电子气体化学品应用与安全培训课件.ppt

1、 电子气体化学品电子气体化学品应用与安全应用与安全 本节内容本节内容l一、气体输送系统一、气体输送系统l二、化学品输送系统二、化学品输送系统l三、气体化学品监测系统三、气体化学品监测系统l四、工艺安全管理及事故案例分析四、工艺安全管理及事故案例分析l五、个人防护用品（五、个人防护用品（PPE）及应急反应）及应急反应l六、厂务运行管理实务六、厂务运行管理实务一、气体输送系统一、气体输送系统1、半导体厂常用气体分类及其输送方式、半导体厂常用气体分类及其输送方式气体输送系统气体输送系统2、气柜的作用：、气柜的作用：、实现对工艺设备的连续供气：采用双瓶切换系统；、安全地输送工艺气体至工艺设备：、对工艺

2、设备的安全考虑：压力调节、气体净化、吹扫；、对操作人员的安全考虑：柜体隔离、排风系统、报警系统、紧急切断、全自动控制系统；、对环境的安全考虑：工艺生产要求、气体的不同性质、当前项目预算、将来项目扩展需求。3、气柜使用中常见问题及注意事项：、气柜使用中常见问题及注意事项：、调压时不准或者不稳：原因是减压阀具有机械滞后性，工作使用中可将调压阀调至比所需压力低一些，气体输送系统气体输送系统然后再等一会看压力是否稳定在所需压力。、日常工作如需操作气柜，只需开窗操作，只有在换瓶时才开门!、换钢瓶时需要至少2个人共同操作，一个人操作，另一个人需要确认每一步是否正确、规范。气源、气瓶的配管要用塑料管或者尼龙

3、管，这样发生燃烧事故时可烧掉从而切断气源，降低危险性。、气柜上的过流保护开关参数不可调，安装时必须垂直安装。、SiH 等易燃气体的钢瓶最好配置Auto Guard（钢瓶接口保护器），以防止在换钢瓶时发生事故。、对于在我们管线分布上有潜在泄露点的地方，比如焊接点等连接点，要配置带抽风的罩子，这样可以更好的对人员和设备进行保护。气体输送系统气体输送系统、气柜最好配置双瓶切换，这样可以一侧气瓶用尽，另一侧自动供气，这样可以实现对工艺设备的连续供气。、不同特气对减压阀的选型也会有不同的要求，对于阀门的选型也是需要注意的地方。比如如果我们有阀门坏了，需要更换，就需要注意更换阀门的型号。、过流保护开关是个

4、非常有必要安装的部件，作用就是气体流量异常变大的时候可以把气体停掉，一般正帆都会建议客户安装过流保护开关。二、化学品输送系统二、化学品输送系统1、化学品在半导体工艺中的作用：、化学品在半导体工艺中的作用：清洗芯片上的杂质、微粒子；刻蚀芯片图案；显影芯片图案；研磨芯片；清洗制程设备零配件2、常用化学品性质和分类：、常用化学品性质和分类：、酸性：腐蚀性：H SO、HCL、HNO、HF、H PO 毒性：HF、Acetone 化学品输送系统化学品输送系统、碱性：NH OH、KOH、Developer、有机溶剂：IPA、光阻液 EKC、EBR、HMDS、氧化性：H SO、H O 、悬浮液（Slurry）

5、：Oxlde（SS-25）、Tungsten（W-2000）3、化学品输送系统操作安全、化学品输送系统操作安全、化学系统运行需要的证照与认证操作人员的安全管理非常重要，所有操作人员应具备以下资质：压力容器操作许可证压力容器操作许可证 危险化学品操作许可证危险化学品操作许可证 叉车操作许可证（如有使用）叉车操作许可证（如有使用）化学品输送系统化学品输送系统、熟知化学品安全技术说明书（MSDS/CSDS）操作人员可以从中学习到化学品的特性，毒性，危害性，中毒预防措施，紧急事故处理等。、化学品系统的PPE使用如酸桶更换作业时需使用的PPE：全面式呼吸器、防酸手套、防化服、安全鞋。4、化学品输送管道材

