1、真空获得设备真空获得设备真空真空：在给定的空间内，气体分子密度低于一在给定的空间内，气体分子密度低于一个标准大气压的气体状态。个标准大气压的气体状态。真空泵性能的表示方法：真空泵性能的表示方法：1 1）极限压力）极限压力 2 2）抽气速率）抽气速率 3 3）流量）流量真空泵的分类：真空泵的分类：1 1）气体输送泵）气体输送泵 （1 1）变容积真空泵：液、油封式机械泵，干式）变容积真空泵：液、油封式机械泵，干式真空泵，罗茨真空泵；真空泵，罗茨真空泵；（2 2）动量传输式真空泵（分子真空泵，喷射真）动量传输式真空泵（分子真空泵，喷射真空泵，扩散泵）。空泵，扩散泵）。东北大学首期真空技术培训班系列教
2、程东北大学首期真空技术培训班系列教程一、引论一、引论 真空泵的技术术语和适用范围术语：真空泵的技术术语和适用范围术语：启动压力；前级压力；最大前级压力；启动压力；前级压力；最大前级压力；最大工作压力；压缩比；何式系数；抽气系数；最大工作压力；压缩比；何式系数；抽气系数；返流率；水蒸气允许量；最大允许水蒸气入口返流率；水蒸气允许量；最大允许水蒸气入口压力。压力。各种真空泵工作压力范围各种真空泵工作压力范围东北大学首期真空技术培训班系列教程东北大学首期真空技术培训班系列教程2 2）气体捕集泵：吸附泵；低温泵。）气体捕集泵：吸附泵；低温泵。东北大学首期真空技术培训班系列教程东北大学首期真空技术培训班
3、系列教程表表1 11 1 各种真空各种真空 泵的工作压泵的工作压 力范围力范围真空泵在真空系统中的作用真空泵在真空系统中的作用1 1 主泵主泵 2 2 粗抽泵粗抽泵 3 3 3 3 前级泵前级泵 4 4 维持泵维持泵 5 5 增压泵增压泵 具体见抽气系统流程图具体见抽气系统流程图东北大学首期真空技术培训班系列教程东北大学首期真空技术培训班系列教程主泵真空容器储气罐前级泵（粗抽泵）维持泵增压泵高真空抽气系统原理流程图高真空抽气系统原理流程图二、液环式真空泵二、液环式真空泵2.12.1液环泵的工作原理及特点液环泵的工作原理及特点东北大学首期真空技术培训班系列教程东北大学首期真空技术培训班系列教程
4、（a a）单作用式液环泵单作用式液环泵 （b b）双作用式液环泵双作用式液环泵 A A吸气口；吸气口；B B排气口；排气口；C C间隙；间隙；单作用液环泵单作用液环泵抽气（抽气（能量转换）能量转换）过程：过程：东北大学首期真空技术培训班系列教程东北大学首期真空技术培训班系列教程前前180180：小腔容积由小：小腔容积由小 大，压力降低，与大，压力降低，与吸气口相通，吸气；吸气口相通，吸气；吸气终了时，小腔与吸气口隔绝，且应尽量吸气终了时，小腔与吸气口隔绝，且应尽量保证此时小腔容积为最大。保证此时小腔容积为最大。水从叶轮获得能量（动能），被加速。水甩水从叶轮获得能量（动能），被加速。水甩出后具有
5、与叶片端点切线速度相近的速度；而且出后具有与叶片端点切线速度相近的速度；而且在前半周，由于吸入的气体压力基本稳定，因此，在前半周，由于吸入的气体压力基本稳定，因此，水环各点速度近似相等。水环各点速度近似相等。图图21 液环泵工作原理图液环泵工作原理图 能量转换能量转换2后后180：小腔容积由大：小腔容积由大 小，压缩气体，小，压缩气体，直到小腔与排气口相通，排气；直到小腔与排气口相通，排气；水的速度下降，将动能转变成压力水的速度下降，将动能转变成压力能（势能），来抵抗由于小腔容积变小而导致能（势能），来抵抗由于小腔容积变小而导致的气体压力增加。的气体压力增加。图图21 液环泵工作原理图液环泵工
6、作原理图东北大学首期真空技术培训班系列教程东北大学首期真空技术培训班系列教程2.2 液环泵的基本类型与结构液环泵的基本类型与结构2.2 2.2 液环泵的基本类型与结构液环泵的基本类型与结构2.2.12.2.1基本类型基本类型1 1）单级单作用液环泵）单级单作用液环泵:单级叶轮每旋转一周，吸单级叶轮每旋转一周，吸气排气各进行一次。抽气效率较低。气排气各进行一次。抽气效率较低。2 2）单级双作用液环泵：单级叶轮每旋转一周，）单级双作用液环泵：单级叶轮每旋转一周，吸气、排气各进行两次。抽气效率较高。吸气、排气各进行两次。抽气效率较高。3 3）双级液环泵：由单级单作用泵串联而成。）双级液环泵：由单级单
7、作用泵串联而成。4 4）气体喷射泵液环泵机组：可以提高低压下）气体喷射泵液环泵机组：可以提高低压下的抽速，扩大了液环泵的使用范围。的抽速，扩大了液环泵的使用范围。图图23 水环泵的结构图水环泵的结构图2.2.2液环泵的基本结构液环泵的基本结构东北大学首期真空技术培训班系列教程东北大学首期真空技术培训班系列教程BACK内部进气口和排气口的改进内部进气口和排气口的改进(*最重要的改进最重要的改进)锥体泵：采用上部进气和下部排气的结构锥体泵：采用上部进气和下部排气的结构 四、旋片式真空泵四、旋片式真空泵4.1 概述概述东北大学首期真空技术培训班系列教程东北大学首期真空技术培训班系列教程旋片式油封机械
