《机电一体化技术》课件_第三章3.1-3.2.ppt

1、第第3 3章章 伺服驱动技术伺服驱动技术机电一体化技术机电一体化技术3.1 3.1 伺服系统概述伺服系统概述3.1 伺服系统概述伺服系统概述 伺服系统是自动控制系统的一类，它的输出变量通常是机械或伺服系统是自动控制系统的一类，它的输出变量通常是机械或位置的运动，它的根本任务是实现执行机构对给定指令的准确跟踪，位置的运动，它的根本任务是实现执行机构对给定指令的准确跟踪，即实现输出变量的某种状态能够自动、连续。精确地复现输入指令即实现输出变量的某种状态能够自动、连续。精确地复现输入指令信号的变化规律。信号的变化规律。3.1.1 伺服系统的构成伺服系统的构成 从自动控制理论的角度来分析，伺服控制系统

2、一般包括控制器、被从自动控制理论的角度来分析，伺服控制系统一般包括控制器、被控对象、执行环节、检测环节、比较环节等五部分。控对象、执行环节、检测环节、比较环节等五部分。检测环节检测环节 比较比较环节环节控制器控制器 输入指令输入指令执行执行元件元件 被控被控对象对象 输出量输出量41 1、比较环节、比较环节3.1.1 伺服系统的构成伺服系统的构成 比较环节是将输入的指令信号与系统的反馈信号进行比较，以获得比较环节是将输入的指令信号与系统的反馈信号进行比较，以获得输出与输入间的偏差信号的环节，通常由专门的电路或计算机来实现。输出与输入间的偏差信号的环节，通常由专门的电路或计算机来实现。2 2、控

3、制器、控制器 控制器通常是计算机或控制器通常是计算机或PID控制电路，其主要任务是对比较元件输控制电路，其主要任务是对比较元件输出的偏差信号进行变换处理，以控制执行元件按要求动作。出的偏差信号进行变换处理，以控制执行元件按要求动作。3 3、执行环节、执行环节 执行环节的作用是按控制信号的要求，将输入的各种形式的能量转执行环节的作用是按控制信号的要求，将输入的各种形式的能量转化成机械能，驱动被控对象工作。机电一体化系统中的执行元件一般指化成机械能，驱动被控对象工作。机电一体化系统中的执行元件一般指各种电机或液压、气动伺服机构等。各种电机或液压、气动伺服机构等。54 4、被控对象、被控对象3.1.

4、1 伺服系统的构成伺服系统的构成 被控对象是指被控制的机构或装置，是直接完成系统目标的主体，被控对象是指被控制的机构或装置，是直接完成系统目标的主体，包括传动系统、执行装置和负载，如工业机器人的手臂、数控机床的工包括传动系统、执行装置和负载，如工业机器人的手臂、数控机床的工作台以及自动引导车的驱动轮等。作台以及自动引导车的驱动轮等。5 5、检测环节、检测环节 检测环节是指能够对输出进行测量并转换成比较环节所需要的量纲检测环节是指能够对输出进行测量并转换成比较环节所需要的量纲的装置，一般包括传感器和转换电路。的装置，一般包括传感器和转换电路。63.1.2 伺服系统的类型伺服系统的类型 伺服系统的

5、种类有很多，采用不同的分类方法，可得到不同类型的伺服系统的种类有很多，采用不同的分类方法，可得到不同类型的伺服系统。伺服系统。1 1、按控制原理分类、按控制原理分类 按控制原理的不同分为开环、闭环和半闭环伺服系统按控制原理的不同分为开环、闭环和半闭环伺服系统2 2、按驱动方式分类、按驱动方式分类 3 3、按控制对象和使用目的分类、按控制对象和使用目的分类 按驱动方式的不同分为电气、液压和气动伺服系统按驱动方式的不同分为电气、液压和气动伺服系统 按控制对象和使用目的的不同可分为进给、主轴、辅助等伺服系统按控制对象和使用目的的不同可分为进给、主轴、辅助等伺服系统71 1、按控制原理分类、按控制原理

