1、安全教育安全教育安全教育安全教育第1页，共35页。目的目的增强安全知识增强安全知识提高安全意识提高安全意识防止意外发生防止意外发生第2页，共35页。应急逃生应急逃生工厂内会在墙壁底部,贴装有紧急出口指示牌，或在通道上方悬挂紧急出口指示牌，当发生紧急状况的时候，应按照指示牌，寻找最近的出口逃生。（紧急出口指示牌一般是荧光的，或自带点亮电源的，防止突然停电后，在无照明的情况下，可以引导人员撤离）现场发生紧急状况需要撤离时,应以最快速度通过最近的安全出口,不必跑回二次更衣室更换衣服.撤离出净化室后,到公司安全应急演练时集中的安全地带集合,清点人员,以确定是否还有同事滞留在净化室内.第3页，共35页。
2、EMOEMOEMERGENCY OFFEMERGENCY OFF非常停止开关非常停止开关现场设备上面有很多类似于右侧照片中的开关按钮，该开关在突发状况时（如设备线路老化冒烟、起火，设备水管大量漏水、设备传片异常即将造成碎片等）按下，可导致整个机台断电、所有气动阀关闭，给设备和人员以最快速度的安全保护。第4页，共35页。洗眼器洗眼器眼睛进入化学品，应立即进行冲洗，特别是碱性药品比酸性药品还要可怕，所以，必须争分夺秒！洗脸要用大量的水，冲洗15分钟左右，洗眼睛时，要用手撑开眼皮冲洗。绝对不能使用中和剂，同时注意水压不要过高。第5页，共35页。冲淋器冲淋器冲冲淋淋器器复复合合式式冲冲淋淋器器第6页，
3、共35页。灭火器灭火器二氧化碳灭火器主要用于扑救贵重设备、档案资料、仪器仪表、600伏以下电气设备及油类的初起火灾。在使用时，应首先将灭火器提到起火地点，放下灭火器，拔出保险销，一只手握住喇叭筒根部的手柄，另一只手紧握启闭阀的压把。对没有喷射软管的二氧化碳灭火器，应把喇叭筒往上扳7090度。使用时，不能直接用手抓住喇叭筒外壁或金属连接管，防止手被冻伤。在使用二氧化碳灭火器时，在室外使用的，应选择上风方向喷射；在室内窄小空间使用的，灭火后操作者应迅速离开，以防窒息。第7页，共35页。灭火器使用方法灭火器使用方法1、手提式1211灭火器使用方法：使用手提式1211灭火器时，应首先拔出安全销，一手紧
4、握压把，压杆即能 将封闭阀打开，1211灭火剂就能通过弘吸管，由喷嘴喷出。松开压把，喷 嘴封闭，停止喷射。使用时应注意保持直立位置，不可水平或颠倒使用，还应注意将药剂喷向火焰根部，由近及远，快速向前推进；要防止回火复 燃，零星小火则可采用点射。如遇可燃液体在容器内燃烧时，可使1211灭 火剂的射流由上而下向容器的内侧壁喷射。如果扑救固体物质表面火灾，应将喷嘴对准燃烧最猛烈处，左右喷射。同时人应站在上风口。2、推车式1211灭火器使用方法：使用推车式1211灭火器时，应取出喷枪，放开胶管，拔出安全销，开启钢 瓶阀门，拉出伸缩杆的导管，握紧手握开关压把，药剂即能喷出灭火。放开 开关压把，药剂就停止
5、喷射！第8页，共35页。二氧化灭火器碳使用方法二氧化灭火器碳使用方法二氧化碳灭火器主要用于扑救贵重设备、档案资料、仪器仪表、600伏以下电气设备及油类的初起火灾。在使用时，应首先将灭火器提到起火地点，放下灭火器，拔出保险销，一只手握住喇叭筒根部的手柄，另一只手紧握启闭阀的压把。对没有喷射软管的二氧化碳灭火器，应把喇叭筒往上扳7090度。使用时，不能直接用手抓住喇叭筒外壁或金属连接管，防止手被冻伤。在使用二氧化碳灭火器时，在室外使用的，应选择上风方向喷射；在室内窄小空间使用的，灭火后操作者应迅速离开，以防窒息。第9页，共35页。耐腐蚀橡胶手套耐腐蚀橡胶手套耐腐蚀胶靴耐腐蚀胶靴耐腐蚀围裙耐腐蚀围裙
