某大学-物理光学-第三章课件.ppt

1、第三章第三章 光的干涉和干涉仪光的干涉和干涉仪杨振宇杨振宇干涉干涉：同频率、同振动方向的两个或两个：同频率、同振动方向的两个或两个以上单色光波叠加，其合成光强在叠加以上单色光波叠加，其合成光强在叠加区域出现稳定的强弱分布现象。区域出现稳定的强弱分布现象。干涉仪干涉仪：让实际光波产生干涉的装置：让实际光波产生干涉的装置3-1 产生干涉的条件（相干条件）产生干涉的条件（相干条件）回顾：什么是回顾：什么是干涉现象干涉现象？两个或多个光波在某区域叠加时，在叠加两个或多个光波在某区域叠加时，在叠加区域内出现的各点强度区域内出现的各点强度稳定稳定的强弱分布的强弱分布现象。现象。观察屏观察屏思考：如图的两个

2、独思考：如图的两个独立的普通光源，能立的普通光源，能在观察屏上看到干在观察屏上看到干涉现象吗？涉现象吗？3-1回顾：同频率、同振动方向两列光波在回顾：同频率、同振动方向两列光波在P点的合强度点的合强度I。cos2212221aaaaI从干涉现象的定义出发，这一值应该不随从干涉现象的定义出发，这一值应该不随时间的变化而变化。时间的变化而变化。const因此，产生干涉的条件是：因此，产生干涉的条件是：3-1相干条件：相干条件：光波的频率相同光波的频率相同振动方向相同振动方向相同位相差恒定位相差恒定cos2212221aaaaI再来解释为什么两独立光源不能产生干涉再来解释为什么两独立光源不能产生干涉

3、补充条件：补充条件：必须使光必须使光程差小于光波的波程差小于光波的波列长度。列长度。3-1 分光束的方法分光束的方法要严格满足干涉条件，必须将源于同一波要严格满足干涉条件，必须将源于同一波列光分成几束，然后再令其产生干涉列光分成几束，然后再令其产生干涉。3-13-13-2 杨氏干涉实验杨氏干涉实验xyDzSP(x,y,D)r1r2dS1S2分波前干涉，分波前干涉，单色点光源单色点光源S，dDcos2212221aaaaI3-2xyDzSP(x,y,D)r1r2dS1S2)(2cos2cos2122121212221rrnIIIIIaaaaII1=I2,空气介质空气介质)(cos4)(2cos2

4、212201200rrIIrrIII0.)2/1()(4.)(12012极小值极大值mrrImrr如何确定屏幕上极大值、极小值的位置？如何确定屏幕上极大值、极小值的位置？3-2xyDzSP(x,y,D)r1r2dS1S222222221)2/()2/(DydxrDydxrDxdrrxddDrrxdrrxdrr12121221222223-2dDmxmdDmx）（2/1,.2,1,0干涉级干涉级3-2Dde/,/会聚角eee3-2S1、S2连线垂直3-23-2zxym=123m=-1-2-3对于屏幕任意放置的情况，要研究两点光源的等光程差在空间的轨对于屏幕任意放置的情况，要研究两点光源的等光程差

5、在空间的轨迹，然后再考虑屏幕与这些等光程差点相交的轨迹。迹，然后再考虑屏幕与这些等光程差点相交的轨迹。22222221)2/()2/(zydxrzydxr122dzy2x222222回转双曲面回转双曲面3-2例题：杨式干涉中，两小孔间距为例题：杨式干涉中，两小孔间距为0.5mm，观察屏离小孔，观察屏离小孔的距离为的距离为1m。当以氦氖激光束照射小孔时，测出屏幕。当以氦氖激光束照射小孔时，测出屏幕上干涉条文间距为上干涉条文间距为1.26mm。计算氦氖激光波长。计算氦氖激光波长。例题：两个长例题：两个长100mm抽成真空的气室置于杨式装置的两抽成真空的气室置于杨式装置的两小孔前，当以波长为小孔前，