6、分类（1 1）开环伺服系统）开环伺服系统3.1.2 伺服系统的类型伺服系统的类型 开环伺服系统没有位置检测元件，伺服驱动元件为步进电开环伺服系统没有位置检测元件，伺服驱动元件为步进电动机或电液微冲马达。动机或电液微冲马达。81 1、按控制原理分类、按控制原理分类（1 1）开环伺服系统）开环伺服系统3.1.2 伺服系统的类型伺服系统的类型 这种系统对机床传动机构的传动或工作台移动的实际情况不进行检这种系统对机床传动机构的传动或工作台移动的实际情况不进行检测。没有被控对象的反馈信息。输入量和输出量之间只有顺向左右，没测。没有被控对象的反馈信息。输入量和输出量之间只有顺向左右，没有反向联系，故称为开

7、环伺服系统。有反向联系，故称为开环伺服系统。特点：特点：（1）控制精度较低，只有）控制精度较低，只有0.01mm左右，且速度有一定限制。左右，且速度有一定限制。（2）结构简单，成本低，调整和维修都比较方便，且工作稳定，可靠。）结构简单，成本低，调整和维修都比较方便，且工作稳定，可靠。应用：广泛应用于一些对精度和速度要求不高的场合（如线切割机、办应用：广泛应用于一些对精度和速度要求不高的场合（如线切割机、办公自动化设备等）。公自动化设备等）。91 1、按控制原理分类、按控制原理分类（2 2）闭环伺服系统）闭环伺服系统3.1.2 伺服系统的类型伺服系统的类型 闭环伺服系统有位置检测元件，位置检测元

8、件（如感应同步器、光闭环伺服系统有位置检测元件，位置检测元件（如感应同步器、光栅、磁尺、线纹尺等）不断地检测机床移动部件（如工作台、溜板箱、栅、磁尺、线纹尺等）不断地检测机床移动部件（如工作台、溜板箱、刀架等）的位移情况。刀架等）的位移情况。101 1、按控制原理分类、按控制原理分类（2 2）闭环伺服系统）闭环伺服系统3.1.2 伺服系统的类型伺服系统的类型 闭环伺服系统输出量不仅受到输入量（指令）的控制，而且还受反闭环伺服系统输出量不仅受到输入量（指令）的控制，而且还受反馈信号的控制。输出量与输入量之间既有顺向作用，又有反向联系，所馈信号的控制。输出量与输入量之间既有顺向作用，又有反向联系，

9、所以称其为闭环控制或反馈控制。以称其为闭环控制或反馈控制。特点：特点：（1）精度高，但实现难度很大，而且存在稳定性问题。）精度高，但实现难度很大，而且存在稳定性问题。（2）系统的控制和调试复杂，制造成本高）系统的控制和调试复杂，制造成本高应用：高精密和大型机电一体化设备。应用：高精密和大型机电一体化设备。111 1、按控制原理分类、按控制原理分类（3 3）半闭环伺服系统）半闭环伺服系统3.1.2 伺服系统的类型伺服系统的类型 半闭环伺服系统利用装在丝杠轴或齿轮轴上的角位移测量元件（如半闭环伺服系统利用装在丝杠轴或齿轮轴上的角位移测量元件（如编码盘、旋转变压器、圆形光栅、磁尺、感应同步器、光电盘

10、等）测量编码盘、旋转变压器、圆形光栅、磁尺、感应同步器、光电盘等）测量丝杠轴或齿轮轴的转动来间接地测量工作台位移。丝杠轴或齿轮轴的转动来间接地测量工作台位移。121 1、按控制原理分类、按控制原理分类（3 3）半闭环伺服系统）半闭环伺服系统3.1.2 伺服系统的类型伺服系统的类型 半闭环伺服系统利用装在丝杠轴或齿轮轴上的角位移测量元件（如半闭环伺服系统利用装在丝杠轴或齿轮轴上的角位移测量元件（如编码盘、旋转变压器、圆形光栅、磁尺、感应同步器、光电盘等）测量编码盘、旋转变压器、圆形光栅、磁尺、感应同步器、光电盘等）测量丝杠轴或齿轮轴的转动来间接地测量工作台位移。丝杠轴或齿轮轴的转动来间接地测量工

