1、现代检测技术 新型传感器 精勤求学 敦笃励志 果毅力行 忠恕任事1红外辐射红外辐射：红光以外的光线，波长：红光以外的光线，波长0.761000m。波长波长/m 任何温度高于绝对零度（任何温度高于绝对零度（-273.16）的物体，都会发射或）的物体，都会发射或吸收红外线，即红外辐射。当达到热平衡时，散发和吸收的辐吸收红外线，即红外辐射。当达到热平衡时，散发和吸收的辐射一样多。物体红外辐射的强度和波长分布取决于物体的温度射一样多。物体红外辐射的强度和波长分布取决于物体的温度和辐射率等。和辐射率等。红外辐射传感器红外辐射传感器 2红外辐射规律红外辐射规律：1）基尔霍夫定律基尔霍夫定律：物体向外发射辐
2、射能取决于它的吸收本：物体向外发射辐射能取决于它的吸收本领。领。ER 物体在单位面积、单位时间内发出的辐射能；物体在单位面积、单位时间内发出的辐射能；物体对辐射能的吸收系数；物体对辐射能的吸收系数；E0 常数，等价于黑体在相同温度下发射出的辐射能。常数，等价于黑体在相同温度下发射出的辐射能。红外辐射传感器红外辐射传感器 2）斯蒂芬玻尔茨曼斯蒂芬玻尔茨曼(Stefan-Boltzmann)定律定律：物体单位面积辐射功率、物体辐射强度物体单位面积辐射功率、物体辐射强度 W 与其热力学温与其热力学温度度 T 四次方成正比：四次方成正比：4WT/比辐射率，非黑体辐射度 黑体辐射度斯蒂芬玻尔兹曼常数（1
3、）黑体）黑体=1，在任何温度下能全部吸收任何波长的辐射；，在任何温度下能全部吸收任何波长的辐射；（2）物体辐射强度随温度升高而明显增强；）物体辐射强度随温度升高而明显增强；（3）大气对不同波长的红外辐射有不同的穿透程度。）大气对不同波长的红外辐射有不同的穿透程度。红外辐射传感器红外辐射传感器 3）普朗克定律普朗克定律：绝对温度为：绝对温度为 T 时，在单位波长内其时，在单位波长内其单位面积沿半球方向所辐射的能量称为单位面积沿半球方向所辐射的能量称为光谱辐射通量光谱辐射通量密度密度。不同温度时黑体光谱辐射通量密度与波长的关。不同温度时黑体光谱辐射通量密度与波长的关系为：系为：红外辐射传感器红外辐
4、射传感器 a.随温度升高，峰值辐射波随温度升高，峰值辐射波长向短波方向移动，强度长向短波方向移动，强度按指数增长；按指数增长；b.温度不太高时，辐射波长温度不太高时，辐射波长位于红外区域；位于红外区域；c.峰值左侧能量约占峰值左侧能量约占25，右侧约占右侧约占75。4）维恩位移定律维恩位移定律：光谱辐射通量密度密度峰值波长：光谱辐射通量密度密度峰值波长与物体自身的绝对温度成反比。与物体自身的绝对温度成反比。红外辐射传感器红外辐射传感器 能能将红外辐射能转换为电能将红外辐射能转换为电能的装置称为的装置称为红外传感器红外传感器，按，按其工作原理可以分为其工作原理可以分为光敏型光敏型（或称光子型、量
5、子型）和（或称光子型、量子型）和热敏热敏型型两类。两类。光敏型光敏型直接把红外光能转换为电能直接把红外光能转换为电能，其工作原理是光电效应。需要在低温下工其工作原理是光电效应。需要在低温下工作、灵敏度很高，响应速度快，但响应红作、灵敏度很高，响应速度快，但响应红外光的波长范围较窄（图中曲线外光的波长范围较窄（图中曲线2）。）。红外传感器光谱红外传感器光谱响应曲线响应曲线 红外辐射传感器红外辐射传感器 热敏型将热敏型将吸收的红外光转变为热能吸收的红外光转变为热能，使，使器件自身的温度发生变化，包括热电偶器件自身的温度发生变化，包括热电偶式、电阻式和热释电式等。热敏型红外式、电阻式和热释电式等。热
6、敏型红外传感器响应的红外光谱范围宽，（图中传感器响应的红外光谱范围宽，（图中的曲线的曲线1），能在常温下工作，价格便宜。），能在常温下工作，价格便宜。它的响应速度和灵敏度较低。它的响应速度和灵敏度较低。以以红外线为测量介质红外线为测量介质的系统称为红外传感系统，按照的系统称为红外传感系统，按照功能可以分成五类：功能可以分成五类：（1）温度计和辐射计温度计和辐射计，用于温度、辐射和光谱测量；，用于温度、辐射和光谱测量；（2）搜索和跟踪系统搜索和跟踪系统，用于搜索和跟踪红外目标，确定，用于搜索和跟踪红外目标，确定其空间位置并对它的运动进行跟踪；其空间位置并对它的运动进行跟踪；（3）热成像系统热成像