6、当以波长为589nm的平行钠光通过气室垂直的平行钠光通过气室垂直照射时，在屏幕上观察到稳定的干涉条纹。然后缓慢照射时，在屏幕上观察到稳定的干涉条纹。然后缓慢将某种气体注入气室将某种气体注入气室C1，观察到条纹移动了，观察到条纹移动了50个，试个，试讨论条纹移动的方向并求出注入气体的折射率。讨论条纹移动的方向并求出注入气体的折射率。C1C2S1S23-2例题：如图所示，从例题：如图所示，从S1和和S2出发的两列同出发的两列同频平面波在频平面波在P点相遇，试证明在点相遇，试证明在P点两波点两波的位相差为的位相差为kxd/D，假设两波在，假设两波在S1和和S2同相。同相。3-3 其它分波前干涉的实验

7、装置其它分波前干涉的实验装置 菲涅尔双面镜菲涅尔双面镜 d=2lsin S1S2SM1M2OlDdK3-3 菲涅尔双棱镜菲涅尔双棱镜 d=S1S2=2l(n-1)SS2S1lD3-4 条纹对比度条纹对比度条纹对比度：条纹对比度：K=(IM-Im)/(IM+Im)IM和和Im分别是条纹强度的极大值、极小值分别是条纹强度的极大值、极小值当当Im0时，时，K1，称为，称为完全相干完全相干；当当IMIm时，时，K0，称为，称为非相干；非相干；一般情况，一般情况，0K1，称为，称为部分相干。部分相干。影响对比度的因素：影响对比度的因素：光源大小、光源非单光源大小、光源非单色性、光波振幅比色性、光波振幅比

8、3-4光源大小的影响光源大小的影响对于对于单色点光源单色点光源，K1)(cos4)(2cos2212201200rrIIrrIII但实际的光源总有一定大小，但实际的光源总有一定大小，K1？可以通过作图，定性的分析一下。可以通过作图，定性的分析一下。3-4dP0SSS1S2bc/2r2r1lK1定量的分析光源宽度对条纹对比度的影响定量的分析光源宽度对条纹对比度的影响3-4临界宽度：临界宽度：条纹对比度下降到条纹对比度下降到0时，光源所对应的宽度时，光源所对应的宽度dP0SSS1S2bc/2r2r1l先只考虑两个点光源先只考虑两个点光源在屏幕上两条纹的叠加，在什么情况下使在屏幕上两条纹的叠加，在什

9、么情况下使K0？SS2SS1/23-404)2/2/(cos4)2/(cos4021202201KIIIIIII光源为扩展光源光源为扩展光源在屏幕上条纹的叠加，又是什么样在屏幕上条纹的叠加，又是什么样？dP0SSS1S2bc/2lS”3-4dP0SSS1S2bc/2lS”SS2SS1/2S”S1S”S2/2SS”=bc临界宽度临界宽度具体求解具体求解bc可以参考前面计算杨式干涉光程差的过程可以参考前面计算杨式干涉光程差的过程dlbldbcc22/干涉孔径干涉孔径3-4对比度随光源大小的变化：对比度随光源大小的变化：光源小于临界宽度时，光源越大，对比度越小。光源小于临界宽度时，光源越大，对比度越

10、小。x2cos1dxI2dI0如何定量求出如何定量求出？式中，为轴上点光源S经S1和S2到P点的光程差。2cossin22dxx2cos1I2002/2/0bIbIIbb3-42cossin2200bIbI对公式解释：对公式解释：与P点位置无关，干涉场的平均强度干涉场强度随的周期变化)sinc(sinbbbKK3-4对公式解释：对公式解释：K许可宽度：许可宽度：光源宽度不超过临界宽度的光源宽度不超过临界宽度的1/4。9.0,4/Kbbcp3-4空间相干性：空间相干性：扩展光源扩展光源SS“照射与之相距照射与之相距l的平面，若通过面上的平面，若通过面上S1、S2两点的光在空间再度会合时能够发生干

11、涉，称两点的光在空间再度会合时能够发生干涉，称通过空间这两点的光具有空间相干性。通过空间这两点的光具有空间相干性。由临界宽度bc=l/d知，bd，故空间相干性与光源宽度密切相关。b=bc时的d称横向相干宽度横向相干宽度dt=/，=bc/l对于圆形光源，dt=1.22/相干面积：方形光源A（/）2 圆形光源A（1.22/2）23-4例题：直径为例题：直径为1mm的圆形光源，若的圆形光源，若6104 mm，在距离光源，在距离光源1m的地方，的地方，其横向相干宽度是多少，相干面积是多其横向相干宽度是多少，相干面积是多少？少？例题：如图是迈克耳孙测星干涉仪，在波例题：如图是迈克耳孙测星干涉仪，在波长为