11、作台位移。131 1、按控制原理分类、按控制原理分类（3 3）半闭环伺服系统）半闭环伺服系统3.1.2 伺服系统的类型伺服系统的类型 半闭环伺服系统的定位精度低于闭环伺服系统，高于开环伺服系统，半闭环伺服系统的定位精度低于闭环伺服系统，高于开环伺服系统，介于两者之间。介于两者之间。特点：特点：（1）惯性较大的工作台在控制回路之外，故系统稳定性较好，调试比）惯性较大的工作台在控制回路之外，故系统稳定性较好，调试比较容易。较容易。（2）角位移测量元件比线位移测量元件简单、价格低廉。）角位移测量元件比线位移测量元件简单、价格低廉。应用：配以传动误差小的滚珠丝杠应用：配以传动误差小的滚珠丝杠-螺母副和

12、精密齿轮的半闭环伺服系螺母副和精密齿轮的半闭环伺服系统比闭环伺服系统应用更为普遍。统比闭环伺服系统应用更为普遍。142 2、按驱动方式分类、按驱动方式分类（1 1）电气伺服系统）电气伺服系统3.1.2 伺服系统的类型伺服系统的类型 电气伺服系统采用伺服电机为执行元件，根据执行元件的不同又分电气伺服系统采用伺服电机为执行元件，根据执行元件的不同又分为直流伺服系统、交流伺服系统、步进伺服系统等。为直流伺服系统、交流伺服系统、步进伺服系统等。（2 2）液压伺服系统）液压伺服系统 液压伺服系统常用的执行装置有液压油缸、液压马达等。液压伺服系统常用的执行装置有液压油缸、液压马达等。（3 3）气动伺服系统

13、）气动伺服系统 气动伺服系统以压缩空气为工作介质，采用的执行装置包括气缸、气动伺服系统以压缩空气为工作介质，采用的执行装置包括气缸、气动马达等。气动马达等。153 3、按控制对象和使用目的分类、按控制对象和使用目的分类（1 1）进给伺服系统）进给伺服系统3.1.2 伺服系统的类型伺服系统的类型 进给伺服系统是指一般概念的伺服系统，它包括速递控制环和位置控制进给伺服系统是指一般概念的伺服系统，它包括速递控制环和位置控制环。进给伺服系统完成各坐标轴的进给运动，具有定位和轮廓跟踪功能。环。进给伺服系统完成各坐标轴的进给运动，具有定位和轮廓跟踪功能。（2 2）主轴伺服系统）主轴伺服系统 主轴伺服系统主

14、要实现主轴的旋转运动，提供切削过程中的转矩和功率，主轴伺服系统主要实现主轴的旋转运动，提供切削过程中的转矩和功率，且保证任意转速的调节，完成在转速范围内的无级变速。且保证任意转速的调节，完成在转速范围内的无级变速。（2 2）辅助伺服系统）辅助伺服系统 辅助伺服系统控制刀库、料库等辅助系统的运动，多采用简易的位置控辅助伺服系统控制刀库、料库等辅助系统的运动，多采用简易的位置控制方式。制方式。161 1、稳定性好、稳定性好3.1.3 伺服系统的基本要求伺服系统的基本要求 伺服系统的稳定性是指当作用在系统上的干扰消失以后，系统能够伺服系统的稳定性是指当作用在系统上的干扰消失以后，系统能够恢复到原来的

15、稳定下运行，或者在输入的指令信号作用下，能够达到新恢复到原来的稳定下运行，或者在输入的指令信号作用下，能够达到新的稳定运行状态的能力。的稳定运行状态的能力。2 2、精度高、精度高 伺服系统精度是指输出量复现指令信号的精确程度。伺服系统工作伺服系统精度是指输出量复现指令信号的精确程度。伺服系统工作过程中通常存在着三中误差，即动态误差、稳态误差和静态误差。过程中通常存在着三中误差，即动态误差、稳态误差和静态误差。3 3、快速响应性好、快速响应性好 快速响应性是衡量伺服系统动态性能的一项重要指标，其主要包含快速响应性是衡量伺服系统动态性能的一项重要指标，其主要包含两方面的含义：一是指动态响应过程中，