7、系统，可产生整个目标红外辐射的分布图像；，可产生整个目标红外辐射的分布图像；（4）红外测距和通信系统红外测距和通信系统；（5）混合系统混合系统，由以上各类系统中的两个或者多个组合，由以上各类系统中的两个或者多个组合而成。而成。红外辐射传感器红外辐射传感器（3）光学接收器光学接收器：接收部分红外辐射并传输给红外传感器。相当：接收部分红外辐射并传输给红外传感器。相当于雷达天线，常用的是物镜。于雷达天线，常用的是物镜。（4）辐射调制器辐射调制器：将来自待测目标的辐射调制成交变的辐射光，：将来自待测目标的辐射调制成交变的辐射光，提供目标方位信息，并且可以滤除大面积的干扰信号。又称提供目标方位信息，并且
8、可以滤除大面积的干扰信号。又称调制盘和斩波器。调制盘和斩波器。（1）待侧目标待侧目标：具有红外：具有红外辐射特性。辐射特性。（2）大气衰减大气衰减：由于各种：由于各种气体分子以及溶胶粒气体分子以及溶胶粒的散射和吸收，使待的散射和吸收，使待测目标发出的红外辐测目标发出的红外辐射发生衰减。射发生衰减。典型的红外传感系统典型的红外传感系统 （5）红外探测器红外探测器：它是红外传感系统的核心，利用红外辐：它是红外传感系统的核心，利用红外辐射与物质相互作用所呈现出来的物理效应探测红外辐射与物质相互作用所呈现出来的物理效应探测红外辐射，按照工作原理分为光敏探测器和热敏探测器两类。射，按照工作原理分为光敏探
9、测器和热敏探测器两类。（6）探测器制冷器探测器制冷器：由于某些探测器必须要在低温下工作，：由于某些探测器必须要在低温下工作，所以相应的系统必须有制冷设备。经过制冷，探测器所以相应的系统必须有制冷设备。经过制冷，探测器可以缩短响应时间，提高灵敏度。可以缩短响应时间，提高灵敏度。（7）信号处理系统信号处理系统：将探测的信号进行放大、滤波，并从：将探测的信号进行放大、滤波，并从中提取出有用的信息。然后将这些信息转化为适当的中提取出有用的信息。然后将这些信息转化为适当的格式，传送到控制设备或者显示器中。格式，传送到控制设备或者显示器中。（8）显示设备显示设备：它是红外传感系统的终端设备，常用的有：它是
10、红外传感系统的终端设备，常用的有示波器、显像管、红外感光材料、指示仪器和记录仪示波器、显像管、红外感光材料、指示仪器和记录仪等。等。典型的红外传感系统典型的红外传感系统 滤光片滤光片采用允许在采用允许在8 814m14m的红外辐射能通的红外辐射能通过的材料，步进电机带动过的材料，步进电机带动调制盘调制盘转动，将被测的红转动，将被测的红外辐射调制成交变的红外外辐射调制成交变的红外辐射线，透镜焦点落在辐射线，透镜焦点落在红红外光敏面外光敏面上，被测目标的上，被测目标的红外辐射通过透镜聚焦在红外辐射通过透镜聚焦在红外探测器上，并将红外红外探测器上，并将红外辐射变换为电信号。辐射变换为电信号。例例1
11、1：红外测温：红外测温 （0-7000-700）红外辐射传感器红外辐射传感器 例例2 2：红外测温：红外测温 （800800以上的高温）以上的高温）假定人造黑体吸收了由被测物辐射的全部能量，则有：假定人造黑体吸收了由被测物辐射的全部能量，则有：4400TT 从而得到：从而得到：04TT红外辐射传感器红外辐射传感器 例例3 3：红外热成像：红外热成像 红外热像仪红外热像仪将红外辐射转换成可见光进行显示，利用物体自将红外辐射转换成可见光进行显示，利用物体自身的红外辐射来摄取物体热辐射图像。它能通过快速扫描，精确身的红外辐射来摄取物体热辐射图像。它能通过快速扫描，精确的摄取反映被测物体温差信息的热图
12、像。的摄取反映被测物体温差信息的热图像。红外辐射传感器红外辐射传感器 热像技术应用热像技术应用：温度分布检测、飞行器表面温度检测、：温度分布检测、飞行器表面温度检测、无损探测、安全生产监控、夜间机场状况检测、海岸线检测、无损探测、安全生产监控、夜间机场状况检测、海岸线检测、临床医学、军事等。临床医学、军事等。红外辐射传感器红外辐射传感器 防爆型红外热像仪防爆型红外热像仪 用于探测地面和井下煤堆自燃温度。用于探测地面和井下煤堆自燃温度。矿用本质安全型红外成像生命探测仪矿用本质安全型红外成像生命探测仪 用于井下人员搜救、探测隐性火区分布、探用于井下人员搜救、探测隐性火区分布、探测瞎炮位置分布、采煤
13、机组与液压支架实时测瞎炮位置分布、采煤机组与液压支架实时工作状态、探测井下各种开关、接头、变压工作状态、探测井下各种开关、接头、变压器的事故隐患、各种电器及传动设备的发热器的事故隐患、各种电器及传动设备的发热状态等。状态等。红外热像仪应用红外热像仪应用 贮存罐液位检测贮存罐液位检测内部屋顶检查内部屋顶检查 微观电路检测微观电路检测 塑料挤压过程塑料挤压过程 温度检测温度检测 总线节点发热检测总线节点发热检测 耐火材料设备检测耐火材料设备检测 电脑主板发热量分布电脑主板发热量分布 沥青铺路温度分布沥青铺路温度分布 红外热像仪应用红外热像仪应用 机械振动在介质中的传播称为声波机械振动在介质中的传播
