1、2022-12-15电子科大微电子工艺金属化1电子科大微电子工艺金电子科大微电子工艺金属化属化电子科大微电子工艺金属化1电子科大微电子工艺金属化1金属化连接接触孔接触孔电子科大微电子工艺金属化1电子科大微电子工艺金属化1电子科大微电子工艺金属化1电子科大微电子工艺金属化1电子科大微电子工艺金属化1电子科大微电子工艺金属化1电子科大微电子工艺金属化1电子科大微电子工艺金属化1电子科大微电子工艺金属化1电子科大微电子工艺金属化1电子科大微电子工艺金属化1电迁徙电迁徙电子科大微电子工艺金属化1电子科大微电子工艺金属化1电子科大微电子工艺金属化1电子科大微电子工艺金属化1电子科大微电子工艺金属化1电子
2、科大微电子工艺金属化1电子科大微电子工艺金属化1电子科大微电子工艺金属化1电子科大微电子工艺金属化1电子科大微电子工艺金属化1电子科大微电子工艺金属化1电子科大微电子工艺金属化1电子科大微电子工艺金属化1电子科大微电子工艺金属化1电子科大微电子工艺金属化1电子科大微电子工艺金属化1电子科大微电子工艺金属化1电子科大微电子工艺金属化1电子科大微电子工艺金属化1电子科大微电子工艺金属化1电子科大微电子工艺金属化1电子科大微电子工艺金属化1机械泵机械泵Roughing pumpHi-Vac valve高真空阀高真空阀高真空泵高真空泵Hi-Vac pumpProcess chamber工艺腔（钟罩工艺
3、腔（钟罩)Crucible坩锅坩锅Evaporating metal蒸发金属蒸发金属Wafer carrier 载片台载片台电子科大微电子工艺金属化1电子科大微电子工艺金属化1电子科大微电子工艺金属化1 电子束蒸发系统电子科大微电子工艺金属化1电子科大微电子工艺金属化1电子科大微电子工艺金属化1电子科大微电子工艺金属化1电子科大微电子工艺金属化1电子科大微电子工艺金属化1Exhauste-e-e-DC直流二极管溅射装直流二极管溅射装置置Substrate 1)电场产生电场产生Ar+离离子子 2)高能高能Ar+撞击撞击靶材靶材 3)将金属原子从靶将金属原子从靶材中撞出材中撞出.阳极阳极(+)阴极
4、阴极(-)Ar原子原子电场电场金属靶材金属靶材等离子体等离子体 5)金属淀积在衬底金属淀积在衬底上上 6)用真空泵将用真空泵将多于物质从腔体中多于物质从腔体中抽出抽出4)金属原子向衬底迁移金属原子向衬底迁移Gas delivery电子科大微电子工艺金属化1+0高能量的高能量的Ar+离子离子被溅射出的金属原子被溅射出的金属原子金属原子金属原子阴极阴极(-)弹回的氩离子和自由电弹回的氩离子和自由电子复合形成中性原子子复合形成中性原子电子科大微电子工艺金属化1电子科大微电子工艺金属化1电子科大微电子工艺金属化1电子科大微电子工艺金属化1电子科大微电子工艺金属化1电子科大微电子工艺金属化1电子科大微电子工艺金属化1 WF6+3 H2 W+6 HF 电子科大微电子工艺金属化1电子科大微电子工艺金属化1金属淀积系统2022-12-15电子科大微电子工艺金属化1
