1、洁净室第一篇：基础知识第二篇：洁净室设计第三篇：洁净室施工第四篇：洁净室测试1第1页，共47页。洁净室基础知识 微粒基础知识 大气尘 洁净室基本原理 净化级别 空气过滤器2第2页，共47页。微粒永久性大气尘沉降性大气尘病毒细菌孢子毛发重工业灰尘红外线可见光紫外线X射线电子显微镜肉眼可见光学显微镜油烟烟草烟 雾 喷雾雨 m3第3页，共47页。大气尘总悬浮微粒(TSP):10100微米 0.3微米)8第8页，共47页。洁净室原理1、控制污染的途径:1)有效阻止室外的污染侵入室内.2)迅速有效的排除室内已经发生的污染3)控制污染源减少污染发生量.9第9页，共47页。乱流洁净室 原理 当一股干净空气从
2、送风口送入室内时，迅速向四周扩散，同时把差不多同样数量的空气从回风口排走，这股干净空气稀释着污染的空气，把原来含尘浓度比较高的空气充淡了，一直达到平衡。所以气流扩散得越快，越均匀，稀释的效果就越好。一般适应于1000级及以下的洁净度。送风方式 高效过滤器顶送、密集流线型散流器顶送、局部孔板送风、侧送10第10页，共47页。单向流洁净室基本原理 在洁净室内，从送风口到回风口，气流流经图中几乎没有什么变化，加上送风静压箱和过滤器的均流作用，全室断面上的流速比较均匀，而至少在工作区内流线单向平行，没有涡流。送风方式上送下回侧送侧回上送侧回11第11页，共47页。微粒过滤机理 机械分离：重力、惯性、旋
3、风 电力分离：静电 洗涤分离：喷雾、水膜、文式 过滤分离：填充式、袋式12第12页，共47页。空气过滤系统过滤器分类13第13页，共47页。纤维过滤器过滤机理 拦截、惯性、扩散、重力、静电扩散惯性、重力拦截总效应0.1 110微粒大小(m)拦截效率14第14页，共47页。影响过滤效率的因素 微粒尺寸 微粒种类 微粒形状 纤维粗细和断面形状 过滤速度 纤维填充率 温度湿度压力15第15页，共47页。微粒大小与过滤效率扩散惯性、重力拦截总效应0.1 110微粒大小过滤效率16第16页，共47页。滤速与效率扩散惯性拦截滤速效率17第17页，共47页。洁净室设计 1、洁净室设计要考虑的问题2、常见几种
4、洁净室的形式18第18页，共47页。业主的问题1、如何设计一个不需要化很大代价来改变和修改的净化间？2、如何建造一个灵活的净化间来避免今后设备变化而付出昂贵代价？3、如何把需要控制的空气量减少从而把建造成本和运转成本最小化？3、怎样才能制订出一个可以信赖的工程预算？4、如何才能使工期持续缩短而不以牺牲质量为代价？19第19页，共47页。洁净厂房设计规范20第20页，共47页。净化间污染控制问题21第21页，共47页。基本系统组成空调与净化供配电与照明冷热源生命安全CCTV纯水真空设备冷却水排气药品供给大宗气体与特气自动控制排水内装22第22页，共47页。洁净厂房常见的几种形式按照气流组织 单向
5、流、非单向流按技术下夹层 无下技术夹层、单技术夹层、双技术夹层按空气搬送风机的布置 完全分散（）、相对集中（）、高度集中按照设备布局方式港湾式、大开间式（FFU+CLEAN BOOTH+SMIF）23第23页，共47页。净化间常见形式之一高效过滤器净化间空调机房通道上夹层1、上送侧回、无架空地板、温湿度控制通过空调机实现；造价低、噪音小但灵活性差24第24页，共47页。净化间常见形式之二高效过滤器净化间空调机房通道上夹层在方式一的基础上增加了下夹层，主要考虑设备配管配线的便利性和整体美观。25第25页，共47页。净化间常见形式之三高效过滤器净化间空调机房通道上夹层上送上回，节约了回风夹道所占面
6、积，主要实用于低级别的洁净室，自净时间会延长26第26页，共47页。净化间常见形式之四净化间通道上夹层FFUFFUFFUFFUFCUFCUFFU+FCU的方式，低下夹层27第27页，共47页。净化间常见形式之五特点：1）设备间和作业间放置在不同的分区内 2）单夹层、集中送风、上夹层为静压箱 2）净化间利用率偏低 3）安全性上来说有利也有弊 4）不利于设备布局的变化28第28页，共47页。净化间常见形式之六特点：1、双技术下夹层；FFU+CLEAN BOOTH+SMIF方式2、设备主体与辅助设备垂直放置3、作业层是大开间、增加设备布局变化的灵活性29第29页，共47页。净化系统基本流程图初效过滤