14、称为声波，人耳可以听到，人耳可以听到的声波频率范围是的声波频率范围是1620kHz，超过超过20kHz的声波称为的声波称为超声波，如图所示。超声波，如图所示。超声波传感器超声波传感器 声敏传感器声敏传感器是将在气体、液体或固体介质中传播的机械振是将在气体、液体或固体介质中传播的机械振动转换为电信号的器件或装置。传统的声敏传感器包括电阻变动转换为电信号的器件或装置。传统的声敏传感器包括电阻变换型、压电式、电容式等，下面介绍换型、压电式、电容式等，下面介绍超声波传感器超声波传感器和和声表面波声表面波（SAW）传感器）传感器。3）表面波：）表面波：质点的振动介于纵波和横波之间，沿着表面传播，质点的振
15、动介于纵波和横波之间，沿着表面传播，振幅随着深度的增加而迅速衰减的波称为表面波。它只能在固振幅随着深度的增加而迅速衰减的波称为表面波。它只能在固体的表面传播。体的表面传播。1）纵波：）纵波：质点振动方向与传播方向一致的波称为纵波。它能质点振动方向与传播方向一致的波称为纵波。它能在固体、液体和气体中传播。在固体、液体和气体中传播。2）横波：）横波：质点振动方向与传播方向相垂直的波称为横波。质点振动方向与传播方向相垂直的波称为横波。声波的分类声波的分类 以以非接触方式非接触方式工作，特别适用于防爆、放射性、医学等领域工作，特别适用于防爆、放射性、医学等领域应用，也更容易安装和维护。应用，也更容易安
16、装和维护。u 频率高、波长短、绕射现象小；频率高、波长短、绕射现象小；u 方向性好方向性好、能够成为射线而定向传播；、能够成为射线而定向传播；u 对液体、固体的对液体、固体的穿透本领很大穿透本领很大，在阳光不透明的固体中，在阳光不透明的固体中，它可穿透几十米的深度。它可穿透几十米的深度。u 碰到杂质或分界面会产生显著反射形成碰到杂质或分界面会产生显著反射形成反射式回波反射式回波，碰，碰到活动物体能产生到活动物体能产生多普勒效应；多普勒效应；u 传播速度取决于媒质，与超声波频率无关。传播速度取决于媒质，与超声波频率无关。超声波的特点超声波的特点 利用利用压电材料压电材料制成，制成，逆压电效应逆压
17、电效应将电振动转换成机械将电振动转换成机械振动产生超声波，作为振动产生超声波，作为发射探头发射探头；正压电效应正压电效应将超声波转将超声波转换成电信号，作为换成电信号，作为接收探头接收探头。压电式换能器压电式换能器是利用是利用电致伸缩效应电致伸缩效应制成的。通制成的。通过在压电材料上施加交变过在压电材料上施加交变电压，使它产生电致伸缩电压，使它产生电致伸缩振动而产生超声波。常用振动而产生超声波。常用的压电材料为石英晶体、的压电材料为石英晶体、压电陶瓷和锆钛酸铅等。压电陶瓷和锆钛酸铅等。压电式超声波探头结构压电式超声波探头结构 超声波传感器的结构超声波传感器的结构 超声探头的核心是其塑料外套或者
18、金属外套中的一块压电超声探头的核心是其塑料外套或者金属外套中的一块压电晶片。晶片的材料、大小（如直径和厚度）各不相同，因此每晶片。晶片的材料、大小（如直径和厚度）各不相同，因此每个探头的性能是不同的：个探头的性能是不同的：（1）工作频率：工作频率：压电晶片的共振频率。当交流电压的频率和压电晶片的共振频率。当交流电压的频率和晶片的共振频率相等时，输出的能量最大，灵敏度也最高。晶片的共振频率相等时，输出的能量最大，灵敏度也最高。（2）工作温度：工作温度：由于压电材料的居里点一般比较高，特别是由于压电材料的居里点一般比较高，特别是诊断用超声波探头使用功率较小，工作温度比较低，可以长时诊断用超声波探头
19、使用功率较小，工作温度比较低，可以长时间地工作而不失效。当超声探头的温度比较高时，需要单独的间地工作而不失效。当超声探头的温度比较高时，需要单独的制冷设备。制冷设备。（3）灵敏度：灵敏度：主要取决于制造晶片本身。机电耦合系数大，主要取决于制造晶片本身。机电耦合系数大，灵敏度高；反之，灵敏度低。灵敏度高；反之，灵敏度低。超声波传感器的性能指标超声波传感器的性能指标 超声波压电陶瓷片的形式超声波压电陶瓷片的形式 超声波传感器的形式超声波传感器的形式 超声波传感器的应用超声波传感器的应用 各种场合的距离测量；各种场合的距离测量；生产线上的工件计数；生产线上的工件计数；接近开关；接近开关；倒车报警装置