16、输出量跟随输入指令信号变化两方面的含义：一是指动态响应过程中，输出量跟随输入指令信号变化的迅速程度；二是指动态响应过程结束的迅速程度。的迅速程度；二是指动态响应过程结束的迅速程度。173.1.3 伺服系统的基本要求伺服系统的基本要求4 4、可靠性高、可靠性高5 5、调速范围宽、调速范围宽 调速范围是指伺服系统所能提供的最高速度与最低速度之比，通常调速范围是指伺服系统所能提供的最高速度与最低速度之比，通常指转速之比，即指转速之比，即 式中，式中，为额定负载时最高转速；为额定负载时最高转速；为额定负载时最低转速；为额定负载时最低转速；R为调速范围。为调速范围。系统各元件的参数变化都会影响系统的性能

17、，如果对这些变化的系统各元件的参数变化都会影响系统的性能，如果对这些变化的适应性与自我调节能力强，则系统的性能受元件参数变化的影响就小适应性与自我调节能力强，则系统的性能受元件参数变化的影响就小，可靠性就高。，可靠性就高。3.2 伺服系统中的执行元件伺服系统中的执行元件3.2.1 3.2.1 执行元件的种类及特点执行元件的种类及特点 执行元件是位于电气控制装置和机械执行装置接点部位的一种能量执行元件是位于电气控制装置和机械执行装置接点部位的一种能量转换装置，它能在控制装置的作用下，将输入的各种形式的能量转换为转换装置，它能在控制装置的作用下，将输入的各种形式的能量转换为机械能。执行元件的种类繁

18、多，根据使用能量的不同，分为电气式、液机械能。执行元件的种类繁多，根据使用能量的不同，分为电气式、液压式和气压式等类型。压式和气压式等类型。1 1、电气式执行元件以电能为动力，利用电能产生位移或转角，从而、电气式执行元件以电能为动力，利用电能产生位移或转角，从而实现对被控对象的调整和控制。如交流电机、直流电机、力矩电机、步实现对被控对象的调整和控制。如交流电机、直流电机、力矩电机、步进电机等。进电机等。2 2、液压式执行元件是将压缩液体的能量转换为机械能，拖动负载实、液压式执行元件是将压缩液体的能量转换为机械能，拖动负载实现直线或回转运动。做工介质可以是水，但大多数用油。常见的液压式现直线或回

19、转运动。做工介质可以是水，但大多数用油。常见的液压式执行元件有液压缸、液压马达等；执行元件有液压缸、液压马达等；3 3、气压式执行元件与液压式执行元件的原理相同，只是介质由液体、气压式执行元件与液压式执行元件的原理相同，只是介质由液体改为气体。改为气体。3.2.1 3.2.1 执行元件的种类及特点执行元件的种类及特点3.2.2 3.2.2 执行元件的基本要求执行元件的基本要求 1 1、惯性小、动力大。为使伺服系统具有良好的快速响应性能和足够、惯性小、动力大。为使伺服系统具有良好的快速响应性能和足够的负载能力，希望执行元件具有小的惯量并输出较大的功率；的负载能力，希望执行元件具有小的惯量并输出较

20、大的功率；2 2、体积小、质量轻。为使执行元件易于安装及与机械系统连接，是、体积小、质量轻。为使执行元件易于安装及与机械系统连接，是伺服系统结构紧凑，常希望执行元件具有较小的体积和较轻的质量；伺服系统结构紧凑，常希望执行元件具有较小的体积和较轻的质量；3 3、便于计算机控制。机电一体化产品多采用计算机控制，因而希望、便于计算机控制。机电一体化产品多采用计算机控制，因而希望执行元件也可通过计算机控制；执行元件也可通过计算机控制；4 4、成本低、可靠性好、便于安装和维修。、成本低、可靠性好、便于安装和维修。3.2.3 3.2.3 新型执行元件新型执行元件1 1、高温超导电机、高温超导电机 高温超导