6、空气呼吸器空气呼吸器防尘面罩防尘面罩防溅面罩防溅面罩石棉手套石棉手套常用的防护用品常用的防护用品第10页，共35页。警告标志警告标志第11页，共35页。警告标志警告标志第12页，共35页。警告标志警告标志第13页，共35页。警告标志警告标志第14页，共35页。警告标志警告标志第15页，共35页。警告标志警告标志第16页，共35页。警告标志警告标志第17页，共35页。警告标志警告标志第18页，共35页。警告标志警告标志第19页，共35页。警告标志警告标志易燃气体腐蚀品当 心 微 波当 心 触 电触电危险维修前应关闭电源，否则接触可能导致严重的伤害或死亡第20页，共35页。化学品化学品-国际标识（
7、菱形图标签）国际标识（菱形图标签）化学品用化学品用0-40-4的五个数字标志程度分级，数字越大危害度越高，的五个数字标志程度分级，数字越大危害度越高，健康性健康性、易燃性易燃性、活动性活动性分别用分别用蓝蓝、红红及及黄黄色表示类型，另外还应色表示类型，另外还应OXYOXY特定符号，特定符号，表示特定情况。表示特定情况。4 44 42 2OXY红色标易燃性红色标易燃性蓝色标危害健康性蓝色标危害健康性黄色标活动性黄色标活动性由特殊符号标特殊情况由特殊符号标特殊情况第21页，共35页。安全注意事项安全注意事项1、严格遵守设备操作规范，避免误操作引起不必要的异常。2、认真学习部门安全文件，以便在紧急状
8、况下遇事不忙乱。3、保持设备通道特别是消防通道畅通，熟悉环境，正确使用防护用品。4、使用化学试剂应严格执行化学品安全管理规定，避免皮肤接触、吸入造成伤 害。5、在设备维修时应集中注意力，胆大心细，牢记安全第一，尽力排除故障。6、修理电气故障时应切断电源，不准带电插拔线路板，必须带电测量时，应注 意安全，在修理中应特别注意大于36V的不安全电压触及会伤害生命。7、电气部件的替换应符合替代原则，如耐压、功率等因素，避免电气火灾发生。8、维修时涉及到机械传动部分，应避免轧伤手指或传动部件运动中有异物进入 而损坏传动部件。9、清洗备件时应戴好保护用品。10、设备出现故障后应分析原因，在作出判断后确定修
9、理方案，避免急于盲目 动手而损坏设备。11、设备报警后，应彻底查明原因，修理后，再开动设备。注意设备的各种危 险标志，了解各机台的EMOEMO位置，紧急情况下按下EMO。12、设备修理部件组装中，避免导电部件落入电气控制箱中，或电气接口部位。引起短路，损坏电气部件。第22页，共35页。安全电压安全电压安全电压，是指不致使人直接致死或致残的电压。常说的安全电压，是指36伏以下的电压。因为人触电时，电流是造成伤害的直接因素，电流越大，伤害越严重。经验证明，通过人体的电流超过50毫安时，触电伤害会危及人的生命，并且触电人不容易自己脱离电源。人体的电阻一般在800欧姆到10000欧姆之间。按800欧姆
