1、研华半导体光伏设备SECS联网协议标准化解决方案Page 2WebAccess SECS Gateway可提供各式extra sensor&既有PLC等的数据收集，大大降低开发时间与成本应用范围l 半导体晶圆厂l 半导体封装测试厂l 面板厂l 机台设备供货商半导体设备，厂务资料收集的新概念l 整合繁杂的数据源：各种侦测器,表头,PLC,PACl 半导体标准通信接口：HSMS/SECSl 实时数据提供先进制程立即分析，快速反应l 以设定方式整合，大量减少系统开发时间及成本PAC整合半导体设备厂SECS 先进制程协议SECSSECS-半导体光伏 制程再优化的关键智慧研华SECS资料采集与机台监控解
2、决方案什么是SECS？为何半导体/PCB 制程需要导入？SECS 是PCB&半导体制程设备的标准通讯协定，主要是将设备的信息传至主计算机(FDC/EAP)在 FAB厂内使用该通讯协议,可进行启动或停止制程设备,收集设备的制程数据,改变制程参数以及进行选择生产产品的制程配方等透过SECS(SEMI Equipment Communications Standard)GEM(Generic Equipment Model)的标准通讯协议与数据库整合半导体设备通讯标准SECS解决方案半导体制程SECS联网与机台状态监测FDC/EAPSERVERDatabasesLAN(SECS 通讯协议)集中式IO
3、数据采集器通讯转换平台 分布式IO数据采集器ADAM-5510/TCP-SECSADAM-5510E/TCP-SECSUNO-2483G-SECSAPAX-5620-SECSSensor Sensor Serial PLC Modbus-RTUMeter Sensor APAX-5580-SECS半导体光伏设备SECS联网 完整解决方案SECS分布式I/O资料收集器PAC:APAX-5620SECS集中式I/O资料收集器PAC:ADAM-5510SECS通讯转换平台UNO-2483APAX-5580SECS各种HSMS/SECS整合解决方案ADAM-5510-SECS1.可程序规划之数据收集器
4、2.具备以太网络接口10/100Base-T 3.支援 4/8 固定 I/O 模块槽位 ADAM-5017P-SECS 8通道 AI 模块 0-10V,4-20mAADAM-5018P-SECS 8通道 热电偶 与4-20mAADAM-5051S-SECS 16通道 DI 24Vdc 输入模块SECS InterfaceSocket LibrarySECS ClientADAM-5510 SeriesLibrary 123集中式ADAM-5510SECS数据采集方案APAX I/OFDC/EAPLANLANLANLANAPAX-5000-SECSI/O ModulesI/O ModulesI/
5、O ModulesAPAX-5000-SECSUp to 32 I/O moduleUp to 32 I/O module系统架构特点：最大I/O数达32片具高弹性的IO分散配置星型、树状、Bus type 混合式组合分布式APAX-5620-SECS 数据采集方案支持200多种工业通讯协议GE CorporationMitsubishi Electric CorpOmron CorporationSiemens AG/Yamatake/Yaskawa FDC/EAPCOMEthernetCOMEthernetSECSSECS Interface通讯转换平台UNO-2000通讯转换平台APAX
6、-5580SECSSECS通讯协议转换平台方案SECS 图示化之各种人机操作界面PLC SECS Gatewaydemo box ADAM-SECS+APAX-SECSDemo box 12半导体设备SECS联网与机台监控-DEMO BOX半导体设备SECS联网与机台监控系统优势特点 基于半导体标准通信协议接口SECS，实现整合繁杂的数据源,提供先进制程立即分析，快速反应以设定方式整合，大量减少系统开发时间及成本优势-精简单设定、即插即用，快速整合半导体制造与厂务设备，有效缩短开发时间、化繁为简。随时掌握厂房信息与设备状态，提升制程监控效率、节省维护成本。效益-使用者仅需透过简单的设定便能完成软硬件安装，不再需要软件编程就能取得现场生产信息，有效缩短半导体厂设备联机建置时间，更能提升制程监控效率、节省维护成本。软件非常容易安装与设定，让MIS/制程工程师容易进行数据收集 产业应用:半导体晶圆厂半导体封装测试厂面板厂机台设备供货商13产品料号（名称）描述数量ADAM-5510SECS集中式SECS数据采集器1APAX-5620SECS分布式SECS数据采集器1UNO-2483SECSPLC SECS Gateway1APAX-5580SECSPLC SECS Gateway1半导体设备SECS联网 选型配置清单
