1、第第10章章 光纤温度传感器光纤温度传感器1ppt课件燕山大学光电子系第10章 光纤温度传感器10.2 10.2 传光型光纤温度传感器传光型光纤温度传感器210.3 10.3 功能型光纤温度传感器功能型光纤温度传感器310.4 10.4 分布式光纤温度传感器分布式光纤温度传感器4110.1 10.1 引引 言言2燕山大学光电子系10.1 10.1 引引 言言v 在科研和工农业生产中，温度是检在科研和工农业生产中，温度是检测与控制的重要参数。测与控制的重要参数。v 传统的温度测量技术已很成熟，如传统的温度测量技术已很成熟，如热电偶、热敏电阻、光学高温计、热电偶、热敏电阻、光学高温计、半导体以及其
2、他类型的温度传感器。半导体以及其他类型的温度传感器。它们的敏感特性都是以电信号为工它们的敏感特性都是以电信号为工作基础的，即温度信号被电信号调作基础的，即温度信号被电信号调制；制；v 而在特殊工况和环境下，如易燃、易爆、高电压、强电磁场、而在特殊工况和环境下，如易燃、易爆、高电压、强电磁场、具有腐蚀性气体、液体，以及要求快速响应、非接触等，光具有腐蚀性气体、液体，以及要求快速响应、非接触等，光纤温度测量技术具有独到的优越性纤温度测量技术具有独到的优越性。3燕山大学光电子系 由于光纤本身的电绝缘性以及固有的宽频带等优由于光纤本身的电绝缘性以及固有的宽频带等优点，使得点，使得光纤温度传感器光纤温度
3、传感器突破了电调制温度传感器的突破了电调制温度传感器的限制。同时，由于其工作时温度信号被光信号调制，限制。同时，由于其工作时温度信号被光信号调制，传感器多采用石英光纤，传输的幅值信号损耗低，并传感器多采用石英光纤，传输的幅值信号损耗低，并可以远距离传输，使传感器的光电器件远离现场，避可以远距离传输，使传感器的光电器件远离现场，避免了恶劣的环境。在辐射测温中，光纤代替了常规测免了恶劣的环境。在辐射测温中，光纤代替了常规测温仪的空间传输光路，使干扰因素如尘雾、水汽等对温仪的空间传输光路，使干扰因素如尘雾、水汽等对测量结果影响很小。光纤质量小，截面小，可弯曲传测量结果影响很小。光纤质量小，截面小，可
4、弯曲传输测量不可视工作温度，便于特殊工况下的安装使用。输测量不可视工作温度，便于特殊工况下的安装使用。4燕山大学光电子系红外温度传感器v 而在特殊工况和环境下，如易燃、易爆、高电压、强电磁场、而在特殊工况和环境下，如易燃、易爆、高电压、强电磁场、具有腐蚀性气体、液体，以及要求快速响应、非接触等，光具有腐蚀性气体、液体，以及要求快速响应、非接触等，光纤温度测量技术具有独到的优越性纤温度测量技术具有独到的优越性。v自然界一切温度高于绝对零度的物体。由于分子的热运动都在不停地向周围空间辐射包括红外波段在内的电磁波。其辐射能量密度与物体本身的温度关系符合普朗克定律公式是？5燕山大学光电子系v光纤用于温
5、度测量的机理与结构形式多种多样，按光纤用于温度测量的机理与结构形式多种多样，按光纤所起的作用基本上可分为两大类：光纤所起的作用基本上可分为两大类：一类是传光一类是传光型，这类传感器仅由光纤的几何位置排布实现光转型，这类传感器仅由光纤的几何位置排布实现光转换功能；另一类是传感型，它以光的相位、波长、换功能；另一类是传感型，它以光的相位、波长、强度（干涉）等为测量信号。强度（干涉）等为测量信号。v传光型与传感型相比，虽然其温度灵敏度较低，但传光型与传感型相比，虽然其温度灵敏度较低，但是由于具有技术上容易实现、结构简单、抗干扰能是由于具有技术上容易实现、结构简单、抗干扰能力强等特点，在实用化技术方面
6、取得了突破，发展力强等特点，在实用化技术方面取得了突破，发展较快。如荧光衰减型、热辐射型光纤温度传感器已较快。如荧光衰减型、热辐射型光纤温度传感器已达到实用水平。达到实用水平。光纤温度传感器6燕山大学光电子系 光纤温度传感器的测温机理及特点下表光纤温度传感器的测温机理及特点下表10.110.1传光型光纤温度传感器传光型光纤温度传感器：使用电子式敏感器件，光纤仅为信号的传输通道；：使用电子式敏感器件，光纤仅为信号的传输通道；传感型光纤温度传感器：传感型光纤温度传感器：利用其本身具有的物理参数随温度变化的特性检测温度，利用其本身具有的物理参数随温度变化的特性检测温度，光纤本身为敏感元件，其温度灵敏