20、；倒车报警装置；机器人自动避障装置；机器人自动避障装置；超声波液位超声波液位/物位计；物位计；自动门开关装置；自动门开关装置；液体、气体的浓度和流量检测；液体、气体的浓度和流量检测；超声波清洗；超声波清洗；超声波雾化；超声波雾化；探伤、测厚、测密度；探伤、测厚、测密度；医疗器械、美容仪、按摩仪医疗器械、美容仪、按摩仪 超声波传感器的应用超声波传感器的应用 2tvh超声波测物位超声波测物位：通过测量发射和接收信号之间的时间差测通过测量发射和接收信号之间的时间差测距离。距离。包括液位测量、固体料位测量、固液分界面测量以包括液位测量、固体料位测量、固液分界面测量以及液液分界面测量和液体有无测量等。及
21、液液分界面测量和液体有无测量等。12221222222LLttcvcvLvLvctttvtcvcL 超声波流量传感器超声波流量传感器 超声波传感器的应用超声波传感器的应用 sincos1vcDtsincos2vcDt212222tansinDvtttcv 22tanDvtc 22tancvtD超声波传感器的应用超声波传感器的应用 超声波传感器的应用超声波传感器的应用 常用常用超声波流量传感器超声波流量传感器分类：分类：时差法时差法和和多普勒效应法多普勒效应法；固定式固定式和和便携式便携式；条件条件传播时间差法传播时间差法多普勒法多普勒法适用液体适用液体水类水类(江河水，海水农业用江河水，海水农
22、业用水等水等),油类（纯净燃油，润油类（纯净燃油，润滑油，食用油等），化学滑油，食用油等），化学试剂，药液等试剂，药液等含杂质多的水含杂质多的水(下水，污水，下水，污水，农业用水等农业用水等)，浆类，浆类(泥浆，泥浆，矿浆，纸浆化工料浆等矿浆，纸浆化工料浆等)，油类油类(非净燃油，重油，原非净燃油，重油，原油等油等)重复性误差重复性误差0.1%-0.3%1%传输电缆长度传输电缆长度100-300m,在能保证信号质在能保证信号质量的前提下量的前提下,可以小于可以小于100m30m价格价格较高较高一般较低一般较低超声波测厚超声波测厚 常用常用脉冲回波法脉冲回波法。超声波探头与被测物体表面接触，主控
23、。超声波探头与被测物体表面接触，主控制器产生一定频率的脉冲信号，脉冲波传到被测工件的另一面制器产生一定频率的脉冲信号，脉冲波传到被测工件的另一面被反射回来，被同一探头接收。如果超声波在工件中的声速被反射回来，被同一探头接收。如果超声波在工件中的声速v是已知的，设工件厚度为是已知的，设工件厚度为d，脉冲波从发射到接收的时间间隔，脉冲波从发射到接收的时间间隔为为t，则工件的厚度为：，则工件的厚度为：dvt/2超声波传感器的应用超声波传感器的应用 超声波无损探伤超声波无损探伤 超声波探伤分为超声波探伤分为穿透法探伤穿透法探伤和和反射法探伤反射法探伤。穿透法穿透法探伤是根据超声波穿透工件后能量的变化状
24、况探伤是根据超声波穿透工件后能量的变化状况来判断工件内部质量的方法。该方法结构简单，适合探测来判断工件内部质量的方法。该方法结构简单，适合探测薄板；探测灵敏度较低，不能精确定位；对两探头的相对薄板；探测灵敏度较低，不能精确定位；对两探头的相对距离和位置要求较严格。距离和位置要求较严格。超声波传感器的应用超声波传感器的应用 反射法反射法是以超声波在工件中反射情况的不同来探测缺陷是以超声波在工件中反射情况的不同来探测缺陷的方法，具体又分为的方法，具体又分为一次脉冲一次脉冲反射法和反射法和多次脉冲多次脉冲反射法。一反射法。一次脉冲反射法是以一次底波为依据进行探伤的方法。多次脉次脉冲反射法是以一次底波
25、为依据进行探伤的方法。多次脉冲反射法是以多次底波为依据进行探伤的方法。冲反射法是以多次底波为依据进行探伤的方法。超声波传感器的应用超声波传感器的应用 超声波传感器的应用超声波传感器的应用 超声波测厚仪超声波测厚仪 超声波探伤仪超声波探伤仪 超声波探伤超声波探伤 声表面波声表面波简称简称SAW（Surface Acoustic Wave），是英国物理），是英国物理学家瑞利（学家瑞利（Rayleigh）于）于19世纪末期在研究地震波的过程中发现世纪末期在研究地震波的过程中发现的一种的一种集中在地表面传播的声波集中在地表面传播的声波。任何固体表面都存在这种现象。任何固体表面都存在这种现象。某些外界因