21、电采用超导励磁绕组代替常规励磁绕组，主要由定子、转高温超导电采用超导励磁绕组代替常规励磁绕组，主要由定子、转子、低温冷却系统和失超保护系统组成。其中定子由电枢、机座、轴承子、低温冷却系统和失超保护系统组成。其中定子由电枢、机座、轴承组成，转子由冷媒传输装置、高温超导磁体、磁体支撑系统、转轴、外组成，转子由冷媒传输装置、高温超导磁体、磁体支撑系统、转轴、外转子真空屏等组成。高温超导磁体在低温下具有载流密度大、产生磁场转子真空屏等组成。高温超导磁体在低温下具有载流密度大、产生磁场强、无损耗等特点，其强磁场特性降低了电机的体积和质量，提高了电强、无损耗等特点，其强磁场特性降低了电机的体积和质量，提高

22、了电机功率密度和电机效率。机功率密度和电机效率。（1 1）、高温超导电机的组成）、高温超导电机的组成3.2.3 3.2.3 新型执行元件新型执行元件（2 2）、高温超导电机的特点）、高温超导电机的特点a a、低温下具有零电阻特性，载流能力强；、低温下具有零电阻特性，载流能力强；b b、电机的体积和质量小；、电机的体积和质量小；c c、具有高功率密度、高效率、低振动噪声、过载能力强、无周期热、具有高功率密度、高效率、低振动噪声、过载能力强、无周期热负载等。负载等。3.2.3 3.2.3 新型执行元件新型执行元件（3 3）、高温超导电机的应用）、高温超导电机的应用 目前，在船舶电力推进、直驱风力发

23、电、大功率电器传动、工业发目前，在船舶电力推进、直驱风力发电、大功率电器传动、工业发电、航天发射等许多大中型电机应用领域，特别是在对电机体积、质电、航天发射等许多大中型电机应用领域，特别是在对电机体积、质量有严格要求的船舶电力推进和直驱风力发电领域，有着十分广阔的量有严格要求的船舶电力推进和直驱风力发电领域，有着十分广阔的应用前景。应用前景。我国高温超导电机的研究起步研究较晚，研究的深度和广度还不我国高温超导电机的研究起步研究较晚，研究的深度和广度还不够，基础研究、技术水平与技术手段与美国和德国相比还存在明显够，基础研究、技术水平与技术手段与美国和德国相比还存在明显差距。差距。3.2.3 3.

24、2.3 新型执行元件新型执行元件 （2 2）超声波电机的特点及应用）超声波电机的特点及应用 超声波电动机结构简单、体积小、重量轻、力矩大、响应快、控制超声波电动机结构简单、体积小、重量轻、力矩大、响应快、控制精度高精度高,可以运用于照相机的自动调焦、门式窗帘的直接驱动、机器人可以运用于照相机的自动调焦、门式窗帘的直接驱动、机器人的关节控制等场合。的关节控制等场合。2 2、超声波电动机、超声波电动机（1）超声波电机的工作原理及组成）超声波电机的工作原理及组成 超声波电动机是一种新的微型驱动电机超声波电动机是一种新的微型驱动电机,它没有绕组和磁路它没有绕组和磁路,不以不以电磁相瓦作用来传递能量电磁

25、相瓦作用来传递能量,而是基于压电材科的逆压电效应而是基于压电材科的逆压电效应,利用超利用超声波振动来实现机电能量转换。声波振动来实现机电能量转换。超声波电动机的基本结构主要包括超声波电动机的基本结构主要包括定子、转子、压力弹簧和转轴等部件。定子、转子、压力弹簧和转轴等部件。3.2.3 3.2.3 新型执行元件新型执行元件（3 3）、超声波电机分类）、超声波电机分类 超声波电动机的分类还没有统一的标准超声波电动机的分类还没有统一的标准,按照驱动转子运动的机理按照驱动转子运动的机理可分为驻波型和行波型两种。可分为驻波型和行波型两种。a a、驻波型是利用与压电材料相连的弹性体内激发的驻波来推动转、驻