7、度较高；但由于光纤对温度以外的干扰如振光纤本身为敏感元件，其温度灵敏度较高；但由于光纤对温度以外的干扰如振动、应力等的敏感性，使其工作的稳定性和精度受到影响。动、应力等的敏感性，使其工作的稳定性和精度受到影响。光纤温度传感器测测 温温 机机 理理 传感器的特点传感器的特点 荧光荧光 激发的荧光（强度、时间）与测量温度的相关性激发的荧光（强度、时间）与测量温度的相关性光干涉光干涉 法布里法布里- -珀罗器件，薄膜干涉珀罗器件，薄膜干涉 光吸收光吸收 砷化镓等半导体吸收砷化镓等半导体吸收 热致光辐射热致光辐射黑体腔、石英、红外光纤、光导棒黑体腔、石英、红外光纤、光导棒 光散射光散射 载有温度信息的
8、光在光纤中形成的拉曼散射、瑞利散射载有温度信息的光在光纤中形成的拉曼散射、瑞利散射 表表10.1 光纤温度传感器的测温机理及特点光纤温度传感器的测温机理及特点7燕山大学光电子系10.2 10.2 传光型光纤温度传感器传光型光纤温度传感器 半导体光吸收型光纤温度传感半导体光吸收型光纤温度传感器器 热色效应光纤温度传感器热色效应光纤温度传感器 荧光型光纤温度传感器荧光型光纤温度传感器8燕山大学光电子系10.2.1 10.2.1 半导体光吸收型光纤温度传感器半导体光吸收型光纤温度传感器 许多半导体材料在它的红限波长许多半导体材料在它的红限波长 （即其禁带宽度对应的（即其禁带宽度对应的波长）的一段光波
9、长范围内有递减的吸收特性，超过这一波段波长）的一段光波长范围内有递减的吸收特性，超过这一波段范围几乎不产生吸收，这一波段范围称为半导体材料的范围几乎不产生吸收，这一波段范围称为半导体材料的( (能带能带隙隙) )吸收端。如吸收端。如GaAsGaAs, , CdTeCdTe材料的吸收端在材料的吸收端在0.9m0.9m附近，如图附近，如图10.1(a)10.1(a)所示。所示。g9燕山大学光电子系(a) 光吸收温度特性光吸收温度特性 (b) 结构结构图图10.1 半导体光吸收型光纤温度传感器半导体光吸收型光纤温度传感器10.2.1 10.2.1 半导体光吸收型光纤温度传感器半导体光吸收型光纤温度传
10、感器10燕山大学光电子系 用这种半导体材料作为温度敏感头的原理是，用这种半导体材料作为温度敏感头的原理是，它们的禁带宽度随温度升高几乎线性地变窄，相应它们的禁带宽度随温度升高几乎线性地变窄，相应的红限波长的红限波长g几乎线性地变长，从而使其光吸收端线几乎线性地变长，从而使其光吸收端线性地向长波方向平移性地向长波方向平移。显然，当一个辐射光谱与。显然，当一个辐射光谱与 相一致的光源发出的光通过半导体时，其透射光强相一致的光源发出的光通过半导体时，其透射光强随温度升高而线性地减小。图随温度升高而线性地减小。图10.1(a)10.1(a)示出了这一说示出了这一说明。采用如图明。采用如图10.1(b)
11、10.1(b)所示的结构，就组成了一个最所示的结构，就组成了一个最简单的光纤温度传感器。这种结构由于光源不稳定简单的光纤温度传感器。这种结构由于光源不稳定的影响很大，实际中很少采用。的影响很大，实际中很少采用。10.2.1 10.2.1 半导体光吸收型光纤温度传感器半导体光吸收型光纤温度传感器11燕山大学光电子系一个实用化的设计如图一个实用化的设计如图10.210.2所示。所示。这种传感器的测量范围是这种传感器的测量范围是-10300，精，精度可达度可达 1。10.2.1 10.2.1 半导体光吸收型光纤温度传感器半导体光吸收型光纤温度传感器12燕山大学光电子系 光探测器输出信号经采样放大器后
12、，得到两个正比于脉冲宽度光探测器输出信号经采样放大器后，得到两个正比于脉冲宽度的直流信号，再由除法器以参考光信号的直流信号，再由除法器以参考光信号(2)为标准将与温度相为标准将与温度相关的光信号关的光信号(1)归一化。于是，除法器的输出只与温度归一化。于是，除法器的输出只与温度T有关。有关。采用单片机进行信息处理即可显示温度采用单片机进行信息处理即可显示温度。10.2.1 10.2.1 半导体光吸收型光纤温度传感器半导体光吸收型光纤温度传感器 两个光源，铝镓砷发光二两个光源，铝镓砷发光二极管：波长极管：波长1 0.88m；铟镓磷砷发光二极管，波铟镓磷砷发光二极管，波长长21.27m 。敏感头对
13、。敏感头对1光的吸收随温度而变化，光的吸收随温度而变化，对对2光不吸收，故取光不吸收，故取2光作光作为参考信号。用雪崩光电为参考信号。用雪崩光电二极管作为光探测器。二极管作为光探测器。13燕山大学光电子系 许多无机溶液的颜色许多无机溶液的颜色随温度而变化，因而溶液随温度而变化，因而溶液的光吸收谱线也随温度而的光吸收谱线也随温度而变化，称为热色效应。其变化，称为热色效应。其中钴盐溶液表现出最强的中钴盐溶液表现出最强的光吸收作用，热色溶液如光吸收作用，热色溶液如 溶液的光吸收频谱如图溶液的光吸收频谱如图10.310.3所示。所示。 3 32(CH ) CHOHCoCl 10.2.2 10.2.2
