1、 平面度是指基片具有的宏观凹凸高度相对理想平面的偏差。平面的平面度公差符号、基本表示方法，如图1所示。图1 平面度误差是指被测实际表面相对其理想表面的变动量，理想平面的位置应符合最小条件，平面度误差属于形位误差中的形状误差。平面度误差的测量方法 直接测量法 间接测量法 通过测量可直接获得平面上各点坐标值或能直接评定平面度误差值的方法。具体如下:1、平晶干涉法 2、测微表测量法 3、光轴法、液面法等。干涉法测量平面度误差，是把平晶放在它所能覆盖的整个被测平面上，用平晶工作面体现理想平面，根据测量时出现的干涉条纹形状和数目，由计算所得的结果作为平面度误差值，如图所示。该方法只适合测量精研小平面 及
2、小光学元件。图2 平晶干涉法 如图3所示，用3个可调支承将被测件支撑在标准平板上，用测微仪指示。调整可调支承，用三点法或四点法（对角线法）进行测量。然后用测微仪读出被测表上各点的最大与最小读数差作为平面度误差值的测量结果。图3 测微表法 该测量方法适用于车间较低精度、中等尺寸的工件。如图所示，光轴法测量平面度误差是利用准直类仪器2、以它的光轴经转向棱镜3扫描的平面作为测量基准，将瞄准靶1放置在实际被测平面4上，按选定的 布点，测出各测点相对于该测 量基准的偏离量，再经数据处 理评定平面误差值。图4 光轴法 特点：测量精度高，但数据处理麻烦。因被测平面需测若干个截面，而各截面内的偏差值在测量时不
3、是由同一基准产生，故须经复杂的数据后，才能获得各测量截面相对统一基准的坐标值。适用于中大平面的测量。测量方法：水平仪法、自准仪法、互检法 原理：以自然水平面作为测量基础。测量时，先把被测表面调到基本水平，然后把水平仪放在桥板上，再把桥板置于被测表面上，按照一定的布线逐渐测量，同时记录各测点的读数，根据测得的读数通过数据处理，即可 得平面度误差值。分类：依布线方法不同又分 为水平面法和对角线法。图5 水平仪法水平面法 采用网格布点，基准平面为过被测表面上的某给定点且与水平面平行的几何平面：测量时应采用同一桥板，各测点的同一坐标值用累积法求得，计算比较简单。测量时选择不同的起始点和不同的测量线，其
4、数据处理的方法、结果不同。存在一个最佳结果对角线法 采用对角线布点。过渡基准平面是：过被测表面的一条对角线，且平行于被测表面的另一条对角线的平面。测量时常须用三块长度不同的板桥。数据处理较麻烦。原理：用自准仪测量平面度误差时，是将自准仪置于被测零件之外的基准上，将反向镜放在桥板上，并将桥板置于被测表面上。测量时先把自准仪与被测表面调整到基本平行，然后用测量值限度误差的方法测量出逐一布线的直线度，通过数据处理，得到被测平面的平面度。平晶干涉法可利用技术光波干涉法直接读数，故多块平晶间可以相互自检，而不需要标准器。如三块平晶互检。1、光学平直度测量仪 主要用于测量零件表面的直线 度和平面度，并用于设备安装位 置的正确性及较小倾角的测量 精度：0.01mm/m测量范围：0-10mm 2、LMF激光平面度检测仪 LFM激光平面度检测仪 主要 由大理石台面、几座、置于大 理石台面上的激光测头、电 脑及电气控制柜所组成。广泛应用于大尺寸平面型工件：PDP背板、平板型冲压件、大尺寸硬质塑料的测量。校准范围0.0017mm/m或更大)应用领域：机械加工中心、注塑机和压力机、飞机组装、轧辊平行度校准、高精度激光水射流切割机、测量和校 准任何表面 的平面度（方形、框架、路面、法兰、圆形等）
