1、LOGO目目 录录电子级磷酸用途电子级磷酸用途1电子级磷酸执行标准电子级磷酸执行标准2电子级磷酸工艺电子级磷酸工艺3电子级磷酸工艺简述电子级磷酸工艺简述4杂质对电子级磷酸的影响杂质对电子级磷酸的影响5电子级磷酸的检测电子级磷酸的检测6国外生产产能统计国外生产产能统计7国内消费区分布图国内消费区分布图8国内主要厂家产能统计国内主要厂家产能统计9电子磷酸电子磷酸2013年预计需求量年预计需求量10国内电子级磷酸特点国内电子级磷酸特点11电子级磷酸进出口现状电子级磷酸进出口现状12电子级磷酸价格电子级磷酸价格13电子级磷酸市场调研及决策电子级磷酸市场调研及决策102ppt课件课件电子级磷酸用途电子级
2、磷酸用途1纯度较低的主要用纯度较低的主要用于液晶面板部件、于液晶面板部件、基片涂胶前的清洗。基片涂胶前的清洗。2光刻过程中的蚀刻光刻过程中的蚀刻及最终去胶。及最终去胶。3硅片本身制作过程硅片本身制作过程中的清洗和绝缘膜中的清洗和绝缘膜蚀刻、半导体膜刻、蚀刻、半导体膜刻、导体膜蚀刻、有机导体膜蚀刻、有机材料蚀刻等。材料蚀刻等。广泛应用于超大规模集成电路、大屏幕液晶显示器等微电子工业，广泛应用于超大规模集成电路、大屏幕液晶显示器等微电子工业，主要用于芯片的清洗和蚀刻。主要用于芯片的清洗和蚀刻。3ppt课件课件电子级磷酸执行标准电子级磷酸执行标准 国际半导体设备与材料组织国际半导体设备与材料组织(S
3、EMl)将电子化学品按应用范围将电子化学品按应用范围分为分为SEMI-C1、SEMI-C7、SEMI-C8和和SEMI-C12四个等级，四个等级，但当前国内外对高纯磷酸级别的划分很混乱，国外如美国、但当前国内外对高纯磷酸级别的划分很混乱，国外如美国、日本、德国的电子级磷酸均已工业化生产，但由于技术保密，日本、德国的电子级磷酸均已工业化生产，但由于技术保密，其产品质量指标及生产技术未见详细报道。其产品质量指标及生产技术未见详细报道。2011年年12月月30日，国家质检总局、国家标准委在日，国家质检总局、国家标准委在中华人民共和国国家标准公告中华人民共和国国家标准公告(2011年第年第23号号)中
4、发布国家标准中发布国家标准GB/T28159-2011电子级磷酸电子级磷酸。发布日期：发布日期：2011-12-30实施日期：实施日期：2012-07-01 首发日期：首发日期：2011-12-30 参与起草单位：四川成洪磷化工有限责任公司、江参与起草单位：四川成洪磷化工有限责任公司、江苏江阴市润玛电子材料有限公司、湖北兴发化工集苏江阴市润玛电子材料有限公司、湖北兴发化工集团股份有限公司、苏州电子材料厂有限公司、苏州团股份有限公司、苏州电子材料厂有限公司、苏州晶瑞化学有限公司晶瑞化学有限公司 4ppt课件课件电子级磷酸工艺电子级磷酸工艺以磷单质或三氯氧磷以磷单质或三氯氧磷为原料通过反应为原料通
5、过反应法制取法制取电子级磷酸电子级磷酸工艺工艺以工业净化磷酸为原以工业净化磷酸为原料，通过分离提纯法料，通过分离提纯法制取制取三氯氧磷法三氯氧磷法高纯磷法高纯磷法磷化氢法磷化氢法电渗析法电渗析法结晶法结晶法5ppt课件课件电子级磷酸工艺简述电子级磷酸工艺简述三氯氧磷法三氯氧磷法将工业黄磷制成液态三氯氧磷(POCl3)，再将精馏提纯，精制后的三氯氧磷与超纯水反应生成磷酸和HCl，蒸馏除去HCl 可制得高纯磷酸。将磷酸调节到所需浓度后，再用微孔滤膜过滤除去微细固体尘埃，即可得到电子级磷酸。该法生产工艺流程长、能耗高，故生产成本高，而且对设备腐蚀严重。高纯磷法高纯磷法将工业黄磷或红磷提纯制成高纯磷，
6、与净化后的空气或氧反应生成P2 O5，再用超纯水喷淋吸收生成高纯磷酸。该法缺点:损失较大，成本增加;而且由于磷具有自燃性，因此对设备材质、生产控制和操作人员要求较高，生产控制较难。磷化氢法磷化氢法黄磷在碱的作用下生成磷化氢，或由磷化锌或磷化铝水解生成磷化氢。精制磷化氢，然后将磷化氢负压催化氧化热分解制得高纯磷，将高纯磷再用纯氧或洁净空气氧化成P2O5，再与超纯水反应制得高纯磷酸。该法生产工艺流程长、能耗高，故生产成本高，同时污染严重，而且还存在安全隐患。电渗析法电渗析法将磷酸中的有机物预先用活性炭除去，然后在一定的电流密度下渗析，利用离子交换膜对离子选择性透过的特性来分离磷酸中的杂质，得到精制
