图4.2 开环伺服系统 图4.3 闭环伺服系统 图4.4 半闭环伺服系统 图4.8 永磁式直流宽调速伺服电动机 图4.26 永磁交流伺服电机横截面 图4.27 永磁交流伺服电机纵剖面 表 4.1 位置检测元件分类 增 量 式 绝 对 式 回转型 脉冲编码器、旋转变压器、圆感应同步器、圆光栅 多速旋转变压器、绝对脉冲编码器、三速圆感应同步器 直线型 直线感应同步器、计量光栅、磁尺激光干涉仪 三速感应同步器、绝对值式磁尺 图4.45 光电盘工作原理示意图 图4.48 光电绝对值编码器 表 4.5 各种光栅的精度 计量光栅 光栅长度mm 线 纹 数 精 度 玻璃透射光栅 500 100/mm 5m 玻璃透射光栅 1000 100/mm 10m 金属反射光栅 500 25/mm 7m 金属反射光栅 1220 40/mm 13m 高精度反射光栅 1000 50/mm 7.5m 直线式 玻璃衍射光栅 300 250/mm 1.5m 回转式 玻璃圆光栅 270 10800/周 3 （a）结构图 （b）输出波形 图4.51 透射直线式光栅原理图 图4.58 直线感应同步器