14、热色效应光纤温度传感器热色效应光纤温度传感器14燕山大学光电子系 从图从图10.3可见，在可见，在25 75之间的不同温度下，波长之间的不同温度下，波长在在400 800nm范围内有强烈范围内有强烈的热色效应。在的热色效应。在655 nm波长处，波长处，光透射率几乎与温度成线性关光透射率几乎与温度成线性关系，而在系，而在800 nm处，几乎与温处，几乎与温度无关。同时，这样的热色效度无关。同时，这样的热色效应是完全可逆的，因此可将这应是完全可逆的，因此可将这种溶液作为温度敏感探头，并种溶液作为温度敏感探头，并分别采用波长为分别采用波长为655 nm和和800 nm的光作为敏感信号和参考的光作为
15、敏感信号和参考信号信号。10.2.2 10.2.2 热色效应光纤温度传感器热色效应光纤温度传感器15燕山大学光电子系 这种温度传感器的组成如图这种温度传感器的组成如图10.4所示所示。10.2.2 10.2.2 热色效应光纤温度传感器热色效应光纤温度传感器16燕山大学光电子系 光源采用卤素灯泡，光源采用卤素灯泡，光进入光纤之前进行斩波光进入光纤之前进行斩波调制。探头外径为调制。探头外径为1.5 mm，长为长为10 mm，内充钴盐溶，内充钴盐溶液，两根光纤插入探头，液，两根光纤插入探头，构成单端反射形式。从探构成单端反射形式。从探头出来的光纤经头出来的光纤经Y形分路器形分路器将光分为两种，分别经
16、将光分为两种，分别经655 nm和和800 nm滤波片得到信滤波片得到信号光和参考光，号光和参考光，10.2.2 10.2.2 热色效应光纤温度传感器热色效应光纤温度传感器 再经光电信息处理电路，得到温度信息。由于系统利用信号光和参考光再经光电信息处理电路，得到温度信息。由于系统利用信号光和参考光的比值作为温度信息，因而消除了光源波动及其他因素的影响，保证了系的比值作为温度信息，因而消除了光源波动及其他因素的影响，保证了系统测量的准确性。统测量的准确性。17燕山大学光电子系10.2.3 10.2.3 荧光型光纤温度传感器荧光型光纤温度传感器 荧光现象大致分为两类：荧光现象大致分为两类：一类是下
17、转换荧光现一类是下转换荧光现象，短波长辐射（紫外线、象，短波长辐射（紫外线、X X射线）激发出长波长射线）激发出长波长（可见光）光辐射；（可见光）光辐射；另一类是上转换荧光现象，长另一类是上转换荧光现象，长波长光辐射（波长光辐射（LEDLED、红外光）通过双光子效应激发、红外光）通过双光子效应激发出短波长（可见光）光辐射。出短波长（可见光）光辐射。 后一类用于温度测量时，费效比低，有实用意后一类用于温度测量时，费效比低，有实用意义。荧光材料是义。荧光材料是 ： 荧光粉，激励波荧光粉，激励波长为长为 940nm 940nm ，荧光波长为，荧光波长为554 nm554 nm。 荧光特性如图荧光特性
18、如图10.510.5所示，分为荧光段和余辉段。所示，分为荧光段和余辉段。3YF33YbEr18燕山大学光电子系图图10.5 光脉冲激励的荧光特性光脉冲激励的荧光特性 10.2.3 10.2.3 荧光型光纤温度传感器荧光型光纤温度传感器联合使用这两个温度参数实现温度计联合使用这两个温度参数实现温度计量的方法是所谓的余辉强度积分法，量的方法是所谓的余辉强度积分法，P( )( )exp( )tI tA ITT19燕山大学光电子系 式中，式中，t=t2-t1 ；A是常数；是常数；IP(T)是停止激励时的荧是停止激励时的荧光峰值强度，是温度的函数；光峰值强度，是温度的函数；(T)是荧光余辉寿命，是荧光余
19、辉寿命，是温度的函数。是温度的函数。 式式(10.1)表明，表明，IP(T)和和(T)是两个与温度是两个与温度T有关有关的独立的参数，可用于计量温度。的独立的参数，可用于计量温度。P( )( )exp( )tI tA ITT余辉强度余辉强度I(t)是温度和时间的函数，即是温度和时间的函数，即(10.1)(10.1)10.2.3 10.2.3 荧光型光纤温度传感器荧光型光纤温度传感器20燕山大学光电子系 联合使用这两个温度参数实现温度计量的方法联合使用这两个温度参数实现温度计量的方法是所谓的余辉强度积分法，即是所谓的余辉强度积分法，即(10.2) 该积分值等于图该积分值等于图10.5中斜线下的面
