1、自动检测技术及仪表自动检测技术及仪表Test&Measurement Technologyand Automation InstrumentsCISTBUCT2019第第部分部分基础知识基础知识第二章检测元件第二章检测元件与检测技术与检测技术传感技术基础原理传感技术基础原理一般检测变换方法一般检测变换方法TMT&AI 检测元件与检测技术检测元件与检测技术l检测元件检测元件l检测元件的分类、命名和表示检测元件的分类、命名和表示l传感技术传感技术l自然规律、基础效应自然规律、基础效应l检测装置检测装置l信号变换方法信号变换方法简单变换、差动变换、简单变换、差动变换、参比变换、平衡反馈变换参比变换、
2、平衡反馈变换TMT&AI 检测元件与检测技术检测元件与检测技术l检测元件检测元件l检测元件是指传感器中能直接感受（或响应）被检测元件是指传感器中能直接感受（或响应）被测量对象的部分。测量对象的部分。l在完成非电量到电量的变换时，并非所有的非电在完成非电量到电量的变换时，并非所有的非电量都能利用现有手段直接转换成电量，往往是将量都能利用现有手段直接转换成电量，往往是将被测量先变换为另一种易于变成电量的非电量，被测量先变换为另一种易于变成电量的非电量，然后再转换成电量。然后再转换成电量。TMT&AI 检测元件与检测技术检测元件与检测技术l检测元件检测元件l检测元件是仪表、检测系统的关键，决定了可测
3、参检测元件是仪表、检测系统的关键，决定了可测参数、被测量的可测范围、测量准确度、仪表的使用数、被测量的可测范围、测量准确度、仪表的使用条件等。条件等。l 敏感性：对被测量的敏感性敏感性：对被测量的敏感性l 适用范围：环境温度、压力、外加电源等适用范围：环境温度、压力、外加电源等 l 测量范围：被测量不超过敏感元件规定的测量范围测量范围：被测量不超过敏感元件规定的测量范围l 输出特性：输出与被测量之间有明确的单调关系输出特性：输出与被测量之间有明确的单调关系l 其它：价格、易复制性、安全性、易安装等其它：价格、易复制性、安全性、易安装等 TMT&AI 检测元件与检测技术检测元件与检测技术l检测元
4、件检测元件l特性特性TMT&AI 检测元件与检测技术检测元件与检测技术l检测元件的分类检测元件的分类l按输入量（被测对象）分类按输入量（被测对象）分类l按转换原理分类按转换原理分类l按输出信号的形式分类按输出信号的形式分类l按输入和输出的特性分类按输入和输出的特性分类l按能量转换的方式分类按能量转换的方式分类l按材料分类按材料分类TMT&AI 检测元件与检测技术检测元件与检测技术l检测元件的分类检测元件的分类 l按输入量（被测对象）分类按输入量（被测对象）分类l物理量传感器、化学量传感器和生物量传感器物理量传感器、化学量传感器和生物量传感器l物理量传感器又可分为：温度传感器、压力传感器、物理量
5、传感器又可分为：温度传感器、压力传感器、位移传感器、位移传感器、等等。等等。l这种分类方法给使用者提供了方便，容易根据被测这种分类方法给使用者提供了方便，容易根据被测对象选择所需要的传感器。对象选择所需要的传感器。TMT&AI 检测元件与检测技术检测元件与检测技术l检测元件的分类检测元件的分类l按转换原理分类按转换原理分类l结构型传感器结构型传感器利用机械构件（如金属膜片等）在动力场或电磁场的利用机械构件（如金属膜片等）在动力场或电磁场的作用下产生变形或位移，将外界被测参数转换成相应作用下产生变形或位移，将外界被测参数转换成相应的电阻、电感、电容等物理量，它是利用物理学运动的电阻、电感、电容等
