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人力资源管理—理论与实务(同名26)课件.ppt

1、8-18-28-38-48-18-28-38-48-1前言前言8.1工具機的構造工具機的構造8.2一般工具機一般工具機8.3電腦數值控制工具機電腦數值控制工具機8.4特殊工具機特殊工具機8-18-28-38-4工具機工具機(Machine tool)在製造系統中扮演著基礎而在製造系統中扮演著基礎而重要的角色,根據國際標準組織重要的角色,根據國際標準組織(ISO)所敘述的定所敘述的定義為無論是製造出胚料或產品,有無切屑產生,義為無論是製造出胚料或產品,有無切屑產生,將固體材料藉由一動力源的驅動,以物理的、化將固體材料藉由一動力源的驅動,以物理的、化學的或其他的方法進行成形加工的機械。學的或其他的

2、方法進行成形加工的機械。8-18-18-28-38-4工具機可依據其特定目的或構造等,加以分類如工具機可依據其特定目的或構造等,加以分類如下列所述下列所述:1.依加工運動的方式依加工運動的方式工具機的動力源工具機的動力源(例如馬達例如馬達)產生動力,使工件和刀具間產生產生動力,使工件和刀具間產生 相對運動,用以進行材料移除作用,稱此為成形運動。需包相對運動,用以進行材料移除作用,稱此為成形運動。需包 括切削運動括切削運動(又稱為主運動又稱為主運動)和進給運動。和進給運動。8-18-18-28-38-4切削運動為直線形式的工具機有鉋床、插床和拉床等。切切削運動為直線形式的工具機有鉋床、插床和拉床

3、等。切削運動為旋轉形式的工具機又可進一步分為削運動為旋轉形式的工具機又可進一步分為:工件旋轉者:例如車床、搪床等工件旋轉者:例如車床、搪床等 刀具旋轉者:例如鑽床、銑床等刀具旋轉者:例如鑽床、銑床等 工件和刀具同時旋轉者:例如外圓磨床等工件和刀具同時旋轉者:例如外圓磨床等8-18-18-28-38-42.依適用範圍的程度依適用範圍的程度 泛用工具機泛用工具機(General purpose machine tool)專用工具機專用工具機(Special purpose machine tools)3.依操作控制的方式依操作控制的方式產品數量與產品變化性和適用工具機的關係,如圖產品數量與產品變化

4、性和適用工具機的關係,如圖8.1所示。所示。8-18-18-28-38-48-18-18-28-38-4工具機的發展主要受到下列因素的影響工具機的發展主要受到下列因素的影響:1.動力源和傳動機構的改進動力源和傳動機構的改進2.刀具材料切削性能的提升刀具材料切削性能的提升3.產品精度要求的提高產品精度要求的提高4.經濟性生產規模的要求經濟性生產規模的要求5.新興工程技術的崛起新興工程技術的崛起8-18-18-28-38-48.1工具機的構造工具機的構造一般切削作用工具機的主要構造包括三大部份一般切削作用工具機的主要構造包括三大部份:1.由床座與機架、導軌系統和主軸與軸承系統等三者所構成由床座與機

5、架、導軌系統和主軸與軸承系統等三者所構成的本體結構的本體結構2.主驅動與轉速機構和進給定位等構成的傳動機構主驅動與轉速機構和進給定位等構成的傳動機構3.以及控制系以及控制系8-18-18-28-38-4床座與機架用於提供一穩固的基礎,目的在承受床座與機架用於提供一穩固的基礎,目的在承受工具機其他機構或刀具切削時,所產生的各種靜工具機其他機構或刀具切削時,所產生的各種靜態及動態負荷。態及動態負荷。故對其特性的要求為需具有良好的剛性、熱穩定故對其特性的要求為需具有良好的剛性、熱穩定性、耐磨耗性和制振性等。性、耐磨耗性和制振性等。導軌系統又稱為滑道與滑面系統,用於引導工作導軌系統又稱為滑道與滑面系統