26、素（如温度、压力、加速度、磁场、电压等）对某些外界因素（如温度、压力、加速度、磁场、电压等）对SAW的传播参数会造成影响，根据这些影响与外界因素之间的关系可的传播参数会造成影响，根据这些影响与外界因素之间的关系可以研制出测量各种物理、化学参数的以研制出测量各种物理、化学参数的SAW传感器。传感器。SAW瑞利波瑞利波 SAW是一种沿弹性体表面传播的机械波。瑞利波质点是一种沿弹性体表面传播的机械波。瑞利波质点的运动是一种的运动是一种椭圆偏振椭圆偏振。在各向同性固体中，它是由平行于。在各向同性固体中，它是由平行于传播方向的纵振动和垂直于表面及传播方向的横振动合成的，传播方向的纵振动和垂直于表面及传播
27、方向的横振动合成的，两者的相位差为两者的相位差为90度。瑞利波的能量只集中在一个波长深的度。瑞利波的能量只集中在一个波长深的表面层内，频率越高，能量集中的表面层越薄。表面层内，频率越高，能量集中的表面层越薄。SAW传感器传感器 SAW传感器是以传感器是以SAW技术、电路技术、薄膜技术技术、电路技术、薄膜技术相结合设相结合设计的器件，由计的器件，由SAW换能器、电子放大器换能器、电子放大器和和SAW基片及其敏感区基片及其敏感区构成，采用构成，采用瑞利波瑞利波进行工作。进行工作。SAW换能器换能器 换能器（换能器（IDT）是用）是用蒸发或溅射蒸发或溅射等方法在等方法在压电基片压电基片表面淀表面淀积
28、一层积一层金属膜金属膜，再用光刻方法形成的，再用光刻方法形成的叉指状薄膜叉指状薄膜，它是产生和，它是产生和接收声表面波的装置。接收声表面波的装置。SAW传感器传感器 敏感基片敏感基片采用石英、铌酸锂（采用石英、铌酸锂（LiNbO3）等）等压电单晶材料压电单晶材料制成。当敏感基片制成。当敏感基片受到物理、化学或机械量扰动作用时，其振荡频率会发生变化。通过适受到物理、化学或机械量扰动作用时，其振荡频率会发生变化。通过适当的结构设计和理论计算，能使它仅对某一被测量有响应，并将其转换当的结构设计和理论计算，能使它仅对某一被测量有响应，并将其转换成频率量。成频率量。SAW传感器传感器 当电压加到叉指电极
29、上时，由当电压加到叉指电极上时，由于压电效应，在表面产生一个相应于压电效应，在表面产生一个相应的弹性形变。的弹性形变。由由IDT激励的声表面激励的声表面波波沿基片表面传播。当基片或基片沿基片表面传播。当基片或基片上覆盖的敏感材料薄膜受到被测量上覆盖的敏感材料薄膜受到被测量调制时，声表面波的频率将改变，调制时，声表面波的频率将改变，并由接收叉指电极测得。并由接收叉指电极测得。SAW谐振器结构是将一谐振器结构是将一个或两个个或两个叉指换能器（叉指换能器（IDT）置于一对反射栅阵列组成的置于一对反射栅阵列组成的腔体中构成的。谐振器结构腔体中构成的。谐振器结构采用一个采用一个IDT时称为时称为单端对单
30、端对谐振器，采用两个谐振器，采用两个IDT时称时称为为双端对双端对谐振器。反射栅阵谐振器。反射栅阵列能够将一定频率的入射波列能够将一定频率的入射波能量限制在由栅条组成的谐能量限制在由栅条组成的谐振腔内。振腔内。SAW传感器的核心是传感器的核心是SAW振荡器振荡器，有，有谐振器型（谐振器型（R型）型）和和延迟线型（延迟线型（DL型）型）两种。两种。SAW传感器传感器 谐振器型谐振器型SAW振荡器由振荡器由SAW谐振器谐振器和和放大电路放大电路组成。组成。单端对谐振器的单端对谐振器的IDT既是发射端，也是接收端；双端对谐振既是发射端，也是接收端；双端对谐振器中一个器中一个IDT作为发射端，另一个作
31、为发射端，另一个IDT作为接收端。将作为接收端。将SAW谐振器的输出信号经放大后，正反馈到输入端，只要放大器谐振器的输出信号经放大后，正反馈到输入端，只要放大器的增益能够补偿谐振器及其导线的损耗，同时又满足一定的的增益能够补偿谐振器及其导线的损耗，同时又满足一定的相位条件，谐振器就可以起振并维持振荡状态。相位条件，谐振器就可以起振并维持振荡状态。SAW传感器传感器 当在压电基片上设置两个当在压电基片上设置两个IDT，一个为发射，一个为发射IDT，另一个为，另一个为接收接收IDT时，时，SAW在两个在两个IDT中心距之间产生时间延迟，称为中心距之间产生时间延迟，称为SAW延迟线延迟线。延迟线型延