12、长为570nm，测得某一星体相干宽度为，测得某一星体相干宽度为121英寸，求该星的角直径。英寸，求该星的角直径。PM1M2M3M4L3-4光源非单色性的影响光源非单色性的影响任何光源都不是理想的单色光源，都有一定光谱宽任何光源都不是理想的单色光源，都有一定光谱宽度度。光源由多种波长成分构成，每一种波长的光各自生成一组光源由多种波长成分构成，每一种波长的光各自生成一组干涉条纹。除零干涉级以外，各组条纹之间有位移，故总干涉条纹。除零干涉级以外，各组条纹之间有位移，故总的条纹对比度下降。的条纹对比度下降。3-43-4相干长度：相干长度：对于光谱宽度为对于光谱宽度为的光源，能产生干涉条纹的最大的光源，

13、能产生干涉条纹的最大光程差。光程差。：m1级级 ：m 级级 设光源光谱宽度为设光源光谱宽度为，当，当=(m+1)=m(+)时，时，K恰好下降为零恰好下降为零m=/max=m =2/=相干长度相干长度 显然，波列长度显然，波列长度2L=max3-4对比度与光谱宽度和光程差的关系对比度与光谱宽度和光程差的关系令，光谱宽度内每一成分的光强相等。令，光谱宽度内每一成分的光强相等。dkkcos1I2dI0单个波数宽度为单个波数宽度为dk的谱分量在干涉场中的光强的谱分量在干涉场中的光强全部谱分量形成的总光强为全部谱分量形成的总光强为 2/)2/sin(2kkcos2ksin1I2 dkkcos1I2I00

14、22000kkKkkkkk对比度3-4对公式解释：对公式解释：2/)2/sin(kkKK2/22/应该指出：实际光谱并不是强度均匀分布的。应该指出：实际光谱并不是强度均匀分布的。3-4时间相干性：时间相干性：我们把光通过相干长度所需的时间称为相干时间我们把光通过相干长度所需的时间称为相干时间t。同一光源在相干时间内不同时刻发出的光，经不同路同一光源在相干时间内不同时刻发出的光，经不同路径到达干涉场能发生干涉，这种相干性称径到达干涉场能发生干涉，这种相干性称时间相干性时间相干性。t是时间相干性的度量是时间相干性的度量max=ct=2/，且/=/，t =1光源的频率宽度 相干时间t 时间相干性3-

15、4 两相干光波振幅比的影响两相干光波振幅比的影响 设两相干光波的振幅分别为设两相干光波的振幅分别为A1和和A2，光强分别为，光强分别为I1和和I2 干涉光强干涉光强 对比度对比度K=2(A1/A2)/1+(A1/A2)2，I=It(1+Kcos)，It=I1+I2 A1/A2=1K=1，A1/A2远离远离1 K 特别地，特别地，A1/A2=0，K=0；A1/A2=，K=0 推论推论高对比度干涉条纹，要求参与干涉的两光束振幅或光强相等高对比度干涉条纹，要求参与干涉的两光束振幅或光强相等干涉条纹同时包含两光束的振幅比和位相差干涉条纹同时包含两光束的振幅比和位相差全息原理全息原理221m221MII

16、I ,III3-4例题：如图杨式干涉装置，入射波长宽度例题：如图杨式干涉装置，入射波长宽度为为0.05nm，平均波长为，平均波长为500nm，问在小，问在小孔孔S1处贴多厚的玻璃片可使处贴多厚的玻璃片可使P0处的条纹处的条纹消失？设玻璃折射率为消失？设玻璃折射率为1.5S1S2P03-5 相干性理论相干性理论 扩展非单色光源扩展非单色光源杨氏干杨氏干涉实验涉实验 设设S1和和S2的光场分别为的光场分别为E1和和E2，它们传播到，它们传播到P点的点的光场除了位相延迟，没有光场除了位相延迟，没有其它变化其它变化 t时刻时刻P点的总光场为点的总光场为EP(t)=E1(t-t1)+E2(t-t2)t1