6、,用於引導工作檯或刀座做直線或圓周運動,同時需承受工作檯檯或刀座做直線或圓周運動,同時需承受工作檯及工件的靜態負荷與切削時產生的動態負荷。及工件的靜態負荷與切削時產生的動態負荷。8-18-18-28-38-4主軸與軸承系統的功用是做為刀具或工件在切削主軸與軸承系統的功用是做為刀具或工件在切削時的支撐,使切削運動能保持一定的準確度。時的支撐,使切削運動能保持一定的準確度。8-18-18-28-38-4工具機之所以能有效且具經濟性地發揮其功能,工具機之所以能有效且具經濟性地發揮其功能,是在於它具備有適當的主軸轉速及進給傳動機構是在於它具備有適當的主軸轉速及進給傳動機構,用以產生所需的切削速度和進給

7、。,用以產生所需的切削速度和進給。切削速度和主軸旋轉速度的關係已於第七章中敘切削速度和主軸旋轉速度的關係已於第七章中敘述過。述過。主軸轉速分段的方式可分為有段變速和無段變速兩種類型主軸轉速分段的方式可分為有段變速和無段變速兩種類型8-18-18-28-38-4目前工具機絕大多數是使用馬達目前工具機絕大多數是使用馬達(又稱為電動機又稱為電動機)做為動力源來驅動各種傳動機構。做為動力源來驅動各種傳動機構。液壓傳動機構亦可用於驅動工具機的主軸旋轉和液壓傳動機構亦可用於驅動工具機的主軸旋轉和進給運動。進給運動。進給定位傳動機構常用者有螺桿驅動、齒輪與齒進給定位傳動機構常用者有螺桿驅動、齒輪與齒條驅動和

8、蝸桿與齒條驅動等三種方式。條驅動和蝸桿與齒條驅動等三種方式。在長行程的進給時,使用長螺桿可能會有挫屈在長行程的進給時,使用長螺桿可能會有挫屈(Buckling)現象發生,故可改用齒輪與齒條驅動。現象發生,故可改用齒輪與齒條驅動。8-18-18-28-38-4電動控制中用以產生自動控制指令的方式有電動控制中用以產生自動控制指令的方式有:1.順序程式控制順序程式控制(Sequence program control,SPC)2.仿削控制仿削控制(Tracer control,TC)3.數值控制數值控制(Numerical control,NC)將各種加工控制指令預先編製成程式,記錄於適當的記憶體將

9、各種加工控制指令預先編製成程式,記錄於適當的記憶體中,經數值控制器讀取後,進行自動控制加工。中,經數值控制器讀取後,進行自動控制加工。8-18-18-28-38-4自動控制系統的種類包括自動控制系統的種類包括:1.開迴路控制系統開迴路控制系統(Open-loop control system)如圖如圖8.2(a)所示,若有誤差也沒有辦法立即得知可以及早修所示,若有誤差也沒有辦法立即得知可以及早修正,故系統控制精度較差。正,故系統控制精度較差。2.閉迴路控制系統閉迴路控制系統(Closed-loop control system)如圖如圖8.2(b)所示控制精度較好,大部份的數值控制工具機是所示

10、控制精度較好,大部份的數值控制工具機是採用此種控制系統。採用此種控制系統。8-18-18-28-38-43.適應性控制系統適應性控制系統(Adaptive control system)加工進行中的反應參數,例如振動、切削力、主刀刃口位置加工進行中的反應參數,例如振動、切削力、主刀刃口位置等的測量值,經裝設有最佳化演算的裝置處理後,產生回饋等的測量值,經裝設有最佳化演算的裝置處理後,產生回饋訊號送至各控制單元對原設定的加工條件進行調整再送出驅訊號送至各控制單元對原設定的加工條件進行調整再送出驅動修正指令,如圖動修正指令,如圖8.2(c)所示。所示。8-18-18-28-38-48-18-18-

11、28-38-48-18-18-28-38-48.2 一般工具機一般工具機指依靠操作人員的手動控制方式,或機械式自動指依靠操作人員的手動控制方式,或機械式自動控制方式的工具機,主要用於製造較少量的產品控制方式的工具機,主要用於製造較少量的產品或新開發的原型製品。或新開發的原型製品。8-28-18-28-38-4車床主要是利用單鋒刀具對圓形截面工件進行切車床主要是利用單鋒刀具對圓形截面工件進行切削操作的工具機,為使用歷史最久且最普遍的切削操作的工具機,為使用歷史最久且最普遍的切削加工機器。削加工機器。車床的主要構造是由頭座車床的主要構造是由頭座(Head stock)、刀具溜、刀具溜座座(Carr