7、磷酸。此法精制成本高，用来精制磷酸的工业化还有很多问题尚待解决，距实用阶段尚有一定距离。冷却结晶法冷却结晶法是以湿法净化磷酸或热法磷酸为原料，加入晶种，在结晶和重结晶过程中采用梯度降温方法，使磷酸以半水磷酸晶体形式析出，经过滤、洗涤，杂质离子留在母液中，再将晶体熔化即可得到电子级磷酸。该法操作条件温和，不需专用结晶设备，能有效控制晶体粒度的大小。6ppt课件课件杂质对电子级磷酸的影响杂质对电子级磷酸的影响 生产具有稳定的电气特性和可靠性的电子元件和电路时，要求生产具有稳定的电气特性和可靠性的电子元件和电路时，要求处理硅晶片的化学试剂非常纯净。不溶性固体颗粒或金属离子可处理硅晶片的化学试剂非常纯
8、净。不溶性固体颗粒或金属离子可能在微细电路之间导电，使之短路，几个金属离子或灰尘足以使能在微细电路之间导电，使之短路，几个金属离子或灰尘足以使线宽较小的线宽较小的IC报废。报废。为了避免硅晶片发生粒子污染，必须使用隔膜过滤器净化到为了避免硅晶片发生粒子污染，必须使用隔膜过滤器净化到0.2m粒度以下的电子级纯度的化学试剂。这些杂质粒度以下的电子级纯度的化学试剂。这些杂质(有机物、碱有机物、碱金属和其他离子等金属和其他离子等)非常有害非常有害,若附着在硅晶片表面，则将使若附着在硅晶片表面，则将使PN结结耐电压降低，在耐电压降低，在PN结区引起反向漏电增加；若沉积在结区引起反向漏电增加；若沉积在Si
9、-SiO2界面界面处，易引起微等离子体击穿。处，易引起微等离子体击穿。磷酸的原料磷矿石中含有的磷酸的原料磷矿石中含有的210Po、Bi、Pb、Ac等放射性杂等放射性杂质，若不除去，吸附或沉积在质，若不除去，吸附或沉积在S基上则会发射射线，导致电子元件基上则会发射射线，导致电子元件产生软故障产生软故障(存储故障存储故障)。为降低半导体元件的软故障次数，必须专。为降低半导体元件的软故障次数，必须专用放射性杂质含量不大于用放射性杂质含量不大于10-3Bq/mL的电子级磷酸，还必须清除的电子级磷酸，还必须清除元件基材上沉积的放射性杂质。元件基材上沉积的放射性杂质。7ppt课件课件电子级磷酸的检测电子级
10、磷酸的检测电子级磷酸的检测较其他产品检测主要包括金属电子级磷酸的检测较其他产品检测主要包括金属杂质、颗粒物。金属杂质痕量的分析主要采用电杂质、颗粒物。金属杂质痕量的分析主要采用电感耦合等离子体质谱感耦合等离子体质谱(ICP MS)、电感耦合、电感耦合等离子发射光谱仪等离子发射光谱仪(ICP AES)为主，非金属离为主，非金属离子检测应配备离子色谱仪，颗粒物采用激光散射子检测应配备离子色谱仪，颗粒物采用激光散射法。法。国内新发布的国内新发布的GB/T 28159-2011标准特点：标准特点：（1）磷酸含量在）磷酸含量在85-87%；（2）25种金属及非金属的检测项目；种金属及非金属的检测项目；（
11、3）分为）分为E1级、级、E2级。级。8ppt课件课件国外生产产能统计国外生产产能统计 目前，全球电子级磷酸产能约为目前，全球电子级磷酸产能约为500 600kt/a，东，东亚地区的产能大约占了其中的一半，国际上能生产电子级亚地区的产能大约占了其中的一半，国际上能生产电子级磷酸的厂家主要集中在日本、韩国、台湾、美国、德国和磷酸的厂家主要集中在日本、韩国、台湾、美国、德国和俄罗斯，以日本、韩国、台湾的生产商较多。俄罗斯，以日本、韩国、台湾的生产商较多。国国 家家公司名称公司名称产能产能备注备注德德 国国E.Merck-美美 国国A-Baker-日日 本本RASA2.6万万/吨吨-Nippon0.