20、积，如图中中斜线下的面积，如图中阴影部分所示。温度不同，这个面积不同。这种方阴影部分所示。温度不同，这个面积不同。这种方法的优点是温度计量的重现性好，测量范围宽。信法的优点是温度计量的重现性好，测量范围宽。信号处理中采取号处理中采取m次累计平均的方法，如图次累计平均的方法，如图10.6所示。所示。 荧光型光纤温度传感器的组成原理框图如图荧光型光纤温度传感器的组成原理框图如图10.7所示。所示。( )dTI tt21燕山大学光电子系图图10.6 余辉强度积分法示意图余辉强度积分法示意图10.2.3 10.2.3 荧光型光纤温度传感器荧光型光纤温度传感器 温度不同，这温度不同，这个面积不同。这种个
21、面积不同。这种方法的优点是温度方法的优点是温度计量的重现性好，计量的重现性好，测量范围宽。信号测量范围宽。信号处理中采取处理中采取m次累次累计平均的方法，如计平均的方法，如图图10.6所示。所示。 荧光型光纤温荧光型光纤温度传感器的组成原度传感器的组成原理框图如图理框图如图10.7所所示。示。22燕山大学光电子系10.7荧光型光纤温度传感器的组成原理框图荧光型光纤温度传感器的组成原理框图 LED LED发射波长为发射波长为940 nm940 nm的脉冲光，的脉冲光，通过光纤入射到探头荧光粉上，由于通过光纤入射到探头荧光粉上，由于双光子过程荧光粉发射出波长为双光子过程荧光粉发射出波长为554 5
22、54 nmnm的绿光，经光纤分路送至光电探测的绿光，经光纤分路送至光电探测器进行光电转换，再经放大电路放大，器进行光电转换，再经放大电路放大，由微机控制的采样、保持及模由微机控制的采样、保持及模- -数转数转换电路对荧光波进行采样，并由微机换电路对荧光波进行采样，并由微机对采集的数据进行处理，给出温度的对采集的数据进行处理，给出温度的信息。信息。10.2.3 10.2.3 荧光型光纤温度传感器荧光型光纤温度传感器23燕山大学光电子系10.3 10.3 功能型光纤温度传感器功能型光纤温度传感器v v 光纤温度开关传感器光纤温度开关传感器 热辐射光纤高温传感器热辐射光纤高温传感器 掺杂光纤温度传感
23、器掺杂光纤温度传感器 相位干涉型光纤温度传感器相位干涉型光纤温度传感器24燕山大学光电子系10.3.1 10.3.1 光纤温度开关传感器光纤温度开关传感器 如果光纤纤芯和包层材料的折射率随温度变化，如果光纤纤芯和包层材料的折射率随温度变化，且在某一温度下出现交叉时，这种光纤就可以用做且在某一温度下出现交叉时，这种光纤就可以用做光纤温度传感器。光纤温度传感器。25燕山大学光电子系 图图10.8 三对光纤材料的折射率交叉点三对光纤材料的折射率交叉点 图图10.810.8示出了三对这种光纤材料示出了三对这种光纤材料的折射率交叉点情况。当纤心折的折射率交叉点情况。当纤心折射率大于包层折射率时，光能被射
24、率大于包层折射率时，光能被集中在纤心中。当温度升高到两集中在纤心中。当温度升高到两条折射率曲线的交叉点时，因纤条折射率曲线的交叉点时，因纤心与包层折射率的差为心与包层折射率的差为0 0，光能进，光能进入包层。温度再升高，纤心中光入包层。温度再升高，纤心中光能量将中断，传感器将发出警报能量将中断，传感器将发出警报信号。由于传感器是电绝缘的，信号。由于传感器是电绝缘的，又不怕强电磁干扰，因此可以方又不怕强电磁干扰，因此可以方便地用于大型发电机、电动机及便地用于大型发电机、电动机及变压器中进行温度监控。变压器中进行温度监控。10.3.1 10.3.1 光纤温度开关传感器光纤温度开关传感器26燕山大学
25、光电子系10.3.2 10.3.2 掺杂光纤温度传感器掺杂光纤温度传感器 掺杂稀土元素（如钕、铕）的玻璃光纤，具有掺杂稀土元素（如钕、铕）的玻璃光纤，具有温度敏感的吸收光谱，在两个波长处具有单调温度函温度敏感的吸收光谱，在两个波长处具有单调温度函数特性，如图数特性，如图10.9所示。所示。v 在840 nm波长处，吸收随温度升高而减少；在860 nm处则相反，吸收随温度升高而增加。在500处进行校准后，测定两个波长处的光强，由其比值即可测定温度。通常这种传感器的测温范围为0 800。27燕山大学光电子系10.3.2 10.3.2 掺杂光纤温度传感器掺杂光纤温度传感器 掺杂稀土元素（如钕、铕）的