12、iage)、尾座、尾座(Tail stock)、床座、床座(Bed)和進和進給及切螺紋機構給及切螺紋機構(Feeding and thread-cutting mechanism)等五大部份所組成。等五大部份所組成。8-28-18-28-38-4車床主要的附屬裝置有三爪夾頭車床主要的附屬裝置有三爪夾頭(Chuck)、四爪、四爪夾頭、組合夾頭、電磁夾頭和液動夾頭等用以夾夾頭、組合夾頭、電磁夾頭和液動夾頭等用以夾持一般工件。持一般工件。8-28-18-28-38-4車床依其適用的加工場合及控制方式等被設計成車床依其適用的加工場合及控制方式等被設計成不同的類型,一般分為不同的類型,一般分為:1.普通

13、車床普通車床2.檯式車床檯式車床(Bench lathe)3.六角車床六角車床4.自動車床自動車床(Automatic lathe)5.靠模車床靠模車床(Copying lathe)6.立式車床立式車床(Vertical lathe)8-28-18-28-38-4鑽床是利用鑽頭在工件上進行圓孔加工的工具機,鑽床是利用鑽頭在工件上進行圓孔加工的工具機,為一種執行單一目標的簡單機器。為一種執行單一目標的簡單機器。鑽床的主要構造包括床座鑽床的主要構造包括床座(底座底座)、直立的機柱、直立的機柱、主軸、轉速機構、進給機構和工作檯等。主軸、轉速機構、進給機構和工作檯等。鑽床的規格是以可鑽削的最大孔徑、旋

14、徑、床座鑽床的規格是以可鑽削的最大孔徑、旋徑、床座大小、主軸下端到床座面的距離等加以描述。鑽大小、主軸下端到床座面的距離等加以描述。鑽床主要的附屬裝置有鑽頭夾頭床主要的附屬裝置有鑽頭夾頭(Drill chuck)用於用於夾持直柄鑽頭,鑽頭套筒夾持直柄鑽頭,鑽頭套筒(Drill sleeve)用於夾持錐用於夾持錐度柄鑽頭,和虎鉗度柄鑽頭,和虎鉗(Vise)用於夾持工件。用於夾持工件。8-28-18-28-38-4鑽床依其構造和加工目的可分為鑽床依其構造和加工目的可分為:1.檯式鑽床檯式鑽床(Bench drilling machine)2.立式鑽床立式鑽床(Upright drilling ma

15、chine)3.旋臂鑽床旋臂鑽床(Radial drilling machine)4.成排鑽床成排鑽床(Gang drilling machine)5.多軸鑽床多軸鑽床(Multiple spindle drilling machine)6.六角鑽床六角鑽床(Turret drilling machine)7.深孔鑽床深孔鑽床(Deep hole drilling machine)8-28-18-28-38-4銑床是使用多鋒的圓形狀銑刀對任何截面形狀的銑床是使用多鋒的圓形狀銑刀對任何截面形狀的工件進行平面、曲面、輪廓、溝槽等不同切削形工件進行平面、曲面、輪廓、溝槽等不同切削形式加工的工具機。式

16、加工的工具機。由於銑床的用途非常廣泛且加工精度良好,故成由於銑床的用途非常廣泛且加工精度良好,故成為機械工廠中不可或缺且為最常使用的機器之一。為機械工廠中不可或缺且為最常使用的機器之一。8-28-18-28-38-4銑床大致分為:銑床大致分為:1.臥式銑床臥式銑床2.立式銑床立式銑床3.萬能銑床萬能銑床4.床型銑床床型銑床5.龍門銑床龍門銑床6.靠模銑床靠模銑床7.螺紋銑床螺紋銑床8.工具銑床工具銑床8-28-18-28-38-4搪床是使用單鋒或多鋒的搪孔刀,對工件上已存搪床是使用單鋒或多鋒的搪孔刀,對工件上已存在的孔做孔徑擴孔或內孔壁表面的精加工。在的孔做孔徑擴孔或內孔壁表面的精加工。搪床也