6、物理量，它是利用物理学运动定律或电磁定律实现转换的。定律或电磁定律实现转换的。l物性型传感器物性型传感器l复合型传感器复合型传感器TMT&AI 检测元件与检测技术检测元件与检测技术l检测元件的分类检测元件的分类l按转换原理分类按转换原理分类l结构型传感器结构型传感器l物性型传感器物性型传感器利用材料的固态物理特性及其各种物理、化学效应（即利用材料的固态物理特性及其各种物理、化学效应（即物质定律，如虎克定律、欧姆物质定律，如虎克定律、欧姆定律等）来实现非电量转换的。定律等）来实现非电量转换的。它是以半导体、电介质、铁电它是以半导体、电介质、铁电体等作为敏感材料的固态器件。体等作为敏感材料的固态器
7、件。l复合型传感器复合型传感器TMT&AI 检测元件与检测技术检测元件与检测技术l检测元件的分类检测元件的分类l按转换原理分类按转换原理分类l结构型传感器结构型传感器l物性型传感器物性型传感器l复合型传感器复合型传感器由结构型传感器和物性型传由结构型传感器和物性型传感器组合而成的，兼有两者感器组合而成的，兼有两者的特征。例如，电阻式、电的特征。例如，电阻式、电感式、电容式、压电式、光感式、电容式、压电式、光电式、热敏、气敏、湿敏、电式、热敏、气敏、湿敏、磁敏传感器等等。磁敏传感器等等。TMT&AI 检测元件与检测技术检测元件与检测技术l检测元件的分类检测元件的分类l按转换原理分类按转换原理分类
8、l结构型传感器结构型传感器l物性型传感器物性型传感器l复合型传感器复合型传感器l这种分类方法清楚地指明了传感器的原理，便于学习这种分类方法清楚地指明了传感器的原理，便于学习和研究。和研究。TMT&AI 检测元件与检测技术检测元件与检测技术l检测元件的分类检测元件的分类l按能量转换的方式分类按能量转换的方式分类l有源型和无源型有源型和无源型l有源型：有源型：也称能量转换型或发电型，它把非电量直接也称能量转换型或发电型，它把非电量直接变成电压量、电流量、电荷量等，如磁电式、压电式、变成电压量、电流量、电荷量等，如磁电式、压电式、光电池、热电偶等。光电池、热电偶等。l无源型：无源型：也称能量控制型、
9、能量传输型或参数型，它也称能量控制型、能量传输型或参数型，它把非电量变成电抗（电阻、电容、电感）等，或将被把非电量变成电抗（电阻、电容、电感）等，或将被测电量传输至检测装置。测电量传输至检测装置。TMT&AI 检测元件与检测技术检测元件与检测技术l检测元件的分类检测元件的分类l按输出信号的形式分类按输出信号的形式分类l开关式、开关式、模拟式和数字式模拟式和数字式l按输入和输出的特性分类按输入和输出的特性分类l线性和非线性线性和非线性TMT&AI 检测元件与检测技术检测元件与检测技术l检测元件的分类检测元件的分类l按材料分类按材料分类l无机材料检测元件无机材料检测元件l半导体材料检测元件半导体材
10、料检测元件l陶瓷材料检测元件陶瓷材料检测元件l高分子材料检测元件高分子材料检测元件l纳米材料检测元件纳米材料检测元件l智能材料检测元件智能材料检测元件l检测元件检测元件l无机材料检测元件无机材料检测元件TMT&AI 检测元件与检测技术检测元件与检测技术TMT&AI 检测元件与检测技术检测元件与检测技术l检测元件检测元件l半导体检测元件半导体检测元件TMT&AI 检测元件与检测技术检测元件与检测技术l检测元件检测元件l半导体检测元件半导体检测元件TMT&AI 检测元件与检测技术检测元件与检测技术l检测元件检测元件l陶瓷材料检测元件陶瓷材料检测元件TMT&AI 检测元件与检测技术检测元件与检测技术