26、玻璃光纤，具掺杂稀土元素（如钕、铕）的玻璃光纤，具有温度敏感的吸收光谱，在两个波长处具有单调有温度敏感的吸收光谱，在两个波长处具有单调温度函数特性，如图温度函数特性，如图10.9所示。所示。 在在840 nm波长处，吸收随温度升高而减少；波长处，吸收随温度升高而减少；在在860 nm处则相反，吸收随温度升高而增加。在处则相反，吸收随温度升高而增加。在500处进行校准后，测定两个波长处的光强，处进行校准后，测定两个波长处的光强，由其比值即可测定温度。通常这种传感器的测温由其比值即可测定温度。通常这种传感器的测温范围为范围为0 800。28燕山大学光电子系(a) 掺钕光纤温度敏感的吸收光谱掺钕光纤
27、温度敏感的吸收光谱 (b) 温度响应曲线温度响应曲线 图图10.9 掺钕光纤的温度特性掺钕光纤的温度特性10.3.2 10.3.2 掺杂光纤温度传感器掺杂光纤温度传感器29燕山大学光电子系10.3.3 10.3.3 热辐射光纤高温传感器热辐射光纤高温传感器v热辐射光纤高温传感器是基于光纤被加热要引起热热辐射光纤高温传感器是基于光纤被加热要引起热辐射这个原理的。辐射这个原理的。v热辐射的强度和波长是温度的函数，由于光纤材料热辐射的强度和波长是温度的函数，由于光纤材料的光谱工作范围的限制，这种传感器的适用范围在的光谱工作范围的限制，这种传感器的适用范围在高温区（一般在高温区（一般在500以上），因
28、此称为高温传感以上），因此称为高温传感器。器。30燕山大学光电子系 接触式热辐射光纤高温传感器通常有两种构接触式热辐射光纤高温传感器通常有两种构成方式：分布黑体腔和固定黑体腔。前者是把与成方式：分布黑体腔和固定黑体腔。前者是把与高温高温(500 1000)区接触的一段光纤当做黑体区接触的一段光纤当做黑体腔处理，这个接触区可以在光纤的任何一段上发腔处理，这个接触区可以在光纤的任何一段上发生，因而可以同时测量热区（接触区）温度及热生，因而可以同时测量热区（接触区）温度及热区位置。缺点是黑体腔的发射率受接触区尺寸及区位置。缺点是黑体腔的发射率受接触区尺寸及所用光纤总长度的影响。所用光纤总长度的影响。
29、10.3.3 10.3.3 热辐射光纤高温传感器热辐射光纤高温传感器31燕山大学光电子系 图图10.10 固定黑体腔光纤高温传感器的构成原理固定黑体腔光纤高温传感器的构成原理 我们着重讨论已经比较成熟的固定黑体腔光纤我们着重讨论已经比较成熟的固定黑体腔光纤高温传感器，其构成原理如图高温传感器，其构成原理如图10.1010.10所示。所示。 这种传感器主要包括三大部分：带黑体腔的高这种传感器主要包括三大部分：带黑体腔的高温单晶蓝宝石温单晶蓝宝石(-Al2O3)光纤（其熔化点温度为光纤（其熔化点温度为2050）、传送待测热辐射功率的低温多模光纤和）、传送待测热辐射功率的低温多模光纤和光电数据处理系
30、统。光电数据处理系统。10.3.3 10.3.3 热辐射光纤高温传感器热辐射光纤高温传感器32燕山大学光电子系 当黑体腔与待测高温区热平衡时，黑体腔就按当黑体腔与待测高温区热平衡时，黑体腔就按照黑体辐射定律发射与待测温度照黑体辐射定律发射与待测温度T相对应的电磁辐射，相对应的电磁辐射，其谱功率密度出射度为其谱功率密度出射度为 (10.3) 式中，式中， 为黑体腔谱发射率；为黑体腔谱发射率； 为第一辐射常数为第一辐射常数( )； 为第二辐射常数为第二辐射常数( )；T为待测温度为待测温度(K)；为辐射波长为辐射波长(m)。2152( ) (W/mm)exp1CM TCT1C8423.7415 1
31、0 W m /m2C41.4387 10 m K 10.3.3 10.3.3 热辐射光纤高温传感器热辐射光纤高温传感器33燕山大学光电子系v这一功率从黑体腔出口经高温光纤直接耦合进入低温这一功率从黑体腔出口经高温光纤直接耦合进入低温传输光纤，最后射入光电二极管光敏面，如果用传输光纤，最后射入光电二极管光敏面，如果用n1，n2分别表示高温光纤与低温光纤、低温光纤与光电二分别表示高温光纤与低温光纤、低温光纤与光电二极管光敏面的功率的耦合效率，用极管光敏面的功率的耦合效率，用 分别表示高分别表示高温光纤，截面积、长度、损耗系数，并考虑到光电二温光纤，截面积、长度、损耗系数，并考虑到光电二极管光敏面的