7、中效过滤水喷淋高效过滤化学过滤中效过滤超高效过滤人身净化30第30页，共47页。空调系统基本构成Cooling towerChiller集水缸分水缸冷却水泵Cooling Water Pump冷冻水泵Chilling Water PumpDispensing BoxAssembling Box新风机循环空调机C/R外气锅炉天然气或柴油热交换采暖系统蒸汽热水冷冻水31第31页，共47页。Make up air unit32第32页，共47页。净化间的节能问题 温湿度的调节方式 冷热回收 当地自然条件的充分利用 高效率产品采用 高级别区域的最小化 隔热与保温33第33页，共47页。洁净室的施工34
8、第34页，共47页。如何建设一个好的净化间质量、工期、建设费用、运转成本、灵活性、环保与安全35第35页，共47页。洁净室施工及验收规范第一章总则第一章总则第二章建筑装饰第二章建筑装饰第一节一般规定第二节材料要求第三节构造与装饰要求第四节施工要求第五节装配式洁净室的安装第三章净化空调系统第三章净化空调系统第一节一般规定第二节风管及其部件的制作第三节系统安装第四节高效过滤器安装第五节空调器安装第六节空气净化设备和装置的安装第四章、水、电、气第四章、水、电、气第一节一般规定第二节给水排水第三节消防设施第四节气体管道第五节电气装置第五章工程验收第五章工程验收第一节一般规定第二节竣工验收第三节综合性能
9、全面评定第四节评定标准36第36页，共47页。施工阶段-质量控制 1）设计意图把握 2）施工规范理解与贯彻 3）把好进货质量检验关4）合格分供方的评价5）必要的检验与测试6）过程控制7）把问题消灭在萌芽状态8）沟通协作与团队精神37第37页，共47页。施工阶段-进度控制1）制订合理的施工计划表2）不能以牺牲质量来换取进度3）熟练的作业队伍和必要的施工机具是保证进度的基础4）尽量减少返工5）尽量在净化间外进行预制6）需要中间验收的环节提前申报38第38页，共47页。施工阶段-成本控制1）提高材料的利用率2）减少返工率3）提高工人的劳动效率4）建立稳定的供应商体系减少中间环节5）集中购买，避免零敲
10、碎打39第39页，共47页。施工阶段-安全管理1）牢固树立“安全第一”的思想2）建立安全生产监督管理体系3）安全教育与培训4）安全警示和安全设施40第40页，共47页。设备材料选择内装：壁板、顶板、门窗、架空地板、卷材、防尘涂料、防静电地面空调净化：空调机、高效过滤器、FFU、保温材料、各种风管、风量调节阀、风机、防火阀、排烟阀等自动控制：各种传感器（温湿度、露点、液位、流量、压力、微压差等）、各种调节阀门（气动、电动）、工业控制机、控制软件生命安全：温感、烟感、水泄露检测、药品泄露检测、气体泄露检测、固定或移动灭火装置、紧急喷淋、紧急排气、紧急排烟等气体：空压机、气体纯化器、各种不锈钢管材及
11、接头、阀门、检测仪器仪表设备冷却水：水泵、水箱、热交换器、管材、阀门。真空：真空设备、管材及阀门、压力表排气：PVC管道、玻璃钢管道、不锈钢管道、酸碱洗气塔、有机吸附装置、防腐风机等等药品供应：管道、供液泵、废液回收等供配电及照明：变压器、UPS、配电柜、电缆、桥架、照明器具冷热源：锅炉、冷冻机、热交换设备、冷却塔等其他关联系统：纯水制备、废水处理等等41第41页，共47页。金属壁板 表面钢板厚度：0.3mm,0.5mm,0.8mm 夹心材料:岩棉、聚苯、纸蜂窝、铝蜂窝 拼接方式：表面处理方式:性能：防火、隔热、平整度、强度 价格:80240元/M242第42页，共47页。架空地板 材质:全钢
12、制、钢制+水泥、高压铝制、铸铝等 主要性能参数：集中荷载、均布荷载、表面导电率等 尺寸600*60043第43页，共47页。设备材料国产化或现地化状况 目前主要依赖进口的设备及材料材料 高纯气体管道及配件、PVDF、高品质阀门、高精度传感器或特殊用途的传感器、FFU、超高效过滤器、特殊要求的水泵或风机、气体纯化设备等44第44页，共47页。洁净室施工要点施工顺序几条原则 先上后下、先粗后细、统筹安排、相互保护洁净室施工管理注意事项1.不要把问题留到以后来解决2.一时的偷懒结果是代价太高3.良好的习惯最重要、改变习惯非常难4.细部工作不容忽视（打胶）5.分包方或材料厂家的管理非常重要 45第45页，共47页。净化间的测试46第46页，共47页。测试项目 中间测试：管道打压、风管捡漏、过滤器捡漏 最终测试：温度：湿度：照度：噪音：洁净度：浮游尘、降下尘风速：风向偏转度：地面导电性能：特殊：分子污染、微振动、47第47页，共47页。