10、计算人体的电阻，通过50毫安的电流，要在人体上加40伏的电压。因此，在一般情况下规定36伏以下的电压为安全电压。但应该注意的是，人体的电阻在某些情况下会急剧下降。如工作场所非常潮湿或有腐蚀性气体；人流汗或被导电溶液溅湿；有导电灰尘等。这时36伏也并不是安全电压，而规定加在人体的电压不超过12伏，所以12伏电压称为绝对安全电压。第23页，共35页。硅片清洗氧化离子注入光刻刻蚀去胶扩散CVDCMP抛光，溅射减薄酸废气、氟废水尾气有机废液有机废水、尾气酸废气、氟废水、尾气尾气、氟废水碱废水，氨废水HF、NH4 O H、HCl、有机溶剂、纯水O2、N2、H2、C2H2Cl2BF3、PH3、AsH3光刻
11、胶、EBR、HMDS、显影液湿法：BHF、HF H3PO4、H2SO4、H2O2、干法：CF4、CHF3、SF6、N2 Cl2、HBr、Ar、C2F6、O2、BCl3、NH3、H2O、丙酮、HCl、HNO3、CO2B2H6、PH3、AsH3等O2、SiH4、N2、WF6、TMB、TMP、TEOS、C2F6、HFSLURRY、NH4OH生产工艺流程生产工艺流程第24页，共35页。厦厦 门门 集集 顺顺 半半 导导 体体 有有 限限 公公 司司化学试剂安全使用方法化学试剂安全使用方法1、工作中涉及到化学品、有毒有害物品的都应穿戴好防护用品。防护用品穿戴 前一定要仔细检查，合格后方可穿戴。2、大瓶化
12、学试剂，不能用手直接抱，以免化学试剂容器翻掉打碎。3、大瓶浓酸必须放在专用的柜子内。用过化学试剂的瓶子，应立即将盖子盖紧。4、放酸的柜子内，严禁放有机试剂及其它易燃易爆、相互抵触的化学试剂。5、易燃有机试剂不得与热源放在一起，或存放在同房间内，应保存在封闭的专 用金属箱内。第25页，共35页。化学试剂安全使用方法化学试剂安全使用方法6、工作间内，只允许有限于当班次使用的有机试剂量，多余的有机试剂一律放 在规定的储存柜内。7、有机试剂严禁明火加热，使用热板电炉加热，应事先向公司安环卫报告、备 案，落实安全措施后，才可实施。8、严禁在同一通风柜内操作与有机试剂相互抵触的其它化学试剂，以免引起燃 烧
13、爆炸。9、严禁两人同时在有机试剂柜内操作，严禁操作有机试剂时擅自离开工作岗位。10、处理大量易燃有机试剂（超过500毫升）时，应在没有热源房间内，同时 需打开排风。第26页，共35页。化学试剂安全使用方法化学试剂安全使用方法11、有机试剂一律进行分类回收，回收应在远离热源、通风良好处进行，严禁 在热源附近回收，严禁把有机试剂倒入下水道。12、用有机试剂脱水的物品，在进烘箱前必须在无火源的通风柜内，将有机试 剂挥发干净，才能放入烘箱，并开动烘箱风扇。13、严禁有机溶剂与酸碱强氧化剂抵触，以免引起剧烈的化学反应而造成爆炸 和火灾。14、有机试剂使用后，必须将瓶盖盖紧，以免室内浓度过高而发生中毒、爆
14、炸 事故。15、在有机试剂加热处，应备有消防器材，如1211灭火器等。第27页，共35页。化学试剂安全使用方法化学试剂安全使用方法16、打开酸碱包装时，容器开口不准对准面部，也不准对准他人，以免液体溅 出，受到伤害。17、稀释酸时，应将酸倒入水中，而且要边倒边搅，以免热量过分集中，溅出 伤人，严禁将水倒入酸中。18、在用酸碱清洗或配制酸及酸腐蚀液时，必须在通风良好的通风柜内进行。29、若有酸碱溅在皮肤或衣服上，应立即用大量水冲洗。在厂房外，酸碱流到 地上，应用干砂或吸液棉吸收，然后收集到指定地点，用中和物中和后废 弃。20、热废酸碱不应立即倒入冷水槽中，更不应该倒入含有有机试剂的水槽中，特别是