32、光谱响应范围为极管光敏面的光谱响应范围为0.41.1 m ，则入射到，则入射到光电二极管光敏面的黑体辐射功率为光电二极管光敏面的黑体辐射功率为, ,S l1.11 20.4exp( )dPn n SlMT12exp( ) (W)n n Sl M T(10.4)10.3.3 10.3.3 热辐射光纤高温传感器热辐射光纤高温传感器34燕山大学光电子系 可见，入射到光电二极管光敏面上的功率与待测可见，入射到光电二极管光敏面上的功率与待测温度有确定关系，这就是热辐射光纤高温传感器的原温度有确定关系，这就是热辐射光纤高温传感器的原理依据。经光电转换、信号放大、理依据。经光电转换、信号放大、A/DA/D转
33、换、微机处转换、微机处理及显示，给出待测温度值。理及显示，给出待测温度值。1.11 20.4exp( )dPn n SlMT12exp( ) (W)n n Sl M T 对式对式(10.4)中的出射度中的出射度M(T)可以进行理论计算，可以进行理论计算，再考虑各种耦合系数的量值。我们发现，在再考虑各种耦合系数的量值。我们发现，在500 1800的测温范围，黑体辐射功率的动态范围在的测温范围，黑体辐射功率的动态范围在 之间，达之间，达 量级。量级。1267.6 10 2.1 10 W62.8 10 W10.3.3 10.3.3 热辐射光纤高温传感器热辐射光纤高温传感器35燕山大学光电子系v综合讨
34、论，实现光纤高温传感技术的关键是：综合讨论，实现光纤高温传感技术的关键是： 第一，性能稳定的高温光纤及黑体腔的制作；第一，性能稳定的高温光纤及黑体腔的制作；第二，适应大动态范围要求的高性噪比电子数据处第二，适应大动态范围要求的高性噪比电子数据处理系统的精心设计。理系统的精心设计。v关于蓝宝石光纤探头黑体腔的形成，有三种方法：关于蓝宝石光纤探头黑体腔的形成，有三种方法：溅射蒸镀、包钳和人工缠绕。前者性能最好，但成溅射蒸镀、包钳和人工缠绕。前者性能最好，但成品率低，后两种方法非常简单，且性能满足要求。品率低，后两种方法非常简单，且性能满足要求。为了使黑体腔的发射率为了使黑体腔的发射率 稳定，一般只
35、要控制黑体稳定，一般只要控制黑体腔的长径比大于腔的长径比大于3 3即可，则即可，则 。110.3.3 10.3.3 热辐射光纤高温传感器热辐射光纤高温传感器36燕山大学光电子系v关于电子数据处理系统，要求在关于电子数据处理系统，要求在500时能稳定检测时能稳定检测出出 量级的微弱信号，一般应采用高阻抗低量级的微弱信号，一般应采用高阻抗低噪声前放与高噪声前放与高Q选频放大相结合的放大方案。这又要选频放大相结合的放大方案。这又要求信号中心频率十分稳定，采用温补晶振锁相环控求信号中心频率十分稳定，采用温补晶振锁相环控制调制频率，稳定度可达制调制频率，稳定度可达10-4量级，能满足高量级，能满足高Q选
36、频选频放大器窄带宽放大器窄带宽( f=10Hz )的要求。的要求。500 1800温温度范围内的光功率动态范围高达度范围内的光功率动态范围高达105W量级，远远超量级，远远超出了放大器的动态范围。采用电子开关动态范围扩出了放大器的动态范围。采用电子开关动态范围扩展技术将测温范围分成若干温段，问题就能解决。展技术将测温范围分成若干温段，问题就能解决。127.5 10 W41010.3.3 10.3.3 热辐射光纤高温传感器热辐射光纤高温传感器37燕山大学光电子系v图图10.11示出了信号检测系统的原理框图。采用这样示出了信号检测系统的原理框图。采用这样的系统，在的系统，在500 1800的高温范
37、围内，测温精度的高温范围内，测温精度高达高达0.1。如果采用光谱校准技术，测温精度可达。如果采用光谱校准技术，测温精度可达0.05。10.3.3 10.3.3 热辐射光纤高温传感器热辐射光纤高温传感器38燕山大学光电子系图图10.11 信号检测系统的原理框图信号检测系统的原理框图10.3.3 10.3.3 热辐射光纤高温传感器热辐射光纤高温传感器39燕山大学光电子系10.3.4 10.3.4 相位干涉型光纤温度传感器相位干涉型光纤温度传感器v利用相位干涉仪做成的光纤温度传感器有多种形利用相位干涉仪做成的光纤温度传感器有多种形式，其中以马赫式，其中以马赫- -泽得光纤干涉仪和法布里泽得光纤干涉仪
38、和法布里- -珀罗珀罗光纤干涉仪最为典型。光纤干涉仪最为典型。v这里主要讨论马赫这里主要讨论马赫- -泽得光纤干涉仪光纤温度传泽得光纤干涉仪光纤温度传感器。这种光纤温度传感器的特点是：感器。这种光纤温度传感器的特点是：灵敏度高灵敏度高（理论值可达（理论值可达1010-8-8），可对多种物理量敏感，），可对多种物理量敏感，对光纤本身性能要求高（如要采用高双折射单模对光纤本身性能要求高（如要采用高双折射单模保偏光纤，且要求对非测物理量去敏等）。保偏光纤，且要求对非测物理量去敏等）。40燕山大学光电子系常用相位调制型光纤传感结构常用相位调制型光纤传感结构v a) 麦克尔逊干涉仪 c) 法布里-珀罗干