11、l检测元件检测元件l陶瓷材料检测元件陶瓷材料检测元件TMT&AI 检测元件与检测技术检测元件与检测技术l检测元件检测元件l高分子材料检测元件高分子材料检测元件TMT&AI 检测元件与检测技术检测元件与检测技术l检测元件检测元件l高分子材料检测元件高分子材料检测元件TMT&AI 检测元件与检测技术检测元件与检测技术l检测元件检测元件l高分子材料检测元件高分子材料检测元件TMT&AI 检测元件与检测技术检测元件与检测技术l检测元件的分类检测元件的分类l按材料分类按材料分类l纳米材料检测元件纳米材料检测元件气敏材料气敏材料TMT&AI 检测元件与检测技术检测元件与检测技术l检测元件检测元件l智能材料
12、检测元件智能材料检测元件TMT&AI 检测元件与检测技术检测元件与检测技术l检测元件的分类检测元件的分类l按材料分类按材料分类l智能材料检测元件智能材料检测元件记忆合金记忆合金压电材料压电材料TMT&AI 检测元件与检测技术检测元件与检测技术l检测元件的分类检测元件的分类l按材料分类按材料分类l智能材料检测元件智能材料检测元件记忆合金记忆合金压电材料压电材料光纤传感器光纤传感器MEMS/MOEMSMEMS/MOEMSTMT&AI 检测元件与检测技术检测元件与检测技术l检测元件的命名检测元件的命名l国标国标 GB7666GB7666l由由“主题词四级修饰语主题词四级修饰语”组成，即主题词组成，即
13、主题词传感器。传感器。l一级修饰语一级修饰语被测量，被测量，包括修饰被测量的定语。包括修饰被测量的定语。l二级修饰语二级修饰语转换原理，转换原理，一般可后续以一般可后续以“式式”字。字。l三级修饰语三级修饰语特征描述，指必须强调的传感器结构、特征描述，指必须强调的传感器结构、性能、材料特征、敏感元件以及其它必要的性能特征，性能、材料特征、敏感元件以及其它必要的性能特征，一般可后续以一般可后续以“型型”字。字。l四级修饰语四级修饰语主要技术指标，如量程、精确度、灵敏主要技术指标，如量程、精确度、灵敏度范围等。度范围等。TMT&AI 检测元件与检测技术检测元件与检测技术l检测元件的命名检测元件的命
14、名l运用命名法时应注意运用命名法时应注意 l使用场合不同，修饰语的排序亦不同使用场合不同，修饰语的排序亦不同在有关传感器的统计报表、图书检索及计算机文字在有关传感器的统计报表、图书检索及计算机文字处理等场合，传感器名称应采用正序排列。处理等场合，传感器名称应采用正序排列。传感器传感器一级修饰语一级修饰语二级修饰语二级修饰语三级修饰语三级修饰语四级修饰语。四级修饰语。示例：示例：“传感器、位移、应变计式、传感器、位移、应变计式、100 mm”100 mm”TMT&AI 检测元件与检测技术检测元件与检测技术l检测元件的命名检测元件的命名l运用命名法时应注意运用命名法时应注意 l使用场合不同，修饰语
15、的排序亦不同使用场合不同，修饰语的排序亦不同在技术文件、产品说明书、学术论文、教材、书刊在技术文件、产品说明书、学术论文、教材、书刊等的陈述句中，传感器名称应采用反序排列等的陈述句中，传感器名称应采用反序排列四级修饰语四级修饰语三级修饰语三级修饰语二级修饰语二级修饰语一级修饰一级修饰语语传感器传感器示例：示例：“100mm100mm应变计式位移传感器应变计式位移传感器”“100100160dB160dB电容式声压传感器电容式声压传感器”TMT&AI 检测元件与检测技术检测元件与检测技术l检测元件的命名检测元件的命名l运用命名法时应注意运用命名法时应注意 l使用场合不同，修饰语的排序亦不同使用场
