1、演讲人202x-11-11超 快 激 光 微 纳 加 工 ： 原理 、 技 术 与 应 用 ( 程 亚 等 )01丛书序丛书序 02序言序言 03前言前言 04第1章超快激光加工概述第1章超快激光加工概述1.1超快激光加工介绍1.2超快激光加工的特点1.3超快激光材料处理参考文献第1章超快激光加工概述1.2超快激光加工的特点1.2.2降低等离子体屏蔽021.2.5电介质中的载流子激发051.2.1热影响区的抑制011.2.4材料内部改性041.2.3多光子吸收031.2.6超快激光加工的空间分辨率06第1章超快激光加工概述1.3超快激光材料处理01031.3.1表面微加工1.3.2表面微纳结构
2、制备1.3.3纳米烧蚀020405061.3.4双光子聚合1.3.5透明材料的内部改性1.3.6生物医学应用1.3超快激光材料处理u1.3.7工业和商业应用第1章超快激光加工概述05第2章超快激光技术简介第2章超快激光技术简介2.1超快激光技术2.2飞秒激光脉冲诊断技术2.3飞秒激光材料加工技术2.4飞秒激光脉冲整形技术参考文献第2章超快激光技术简介2.1超快激光技术012.1.1掺钛蓝宝石激光器022.1.2啁啾脉冲放大技术032.1.3飞秒光纤激光器042.1.4薄片激光器第2章超快激光技术简介2.2飞秒激光脉冲诊断技术2.2.2频率分辨光学开关法贰2.2.1飞秒脉冲的自相关测量壹2.2.
3、3自参考光谱相位相干电场重建法叁第2章超快激光技术简介2.3飞秒激光材料加工技术12.3.1飞秒激光直写技术22.3.2飞秒激光并行微纳加工技术第2章超快激光技术简介2.4飞秒激光脉冲整形技术2.4.1飞秒激光脉冲的时域整形技术2.4.3飞秒激光脉冲的时空整形技术2.4.2飞秒激光脉冲的空间整形技术2.4.4飞秒激光脉冲的偏振整形06第3章超快激光脉冲时空整形第3章超快激光脉冲时空整形3.1飞秒脉冲时域整形3.2飞秒光束空间整形3.3飞秒激光时空聚焦3.4光束整形加工应用举例参考文献第3章超快激光脉冲时空整形3.1飞秒脉冲时域整形3.1.1飞秒脉冲整形简介3.1.2双/多脉冲加工3.1.3脉冲
4、时域自适应控制第3章超快激光脉冲时空整形3.2飞秒光束空间整形3.2.1激光直写截面控制3.2.2多光束并行处理3.2.3自适应光束空间整形第3章超快激光脉冲时空整形3.3飞秒激光时空聚焦013.3.1时空聚焦原理简介033.3.3时空聚焦三维光刻023.3.2时空聚焦三维各向同性直写043.3.4脉冲前沿倾斜和焦面强度倾斜第3章超快激光脉冲时空整形3.4光束整形加工应用举例3.4.1无衍射光束加工3.4.2脉冲偏振整形加工3.4.3飞秒激光超分辨加工07第 4 章 超 快 激 光 对 材 料 的 表 面 处 理第4章超快激光对材料的表面处理M.94275.CN014.1飞秒激光加工薄膜材料0
5、24.2材料表面的钻孔与切割034.3飞秒激光诱导表面周期结构044.4硅表面微锥结构054.5飞秒激光诱导表面微纳米结构的应用06参考文献第4章超快激光对材料的表面处理4.1飞秒激光加工薄膜材料14.1.1飞秒激光对薄膜材料的烧蚀24.1.2薄膜表面的微凸起结构第4章超快激光对材料的表面处理4.2材料表面的钻孔与切割4.2.1表面钻孔14.2.2表面切割2第4章超快激光对材料的表面处理4.3飞秒激光诱导表面周期结构ab4.3.2飞秒激光诱导表面周期性结构的形成机理4.3.1飞秒激光诱导表面周期结构的特点第4章超快激光对材料的表面处理4.5飞秒激光诱导表面微纳米结构的应用4.5.2表面浸润特性
6、调控4.5.3生物化学应用4.5.1材料表面光学特性调控08第 5 章 基 于 双 光 子 聚 合 的 飞 秒 激 光 三 维 直 写第5章基于双光子聚合的飞秒激光三维直写5.5微纳机械的加工e5.4光学元件的加工d5.1双光子聚合的原理a5.2双光子聚合的分辨率b5.3材料的功能化c5.6微流体器件的加工f第5章基于双光子聚合的飞秒激光三维直写5.7医学和生物组织工程中的应用5.8三维金属微纳结构的加工参考文献09第 6 章 透 明 介 电 材 料 内 部 的 三 维 光 子 学 集 成 6.1利用飞秒激光实现透明介电材料内部改性的原理概述 6.2透明材料内部中三维光波导的制备 6.3光子器
7、件的制备 6.4高品质光学微腔 参考文献第6章透明介电材料内部的三维光子学集成第6章透明介电材料内部的三维光子学集成6.2透明材料内部中三维光波导的制备6.2.2波导的制作方式1326.2.1制作波导的影响因素6.2.3不同材料第6章透明介电材料内部的三维光子学集成6.3光子器件的制备01036.3.1分束器6.3.2定向耦合器6.3.3马赫曾德尔干涉仪020405066.3.4频率转换器6.3.5有源光子器件6.3.6集成量子光子回路6.3光子器件的制备u6.3.7其他微光学器件第6章透明介电材料内部的三维光子学集成第6章透明介电材料内部的三维光子学集成6.4高品质光学微腔16.4.1在玻璃
8、上制备高品质的光学微腔26.4.2制备高品质的晶体微腔10第 7 章 飞 秒 激 光 直 写 制 备 微 流 控 芯 片 和 集 成 光流器件第7章飞秒激光直写制备微流控芯片和集成光流器件7.1飞秒激光辅助湿法化学刻蚀制备微流结构 7.2水辅助飞秒激光直写制备微流结构 7.3水辅助飞秒激光直写制备纳流结构 7.4飞秒激光直写实现光流控集成 7.4.1自由空间微光学元件和微流控系统的集成7.4.2光波导和微流控系统的集成7.4.3集成芯片在生物医学研究中的应用参考文献 11第 8 章 超 快 激 光 加 工 在 现 代 工 业 中 的 应 用第8章超快激光加工在现代工业中的应用M.94275.CN01038.1表面处理8.2高精度钻孔8.3精密切割020405068.4透明材料三维加工应用8.5医疗应用举例参考文献第8章超快激光加工在现代工业中的应用8.1表面处理8.1.1抗摩擦损耗结构8.1.2浮雕和成型模具8.1.3光电子功能性修饰第8章超快激光加工在现代工业中的应用8.3精密切割8.3.1透明介质8.3.2半导体和金属8.3.3危险化学物品第8章超快激光加工在现代工业中的应用8.4透明材料三维加工应用8.4.2激光玻璃焊接8.4.1激光三维标记与光存储第8章超快激光加工在现代工业中的应用8.5医疗应用举例8.5.1医用支架加工18.5.2激光手术2感谢聆听