17、=r1/c,t2=r2/c光强光强IP(t)=(3-44)Sr1r2S1S2P3-5IP(t)=+等号右边第一、第二项，等号右边第一、第二项，S1、S2在在P点的光强度；点的光强度；对于第三、第四项，我们做如下处理：对于第三、第四项，我们做如下处理：令令t=t-t2,=t2-t1,原式可得：原式可得：+=+=2Re 12()=2Re 12()称为两个光场称为两个光场E1和和E2的的互相干函数互相干函数。代入式代入式3-44，得，得3-5IP=I1+I2+2Re12()将互相干函数归一化，得到复相干度12()211222111212)()0()0()()(IIIP=I1+I2+2(I1I2)1/

18、2Re12()3-513-5 复相干度复相干度 12()是光场时间和空间相干程度是光场时间和空间相干程度的度量的度量|12|=1，完全相干，完全相干 0|12|1，部分相干，部分相干|12|=0，完全不相干，完全不相干 由（由（3-51），），K=2(I1I2)1/2|12|/(I1+I2)，特，特别地，当别地，当I1=I2时，时，K=|12|3-5时间相干度时间相干度 把一般的相干度量把一般的相干度量 12用于具体的时间相干性描述。此时用于具体的时间相干性描述。此时，使用准单色点光源，且到，使用准单色点光源，且到S1和和S2等距，等距，E1=E2=E 12()=()=时间相干度时间相干度 时

19、间相干度的具体计算时间相干度的具体计算波列持续时间（相干时间）波列持续时间（相干时间）t内是角频率内是角频率 的正弦振动，的正弦振动，t外各波列之间无固定位相关系外各波列之间无固定位相关系 t 时，时，()=(1-/t)exp(-i)(3-56)|()|=1-/t，=t3-5空间相干度空间相干度 把一般的相干度量把一般的相干度量 12用于具体的空间相干用于具体的空间相干性描述。此时，使用单色扩展光源，且性描述。此时，使用单色扩展光源，且S1和和S2到到P点等距点等距 12()=12(0)=12(0)/11(0)22(0)1/2=12(0)/(I1I2)1/2称称 12(0)为为S1和和S2两点

20、的空间相干度两点的空间相干度3-6 平行平板产生的干涉平行平板产生的干涉 分波前分波前光源宽度光源宽度 能量能量 能量能量 光源宽度光源宽度 K 分振幅分振幅光源宽度光源宽度 且且K 干涉仪的工干涉仪的工作基础作基础3-6条纹的定域条纹的定域ES1S23-6条纹的定域条纹的定域如何得到定域面？如何得到定域面？3-6空间相干性，临界宽度空间相干性，临界宽度bb：光源横向宽度；：光源横向宽度；：干涉孔径：干涉孔径 平行平板定域面的确定平行平板定域面的确定=0做图法。单根光线从做图法。单根光线从平板上、下表面反、透射平板上、下表面反、透射后相交所形成的面后相交所形成的面对平行平板，定域面位于对平行平

21、板，定域面位于无限远。经透镜观察，则无限远。经透镜观察，则位于透镜的后焦面位于透镜的后焦面C1NADEnnnS2B为什么在定域的干涉条纹不随为什么在定域的干涉条纹不随光源宽度变化，对比度也不变？光源宽度变化，对比度也不变？3-63-6 等倾条纹等倾条纹C1NADEnnnS2B参看图示，上下表面反射的两束光的光程参看图示，上下表面反射的两束光的光程差差=n(AB+BC)-nAN=2nhcos(2)(3-60)h为常量、为常量、2为变量形成的条纹，称等倾条为变量形成的条纹，称等倾条纹纹若平行平板置于上下对称的环境中，则必若平行平板置于上下对称的环境中，则必有净半波损失，（有净半波损失，（3-60）

22、成为）成为 =2nhcos(2)+/2（3-61）随随光程差光程差 的变化，透镜焦平面上出现一的变化，透镜焦平面上出现一组亮暗条纹，且组亮暗条纹，且=m 为亮纹，为亮纹，=(m+1/2)为暗纹，为暗纹，m为为整数整数角度角度 2相同的光束形成同一条纹，故称相同的光束形成同一条纹，故称等等倾条纹倾条纹3-6讨论：讨论：等倾条纹只与等倾条纹只与 2有关，与光源位置无关，所有关，与光源位置无关，所以扩展光源只会使定域面上的条纹亮度增以扩展光源只会使定域面上的条纹亮度增加，不会使对比度下降加，不会使对比度下降 换言之，扩展光源上的所有点光源发出的换言之，扩展光源上的所有点光源发出的光线，如果到达观察点