12、91万万/吨吨-Rinka1.05万万/吨吨-韩韩 国国DongWoo0.7万万/吨吨提供提供LGDC1.2万万/吨吨提供三星和提供三星和LGFINECHEM-台台 湾湾长春长春.中华中华.长新长新-9ppt课件课件国内消费区分布图国内消费区分布图中国电子级磷酸的消费区主要分布在：中国电子级磷酸的消费区主要分布在：长江三角区、珠江三角区、渤海一带。长江三角区、珠江三角区、渤海一带。10ppt课件课件国内主要厂家产能统计国内主要厂家产能统计公司名称公司名称产能（吨）产能（吨）/年年备注备注四川成洪磷化工有限责任公司四川成洪磷化工有限责任公司20000-贵州威顿晶磷电子材料有限公司贵州威顿晶磷电子
13、材料有限公司10000-广西宜州宜盛精细化工有限公司广西宜州宜盛精细化工有限公司40000准电子级准电子级湖北兴发化工集团股份有限公司湖北兴发化工集团股份有限公司100002011年通过年通过RoHS 标准，标准，获欧盟准入获欧盟准入云天化（集团）有限责任公司云天化（集团）有限责任公司30000准电子级准电子级贵州瓮福贵州瓮福(集团集团)有限责任公司有限责任公司10002010年年10月试车成功月试车成功江苏澄星磷化工股份有限公司江苏澄星磷化工股份有限公司20000准电子级准电子级湖北宜昌兴福电子材料有限公司湖北宜昌兴福电子材料有限公司 10000-其其 他他-总总 计计14.1-据不完全统计
14、，国内生产准电子级以上的磷酸有超过据不完全统计，国内生产准电子级以上的磷酸有超过14万吨，但真正万吨，但真正能生产电子级、能达到市场高端要求的厂家甚少。国内缺口估计在能生产电子级、能达到市场高端要求的厂家甚少。国内缺口估计在10万吨以上。万吨以上。11ppt课件课件电子磷酸电子磷酸2013年预计需求量年预计需求量 近年来，随着半导体芯片制造业和液近年来，随着半导体芯片制造业和液晶显示器制造业向中国转移，特别是中晶显示器制造业向中国转移，特别是中国台湾、日本和韩国等企业将在中国大国台湾、日本和韩国等企业将在中国大陆投巨资建设液晶显示器生产厂和晶圆陆投巨资建设液晶显示器生产厂和晶圆代工厂，以满足电
15、视、电脑和移动通讯代工厂，以满足电视、电脑和移动通讯领域对液晶显示器的需求，中国电子级领域对液晶显示器的需求，中国电子级磷酸的用量将会有大幅增长，这为中国磷酸的用量将会有大幅增长，这为中国电子级磷酸提供了极大的发展空间。电子级磷酸提供了极大的发展空间。国内需求国内需求15-16万吨万吨亚洲需求亚洲需求30万吨万吨韩国需求韩国需求10万吨万吨12ppt课件课件国内电子级磷酸特点国内电子级磷酸特点ONETWOTHREEFOUR电子级磷酸关键电子级磷酸关键技术长时间垄断技术长时间垄断在美国、德国、在美国、德国、日本等发达国家。日本等发达国家。我国总体技术水我国总体技术水平落后于发达国平落后于发达国家
16、，而且，原材家，而且，原材料的消耗以及生料的消耗以及生产成本普遍高于产成本普遍高于国外；国外；企业规模小，企业规模小，目前国内目前国内30多多家磷酸生产企家磷酸生产企业，只有十几业，只有十几家企业进行生家企业进行生产和销售电子产和销售电子级磷酸，且规级磷酸，且规模均不大，企模均不大，企业主要集中在业主要集中在江苏、四川；江苏、四川；国内生产的产国内生产的产品只能达到电品只能达到电子级磷酸低端子级磷酸低端产品要求，只产品要求，只能应用于电子能应用于电子工业的液晶显工业的液晶显示器生产上作示器生产上作清洗剂；清洗剂；由于专利技术等由于专利技术等原因，致使我国原因，致使我国IC、LED、TFT-LC