32、迟线型SAW振荡器振荡器由声表面波延迟线和放大电路组成。由声表面波延迟线和放大电路组成。输入换能器输入换能器T1激发出声表面波，传播到换能器激发出声表面波，传播到换能器T2转换成电信号，转换成电信号，经放大后反馈到经放大后反馈到T1以保持振荡状态。以保持振荡状态。SAW传感器传感器 （1）高精度，高灵敏度高精度，高灵敏度。SAW传感器是将被测量转换为电信传感器是将被测量转换为电信号频率进行测量，而频率的测量精度很高，有效检测范围线性号频率进行测量，而频率的测量精度很高，有效检测范围线性好；对恶劣环境的抗干扰能力很强，适于远距离传输。好；对恶劣环境的抗干扰能力很强，适于远距离传输。（2）数字化数
33、字化。SAW传感器将被测量转换为数字化的频率信号传感器将被测量转换为数字化的频率信号进行传输、处理，易于与计算机接口，组成自适应实时处理系进行传输、处理，易于与计算机接口，组成自适应实时处理系统。统。（3）易批量生产易批量生产。SAW传感器的制作与集成电路技术兼容，传感器的制作与集成电路技术兼容，极易集成化、智能化，结构牢固，性能稳定，重复性与可靠性极易集成化、智能化，结构牢固，性能稳定，重复性与可靠性好，适于批量生产。好，适于批量生产。（4）体积小、质量轻、功耗低体积小、质量轻、功耗低，可获得良好的热性能和机械，可获得良好的热性能和机械性能。性能。SAW传感器的特点传感器的特点 v 典型的典
34、型的SAW传感器包括：传感器包括：石英声表面波装置（石英声表面波装置（ST-Quartz SAW Device）SAW装置检测片（装置检测片（SAW Device Detector Block）振幅测量系统（振幅测量系统（Amplitude Measurement System）相位测量系统（相位测量系统（Phase Measurement System）频率测量系统（频率测量系统（Frequency Measurement System）压力监测系统（压力监测系统（Pressure Monitoring System）温度控制系统（温度控制系统（Temperature Control Sys
35、tem）温度压力检测仪（温度压力检测仪（Temperatureand Pressure Test Apparatus）数据采集软件（数据采集软件（Data Acquisition Software）SAW传感器的组成传感器的组成 1.SAW压力传感器压力传感器 SAW谐振式力学量传感器包括谐振式力学量传感器包括压力传感器压力传感器和和加速度传感器加速度传感器，SAW器件在基底压电材料受到外界作用力时，谐振器的结构尺器件在基底压电材料受到外界作用力时，谐振器的结构尺寸、压电材料的密度、弹性系数等发生变化，从而导致寸、压电材料的密度、弹性系数等发生变化，从而导致SAW的的波长、频率和传播速度等波长
36、、频率和传播速度等发生变化。通过测量发生变化。通过测量SAW传感器传感器的频率变化可以得知压力的大小。的频率变化可以得知压力的大小。SAW压力传感器由压力传感器由SAW振荡器、振荡器、敏感模片、基底等组成。敏感模片、基底等组成。SAW传感器的应用传感器的应用 2.SAW气体传感器气体传感器 SAW气体传感器是在气体传感器是在SAW传播路径上和传播路径上和IDT区域淀积区域淀积一层化学界面膜，当界面膜吸附被测气体后，引起一层化学界面膜，当界面膜吸附被测气体后，引起SAW传传播频率变化，可以通过测量播频率变化，可以通过测量SAW频率的变化测量气体浓度。频率的变化测量气体浓度。已经开发出来的已经开发
37、出来的SAW气体传感器有气体传感器有SO2、水蒸气、丙酮、水蒸气、丙酮、甲醇、氢气、甲醇、氢气、H2S、NO2等传感器。等传感器。SAW传感器的应用传感器的应用 化学战剂检测器化学战剂检测器以以SAW化学传感器对化学传感器对 化学毒剂进行检测。化学毒剂进行检测。3.温度传感器温度传感器 当温度变化时，当温度变化时，SAW振荡器的振荡频率会发生变振荡器的振荡频率会发生变化，从而可以制成化，从而可以制成SAW温度传感器。温度传感器。SAW温度传感器温度传感器具有长期稳定性，灵敏度很高，可测量出具有长期稳定性，灵敏度很高，可测量出10-410-6的微小温度变化。的微小温度变化。SAW温度传感器可以用
38、于气象测温、温度传感器可以用于气象测温、粮仓测温、火灾报警等。粮仓测温、火灾报警等。SAW传感器的应用传感器的应用 ca.nstl.gov/commIndustry2/content.asp?contentid=1491174.SAW无源电子标签技术，射频识别无源电子标签技术，射频识别 SAW传感器的应用传感器的应用 a，SAW标签由标签由叉指换能器叉指换能器和和若干反射器若干反射器组成。组成。b，阅读器的天线周期地发送高频询问脉冲，电子标签天，阅读器的天线周期地发送高频询问脉冲，电子标签天线将接收到的高频脉冲通过叉指换能器转换为声表面线将接收到的高频脉冲通过叉指换能器转换为声表面波，并在晶体
