在清除粒径在10m以下的剩余微粒污染，一般用于以下的剩余微粒污染，一般用于清洁存贮和加工产品的关键表面或附近的表面。清洁存贮和加工产品的关键表面或附近的表面。3.1.3 典型清洁方法的适用范围1.真空清洁（真空清洁（Vacuum Cleaning）可作为普通表面和关键表面的粗放和中等级别清洁的第可作为普通表面和关键表面的粗放和中等级别清洁的第一步基础工序；一步基础工序；真空作业要单向行进，尽量减少在地面和作业高度产生真空作业要单向行进，尽量减少在地面和作业高度产生空气紊流；空气紊流；如果真空清洁系统能允许吸入湿材料

43、，将有助于清除拖如果真空清洁系统能允许吸入湿材料，将有助于清除拖擦过程中和过程后产生的过量水分和悬浮粒子。擦过程中和过程后产生的过量水分和悬浮粒子。图图20 湿法真空系统正在清洁地面的图例湿法真空系统正在清洁地面的图例3.1.3 典型清洁方法的适用范围2.湿法清洁（湿法清洁（Wet Cleaning）各个清洁阶段或级别都可采用湿法清洁。各个清洁阶段或级别都可采用湿法清洁。3.擦洗（擦洗（Serubbing）属于粗放级清洁，可采用机械或人工清除污斑或属于粗放级清洁，可采用机械或人工清除污斑或严重的污染区域。严重的污染区域。3.1.3 典型清洁方法的适用范围4.拖擦（拖擦（mopping）在粗放级

44、和中等级清洁中，是有效清除微粒的方在粗放级和中等级清洁中，是有效清除微粒的方法。使用过滤的去离子水（法。使用过滤的去离子水（clean-filtered deionised water）或蒸馏水（）或蒸馏水（distilled water）在水桶中清洗）在水桶中清洗拖布，拖布要勤洗，水要勤换，避免再次污染。拖布，拖布要勤洗，水要勤换，避免再次污染。拖擦要采用合理的方法进行，重叠拖擦行程，保拖擦要采用合理的方法进行，重叠拖擦行程，保证地面得到全面清洁。证地面得到全面清洁。（a a）墙及顶等表面用拖布）墙及顶等表面用拖布 （b b）地板用拖布）地板用拖布图图21 21 洁净室常见的拖布类型洁净室常

45、见的拖布类型图图22 22 三桶式拖地方法示意图三桶式拖地方法示意图 图图23 双桶与三桶拖地清洁车双桶与三桶拖地清洁车3.1.3 典型清洁方法的适用范围5.潮湿清洁潮湿清洁擦拭技术（擦拭技术（wiping techniques）用于普通和关键表面的中）用于普通和关键表面的中等或精细级别的清洁；等或精细级别的清洁；选择擦拭用品十分关键，用什么清洁液来润湿抹布，取选择擦拭用品十分关键，用什么清洁液来润湿抹布，取决于要清除污染的类别。决于要清除污染的类别。擦拭时一定要单方向并重叠行程，从最关键区向低关键擦拭时一定要单方向并重叠行程，从最关键区向低关键区行进。擦拭过程中，应将抹布折叠起来，每行程仅使

46、区行进。擦拭过程中，应将抹布折叠起来，每行程仅使用部分面积，新的行程换用未使用的部分。擦拭物要及用部分面积，新的行程换用未使用的部分。擦拭物要及时、经常更换，避免擦拭在抹布上的污染物又转移到其时、经常更换，避免擦拭在抹布上的污染物又转移到其它表面。它表面。图图24 24 对对“外区外区”与与“普通区普通区”的例行清洁的例行清洁图图25 25 对对“关键区关键区”的清洁的清洁1.清洁计划的制定清洁计划的制定将洁净室内的所有表面按关键的、一般的或其它将洁净室内的所有表面按关键的、一般的或其它的表面进行分类。的表面进行分类。确定达到相应洁净度级别要求的最佳清洁和表面确定达到相应洁净度级别要求的最佳清

47、洁和表面处理方法。处理方法。确定每一种表面维持需要洁净度水平所需清洁的确定每一种表面维持需要洁净度水平所需清洁的频率（频率（cleaning frequency）确定在正常工作时间内可以完成哪种清洁作业。确定在正常工作时间内可以完成哪种清洁作业。准备清洁工作日程安排表。准备清洁工作日程安排表。2.清洁的频率和监测清洁的频率和监测大部分清洁工作都应按正规的时间安排定期、频大部分清洁工作都应按正规的时间安排定期、频繁地进行，只有小部分清洁作业虽按正规的时间繁地进行，只有小部分清洁作业虽按正规的时间安排定期进行，但无需过于频繁。安排定期进行，但无需过于频繁。清洁频率可概括为以下几种情况：每日清洁、定

48、清洁频率可概括为以下几种情况：每日清洁、定期清洁、施工或维护期间及其后的清洁期清洁、施工或维护期间及其后的清洁以及紧急情况时的清洁以及紧急情况时的清洁表8 与各建设阶段相关的清洁计划阶段目的责任方法标准第1阶段拆 迁/设 计期间的清洁防止不必要的污垢积聚在某些地方，给后期建设中的清洁工作因难以进入而带来困难承包商。如果承包商在洁净室的清洁方面没有经验，建议雇用专业的洁净室清洁承包商完工时真空清洁目检清洁第2阶段动力设施安装期间的清洁清除由于安装电、气、水等而造成的污染安装工程师完工时真空清洁；用潮湿的擦拭物擦拭管道和固定器具。有必要使用真空清洁和/或其它清洁材料目检清洁第3阶段时期建设时的清洁

49、建设和安装完工后应该清除掉吊顶、墙、地面、(过滤器装置)等上面可见的污染清洁承包商真空清洁；用潮湿的擦拭物擦拭管道和固定器具。必要时可在地面上铺保护性密封材料目检清洁表8 与各建设阶段相关的清洁计划（续表1）阶段目的责任方法标准第4阶段准备安装空调管道安装前，用真空吸尘器和擦拭物把管道上的所有污垢都清除掉。同时，洁净室内要引入正压安装工程师和清洁承包商真空清洁；用潮湿的擦拭物擦拭。擦拭清洁第5阶段把空气过滤器安装到系统中之前的清洁清除掉吊顶、墙和地面上沉积的或固定的污垢清洁承包商用潮湿的擦拭物擦拭。擦拭清洁第6阶段把(HEPA/ULPA)过滤器安装到空气系统中清除由于安装作业可能带来的污染有洁

50、净室HVAC过滤器技术的技术人员清洁各个面上的所有表面边沿擦拭清洁表8 与各建设阶段相关的清洁计划（续表2）阶段目的责任方法标准第7阶段调 节 空 调设备清除气流中的悬浮污染，创建正压设施，包括过滤器。有洁净室HVAC过滤器技术的技术人员空调空气冲洗作业擦拭清洁第8阶段把 房 间 升级 到 规 定的级别清除各表面上沉积的和附着的污垢(顺序：吊顶、墙、设备、地面)。专业的洁净室清洁人员，经过在规程、常规和行为方面的特殊指导。用潮湿的擦拭物擦拭。擦拭清洁第9阶段鉴定按规定的设计技术规格书检验洁净室。由用户验收。安装工程师和谁工程师监测悬浮的和表面的粒子、空气速度、温度和湿度。擦拭清洁。结果要与商定