39、涉仪v a) Michelson interferometer c)Fabry-Perot interferometerv b) 马赫-曾德尔干涉仪d) 塞格奈克干涉仪v b) Mach-Zehnder interferometer d) Sagnac interferometerv v 图1-5 各种光纤干涉仪 激光器耦合器传感臂参考臂光探测器激光器耦合器耦合器传感臂参考臂光探测器激光器耦合器传感臂光探测器匹配液参考臂激光器耦合器光纤环光探测器41燕山大学光电子系v 马赫马赫- -泽得光纤温度传感器工作时，由激光器（如泽得光纤温度传感器工作时，由激光器（如He-NeHe-Ne激光激光器）发出
40、的激光经分束器分别送入两根长度基本相同的单模器）发出的激光经分束器分别送入两根长度基本相同的单模光纤。将两根光纤的输出光束汇合到一起，两光束发生干涉，光纤。将两根光纤的输出光束汇合到一起，两光束发生干涉，出现干涉条纹，光电探测器用来检测干涉条纹的变化。当测出现干涉条纹，光电探测器用来检测干涉条纹的变化。当测量（敏感）臂光纤受到温度场的作用后，会产生相位变化，量（敏感）臂光纤受到温度场的作用后，会产生相位变化，从而引起干涉条纹的移动。显然，干涉条纹的移动量反映出从而引起干涉条纹的移动。显然，干涉条纹的移动量反映出被测温度的变化。被测温度的变化。激光器耦合器耦合器传感臂参考臂光探测器10.3.4
41、10.3.4 相位干涉型光纤温度传感器相位干涉型光纤温度传感器42燕山大学光电子系 考虑到测量臂光波相位变化是由温度变化引起考虑到测量臂光波相位变化是由温度变化引起的，可以写出温度灵敏度为的，可以写出温度灵敏度为(10.5)(10.5)对石英光纤而言，有对石英光纤而言，有(10.6)(10.6) 550.70 10 ()1.64 10 ()T51 d0.68 10 ()dnn T（裸光纤）（裸光纤）（护套光纤）（护套光纤）11nlTnTlT43燕山大学光电子系v由这两个数值量级可见，对石英裸光纤，其温度灵由这两个数值量级可见，对石英裸光纤，其温度灵敏度几乎完全由折射率变化（光弹效应）决定，这敏
42、度几乎完全由折射率变化（光弹效应）决定，这是因为石英本身的热膨胀系数极小的缘故；而护套是因为石英本身的热膨胀系数极小的缘故；而护套石英光纤的温度灵敏度比裸光纤大得多。这说明，石英光纤的温度灵敏度比裸光纤大得多。这说明，护套层的杨氏模量和膨胀系数对光纤的温度灵敏度护套层的杨氏模量和膨胀系数对光纤的温度灵敏度影响很大。实际上，人们正是利用不同护套材料的影响很大。实际上，人们正是利用不同护套材料的热膨胀系数的差异来对光纤进行温度增敏（高膨胀热膨胀系数的差异来对光纤进行温度增敏（高膨胀系数），或对温度去敏（低温度系数）。系数），或对温度去敏（低温度系数）。44燕山大学光电子系v这里顺便指出，当马赫这里
43、顺便指出，当马赫- -曾德尔干涉仪用于其他物理曾德尔干涉仪用于其他物理量如声压、磁场、电场的传感测量时，都有一个为量如声压、磁场、电场的传感测量时，都有一个为了提高灵敏度而增敏的问题。了提高灵敏度而增敏的问题。研究表明，在石英光研究表明，在石英光纤外面包一层弹性模量比石英低的材料（如塑料），纤外面包一层弹性模量比石英低的材料（如塑料），可以大大提高干涉仪对声压的测量灵敏度；在测量可以大大提高干涉仪对声压的测量灵敏度；在测量磁场时，可以采用涂覆具有高磁伸缩系数的材料来磁场时，可以采用涂覆具有高磁伸缩系数的材料来提高灵敏度；当光纤与外场间接作用时，可以将光提高灵敏度；当光纤与外场间接作用时，可以将
44、光纤绕在对外场敏感的圆筒上，如测量声压时，将光纤绕在对外场敏感的圆筒上，如测量声压时，将光纤绕在有柔性膜片的圆筒上，也可以大大提高探测纤绕在有柔性膜片的圆筒上，也可以大大提高探测的灵敏度。的灵敏度。45燕山大学光电子系v所有的增敏措施都是为了提高相位变化的灵敏度，高所有的增敏措施都是为了提高相位变化的灵敏度，高的相位灵敏度决定了相位传感器探测的相位变化是十的相位灵敏度决定了相位传感器探测的相位变化是十分微弱的。分微弱的。这时相位检测带来了一个问题，即信号检这时相位检测带来了一个问题，即信号检测中的衰落现象。由于传感器不但受到被测场的作用，测中的衰落现象。由于传感器不但受到被测场的作用，而且受到