23、时对应的光线，如果到达观察点时对应的 2是一样的是一样的，则，同一入射面内的光线会聚于同一观，则，同一入射面内的光线会聚于同一观察点；不同入射面内的光线构成同一干涉察点；不同入射面内的光线构成同一干涉级次的条纹。级次的条纹。3-6 圆形等倾条纹圆形等倾条纹SL图3-351NGPh 等倾条纹的形状依赖等倾条纹的形状依赖于光源、平板和观察于光源、平板和观察屏的相对位置屏的相对位置 图图3-35的装置产生圆的装置产生圆形等倾条纹形等倾条纹具体讨论条纹参数3-6 圆等倾条纹的特点：越近中心，干涉级次越圆等倾条纹的特点：越近中心，干涉级次越高。设中心干涉级次为高。设中心干涉级次为m0，有，有 2nh+/

24、2=m0=(m1+q)（3-63）m1为整数，为整数，q为小于为小于1的分数的分数 从中心向外数，第从中心向外数，第N个亮条纹的角半径为个亮条纹的角半径为 1N，nsin 1N=nsin 2N2nhcos 2N+/2=(m1-N+1)（3-64）假设假设 1N很小，联立求解很小，联立求解(3-63)和和(3-64)1N n(N-1+q)/h1/2/n （3-65）3-6（3-61）左边对）左边对 2、右边对、右边对m求微分求微分-2nhsin 2d 2=dm取取dm=1，d 2=2，得到等倾条纹角距离，得到等倾条纹角距离2=-/(2nhsin 2)，或，或1 n/(2n2 1h)（3-66）（

25、3-65）和（）和（3-66）说明：圆等倾条纹的）说明：圆等倾条纹的半径反比于半径反比于h1/2，靠近中心的条纹较疏，远，靠近中心的条纹较疏，远离中心的条纹较密离中心的条纹较密3-6 透射光条纹透射光条纹 对称环境中，平行平板的两束透射光没有净对称环境中，平行平板的两束透射光没有净半波损失，因此二者之间的位相差半波损失，因此二者之间的位相差=2nhcos 2 透射光因此与反射光透射光因此与反射光“互补互补”：对同一入射：对同一入射角，反射光如是亮纹，透射光就是暗纹，反角，反射光如是亮纹，透射光就是暗纹，反之亦反之亦反 当平板表面的反射率较低时，两束透射光强当平板表面的反射率较低时，两束透射光强

26、度相差很大，而两束反射光强度相差较小，度相差很大，而两束反射光强度相差较小，所以，反射光干涉条纹对比度要优于透射光所以，反射光干涉条纹对比度要优于透射光3-6例题：在平板干涉实例题：在平板干涉实验中，平板折射率验中，平板折射率为为1.5，周围为空气，周围为空气，观察望远镜轴线，观察望远镜轴线与平板垂直。试计与平板垂直。试计算从反射光方向和算从反射光方向和投射光方向观察到投射光方向观察到的条纹对比度。的条纹对比度。3-6例题：图示为平板厚度均匀例题：图示为平板厚度均匀性检测装置，性检测装置，D是限制受是限制受照面积的光阑。当平板相照面积的光阑。当平板相对光阑水平移动时，通过对光阑水平移动时，通过

27、望远镜望远镜T可观察不同位置可观察不同位置产生的条纹。产生的条纹。1）平板由）平板由A移到移到B，观察有，观察有10个暗环向中心收缩并消个暗环向中心收缩并消失，试确定失，试确定A、B处的厚处的厚度差；度差；2）若所用光源谱宽为）若所用光源谱宽为0.05nm，平均波长为，平均波长为500nm，问，问只能检测多厚的平板？平只能检测多厚的平板？平板折射率为板折射率为1.5。3-7 楔形平板产生的干涉楔形平板产生的干涉 与平行平板相同，如用点光源，总与平行平板相同，如用点光源，总可以找到两条光线交于空间任意点可以找到两条光线交于空间任意点。所以，点光源产生的条纹是非定。所以，点光源产生的条纹是非定域的