39、表面传播。波，并在晶体表面传播。c，反射器组将声表面波反射回叉指换能器，重新转换为，反射器组将声表面波反射回叉指换能器，重新转换为高频脉冲串后通过天线发送出去。高频脉冲串后通过天线发送出去。d，如果反射器组按照某种特定的规律设计，则其反射信，如果反射器组按照某种特定的规律设计，则其反射信号中将含有该物体的特定编码信息，通过解调达到自号中将含有该物体的特定编码信息，通过解调达到自动识别的目的。动识别的目的。SAW传感器的应用传感器的应用 信号处理信号处理 SAW标签标签 询问脉冲询问脉冲 回波脉冲回波脉冲 询问机询问机 SAW电子标签可广泛应用于物流管理、路桥收费、公共交通、电子标签可广泛应用于
40、物流管理、路桥收费、公共交通、门禁控制、防伪、超市收费和防盗、设备资产管理、邮包跟踪、门禁控制、防伪、超市收费和防盗、设备资产管理、邮包跟踪、航空行李分拣等领域。航空行李分拣等领域。生物敏传感器是生物敏传感器是含有生物敏感元件含有生物敏感元件的器件，它们能对化的器件，它们能对化学成分、特别是与生物相关联的分子提供特殊而灵敏的响应。学成分、特别是与生物相关联的分子提供特殊而灵敏的响应。生物敏传感器的基本结构生物敏传感器的基本结构 u 外膜片允许目标分析物外膜片允许目标分析物渗透，但排除其它物质的渗透，但排除其它物质的进入；进入；u 生物元件通过生物化学生物元件通过生物化学反应，将分析物转换成不反
41、应，将分析物转换成不同的化学成分，释放化学同的化学成分，释放化学物质或改变分析物的电特物质或改变分析物的电特性、机械特性、光学特性性、机械特性、光学特性等。等。生物敏传感器生物敏传感器 生物敏传感器是生物敏传感器是分子生物学分子生物学与微电子学、电化学、光学等与微电子学、电化学、光学等结合的产物。它采用结合的产物。它采用固定化的细胞、酶、抗体、抗原、激素固定化的细胞、酶、抗体、抗原、激素等等生物活性物质与换能器相配合组成传感器。这种传感器利用生生物活性物质与换能器相配合组成传感器。这种传感器利用生物特有的生化反应，有针对的对有机物进行简便而迅速的测定。物特有的生化反应，有针对的对有机物进行简便
42、而迅速的测定。它有良好的选择性，噪声低，操作简单，重复性好，能以它有良好的选择性，噪声低，操作简单，重复性好，能以电信电信号方式号方式直接输出，容易实现检测自动化。直接输出，容易实现检测自动化。生物敏传感器生物敏传感器 生物敏传感器由生物敏传感器由分子识别元件（敏感基元）分子识别元件（敏感基元）和与之结和与之结合的合的信号转换器件（换能器）信号转换器件（换能器）两部分组成。两部分组成。敏感基元敏感基元是指对目标物进行选择性作用的生物活性单是指对目标物进行选择性作用的生物活性单元。它可以是生物体成分或生物体本身。敏感基元的主要元。它可以是生物体成分或生物体本身。敏感基元的主要功能是特异的识别各种
43、被测物并与之反应。功能是特异的识别各种被测物并与之反应。换能器换能器是指能捕捉敏感基元与目标物之间的作用过程，是指能捕捉敏感基元与目标物之间的作用过程，并将其表达为物理信号的元件。常用的换能器有电化学电并将其表达为物理信号的元件。常用的换能器有电化学电极、离子敏场效应晶体管（极、离子敏场效应晶体管（ISFET）、热敏电阻及微光管）、热敏电阻及微光管等。等。生物敏传感器的组成生物敏传感器的组成 按所用分子识别元件按所用分子识别元件的不同可以分为酶传感器、微生的不同可以分为酶传感器、微生物敏传感器、组织传感器、细胞传感器、免疫传感器等；物敏传感器、组织传感器、细胞传感器、免疫传感器等；按信号转换元
44、件按信号转换元件不同可以分为电化学生物敏传感器、不同可以分为电化学生物敏传感器、半导体生物敏传感器、测热型生物敏传感器、测光型生物半导体生物敏传感器、测热型生物敏传感器、测光型生物敏传感器、测声型生物敏传感器等；敏传感器、测声型生物敏传感器等；按对输出信号的不同测量方式按对输出信号的不同测量方式又分为电位型生物敏传又分为电位型生物敏传感器、电流型生物敏传感器和伏安型生物敏传感器。感器、电流型生物敏传感器和伏安型生物敏传感器。生物敏传感器的分类生物敏传感器的分类 1.将化学变化转变为电信号将化学变化转变为电信号 以酶传感器为例，酶能催化特定的物质发生反应，从以酶传感器为例，酶能催化特定的物质发生