16、合不同，修饰语的排序亦不同l传感器（主称）传感器（主称）四级修饰语组成全称。四级修饰语组成全称。在实际运用中，可根据产品具体情况省略任何一级在实际运用中，可根据产品具体情况省略任何一级修饰语。但国标规定，传感器作为商品出售时，第修饰语。但国标规定，传感器作为商品出售时，第一级修饰语不得省略。一级修饰语不得省略。TMT&AI 检测元件与检测技术检测元件与检测技术l检测元件的表示检测元件的表示l从电路角度考虑，敏感元件就是信号从电路角度考虑，敏感元件就是信号(或信息或信息)源。源。l对于大多数传感器，它都可以用具有两端口或四端对于大多数传感器，它都可以用具有两端口或四端口特征的电气元件足够精确地进
17、行描述。口特征的电气元件足够精确地进行描述。TMT&AI 检测元件与检测技术检测元件与检测技术l检测元件的表示检测元件的表示l与传统的信息技术中常见的两端口或四端口元件相与传统的信息技术中常见的两端口或四端口元件相比，唯一的区别是敏感元件的特性依赖于物理的或比，唯一的区别是敏感元件的特性依赖于物理的或化学的环境变量。化学的环境变量。TMT&AI 检测元件与检测技术检测元件与检测技术l传感技术基础传感技术基础l自然规律自然规律l守恒定律、场的定律、物质定律、统计法则守恒定律、场的定律、物质定律、统计法则l基础效应基础效应 l热电效应、光磁电效应、磁效应、压电效应、应变热电效应、光磁电效应、磁效应
18、、压电效应、应变效应、电涡流效应、超导效应、集肤效应、多普勒效应、电涡流效应、超导效应、集肤效应、多普勒效应、物理现象等效应、物理现象等TMT&AI 检测元件与检测技术检测元件与检测技术l传感技术基础传感技术基础l自然规律自然规律l守恒定律守恒定律 包括能量、动量、电荷量等守恒定律。包括能量、动量、电荷量等守恒定律。这些定律是分析、研制新型传感这些定律是分析、研制新型传感器时必须严格遵守的基本法则。器时必须严格遵守的基本法则。TMT&AI 检测元件与检测技术检测元件与检测技术l传感技术基础传感技术基础l自然规律自然规律l场的定律场的定律动力场的运动定律、电磁场的感应定律等，其作动力场的运动定律
19、、电磁场的感应定律等，其作用与物体在空间的位置及分布状态有关。用与物体在空间的位置及分布状态有关。一般可由物理方程给出，这些方程可作为许多传一般可由物理方程给出，这些方程可作为许多传感器工作的数学模型。例如，利用静电场制成的感器工作的数学模型。例如，利用静电场制成的电容式传感器，利用电磁感应定律可制成的电感电容式传感器，利用电磁感应定律可制成的电感（自感或互感）式传感器等等。（自感或互感）式传感器等等。利用场的定律制成，可统称为结构型传感器。利用场的定律制成，可统称为结构型传感器。TMT&AI 检测元件与检测技术检测元件与检测技术l传感技术基础传感技术基础l自然规律自然规律l物质定律物质定律表
20、示各种物质本身内在性质的定律（如虎克定律、表示各种物质本身内在性质的定律（如虎克定律、欧姆定律），通常以这种物质所固有的物理常数欧姆定律），通常以这种物质所固有的物理常数加以描述，其大小决定着传感器的主要性能。加以描述，其大小决定着传感器的主要性能。半导体物质法则：压阻、热阻、光阻、湿阻等效半导体物质法则：压阻、热阻、光阻、湿阻等效应，可分别制成压敏、热敏、光敏、湿敏等传感应，可分别制成压敏、热敏、光敏、湿敏等传感器件；器件；压电晶体物质法则：压电效应，可制成压电式传压电晶体物质法则：压电效应，可制成压电式传感器等等。感器等等。TMT&AI 检测元件与检测技术检测元件与检测技术l传感技术基础传
21、感技术基础l自然规律自然规律l统计法则统计法则将微观系统与宏观系统联系起来的物理法则，这将微观系统与宏观系统联系起来的物理法则，这些法则常常与传感器的工作状态有关。些法则常常与传感器的工作状态有关。TMT&AI 检测元件与检测技术检测元件与检测技术l传感技术基础传感技术基础l基础效应基础效应 l热电效应热电效应塞贝克效应：热电势（温度塞贝克效应：热电势（温度电），热电偶电），热电偶珀尔帖效应：接触电势（温度珀尔帖效应：接触电势（温度电），半导体制冷电），半导体制冷汤姆逊效应：温差电势（温差汤姆逊效应：温差电势（温差电）电）热电子发射效应：热热电子发射效应：热电子，红外成像电子，红外成像TMT&