17、可配合其他刀具做車削、銑削、鑽孔或攻搪床也可配合其他刀具做車削、銑削、鑽孔或攻螺紋等工作。螺紋等工作。拉床是以不同形狀的拉刀在工件已有的孔內壁表拉床是以不同形狀的拉刀在工件已有的孔內壁表面或工件本身的外表面上,拉削出所需形狀的工面或工件本身的外表面上,拉削出所需形狀的工具機。具機。8-28-18-28-38-4磨床是使用高速旋轉的磨輪對工件做精密加工的磨床是使用高速旋轉的磨輪對工件做精密加工的工具機。工具機。磨輪的功用和銑刀類似,但其切削作用是由許多磨輪的功用和銑刀類似,但其切削作用是由許多小磨料顆粒所形成的類似切削刀具所完成,這些小磨料顆粒所形成的類似切削刀具所完成,這些磨料顆粒並無一定的形

18、狀。磨料顆粒並無一定的形狀。磨削加工可得到高尺寸精度及良好表面粗糙度的磨削加工可得到高尺寸精度及良好表面粗糙度的加工面,且適合於高硬度材料的加工。加工面,且適合於高硬度材料的加工。8-28-18-28-38-4磨床的選用和被磨削工件的形狀有關,其種類及磨床的選用和被磨削工件的形狀有關,其種類及構造分別敘述如下構造分別敘述如下:1.平面磨床平面磨床(Surface grinder)2.外圓磨床外圓磨床(Cylindrical grinder)3.內圓磨床內圓磨床(Internal grinder)4.無心磨床無心磨床(Centerless grinder)5.工具磨床工具磨床(Tool grin

19、der)6.特殊磨床特殊磨床(Special grinder)8-28-18-28-38-48.3電腦數值控制工具機電腦數值控制工具機控制控制(Numerical Control,NC)是利用電子計算機是利用電子計算機的原理,將數字及符號等資料轉換成一系列可判的原理,將數字及符號等資料轉換成一系列可判讀的訊號,用以控制機器依事先設定的各種加工讀的訊號,用以控制機器依事先設定的各種加工方式及條件,使達成各種自動化控制的目的。方式及條件,使達成各種自動化控制的目的。以電腦結合數值控制原理所形成的電腦數值控制以電腦結合數值控制原理所形成的電腦數值控制(Computer numerical contr

20、ol,CNC)已廣泛地應已廣泛地應用於各類型工具機,成為各種產業邁向自動化、用於各類型工具機,成為各種產業邁向自動化、精密化及省力化發展趨勢的必備機具。精密化及省力化發展趨勢的必備機具。8-38-18-28-38-4CNC工具機具有下列的優點工具機具有下列的優點:1.可提高產品設計與加工的彈性。可提高產品設計與加工的彈性。2.可免除人為加工誤差。可免除人為加工誤差。3.減少工模、夾具等加工前置作業的準備時間及費用。減少工模、夾具等加工前置作業的準備時間及費用。4.一部一部CNC工具機可進行多種加工。工具機可進行多種加工。5.可使製造成本降低。可使製造成本降低。6.現場操作人員的技術要求較低、工

21、作負荷較輕且安全性也較現場操作人員的技術要求較低、工作負荷較輕且安全性也較高。高。8-38-18-28-38-4CNC工具機的缺點有工具機的缺點有:1.機具設備相對比較貴機具設備相對比較貴2.維護保養的要求較高,且故障的機會較多維護保養的要求較高,且故障的機會較多3.需有程式設計人員的訓練與培養需有程式設計人員的訓練與培養4.對形狀簡單的少量生產而言,並不符合經濟效益對形狀簡單的少量生產而言,並不符合經濟效益8-38-18-28-38-4數值控制的意義為利用數值資料來控制機器的運數值控制的意義為利用數值資料來控制機器的運轉。轉。程式是由控制工具機執行各種動作的一系列指令程式是由控制工具機執行各

22、種動作的一系列指令所組成,程式指令也就是操作者和數控工具機之所組成,程式指令也就是操作者和數控工具機之間溝通的橋樑。間溝通的橋樑。程式設計製作的基本流程如圖程式設計製作的基本流程如圖8.3所示。所示。8-38-18-28-38-48-38-18-28-38-4程式編輯的目標在控制刀具與工件的相對運動,程式編輯的目標在控制刀具與工件的相對運動,使得到所要的工件形狀、尺寸及表面特性。使得到所要的工件形狀、尺寸及表面特性。需先設定刀具與工件在加工中的相對運動路徑,需先設定刀具與工件在加工中的相對運動路徑,此動作是由座標系統的座標值來導引。此動作是由座標系統的座標值來導引。數控工具機在應用上通常採用的