26、波型是利用与压电材料相连的弹性体内激发的驻波来推动转子运动子运动,属于间断驱动方式属于间断驱动方式;b b、行波型则是在弹性体内产生单向的行波、行波型则是在弹性体内产生单向的行波,利用行波表面质点的利用行波表面质点的振动轨迹来传递能量振动轨迹来传递能量,属于连续驱动方式。属于连续驱动方式。3.2.3 3.2.3 新型执行元件新型执行元件（4 4）、超声波电机的速度控制）、超声波电机的速度控制 超声波电动机的速度控制可通过变压、变频来实现，另外，超声波电动机的速度控制可通过变压、变频来实现，另外，改变定子两相相位差也可对速度进行控制。变频控制可以充分改变定子两相相位差也可对速度进行控制。变频控制

27、可以充分利用超声波电动机低速、大转矩、动态响应快等优点，且有较利用超声波电动机低速、大转矩、动态响应快等优点，且有较高效率，因而成为首选。相位差控制可平滑调速和改变转向，高效率，因而成为首选。相位差控制可平滑调速和改变转向，适用于需要柔顺驱动的系统。适用于需要柔顺驱动的系统。3.2.3 3.2.3 新型执行元件新型执行元件3 3、压电式驱动器、压电式驱动器 压电式驱动器是利用压电材料的逆压电效应来驱动执行机构作压电式驱动器是利用压电材料的逆压电效应来驱动执行机构作微量位移。压电材料具有双向的压电效应微量位移。压电材料具有双向的压电效应,正压电效应是指压电材正压电效应是指压电材料在外力作用下产生

28、应变料在外力作用下产生应变,在其表面上产生电荷在其表面上产生电荷;而逆压电效应是指而逆压电效应是指压电材料在外界电场作用下产生应变压电材料在外界电场作用下产生应变,其应变大小与电场强度成正其应变大小与电场强度成正比比,应变方向取决于电场方向。应变方向取决于电场方向。（1 1）、压电式驱动器的工作原理）、压电式驱动器的工作原理3.2.3 3.2.3 新型执行元件新型执行元件（2 2）、压电式驱动器的特点）、压电式驱动器的特点a a、位移量大、位移量大(行程可达数厘米行程可达数厘米););b b、移动精度和分辨率极高、移动精度和分辨率极高(位移精度可达位移精度可达0.05 um,0.05 um,分

29、辨率可分辨率可达达0.006 um 0.006 um 每步每步););c c、动作快、动作快(移动速度可达移动速度可达20 mm/min);20 mm/min);d d、结构简单、结构简单,尺寸小尺寸小;易于遥控。易于遥控。3.2.3 3.2.3 新型执行元件新型执行元件（3 3）、典型的压电式驱动器）、典型的压电式驱动器 当压电陶瓷管当压电陶瓷管1 1通电时向左伸通电时向左伸长长,推动刀体中的滑柱推动刀体中的滑柱2 2、方形楔、方形楔块块4 4和圆柱楔块和圆柱楔块8 8左移。借助于楔左移。借助于楔块块8 8的斜面的斜面,克服压板弹簧克服压板弹簧5 5的弹力的弹力,将固定镗刀将固定镗刀6 6的

30、刀套的刀套7 7项起项起,实现实现镗刀镗刀6 6的一次微量位移。相反的一次微量位移。相反,当当对压电陶瓷管通反向直流电压时对压电陶瓷管通反向直流电压时,则压电陶瓷管则压电陶瓷管1 1向右收缩向右收缩,楔块楔块4 4右右侧出现空隙。在圆柱弹簧侧出现空隙。在圆柱弹簧3 3的作用的作用下下,方形楔块方形楔块4 4向下移动向下移动,以填补由以填补由于压电陶瓷管收缩时所腾出的空于压电陶瓷管收缩时所腾出的空隙。隙。3.2.3 3.2.3 新型执行元件新型执行元件4 4、磁致伸缩执行器、磁致伸缩执行器 磁致伸缩执行器是利用某些材料在磁场作用下具有尺寸变化的磁磁致伸缩执行器是利用某些材料在磁场作用下具有尺寸变