22、AI 检测元件与检测技术检测元件与检测技术l传感技术基础传感技术基础l基础效应基础效应 l光磁电效应光磁电效应光电子发射效应：外光电效应光电子发射效应：外光电效应（光（光电），光电二极管、光电），光电二极管、光电倍增管及紫外线传感器等。电倍增管及紫外线传感器等。光电导效应：内光电效应（光光电导效应：内光电效应（光电阻），光敏电阻。电阻），光敏电阻。光伏特效应：内光电效应（光光伏特效应：内光电效应（光电），光电池、光敏二极管、电），光电池、光敏二极管、光敏三极管和光敏晶闸管等。光敏三极管和光敏晶闸管等。TMT&AI 检测元件与检测技术检测元件与检测技术l传感技术基础传感技术基础l基础效应基础效应
23、 l光磁电效应光磁电效应光的热电效应：热释电（热光的热电效应：热释电（热电），红外人体传感器电），红外人体传感器塞曼效应：光通过磁场时光塞曼效应：光通过磁场时光谱离散（光磁谱离散（光磁光谱）光谱）拉曼效应：单色光照射物质拉曼效应：单色光照射物质时发出不同光谱（光时发出不同光谱（光光）光）泡克尔斯效应：光通过压电泡克尔斯效应：光通过压电晶体时分成正常和异常光线晶体时分成正常和异常光线（光电（光电光）光）TMT&AI 检测元件与检测技术检测元件与检测技术l传感技术基础传感技术基础l基础效应基础效应 l光磁电效应光磁电效应克尔效应：光通过各种同性物质并在垂直方向加克尔效应：光通过各种同性物质并在垂直
24、方向加电压时分成正常和异常光线（光电电压时分成正常和异常光线（光电光）光）法拉第效应：线偏振光通过磁性物质时偏振面旋法拉第效应：线偏振光通过磁性物质时偏振面旋转（光磁转（光磁电）电）TMT&AI 检测元件与检测技术检测元件与检测技术l传感技术基础传感技术基础l基础效应基础效应 l磁效应磁效应霍尔效应：电流流过导体并在与电流垂直的方向加霍尔效应：电流流过导体并在与电流垂直的方向加磁场时在垂直方向产生电势的现象（磁电磁场时在垂直方向产生电势的现象（磁电电），电），磁敏二极管、磁敏三极管等。磁敏二极管、磁敏三极管等。磁阻效应：导体在磁场中电阻磁阻效应：导体在磁场中电阻增加的现象（磁电增加的现象（磁电
25、电阻），电阻），磁敏电阻、磁头等。磁敏电阻、磁头等。磁致伸缩效应：强磁体加磁磁致伸缩效应：强磁体加磁场时产生变形（磁场时产生变形（磁机械）机械）TMT&AI 检测元件与检测技术检测元件与检测技术l传感技术基础传感技术基础l基础效应基础效应 l压电效应压电效应压电效应是指强介质加压力时的极化现象，可产压电效应是指强介质加压力时的极化现象，可产生电位差（压力生电位差（压力电），超声波换能器。电），超声波换能器。l多普勒效应多普勒效应当声源、光源及微波等波源与观测者之间有相对当声源、光源及微波等波源与观测者之间有相对运动时，观测到的频率发生谱移的现象运动时，观测到的频率发生谱移的现象（运动（运动频率
26、）频率）TMT&AI 检测元件与检测技术检测元件与检测技术l传感技术基础传感技术基础l基础效应基础效应 l物理现象物理现象热传导现象：热力学第一定律（热热传导现象：热力学第一定律（热物性），热物性），热敏电阻气体传感器、干湿球湿度传感器等。敏电阻气体传感器、干湿球湿度传感器等。热辐射现象：物体温度升高时产生光（电磁波）热辐射现象：物体温度升高时产生光（电磁波）辐射的现象（温度辐射的现象（温度光），辐射高温计、红外探光），辐射高温计、红外探测等。测等。TMT&AI 检测元件与检测技术检测元件与检测技术l传感技术基础传感技术基础l基础效应基础效应效应名称输出量检测元件及应用光导效应电阻光敏电阻，测
