2022-8-9一PECVD原理及设备结构3一一PECVD原理及设备结原理及设备结构构3一PECVD原理及设备结构3一PECVD原理及设备结构3一PECVD原理及设备结构33SiH4+4NH3 Si3N4+12H2一PECVD原理及设备结构3一PECVD原理及设备结构3一PECVD原理及设备结构3一PECVD原理及设备结构3一PECVD原理及设备结构3PECVD设备结构示意图一PECVD原理及设备结构3一PECVD原理及设备结构3一PECVD原理及设备结构3一PECVD原理及设备结构3冷却系统示意图一PECVD原理及设备结构3一PECVD原理及设备结构3一PECVD原理及设备结构3一PECVD原理及设备结构3一PECVD原理及设备结构3CESAR控制电脑示意图控制电脑示意图运行顺序控制控制界面数据资料记录温度特气真空晶片装载一PECVD原理及设备结构3一PECVD原理及设备结构3一PECVD原理及设备结构3一PECVD原理及设备结构3一PECVD原理及设备结构3一PECVD原理及设备结构3一PECVD原理及设备结构3一PECVD原理及设备结构3一PECVD原理及设备结构3一PECVD原理及设备结构3一PECVD原理及设备结构32022-8-9一PECVD原理及设备结构3
