1、多晶硅行业现状及工艺过程介绍多晶硅行业现状及工艺过程介绍江苏中能硅业科技发展有限公司 郑跃河南信阳 2011-7-21目目 录录2.2.中国多晶硅的技术突破中国多晶硅的技术突破3.3.多晶硅的规模效应多晶硅的规模效应4.4.多晶硅项目特点多晶硅项目特点1.1.多晶硅行业现状多晶硅行业现状制备多晶硅主要方法：改良西门子法-闭路循环三氯氢硅还原法。硅烷法-硅烷热分解法 流化床法 冶金法生产太阳能级多晶硅-物理法 改良西门子法工艺流程 氯化合成（制备三氯氢硅）精馏工序 还原工序，（硅芯制备、硅棒整理）尾气回收工序（CDI）氢化工序 辅助工艺：DCS控制系统，电力控制系统，氮气制备，氢气制备、循环水系
2、统，等等 2011年全球十大多晶硅企年全球十大多晶硅企业业分布地分布地图图GCL 46，000MTTOKUYAMA10,500MTOCI 42,000MTWAKER 42,000MTMEMC 11,000MTREC 15,000MTHEMLOCK40,000MTMITSUBISH1,500MTLDK 16,000MTM.SETEK 6,500MTMITSUBISH2,MITSUBISH2,800MT800MT公司名称公司名称国家国家产能（万吨产能（万吨/年）年）产量产量(万吨万吨/年年)2009201020112009201020111Hemlock美国美国2.473.604.002.133.
3、303.502Wacker德国德国1.823.104.201.552.903.203GCL中国中国1.802.104.600.751.803.104OCI韩国韩国1.052.704.200.551.602.505REC挪威挪威1.201.801.800.651.201.506MEMC美国美国1.151.501.500.701.101.107Tokuyama日本日本0.821.051.050.660.800.808Mitsubishi 日本日本0.330.430.430.320.400.409M.Setek日本日本0.300.650.650.280.440.4510LDK中国中国0.601.10
4、1.600.250.401.00合计合计11.5418.0324.037.8413.9417.55重慶四川樂山，新光1260噸樂電天威3000噸天威新津3000噸 江 蘇湖北宜昌南玻1500噸随州齐星1500吨青海，亞洲硅業1500+3000噸黄河水电1250吨陝西天宏1500噸 河南洛陽中硅3000噸內蒙古，呼和浩特神舟硅業1500噸+3000吨寧夏石嘴山陽光硅業1000噸国电宁夏2500吨揚州，順大1500噸 無錫，中彩 500噸 连云港,中彩 1500吨萬州大全1500+3500噸四川峨眉東汽739廠200吨+500噸+1500噸樂山永祥1000噸眉山瑞能1500噸+1500噸雅安永旺2
5、X300噸安陽林州300+3000噸焦作王封300+1500噸鹽城，特華500噸徐州，中能46,000噸內蒙古，鄂爾多斯多晶硅3000噸内蒙古锋威1500吨烏魯木齊，特變電工多晶硅1500噸2012年投产：陕西榆林天宏3000吨四川乐山永祥3000吨新疆特变电工3000吨新疆石河子大全5000吨内蒙古盾安环境3000吨2011中國多晶中國多晶硅地图硅地图（31個項目，產能個項目，產能126,550噸）噸）江西新餘LDK16000噸景德鎮1500噸浙江嘉兴协成1500吨云南曲靖3000吨目目录录1.多晶多晶硅行硅行业现业现状状3.多晶硅的规模效应多晶硅的规模效应4.多晶硅项目特点多晶硅项目特点2
6、.中国多晶硅的技术中国多晶硅的技术突破突破以氢化为突破的闭路循环大型高效还原炉能量回收利用技术多晶硅的技术突破多晶硅的技术突破目目录录2.中国多晶硅的技术突破中国多晶硅的技术突破1.多晶硅行业现状多晶硅行业现状4.多晶硅项目特点多晶硅项目特点3.多晶硅的规模效应多晶硅的规模效应多晶硅的规模效应多晶硅的规模效应 2008年2条1500吨生产线 2009年3条5000吨生产线 2010年3条6500吨生产线（改造）2011年单线产能万吨以上单线万吨 一个单体三个以上生产线 各单元轮流检修 某个单元停车对其他单元影响较小单体多线目目录录多晶硅的项目特点多晶硅的项目特点1 1 化工机械化工机械 化工工
7、艺化工工艺 化工安全化工安全 化工人才化工人才 化工管理化工管理“大化工大化工”理念理念多晶硅的项目特点多晶硅的项目特点2 2改良西门子法 用氯和氢合成氯化氢（或外购氯化氢），氯化氢和工业硅粉在一定的温度下合成三氯氢硅，然后对三氯氢硅进行分离精馏提纯，提纯后的三氯氢硅在氢还原炉内进行CVD反应生产高纯多晶硅。硅烷法 硅烷（SiH4）是以四氯化硅氢化法、硅合金分解法、氢化物还原法、硅的直接氢化法等方法制取。然后将制得的硅烷气提纯后在热分解炉生产纯度较高的棒状多晶硅。流化床法 以四氯化硅、氢气、氯化氢和工业硅为原料在流化床内（沸腾床）高温高压下生成三氯氢硅，将三氯氢硅再进一步歧化加氢反应生成二氯二
8、氢硅，继而生成硅烷气。制得的硅烷气通入加有小颗粒硅粉的流化床反应炉内进行连续热分解反应，生成粒状多晶硅产品。冶金法 选择纯度较好的工业硅（即冶金硅）进行水平区熔单向凝固成硅锭，去除硅锭中金属杂质聚集的部分和外表部分后，进行粗粉碎与清洗，在等离子体融解炉中去除硼杂质，再进行第二次水平区熔单向凝固成硅锭，去除第二次区熔硅锭中金属杂质聚集的部分和外表部分，经粗粉碎与清洗后，在电子束融解炉中去除磷和碳杂质，直接生成太阳能级多晶硅。主要方法多晶硅的项目特点多晶硅的项目特点3 3工艺流程TCS制备（氢化）TCS精馏CVD还原尾气回收氯硅烷四氯化硅氢气辅助系统：硅芯制备、DCS控制系统、电力控制系统、氮气制备、氢气制备、公用系统、尾气处理、污水处理等多晶硅的项目特点多晶硅的项目特点4 4主要设备氢化工序 STC汽化塔 流化床反应器 氢气压缩机 换热器 粗分塔精馏工序 精馏塔 换热器 中间储罐尾气回收 吸附塔 氢气压缩机 制冷机CVD还原 还原炉 废热锅炉 尾气换热器谢谢各位！谢谢各位！