28、域的 扩展光源产生的条纹只在特定区域扩展光源产生的条纹只在特定区域是可见度非零的，因此是定域的是可见度非零的，因此是定域的 楔形平板干涉定域面的确定：与平楔形平板干涉定域面的确定：与平行平板相同，也是行平板相同，也是=0法法 围绕围绕=0法确定的定域面，还有一法确定的定域面，还有一定范围，其中对比度虽然下降，但定范围，其中对比度虽然下降，但仍可见，此范围即定域深度仍可见，此范围即定域深度3-73-7 等厚条纹等厚条纹对于平板很薄，定域区域就在薄板表面附近，对于平板很薄，定域区域就在薄板表面附近，人眼可以观察到。人眼可以观察到。但是，对于厚度较大的平板，光束倾斜入射时但是，对于厚度较大的平板，光

29、束倾斜入射时就不容易观察，一般采用如下系统。就不容易观察，一般采用如下系统。3-7L为显微成像系统，可以将条纹成像在像平面。为显微成像系统，可以将条纹成像在像平面。3-7相邻条纹之间对应的厚度变化为相邻条纹之间对应的厚度变化为/(2n)，条纹间隔条纹间隔e=/(2n)3-7 应用应用3-8 用牛顿环测量透镜的曲率半径用牛顿环测量透镜的曲率半径 实验装置实验装置CRrhO图3-523-8 测量原理及精确度测量原理及精确度CRrhO图3-52测量出从中心向外的第N个暗环半径r22222)(hRhhRRrhR)1.(2222RrhRhr再由第N个暗环的光程差条件得：)2.(2)21(22NhNh将（

30、2）式代入（1）式得：NrR23-8用球径仪的方法：先测得h，再根据（1）式得到R)1.(2222RrhRhrh的测量精度约1微米用牛顿环的方法：对准误差为条纹间距1/10mh03.021.0h的测量精度比球径仪高2个数量级CRrhO图3-523-8 检验光学零件表面质量检验光学零件表面质量hDR1R2图3-53样板曲率半径R2，待测零件曲率半径R1。首先通过同心圆环看零件有没有局部误差从光圈的多少，确定样板与零件的曲率半径的偏差CDNNhRRCCDRRDh42)11(.8)11(822122123-8例题：证明图中牛顿环条纹，例题：证明图中牛顿环条纹，1）其间距）其间距e满足关系式：满足关系

31、式：2）若相距）若相距k个条纹的两个环的半径分别为个条纹的两个环的半径分别为rN和和rN+k，则：，则：NRe21krrRNkN22CRrhO图3-523-9 平面干涉仪平面干涉仪平面干涉仪平面干涉仪：利用两个面（一个标准面，一：利用两个面（一个标准面，一个被检平面）之间的楔形空气层产生的等个被检平面）之间的楔形空气层产生的等厚干涉条纹来检验平面零件的仪器。厚干涉条纹来检验平面零件的仪器。SOG1LG23-9 测定平板表面的平面度及局部误差测定平板表面的平面度及局部误差图（图（a）平面度）平面度P，条纹弯曲失高，条纹弯曲失高H，条纹间距，条纹间距ePH/e对应的平面偏差，即凹陷或突起厚度对应的

32、平面偏差，即凹陷或突起厚度h=H/e/2图（图（b）对应局部缺陷，局部误差）对应局部缺陷，局部误差PP=H/e一般光学平面要求平面偏差一般光学平面要求平面偏差/4，即，即P 1/23-9 测量平行平板的平行度及小角度光楔楔角测量平行平板的平行度及小角度光楔楔角平行平板厚度差平行平板厚度差h，直径，直径D，观察到的条纹数，观察到的条纹数NneDhneDhnNh2223-10 迈克尔逊干涉仪迈克尔逊干涉仪PLSM2M1M2G1G2图3-49 扩展光源扩展光源 分光镜分光镜G1，补偿板，补偿板G2用于白光用于白光 M2的镜像的镜像M2与与M1构构成平行或楔形平板成平行或楔形平板 白光条纹有助于找到白光条纹有助于找到零光程差位置零光程差位置3-11 泰曼干涉仪泰曼干涉仪 迈克尔逊干涉仪的变型迈克尔逊干涉仪的变型 单色点光源单色点光源 取消补偿板取消补偿板 用于检测平板、透镜和棱镜用于检测平板、透镜和棱镜3-12 马赫马赫-泽德干涉仪泽德干涉仪M1M2G1G2SL图3-58 平行四边形结构平行四边形结构 单色点光源单色点光源 适宜于气体密度测量适宜于气体密度测量