27、量光强光生伏特效应电压/电流光电池、光敏二极管、光敏三极管光电子发射效应电流光电管、光电配增管，检测微弱光信号压阻效应电阻扩散硅传感器，测量力、压力等压电效应电压(电荷)压电晶体、压电陶瓷，测量力、压力等压磁效应感抗压磁元件，测量力、压力、转矩等热电效应电压热电偶，测量温度霍尔效应电压霍尔传感器，测量位移、压力、磁场和电流等TMT&AI 检测元件与检测技术检测元件与检测技术l传感技术基础传感技术基础l总结总结l有源检测元件（释能型检测元件）有源检测元件（释能型检测元件）电信号：电压、电流、电荷电信号：电压、电流、电荷光信号：强度光信号：强度磁信号磁信号l无源检测元件（耗能型检测元件）无源检测元
28、件（耗能型检测元件）电参数：电阻、电容、电感（自感、互感）电参数：电阻、电容、电感（自感、互感）光参数：强度、频率、相位、偏振光参数：强度、频率、相位、偏振传输型检测元件传输型检测元件TMT&AI 检测元件与检测技术检测元件与检测技术l检测装置检测装置l检测装置的误差来源检测装置的误差来源l检测元件检测元件灵敏度、测量范围、输入输出特性、稳定性等等。灵敏度、测量范围、输入输出特性、稳定性等等。l其它组成部分其它组成部分通过误差分析，进行针对性的设计，可以大大减小通过误差分析，进行针对性的设计，可以大大减小各部分的误差。各部分的误差。TMT&AI 检测元件与检测技术检测元件与检测技术l检测装置检
29、测装置l检测装置的误差来源检测装置的误差来源l检测元件内部产生的噪声以及电源产生的噪声。检测元件内部产生的噪声以及电源产生的噪声。如光电真空管放射不规则电子，半导体载流子扩散如光电真空管放射不规则电子，半导体载流子扩散等产生的噪声。降低元件的温度可减小热噪声，对等产生的噪声。降低元件的温度可减小热噪声，对电源变压器采用静电屏蔽可减小交流脉动噪声等。电源变压器采用静电屏蔽可减小交流脉动噪声等。l从外部混入的躁声，按其产生原因可分为机械噪声从外部混入的躁声，按其产生原因可分为机械噪声（如振动，冲击）、音响噪声、电磁噪声和化学噪（如振动，冲击）、音响噪声、电磁噪声和化学噪声等。声等。TMT&AI 检
30、测元件与检测技术检测元件与检测技术l检测装置检测装置l检测装置的误差来源检测装置的误差来源l检测元件内部产生的噪声以及电源产生的噪声。检测元件内部产生的噪声以及电源产生的噪声。l从外部混入的躁声，按其产生原因可分为机械噪声从外部混入的躁声，按其产生原因可分为机械噪声（如振动，冲击）、音响噪声、电磁噪声和化学噪（如振动，冲击）、音响噪声、电磁噪声和化学噪声等。声等。对振动等机械噪声可采用防振台或将传感器固定在对振动等机械噪声可采用防振台或将传感器固定在质量很大的基础台上加以抑制；消除音响噪声的有质量很大的基础台上加以抑制；消除音响噪声的有效办法是把传感器放入隔音器中或放在真空容器里；效办法是把传
31、感器放入隔音器中或放在真空容器里；消除电磁噪声的有效办法是屏蔽和接地或使传感器消除电磁噪声的有效办法是屏蔽和接地或使传感器远离电源线，或使输出线屏蔽，输出线绞在一起等。远离电源线，或使输出线屏蔽，输出线绞在一起等。TMT&AI 检测元件与检测技术检测元件与检测技术l检测装置检测装置l改善检测装置的技术途径改善检测装置的技术途径l结构、材料与参数的合理选择结构、材料与参数的合理选择l差动技术、平均技术差动技术、平均技术l稳定性处理稳定性处理l屏蔽、隔离与干扰抑制屏蔽、隔离与干扰抑制l零示法、微差法与闭环技术零示法、微差法与闭环技术l补偿与校正补偿与校正l集成化、智能化与信息融合集成化、智能化与信