15、硫酸、硝酸，应冷至室温后，才能倒入水槽中，并边道边用大量自 来水冲洗干净。第28页，共35页。易燃物品泄漏处理方法易燃物品泄漏处理方法1、如泄漏的药品是乙醇、甲醇、丙酮等时，可以使用纤维纸、抹布吸收擦拭干 净，然后用适量的水冲洗一下，擦干净。严禁将废弃的易燃液体倒入下水道 中。2、所有液体都能挥发，而易燃液体还具有流散的特性，其气与空气混合能形成 爆炸性混合物，从而造成重大事故。此类事情绝对禁止发生。3、易燃性废物（如浸有易燃物的纤维纸、抹布等）不能随意丢弃，应收集后放 在指定位置，集中处理。（CVD氮化硅腔体管道粉尘遇水会燃烧，该粉尘不 能随便乱丢）第29页，共35页。酸类泄漏时处理方法酸类
16、泄漏时处理方法1、可以先用化学吸液棉吸收，然后用中和剂（如苏打水）进行擦洗，打扫干净。或者将中和剂直接投入泄漏的酸液中进行反应，使其变成酸盐成分，再打扫 干净，最后用适量的水擦洗干净。（带好防护用品）2、如果是容器破裂，首先应将破裂的容器进行处理，防止试剂从容器中继续流 出。如果是设备出现泄漏时，应及时报修。3、浸有酸的废弃物应及时放入指定垃圾袋中，扎好袋口，做好标识，及时送出 净化间处理！第30页，共35页。碱类泄漏时处理方法碱类泄漏时处理方法1、可直接用化学吸液棉擦干净，然后用醋酸中和后擦拭干净。（注意带好防护 用品）2、如果容器破裂，首先将破裂的容器进行处理，防止试剂从容器中继续流出，如
17、果是设备泄漏，应及时报修。3、浸有碱的废弃物应及时放入指定垃圾袋中，扎好袋口，做好标识，及时送出 进化间处理！第31页，共35页。沾染到药品时的处理方法沾染到药品时的处理方法1、药品沾到手、脚等皮肤上时，应立即用大量的水冲洗15分钟左右，即使沾到 衣服或头发上时，也必须迅速用水冲洗。穿尼龙长筒袜时，不要脱下，直接 用水冲洗。应急处理后，要接受医生的治疗。2、整个身体沾上药品时，应立即脱下衣服，通过淋浴，用大量的水冲洗，穿尼 龙长筒袜时，不要脱下，直接用水冲洗。应急处理后，要接受医生的治疗。3、进入眼睛时，应立即冲洗。特别是碱性药品比酸还要可怕，所以必须争分夺 秒，洗脸要用大量的水冲洗15分钟左
18、右，在洗脸时，要用手撑开眼皮冲洗。洗脸时绝对不能使用中和剂，同时还要注意水压不要太高,应急处理后,要接 受医生的治疗。4、手脚烧伤时，要用水冲洗冷却，产生水疱时，不要弄破，用冷水降温后，请 医生治疗。穿尼龙长筒袜时，不要脱下，直接用水冲洗。应急处理后，要接 受医生的治疗。第32页，共35页。应变要求应变要求1、必须知道逃生应急门在哪里!2、必须知道设备EMO确切位置！3、必须知道洗眼器和冲淋器在哪里、怎么使用、冲淋过后的后续处理！4、必须知道空气呼吸器在那里、如何使用！5、必须知道灭火器在哪里、如何使用？6、必须知道如何和消防队联系，火警电话是什么！7、必须知道防护用具在哪里！如何使用！8、必须知道疏散路线图！及疏散后集合地点!第33页，共35页。THANKS!THANKS!第34页，共35页。演讲完毕，谢谢观看！第35页，共35页。