23、座標系統有卡式數控工具機在應用上通常採用的座標系統有卡式(Cartesian)座標系統和極座標系統和極(Polar)座標系統。座標系統。座標值的表示法又可分成絕對座標座標值的表示法又可分成絕對座標(Absolute positioning)和增量座標和增量座標(Incremental positioning)。8-38-18-28-38-4由於數控工具機要求的加工範圍和加工精度各有由於數控工具機要求的加工範圍和加工精度各有不同,故加工路徑的控制系統也會隨之選用不同不同,故加工路徑的控制系統也會隨之選用不同者,其基本的形式有三種,如圖者,其基本的形式有三種,如圖8.4所示。所示。1.點到點定位控

24、制點到點定位控制(Point-to-point position control)2.直線切削控制直線切削控制(Straight path cutting control)3.輪廓切削控制輪廓切削控制(Contouring cutting control)8-38-18-28-38-48-38-18-28-38-4電腦數值控制工具機的基本構造包含四大部份電腦數值控制工具機的基本構造包含四大部份:1.控制系統控制系統控制系統的功能為對數值控制程式解讀分析,做為加工路徑控制系統的功能為對數值控制程式解讀分析,做為加工路徑計算及誤差的修正,並輸出指令到驅動系統計算及誤差的修正,並輸出指令到驅動系統

25、硬體設備有中央處理單元硬體設備有中央處理單元(CPU)、記憶體、記憶體(ROM、RAM)、輸出入介面卡輸出入介面卡(I/O interface card)等等 軟體作業系統包含按鍵及螢幕顯示、程式檔案編修管理、切軟體作業系統包含按鍵及螢幕顯示、程式檔案編修管理、切削路徑控制、補償、可程式控制、機械常數記憶及診斷等軟削路徑控制、補償、可程式控制、機械常數記憶及診斷等軟體體 週邊輔助設備包含個人電腦、讀帶機、磁碟機等週邊輔助設備包含個人電腦、讀帶機、磁碟機等8-38-18-28-38-42.驅動系統驅動系統3.測量系統測量系統4.本體結構本體結構8-38-18-28-38-4電腦數值控制工具機已被

26、廣泛地應用於各種製造電腦數值控制工具機已被廣泛地應用於各種製造業上,依其應用領域可分為五大類型業上,依其應用領域可分為五大類型:1.傳統切削加工傳統切削加工2.精密研磨加工精密研磨加工各類型各類型CNC磨床和磨床和CNC電化學磨床電化學磨床3.非傳統切削加工非傳統切削加工4.非切削加工非切削加工5.特殊用途特殊用途8-38-18-28-38-48.4 特殊工具機特殊工具機1.靠模車床靠模車床(Tracer lathe or Copying lathe)2.自動車床自動車床(Automatic lathe)單軸自動車床單軸自動車床(Single spindle automatic lathe)多

27、軸自動車床多軸自動車床(Multiple spindle automatic lathe)3.車螺紋專用機車螺紋專用機4.滾齒機滾齒機(Gear hobbing machine)8-48-18-28-38-48-48-18-28-38-4高速切削高速切削(High speed machining,HSM)已成為已成為提高生產率及達成精密製造的關鍵技術之一。提高生產率及達成精密製造的關鍵技術之一。高速切削的定義有下列幾種高速切削的定義有下列幾種:1.主軸轉速在主軸轉速在10000 rpm以上者以上者2.依不同工件材料的切削線速度衡量,例如鋼材在依不同工件材料的切削線速度衡量,例如鋼材在400 m

28、/min以上、鋁材在以上、鋁材在1000m/min以上者以上者8-48-18-28-38-43.以軸承直徑以軸承直徑(,mm)和主軸轉速和主軸轉速()的乘積衡量,當值在的乘積衡量,當值在120萬萬(mmrpm)以上者。以上者。4.以刀把機構衡量,例如以刀把機構衡量,例如10000 rpm/#50 taper、20000 rpm/#40 taper、25000 rpm/#30 taper 者。者。5.以主軸馬力和轉速衡量,例如以主軸馬力和轉速衡量,例如10000 rpm/50 hp、15000 rpm/40 hp、30000 rpm/30 hp、40000 rpm/15 hp、60000 rpm

