1、大宗气体特气系统介绍大宗气体特气系统介绍Section 1气体的类型气体的类型Section 2气体供应方式气体供应方式Section 3气体设备气体设备Section 4尾气处理尾气处理Section 5控制系统控制系统Section 6大众气体输送系统大众气体输送系统Section 7压缩空气压缩空气(CDA)1,1,按照气体的使用量分类按照气体的使用量分类: : (1), (1),大宗气体大宗气体: : (2),(2),特殊气体特殊气体: :2,2,按照气体的性质分类按照气体的性质分类: : (1), (1),惰性性气体惰性性气体 (2), (2),助燃性气体助燃性气体 (3), (3)
2、,易燃性气体易燃性气体 (4), (4),腐蚀性气体腐蚀性气体 (5), (5),氧化性气体氧化性气体 3,3,按照气体的纯度分类按照气体的纯度分类: : (1), (1),一般气体一般气体: : (2), (2),高纯气体高纯气体: :4,4,按照气体常温条件下的状态分类按照气体常温条件下的状态分类: : (1), (1),气态气体气态气体 (2), (2),液态气体液态气体 (3),(3),高压气体高压气体 (4),(4),低压气体低压气体 1: On-site gas generator supply: CDA,GN2,O2 现场制造气体现场制造气体2: Bundle supply: H
3、2,He 集装格供应气体集装格供应气体3: Lorry tank supply: Ar,O2 液体槽车供应气体液体槽车供应气体4: Gas cylinder supply: Special Gas 钢瓶供应气体钢瓶供应气体 流量计流量计Tank LorryN2 Plant液态气体储罐液态气体储罐Purity GasGeneral GasOutside OfBuildingInside OfBuilding过滤器过滤器0.02m, 0.01m无尘室无尘室气体纯化器气体纯化器过滤器过滤器(0.05m)过滤器过滤器(0.1m)调压器调压器气化器气化器r特殊气体系统特殊气体系统特殊气体系统特殊气体系统
4、-流程图流程图特殊气体集中输送系统特殊气体集中输送系统(BSGS)安全安全设计设计 (外外壳壳)不不锈钢锈钢 316L VIM/VAR选选用材料符合特殊用材料符合特殊气气体需要体需要100% 内内表面表面电电子抛光子抛光无无颗颗粒粒泄漏率泄漏率: 1 x 10 10 Atm-cc/sec (He)PLC 控制控制 & 触触摸摸瓶瓶操作操作 和和 维护维护方便方便全自全自动动循循环环工工艺艺自自动动工工艺钢瓶艺钢瓶切切换换安全安全选项选项 & 联动联动装置装置显显示器示器 : EL Mono or TFT Color Gas Cabinet Flow DiagramA : PROCESSB :
5、PURGE N2C : GENERAL N2D : LEAK CHECK HeE : EXHAUST在不用停止供在不用停止供气气的的条条件下增加使用点件下增加使用点降通降通过减过减少少气瓶柜气瓶柜的的数数量量来来降低降低费费用用系系统统和安全和安全选项类选项类似于似于气瓶柜气瓶柜设计简洁设计简洁1 X 8 输输送送t ool : 3t ool : 2t ool : 1VMB BSGS (特殊特殊气气体集中体集中输输送系送系统统) 防止更换钢瓶时,钢瓶接头咬死持久保持高洁净度: 减小钢瓶内杂质结合的几率.降低频繁更换钢瓶所涉及的人员成本及项目管理成本.连续不间断供气降低污染, 减少维护费用减少气
6、瓶柜数量以降低成本.简化二次配管工作供应量: 0300 slpm二次降压: 0150 psig 5psig系统和安全选项类似于气瓶柜 Safety Design & SystemDesigned with Anti-corrosion MaterialEasy Operation and MaintenanceLow Running CostHigh EfficiencyPLC Controller & Touch PanelFull Auto Cycle ProcessSafety Option & InterlocksApplicable Monitoring System Dry Scr
7、ubber Thermal Wet Scrubber Plasma Type POU ScrubberPlasma chamberWater chamberInlet port(4 ports - standard)Touch screenMiddle flange Flow controller (N2, Air water)Controller of Gas and Chemical Supply System Free Volt Main Power PLC Process Touch Panel Operation Display : EL Mono or TFT Color COM
8、: RS-232C 422, 485, Data Highway Box Size W796 x D330 x H315Signal TowerManometerEMG12” TFT Color Display GMS Concept FlowPOWERFUSEP R O GR U N T E S T B R E A K E R R O R B A T T A L A R MT E S T R U N R E M O T E P R O GN700P R O G R A MEthernEthernet et LinkLinkWIRE WIRE LINKLINKWIRE WIRE LINKLIN
9、KWIRE WIRE LINKLINKPOWERFUSEP R O GR U N T E S T B R E A K E R R O R B A T T A L A R MT E S T R U N R E M O T E P R O GN700P R O G R A MEthernEthernet et LinkLinkWIRE WIRE LINKLINKWIRE WIRE LINKLINKWIRE WIRE LINKLINKPOWERFUSEP R O GR U N T E S T B R E A K E R R O R B A T T A L A R MT E S T R U N R E
10、 M O T E P R O GN700P R O G R A MEthernEthernet et LinkLinkWIRE WIRE LINKLINKWIRE WIRE LINKLINKWIRE WIRE LINKLINK ServerFull Point I/O Panel PCGas CabinetVMBHubHubHubHubEthernet TransceiverGas CabinetVMBGas CabinetVMBServerFull Point I/OServerFull Point I/O GMS 定义:在空气中可以提取的气体,如氮气,氧气,氩气,氦气等. 储藏方式:低温储
11、罐,高压钢瓶 低温液体在常压下一般沸点低于-180 例如液氧(-182.9)液氩(-185.7)液氮 (-195.8)液氦(-268.9) （1）压缩气体 临界温度低于-10的气体，经加高压压缩，仍处于气态者称压缩气体，如氧、氮、氢、空气、氩、氮等。这类气体钢瓶若设计压力大于或等于12MPa（125kg/cm2）称高压气瓶。 （2）液化气体 临界温度10的气体，经加高压压缩，转为液态并与其蒸气处于平衡状态者称为液化气体。 （3）溶解气体 单纯加高压压缩，可产生分解、爆炸等危险性的气体，必须在加高压的同时，将其溶解于适当溶剂，并由多孔性固体物充盛。在15以下压力达0.2MPa以上，称为溶解气体（或称气体溶液）， 压缩空气(CDA)是指经空气压缩机压缩后,经干燥,压力高于大气压的空气. 压缩空气是一种能源，是一种由电能转化而来的能源。作为用来开动机具和阀门的主要能源,它易于控制，使用方便，能灵巧精确地完成动作，有缓冲作用，而且不发热、没有污染。 空气压缩机冷冻式干燥机过滤器储罐
