1、Page 20主要内容第一部分第一部分仿真流程仿真流程第二部分第二部分语法规则语法规则第三部分第三部分语法学习及书写建议语法学习及书写建议Page 31 仿真流程第一部分第一部分仿真流程仿真流程第二部分第二部分语法规则语法规则第三部分第三部分语法学习及书写建议语法学习及书写建议 TCAD仿真流程1.1 仿真流程Page 4工艺仿真流程器件仿真流程电路仿真流程1.2.1 输入命令 输入命令流 Page 5go athenaline x loc=0 spac=0.1line x loc=1 spac=0.1line y loc=0 spac=0.02line y loc=10 spac=0.2in
2、it c.phos=2e13 oreit=111 two.dtonyplot1.2.2 程序运行 命令逐行运行 实时运算信息Page 61.2.3 输出结果 实时输出 结构文件 *.str 日志文件 *.log 提取的数据 *.datPage 71.2.4 结果分析 Tonyplot显示（Display）和分析（Tools） Tonyplot导出数据 查看实时输出Page 8Page 92 语法规则第一部分第一部分第二部分第二部分仿真流程仿真流程第三部分第三部分语法学习及书写建议语法学习及书写建议语法规则语法规则2.1 通用格式 通用格式，由command和parameter组成 “n”为数值
3、型参数，如“10” “c”为字符串参数，如“silicon” “|”表示从中括号中的参数选其1Page 10command parameter1= parameter2= parameter3 | parameter4 go athenadiffuse time=36 hours temp=1250 f.o2=1.2solve vgate=0.1 例子：2.2 语法规则 命令可以简写，以不与其他简写相冲突为原则，如“deposit”可以用“depo”取代 不区分大小写 命令和参数之间、参数和参数之间以空格分开 一行写不完的在该行的末尾加反斜杠“”(注意“”前需留有空格)，则下一行和该行将被视为
4、同一个命令 “#”进行注释 空行不运行Page 11n 参数类型n 参数命名 单属性：完整单词或缩写，diffuse, left, material, xj 多属性参数：单词的连接单词的连接，2d.max.conc, temp.val, c.phos2.3 参数规则ParameterDescriptionValue RequiredExampleCharacterAny character stringYesmaterial=siliconIntegerAny whole numberYesregion=1LogicalA true or false conditionNogaussianRe
5、alAny real numberYesx.min=0.1Page 122.4 目录结构Page 13可执行程序的快捷方式组件库二维工艺仿真器版本号模型文件、模板、材料参数等用户手册及组件更新的说明文档各版本的新特性说明文档可执行程序二维器件仿真器示例库一维工艺仿真的子示例库2.5 文件类型 输入文件“*.in”（DeckBuild界面的仿真输入文件） 结构文件“*.str”（工艺仿真或器件编辑器得到的器件结构） 器件仿真结果文件“*.log”（器件仿真时存储仿真结果） 设置文件“*.set”（Tonyplot的显示设置） 掩膜结构文件“*.lay”（光刻的掩膜信息） 提取的结果文件“*.da
6、t”（提取得到的数据） “*.lib”（C编译器编写的函数文件） 其他文件类型：“*.sepc”，“*.opt”，Page 14Page 153 语法学习及书写建议第一部分第一部分第二部分第二部分语法规则语法规则第三部分第三部分语法学习及书写建议语法学习及书写建议仿真流程仿真流程3.1 语法学习 学习资料 程序自带的EXAMPLE：EXAMPLE路径，X: sedatools examples. 用户手册：ATHENA手册位置：X:sedatoolslibAthena.R docsathena_users1.pdf SILVACO官方网站 http:/ SILVACO中国 http:/Page
7、 163.2 语法书写建议 添加注释、分成多行及空行 变参数仿真可用“set” 活用“CtrlC”和“CtrlV”Page 17增强可读性，便于查找和修改3.3 Silvaco TCAD学习建议 电脑以及仿真程序始终只是工具，真正的发现还是来自于实践实践，两者不可偏废 电脑只能解决问题而不能提出问题提出问题，所以电脑的功能永远有限，要学会寻找问题 仿真仿真真真，尽信软件不如没有软件 在使用中学习在使用中学习，而不是在记忆中学习Page 184 总结 本课的主要内容 Silvaco TCAD的仿真流程 Silvaco TCAD的语法规则及学习和书写建议 下一课主要内容工艺仿真器介绍工艺仿真流程Page 19Page 20谢谢！欢迎提问