6、质：、化学品输送管道材质：酸碱类：内管PFA，外管CPVC溶剂类：工艺管线SUS316EP，或外管SUS304+PFA内管方式三、气体化学品监测系统三、气体化学品监测系统1、气体化学品监控系统关键部件、气体化学品监控系统关键部件气体化学品监测系统气体化学品监测系统气体化学品监测系统气体化学品监测系统2、气体监控系统设计、气体监控系统设计、必须监测气体种类自然气体（如SiH4），可燃性气体（如CH4/H2）、毒性气体（如PH3/AsH3）、腐蚀性气体（如HCL/HBR）、氧化性气体（如O2/CL2）、惰性气体密闭区域（安装O2探头）、侦测器安装、侦测器取样管长度规定：烷类气体和氢气取样管最长30

7、米，氨气取样管最长10米，HCL等酸类气体取样管最长5米、侦测器安装高度要求：距地面1.7米左右，方便操作和观察气体化学品监测系统气体化学品监测系统、侦测器取样点位置规定：特气设备释放源壳体排风，特气相对密度小于或等于0.75时，取样点同时放置在释放源上方和厂方最高点易积气处；特气相对密度大于0.75时，取样点设置在释放源下方距地面高度0.5米处、侦测器安装环境要求：环境温度0至40，环境湿度20%至80%RH，远离强电干扰、侦测器探头选型、每种特气原则上采用对应气体探头、同类型气体混合排放采用毒性最强特气探头、混合气体侦测，采用最先到达报警浓度值特气探头、特殊化学品泄露侦测，根据空气反应决定

8、特气探头气体化学品监测系统气体化学品监测系统、GDS逻辑控制气体化学品监测系统气体化学品监测系统、基于数据总线网络架构基于POE网络通信环形网络架构3、工作人员更换阀门时的操作注意事项：、工作人员更换阀门时的操作注意事项：、更换一个阀门时如果太紧不能强行拆卸，可以把上方或者下方阀门的螺丝拧松一点，再拧需要更换的阀门就比较容易。、用两个扳手拧阀门螺丝时两个扳手的夹角不能太大，而且最好用一只手两个扳手一块用力。、换垫片时要换干净的手套，每次换阀门都要换垫片。、拧紧螺丝的时候用手拧紧后再用扳手拧1/8圈就可以，不能使太大劲去拧，容易使垫片变形。四、工艺安全管理及事故案例分析四、工艺安全管理及事故案例

9、分析工艺安全管理（工艺安全管理（PSM）：通过执行工程标准、最大实践、工艺设计、系统操作和维护程序，以最大限度地降低或消除化工过程运行时造成的人员伤亡、财产损失和环境破坏。工艺安全管理的工艺安全管理的14个要素：个要素：工艺安全信息（PSI），工艺危害分析，变更管理，开工前安全检查（ORI），操作规程，培训，机械完整性（MI），动火作业许可证，承包商，应急准备和响应，事件调查，商业机密，符合性审查，员工参与五、个人防护用品（五、个人防护用品（PPE）及应急反应）及应急反应1、PPE：主要用于保护雇员免受由于接触化学辐射、电动设备、人力设备、机械设备或在一些危险工作场所而引起的严重的工伤或疾病。

10、2、PPE的等级和分类的等级和分类个人防护用品（个人防护用品（PPE）及应急反应）及应急反应个人防护用品（个人防护用品（PPE）及应急反应）及应急反应3、使用PPE时应注意事项！、脱衣服时，需抓紧衣服内侧脱下；、防护衣最好为一次性使用，若多次使用需要清洗时，洗过之后不可晒干，需晾干；、A级防护衣需定期做气密性检查；、穿A级防护衣时，穿戴者最好携带通讯工具和小刀。4、启动应急反应的六个关键：、应急人员组织：分工明确，职能清晰，要求需清楚；小组成员要固定，并有培训计划。、应急器材设备的准备及使用：须列出物资清单及负责人；器材使用有效个人防护用品（个人防护用品（PPE）及应急反应）及应急反应及安全检查。、人员疏散：逃生通道及集结点安全；广播明确指示；疏散路线人员布点指挥，确保安全有序离开危险区域；人员清点。、流程节点的沟通：汇报现场状况须掌握要点；现场指挥须条理清晰；所有处置措施有效到位；进现场人员必须先进性防护装备及器材的使用有效及安全检查。、人员培训及协调：应急处置技能训练；体能训练；各应急小组的协调及沟通；工业安全知识培训。、危险区域的隔离及管制：危险区域、影响区域及安全区域的划分；危险区域明显及有效的隔离；进出危险区域的人员记录及管制。六、厂务运行管理实务六、厂务运行管理实务电子气体化学品系统的1、操作安全管理2、日常管理3、用量管理4、设备管理