45、周围环境的影响，如温度传感器会受到压力而且受到周围环境的影响，如温度传感器会受到压力场的干扰，压力传感器会受到环境温度变化引起的干场的干扰，压力传感器会受到环境温度变化引起的干扰以及磁场、振动的影响。这种环境干扰使测量的背扰以及磁场、振动的影响。这种环境干扰使测量的背景场随机起伏，使干涉仪噪声加大，造成信号衰落。景场随机起伏，使干涉仪噪声加大，造成信号衰落。因此，研究能抑制干涉仪输出衰落问题的检测技术是因此，研究能抑制干涉仪输出衰落问题的检测技术是十分突出的问题，也是光纤相位传感器能够实用化的十分突出的问题，也是光纤相位传感器能够实用化的关键。关键。 46燕山大学光电子系10.4 10.4 分
46、布式光纤温度传感器分布式光纤温度传感器v典型的分布式光纤温度传感器系统，能在整个连续典型的分布式光纤温度传感器系统，能在整个连续的光纤上，以距离的连续函数形式测量出光纤上各的光纤上，以距离的连续函数形式测量出光纤上各点的温度值。点的温度值。v分布式光纤温度传感器的工作机理是基于光纤内部分布式光纤温度传感器的工作机理是基于光纤内部光的散射现象的温度特性，利用光时域反射测试技光的散射现象的温度特性，利用光时域反射测试技术，将较高功率窄带光脉冲送入光纤，然后将返回术，将较高功率窄带光脉冲送入光纤，然后将返回的散射光强随时间的变化探测下来。的散射光强随时间的变化探测下来。v分布式光纤温度传感器基于背向
47、散射或前向散射机分布式光纤温度传感器基于背向散射或前向散射机理，其中背向散射具有温度测量的实际意义。理，其中背向散射具有温度测量的实际意义。47燕山大学光电子系v瑞利散射是造成光纤传输衰减的主要因素，虽然其瑞利散射是造成光纤传输衰减的主要因素，虽然其背向散射效应较强，但在常规材料的光纤中，它随背向散射效应较强，但在常规材料的光纤中，它随温度的变化不明显。非顺应性的拉曼散射与布里渊温度的变化不明显。非顺应性的拉曼散射与布里渊散射，虽然在强度上远弱于瑞利散射，但是它们都散射，虽然在强度上远弱于瑞利散射，但是它们都与温度直接相关。要从普通的石英光纤中探测这两与温度直接相关。要从普通的石英光纤中探测这
48、两种散射，在技术上已不成问题。种散射，在技术上已不成问题。v从光纤返回的散射光有三种成分：从光纤返回的散射光有三种成分：(1) (1) 由折射率的波由折射率的波动引起的瑞利散射，与入射光的频率相同，是强度最动引起的瑞利散射，与入射光的频率相同，是强度最高的散射成分；高的散射成分； (2) (2) 拉曼散射；拉曼散射； (3) (3) 布里渊散射。布里渊散射。10.4 10.4 分布式光纤温度传感器分布式光纤温度传感器48燕山大学光电子系 光纤光时域反射原理光纤光时域反射原理 光纤拉曼背向散射及其温度效光纤拉曼背向散射及其温度效应应 分布式光纤布里渊散射型温度传感器分布式光纤布里渊散射型温度传感
49、器 分布式光纤拉曼背向散射光子温度传感器分布式光纤拉曼背向散射光子温度传感器10.4 10.4 分布式光纤温度传感器分布式光纤温度传感器49燕山大学光电子系 图图10.14 光纤中后向散射光的频谱分布光纤中后向散射光的频谱分布10.4 10.4 分布式光纤温度传感器分布式光纤温度传感器50燕山大学光电子系10.4.1 10.4.1 光纤光时域反射原理光纤光时域反射原理 光时域反射光时域反射(Optical Time-Domain Reflectometry, OTDR)技术最初用于评价光学通技术最初用于评价光学通信领域中光纤、光缆和耦合器的性能，是用于检信领域中光纤、光缆和耦合器的性能，是用于
50、检验光纤损耗特性、光纤故障的手段，同时也是分验光纤损耗特性、光纤故障的手段，同时也是分布式光纤传感器的基础。图布式光纤传感器的基础。图10.12是基于背向散射是基于背向散射的光纤分布式传感器的测量原理。的光纤分布式传感器的测量原理。51燕山大学光电子系图图10.12 基于背向散射的光纤分布式传感器的测量原理基于背向散射的光纤分布式传感器的测量原理10.4.1 10.4.1 光纤光时域反射原理光纤光时域反射原理52燕山大学光电子系 当光通过图当光通过图10.1210.12中所示的测量物理场时，光中所示的测量物理场时，光能量将以三种方式分配：能量将以三种方式分配： (1) (1) 一部分能量沿着光