29、/10 hp者。者。8-48-18-28-38-4高速切削可用於車削、銑削、鑽削、磨削和其他高速切削可用於車削、銑削、鑽削、磨削和其他切削加工方法,其中以高速銑削的應用較多。切削加工方法,其中以高速銑削的應用較多。高速切削的加工特性為高主軸轉速配合淺切削深高速切削的加工特性為高主軸轉速配合淺切削深度及高進給速度,可同時得到高加工效率和高加度及高進給速度,可同時得到高加工效率和高加工精度,此為傳統切削加工所無法兼顧的良好效工精度,此為傳統切削加工所無法兼顧的良好效果。果。8-48-18-28-38-4高速切削的主要優點高速切削的主要優點:可得到接近拋光效果的表面粗糙度。可得到接近拋光效果的表面粗

30、糙度。減少許多後續加工所需的時間及成本。減少許多後續加工所需的時間及成本。刀具磨耗因每迴轉切除量的降低而減緩。刀具磨耗因每迴轉切除量的降低而減緩。故可延長刀具壽命。故可延長刀具壽命。切削力會變小。切削力會變小。故可加工薄壁、細長比較高或剛性差的工件。故可加工薄壁、細長比較高或剛性差的工件。大部份的切削熱被切屑帶走。大部份的切削熱被切屑帶走。8-48-18-28-38-4缺點缺點:需先進行較昂貴的機器、刀把、刀具等的投資。需先進行較昂貴的機器、刀把、刀具等的投資。且維護費用也較高。且維護費用也較高。以及安全防護設施要求非常嚴格。以及安全防護設施要求非常嚴格。高速切削目前主要應用於航太工業、汽機車

31、工業、模具工業高速切削目前主要應用於航太工業、汽機車工業、模具工業和和3C產業。產業。8-48-18-28-38-4高速切削工具機必須具備的基本構造有高速切削工具機必須具備的基本構造有:1.高速主軸高速主軸一般要求高速主軸的一般要求高速主軸的DN值需在值需在120萬萬(mmrpm)以上,主軸以上,主軸轉速可從轉速可從10000100000 rpm2.高速進給驅動機構。高速進給驅動機構。3.高速電腦數值控制系統高速電腦數值控制系統在高速切削時,對電腦數值控制系統中的處理、運算和傳輸在高速切削時,對電腦數值控制系統中的處理、運算和傳輸加工資料的速度要求也隨之大為提高,否則可能產生加工所加工資料的速

32、度要求也隨之大為提高,否則可能產生加工所需資料的傳送跟不上實際加工進行的速度,造成刀具停頓而需資料的傳送跟不上實際加工進行的速度,造成刀具停頓而導致精度偏差的發生。導致精度偏差的發生。8-48-18-28-38-44.高壓及大流量冷卻系統高壓及大流量冷卻系統一般採用可產生具有高壓一般採用可產生具有高壓(約約67MPa)及大流量及大流量(約約60公升公升分鐘分鐘)切削液的冷卻系統。此外,尚可藉著特殊設計,由主切削液的冷卻系統。此外,尚可藉著特殊設計,由主軸提供高壓冷卻液經具有內部中空孔的刀柄或刀具,直接對軸提供高壓冷卻液經具有內部中空孔的刀柄或刀具,直接對切削加工區進行沖刷作用。切削加工區進行沖

33、刷作用。8-48-18-28-38-4超精密加工同樣是尖端科技發展中的關鍵性技術,超精密加工同樣是尖端科技發展中的關鍵性技術,被應用在製造精度要求較高的電子、資訊、光電被應用在製造精度要求較高的電子、資訊、光電 、通訊、航太、能源、醫療和生物科技等高科技、通訊、航太、能源、醫療和生物科技等高科技 產品的元件上。產品的元件上。超精密加工可分為鏡面加工和精細加工兩大類超精密加工可分為鏡面加工和精細加工兩大類:目前鏡面加工的要求是指工件加工面的表面最高粗糙度目前鏡面加工的要求是指工件加工面的表面最高粗糙度(Rmax)不大於不大於0.001%m,幾何形狀的準確性為,幾何形狀的準確性為0.01 m,代表性的產品有反射鏡、多面鏡、光碟片、雷射。代表性的產品有反射鏡、多面鏡、光碟片、雷射。8-48-18-28-38-4 精細加工的要求是指最小位置的準確性為精細加工的要求是指最小位置的準確性為1%m,尺寸,尺寸微細度為微細度為0.01%m,代表性的產品有超大型積體電路元,代表性的產品有超大型積體電路元件。件。8-4

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