45、反应，从而使特定物质的量有所增减。用能把这类物质的量的改变而使特定物质的量有所增减。用能把这类物质的量的改变转换为电信号的装置与固定化酶相耦合，即组成酶传感器。转换为电信号的装置与固定化酶相耦合，即组成酶传感器。常用的信号转换装置有氢离子电极、过氧化氢电极以及其常用的信号转换装置有氢离子电极、过氧化氢电极以及其它离子选择性电极、它离子选择性电极、ISFET等等 2.将热变化转变为电信号将热变化转变为电信号 固定化的生物物质在进行分子识别时经常伴随有热量固定化的生物物质在进行分子识别时经常伴随有热量变化，例如大多数酶反应。借助热敏电阻可以把反应的热变化，例如大多数酶反应。借助热敏电阻可以把反应的
46、热转变为电阻值的变化完成热电转换。转变为电阻值的变化完成热电转换。生物敏传感器的工作方式生物敏传感器的工作方式 3.将光效应转变为电信号将光效应转变为电信号 有些酶能催化产生化学发光，例如过氧化氢酶能有些酶能催化产生化学发光，例如过氧化氢酶能催化过氧化氢产生化学发光。许多酶反应都伴随有过催化过氧化氢产生化学发光。许多酶反应都伴随有过氧化氢产生，如果将过氧化氢酶同其它催化酶一起做氧化氢产生，如果将过氧化氢酶同其它催化酶一起做成复合酶膜，再与光电流测定装置相连，就可以通过成复合酶膜，再与光电流测定装置相连，就可以通过测定光电信号来检测所发生的化学反应。测定光电信号来检测所发生的化学反应。4.直接产
47、生电信号方式直接产生电信号方式 分子识别元件同待测物质发生化学反应时伴随的分子识别元件同待测物质发生化学反应时伴随的电子转移、微生物细胞氧化等电信号的变化可以直接电子转移、微生物细胞氧化等电信号的变化可以直接或通过电子传递体的作用由电极导出。或通过电子传递体的作用由电极导出。生物敏传感器的工作方式生物敏传感器的工作方式 场效应晶体管生物敏传感器由场效应晶体管生物敏传感器由分子识别部分分子识别部分（感受器）（感受器）和和信号转换部分信号转换部分（换能器，（换能器，FET）两部分构成。感受器部）两部分构成。感受器部分主要指一种膜，生物敏感物质附着其上或包含在膜中。分主要指一种膜，生物敏感物质附着其
48、上或包含在膜中。待测物质与敏感物质接触时，发生物理或化学变化，这种待测物质与敏感物质接触时，发生物理或化学变化，这种变化通过变化通过离子敏场效应晶体管离子敏场效应晶体管（ISFET）转换成电信号转换成电信号输出。输出。场效应晶体管（场效应晶体管（FET）酶场效应晶体管由酶场效应晶体管由酶膜酶膜和和ISFET构成，构成，ISFET多为对多为对H+敏敏感的感的pHISFET。把酶膜固定在栅极绝缘膜（。把酶膜固定在栅极绝缘膜（Si3N4-SiO2）上。）上。进行测量时，由于酶的催化作用，使待测的有机分子反应生成进行测量时，由于酶的催化作用，使待测的有机分子反应生成ISFET能够响应的离子。能够响应的
49、离子。Si3N4表面离子浓度变表面离子浓度变化化时，表面电荷将发生变时，表面电荷将发生变化，场效应晶体管栅极对化，场效应晶体管栅极对表面电荷非常敏感，由此表面电荷非常敏感，由此引起引起栅极的电位变化栅极的电位变化，从，从而对漏极电流进行调制。而对漏极电流进行调制。酶场效应晶体管酶场效应晶体管 1.葡萄糖葡萄糖FET 测定葡萄糖的酶传感器由对测定葡萄糖的酶传感器由对H+敏感的敏感的pHISFET和固和固定在栅极上的葡萄糖氧化酶膜构成。定在栅极上的葡萄糖氧化酶膜构成。+222OH OHD 葡萄糖氧化酶葡萄糖+葡萄糖酸根+H+浓度变化，离子敏感膜浓度变化，离子敏感膜的界面电位发生变化。根据的界面电位
50、发生变化。根据ISFET的特性，当其漏极电流、的特性，当其漏极电流、漏源电压恒定时，栅极电压漏源电压恒定时，栅极电压的变化量正比于溶液中的变化量正比于溶液中pH值的值的变化量。因此，采用恒压电路变化量。因此，采用恒压电路可将栅压的变化由记录仪描绘可将栅压的变化由记录仪描绘下来。下来。pH变化量又与葡萄糖含变化量又与葡萄糖含量有关，所以该系统可以用于量有关，所以该系统可以用于葡萄糖测定。葡萄糖测定。酶场效应晶体管酶场效应晶体管 2.尿素酶尿素酶FET 临床检查上，定量分析血清和体液中的尿素，对于肾功能衰临床检查上，定量分析血清和体液中的尿素，对于肾功能衰竭患者的诊断是必不可少的。尿素在尿素酶的催