31、化的磁致伸缩效应来实现微量位移的一种执行元件。磁致伸缩效应是指致伸缩效应来实现微量位移的一种执行元件。磁致伸缩效应是指某些材料在磁场作用下产生应变某些材料在磁场作用下产生应变,其应变大小与磁场强度成正比。其应变大小与磁场强度成正比。（1）、工作原理）、工作原理3.2.3 3.2.3 新型执行元件新型执行元件 图图3.83.8给出了磁致伸缩式微量进给的工作原理。磁致伸缩棒的左端固定给出了磁致伸缩式微量进给的工作原理。磁致伸缩棒的左端固定在机座上在机座上,其右端与运动部件相连。当绕在伸缩棒外的线圈通入励磁电流其右端与运动部件相连。当绕在伸缩棒外的线圈通入励磁电流后后,在磁场作用下伸缩棒将产生相应的

32、变形在磁场作用下伸缩棒将产生相应的变形,使运动部件实现微量移动。改使运动部件实现微量移动。改变线圈的通电电流可改变磁场强度变线圈的通电电流可改变磁场强度,使磁致伸缩棒产生不同的伸缩变形使磁致伸缩棒产生不同的伸缩变形,从从而使运动部件得到不同的微量位移。而使运动部件得到不同的微量位移。3.2.3 3.2.3 新型执行元件新型执行元件（2 2）、磁致伸缩执行器的特点）、磁致伸缩执行器的特点a a、重复精度高、重复精度高,无间隙无间隙;b b、刚性好、刚性好,转动惯量小转动惯量小,工作稳定性好工作稳定性好;c c、结构简单、紧凑、结构简单、紧凑;d d、进给量有限。、进给量有限。3.2.3 3.2.

33、3 新型执行元件新型执行元件5 5、电热式驱动器、电热式驱动器（1 1）、工作原理）、工作原理 电热式驱动器利用电热元件电热式驱动器利用电热元件(如金属棒如金属棒)通电后产生的热变形通电后产生的热变形来驱动执行机构的微小直线位移来驱动执行机构的微小直线位移,可通过控制电热器可通过控制电热器(电阻丝电阻丝)的的加入电流来改变位移量加入电流来改变位移量,利用变压器或变阻器可调节传动杆的加利用变压器或变阻器可调节传动杆的加热速度热速度,以实现位移速度的控制。以实现位移速度的控制。3.2.3 3.2.3 新型执行元件新型执行元件 （2 2）、电热式驱动器的特点）、电热式驱动器的特点 电热式驱动器具有刚

34、度高、无间隙等优点电热式驱动器具有刚度高、无间隙等优点,但是存在热惯但是存在热惯性性,且难于精确地控制冷却速度且难于精确地控制冷却速度,故只能用于行程较短、工作故只能用于行程较短、工作频率不高的场合。频率不高的场合。3.2.3 3.2.3 新型执行元件新型执行元件 在图在图3.103.10所示的热变形微动装置中所示的热变形微动装置中,传动杆的一端固定在机座上传动杆的一端固定在机座上,另另一端固定在沿导轨移动的运动件上。当安装在杆腔内部的电阻丝通电加一端固定在沿导轨移动的运动件上。当安装在杆腔内部的电阻丝通电加热时热时,传动杆受热伸长传动杆受热伸长,推动运动杆实现微量位移。推动运动杆实现微量位移。式中式中,l为传动杆的伸长量为传动杆的伸长量;为传动杆材料的线膨胀系数为传动杆材料的线膨胀系数;为传动杆为传动杆长度长度;为加热前后的温差。为加热前后的温差。tLltL