32、息融合TMT&AI 检测元件与检测技术检测元件与检测技术l检测装置检测装置l一般信号变换结构一般信号变换结构l简单变换简单变换l差动变换差动变换l参比变换参比变换l平衡反馈变换平衡反馈变换TMT&AI 检测元件与检测技术检测元件与检测技术l检测装置检测装置l简单变换简单变换l直接式：直接式：敏感元件直接将敏感元件直接将被测量转换为电信号。被测量转换为电信号。l间接式：间接式：敏感元件先将被敏感元件先将被测量转换为可利用的中间测量转换为可利用的中间参量，通过参量，通过转换元件再转换元件再将其转换为将其转换为电信号。电信号。TMT&AI 检测元件与检测技术检测元件与检测技术l检测装置检测装置l简单
33、变换简单变换l直接式直接式l间接式间接式常用到的中间参量及转化元件常用到的中间参量及转化元件被测量被测量中间参量中间参量转换元件转换元件压力、温度、流速、力、加速度、扭矩等位移应变片、电感、电容、霍尔元件气体成分、位移、浓度等光学光电器件温度、流速等热量热电偶、热敏电阻TMT&AI 检测元件与检测技术检测元件与检测技术l检测装置检测装置l简单变换简单变换l属于串联型仪表。属于串联型仪表。由误差合成理论，由误差合成理论，仪表的误差是各仪表的误差是各个环节误差之和。环节越多，仪表的准确度越低。个环节误差之和。环节越多，仪表的准确度越低。l当组成仪表的环节中有一个是非线性的，则仪表也具当组成仪表的环
34、节中有一个是非线性的，则仪表也具有非线性特性，若多个环节具有非线性特性，一般情有非线性特性，若多个环节具有非线性特性，一般情况下将使仪表的非线性更严重。况下将使仪表的非线性更严重。l信息能量传递效率低，需要考虑阻抗匹配。信息能量传递效率低，需要考虑阻抗匹配。l结构简单、工作可靠、价格低廉、应用广泛。结构简单、工作可靠、价格低廉、应用广泛。TMT&AI 检测元件与检测技术检测元件与检测技术l检测装置检测装置l差动变换差动变换l使用两个性能相同的使用两个性能相同的转换元件，感受敏感转换元件，感受敏感元件的输出量，将其元件的输出量，将其转换为性质相同、但转换为性质相同、但方向相反的两个物理方向相反的
35、两个物理量。量。TMT&AI 检测元件与检测技术检测元件与检测技术l检测装置检测装置l差动变换差动变换l若两个转换元件的输出为若两个转换元件的输出为其中，其中，x1为被测量，为被测量，x2为干扰量。为干扰量。计算差动输出的变化量，略去二次以上的高阶量，有计算差动输出的变化量，略去二次以上的高阶量，有TMT&AI 检测元件与检测技术检测元件与检测技术l检测装置检测装置l差动变换差动变换l对于简单变换的情况，有对于简单变换的情况，有（略去了二次以上的高阶量）（略去了二次以上的高阶量）TMT&AI 检测元件与检测技术检测元件与检测技术l检测装置检测装置l差动变换差动变换l差动变换与简单直接式变换相比
36、差动变换与简单直接式变换相比有效输出信号提高了一倍，信噪比提高了有效输出信号提高了一倍，信噪比提高了非线性特性有所改善，解决非零输出初始值问题非线性特性有所改善，解决非零输出初始值问题若转换元件的特性可表示为若转换元件的特性可表示为干扰量的影响可以完全消除干扰量的影响可以完全消除TMT&AI 检测元件与检测技术检测元件与检测技术l检测装置检测装置l差动变换差动变换l差动变换的转换元件内部噪声略有增加差动变换的转换元件内部噪声略有增加l但由电源引入的噪声无法得到改善（始终同方向、相关）但由电源引入的噪声无法得到改善（始终同方向、相关）l敏感元件的非线性特性无法得到改善（属于串联型仪表）敏感元件的