17、D行业用的电行业用的电子级磷酸长期依子级磷酸长期依赖进口，而目前赖进口，而目前我国市场上的电我国市场上的电子级磷酸供应商子级磷酸供应商主要集中在日本、主要集中在日本、美国和德国；美国和德国；研发电子级磷酸新技术，提高国内电子级磷酸产品质量，使产品研发电子级磷酸新技术，提高国内电子级磷酸产品质量，使产品应用于应用于IC、LED、TFT-LCD等行业，摆脱长期依赖进口，将是我等行业，摆脱长期依赖进口，将是我国电子级磷酸发展的方向国电子级磷酸发展的方向。13ppt课件课件电子级磷酸进出口现状电子级磷酸进出口现状国国 内内国国 外外 出出 口口国内出口初级电子级国内出口初级电子级磷酸产品给国外磷酸产品
18、给国外 进进 口口国国 内内国外生产更高级别的国外生产更高级别的电子级产品返销国内电子级产品返销国内国内出口量远大于进口量从以上可以看出，电子级磷酸技术在国内可谓低水平状态，国外出口的是他们的技术，并不是他们的资源。14ppt课件课件电子级磷酸价格电子级磷酸价格电子级磷酸的价格随其质量的高低差异也较大电子级磷酸的价格随其质量的高低差异也较大,一般电子级一般电子级磷酸约磷酸约12万元万元/吨吨,其金属离子杂质总含量在其金属离子杂质总含量在1.68mgL-1(1ppm)以下的高纯电子级磷酸售价更高。以下的高纯电子级磷酸售价更高。近几年，国内外磷酸价格受能源、原材料价格影响较大，国近几年，国内外磷酸
19、价格受能源、原材料价格影响较大，国际市场价格约为际市场价格约为15000元元/吨，国内市场价格在吨，国内市场价格在10000元元/t左右。左右。电子级磷酸项目将提升磷酸毛利率电子级磷酸的门槛比较高，电子级磷酸项目将提升磷酸毛利率电子级磷酸的门槛比较高，国内的电子级磷酸，尤其是国内的电子级磷酸，尤其是IC级的磷酸基本上都是进口的。级的磷酸基本上都是进口的。IC级磷酸价格在级磷酸价格在1.2-2万元万元/吨，远高于面板级磷酸价格。按吨，远高于面板级磷酸价格。按照照2013年国内电子级磷酸需求量年国内电子级磷酸需求量16万吨，其中面板级万吨，其中面板级10万吨万吨(单价单价7000元元/吨吨)，IC
20、级级6万吨万吨(单价单价15000元元/吨吨)，市场合计约，市场合计约16亿元。亿元。15ppt课件课件电子级磷酸市场调研及决策电子级磷酸市场调研及决策我公司对电子级磷酸的了解不多，包括国内电子级磷酸的各项资料我公司对电子级磷酸的了解不多，包括国内电子级磷酸的各项资料和信息较少，国际对电子级磷酸研究的也较少。因此，我们还需要和信息较少，国际对电子级磷酸研究的也较少。因此，我们还需要对此产品继续深入了解和研究对此产品继续深入了解和研究。【深入市场调研深入市场调研】我国新发布的我国新发布的2011标准分为标准分为E1,和和E2级别，两种级别能否满足国内各级别，两种级别能否满足国内各种电子市场要求？
21、能否满足国外的电子市场要求？与国外电子市场要种电子市场要求？能否满足国外的电子市场要求？与国外电子市场要求标准的差别是什么？需要我们进一步调研。求标准的差别是什么？需要我们进一步调研。【标准研究标准研究】【公司决策公司决策】市场调研后，公司需要迅速做出决策。因为电子产品的更新换代速市场调研后，公司需要迅速做出决策。因为电子产品的更新换代速度很快，一般三个月一换，作为电子级磷酸来说也是跟随着电子产度很快，一般三个月一换，作为电子级磷酸来说也是跟随着电子产品发展而发展，在不久的将来，国内电子级磷酸技术会与时俱进。品发展而发展，在不久的将来，国内电子级磷酸技术会与时俱进。【技术引进技术引进】技术一直是国内电子磷酸的瓶颈，新项目新技术不一定要自主研发，技术一直是国内电子磷酸的瓶颈，新项目新技术不一定要自主研发，因为需要消耗时间，会导致新项目新技术变成了旧项目旧技术。产品因为需要消耗时间，会导致新项目新技术变成了旧项目旧技术。产品需要迎合市场需求，如要上此项目，建议考虑引进先进技术。需要迎合市场需求，如要上此项目，建议考虑引进先进技术。16ppt课件课件LOGO