37、非线性特性无法得到改善（属于串联型仪表）l如果转换元件的特性为如果转换元件的特性为其非线性特性也得不到改善其非线性特性也得不到改善l差动敏感元件在大多数情况下难以实现差动敏感元件在大多数情况下难以实现TMT&AI 检测元件与检测技术检测元件与检测技术l检测装置检测装置l参比变换参比变换l使用两个性能相同的敏感使用两个性能相同的敏感元件，其中一个感受被测元件，其中一个感受被测量和干扰量，另一个仅感量和干扰量，另一个仅感受干扰量。受干扰量。TMT&AI 检测元件与检测技术检测元件与检测技术l检测装置检测装置l参比变换参比变换l两个转换元件的输出为两个转换元件的输出为若敏感元件的特性可表示为若敏感元
38、件的特性可表示为则则TMT&AI 检测元件与检测技术检测元件与检测技术l检测装置检测装置l参比变换参比变换l两个转换元件的输出为两个转换元件的输出为若敏感元件的特性可表示为若敏感元件的特性可表示为则则TMT&AI 检测元件与检测技术检测元件与检测技术l检测装置检测装置l参比变换参比变换l要根据干扰量对被测量的要根据干扰量对被测量的作用效果，来确定处理形作用效果，来确定处理形式，以达到完全消除干扰式，以达到完全消除干扰量的目的。量的目的。l对于敏感元件、转换元件对于敏感元件、转换元件的非线性没有任何削弱作用，属于串联型仪表。的非线性没有任何削弱作用，属于串联型仪表。TMT&AI 检测元件与检测技
39、术检测元件与检测技术l检测装置检测装置l平衡（反馈）变换平衡（反馈）变换l信号变换环节为闭环结构信号变换环节为闭环结构l具有平衡式变换环节的仪表称为平衡式仪表具有平衡式变换环节的仪表称为平衡式仪表l力平衡、力矩平衡、电压平衡、电流平衡等力平衡、力矩平衡、电压平衡、电流平衡等TMT&AI 检测元件与检测技术检测元件与检测技术l检测装置检测装置l平衡（反馈）变换平衡（反馈）变换l有差随动式变换有差随动式变换从控制理论的角度来说，从控制理论的角度来说，闭环系统为一阶系统闭环系统为一阶系统l无差随动式变换无差随动式变换闭环系统为二阶系统闭环系统为二阶系统TMT&AI 检测元件与检测技术检测元件与检测技
40、术l检测装置检测装置l平衡（反馈）变换平衡（反馈）变换l仪表的响应速度快仪表的响应速度快l仪表的灵敏度下降，可通过增加前向通道的增益解决仪表的灵敏度下降，可通过增加前向通道的增益解决l前向通道的特性对仪表的性能影响减小，包括非线性前向通道的特性对仪表的性能影响减小，包括非线性l闭环特性主要受反馈通道的影响，因此对反馈通道的特闭环特性主要受反馈通道的影响，因此对反馈通道的特性要求高，稳定性、惯性性要求高，稳定性、惯性TMT&AI 检测元件与检测技术检测元件与检测技术l检测装置检测装置l一般信号变换结构一般信号变换结构l简单变换简单变换l差动变换差动变换 开环结构仪表开环结构仪表l参比变换参比变换
41、l平衡反馈变换平衡反馈变换 闭环结构仪表闭环结构仪表TMT&AI 检测元件与检测技术检测元件与检测技术l小结小结l检测元件的基本概念、分类方法检测元件的基本概念、分类方法l传感技术传感技术l自然规律：自然规律：守恒定律、场的定律、物质定律、统计法则守恒定律、场的定律、物质定律、统计法则l基础效应：基础效应：（望文生义）（望文生义）l检测仪表的设计方法检测仪表的设计方法l简单变换：简单变换：直接式、间接式直接式、间接式l差动变换：差动变换：可完全消除加性干扰量、提高信噪比可完全消除加性干扰量、提高信噪比l参比变换：参比变换：（与差动变换比较理解、记忆）（与差动变换比较理解、记忆）l平衡变换反馈变换：平衡变换反馈变换：（闭环结构仪表）（闭环结构仪表）TMT&AI 检测元件与检测技术检测元件与检测技术l作业作业l第三章，第第三章，第3题题