8、泵（旋片泵）为一种变容式气旋片式油封机械泵（旋片泵）为一种变容式气体传输真空泵，是真空技术中最基本的真空获体传输真空泵，是真空技术中最基本的真空获得设备之一。其工作压力范围为得设备之一。其工作压力范围为1013251.33102 Pa，属于低真空泵。属于低真空泵。可以单独使用，也可以作为其他高真空泵的可以单独使用，也可以作为其他高真空泵的前级泵，用以抽除密封容器中的干燥气体。若前级泵，用以抽除密封容器中的干燥气体。若附有气镇装置，还可以抽除一定量的可凝气体。附有气镇装置，还可以抽除一定量的可凝气体。旋片泵不适于抽除含氧过高、有爆炸性的、旋片泵不适于抽除含氧过高、有爆炸性的、对金属有腐蚀性的、与
9、泵油会发生化学发应的、对金属有腐蚀性的、与泵油会发生化学发应的、含有颗粒尘埃的气体。含有颗粒尘埃的气体。4.2.1工作原理工作原理 旋片把转子、泵体、端盖形成的月牙形空间分旋片把转子、泵体、端盖形成的月牙形空间分隔成隔成A A、B B、C C三部分。若转子按图中箭头方向三部分。若转子按图中箭头方向旋转时，旋转时，A A空间容积增加，压力降低，气体经空间容积增加，压力降低，气体经泵入口被吸入，此时处于吸气过程；泵入口被吸入，此时处于吸气过程；B B空间的空间的容积减小，压力增加，处于压缩过程；容积减小，压力增加，处于压缩过程；C C空间空间的容积进一步缩小，压力进一步增加，当压力的容积进一步缩小
10、，压力进一步增加，当压力超过排气压力时，压缩气体推开泵油密封的排超过排气压力时，压缩气体推开泵油密封的排气阀，处于向大气的排气过程。在泵的连续运气阀，处于向大气的排气过程。在泵的连续运转过程中，不断进行吸气、压缩和排气过程，转过程中，不断进行吸气、压缩和排气过程，从而达到连续抽气的目的。从而达到连续抽气的目的。旋片泵工作原理图旋片泵工作原理图东北大学首期真空技术培训班系列教程东北大学首期真空技术培训班系列教程4.2旋片泵的工作原理与结构特点旋片泵的工作原理与结构特点1 1泵体；泵体；2 2旋片；旋片；3 3转子；转子；4 4弹簧；弹簧；5 5排气阀排气阀东北大学首期真空技术培训班系列教程东北大
11、学首期真空技术培训班系列教程旋片泵工作原理图旋片泵工作原理图BACK1 1滤网；滤网；2 2进气管；进气管；3 3压板；压板；4 4排气阀；排气阀；5 5旋片；旋片；6 6弹簧；弹簧；7 7转子；转子；8 8放油螺塞；放油螺塞；9 9油标；油标；1010排气排气孔；孔；1111皮带轮；皮带轮；1212轴端密封圈；轴端密封圈；1313气道气道东北大学首期真空技术培训班系列教程东北大学首期真空技术培训班系列教程图图4 42 22 2X X型旋片泵结构简图型旋片泵结构简图BACK 旋片泵在结构上可分为油封式和油浸式两大类。旋片泵在结构上可分为油封式和油浸式两大类。油封式结构是指油箱设置在泵体上，泵油
12、起到油封式结构是指油箱设置在泵体上，泵油起到密封排气阀的作用，泵体靠水冷或风冷。一般密封排气阀的作用，泵体靠水冷或风冷。一般大泵多采用这种结构形式。油浸式结构是将整大泵多采用这种结构形式。油浸式结构是将整个泵体浸在泵油中，泵油起到密封和冷却作用。个泵体浸在泵油中，泵油起到密封和冷却作用。小泵和直联泵多采用这种结构。小泵和直联泵多采用这种结构。旋片泵结构简图旋片泵结构简图东北大学首期真空技术培训班系列教程东北大学首期真空技术培训班系列教程东北大学首期真空技术培训班系列教程东北大学首期真空技术培训班系列教程高真空级；低真空级；1中间辅助排气阀；2通道；3低真空级排气阀；图图46 双级泵结构示意图双
13、级泵结构示意图BACK东北大学首期真空技术培训班系列教程东北大学首期真空技术培训班系列教程 排气阀是旋片泵主要易损件之一，将影响泵排气阀是旋片泵主要易损件之一，将影响泵的抽气性能并产生噪音。排气阀有两种形式：的抽气性能并产生噪音。排气阀有两种形式：一种使用相交垫片做阀片；另一种是用布质一种使用相交垫片做阀片；另一种是用布质酚醛层压板或弹簧钢片做阀片。排气阀必须酚醛层压板或弹簧钢片做阀片。排气阀必须浸在泵油中。在排气过程中，压缩气体推开浸在泵油中。在排气过程中，压缩气体推开排气阀片，穿过泵油排出。泵油起到密封作排气阀片，穿过泵油排出。泵油起到密封作用。在双级泵中，当高真空级与低真空级为用。在双级
14、泵中，当高真空级与低真空级为不等腔时，需要在两级之间设置中间排气阀，不等腔时，需要在两级之间设置中间排气阀，如图如图46所示。辅助排气阀的作用是在入口所示。辅助排气阀的作用是在入口压力较高、经高真空压缩的气体已到排气压压力较高、经高真空压缩的气体已到排气压力时，辅助排气阀打开，部分气体由辅助排力时，辅助排气阀打开，部分气体由辅助排气阀排出，部分气体由低真空级抽走。随着气阀排出，部分气体由低真空级抽走。随着入口压力的降低，辅助排气阀逐渐减小，直入口压力的降低，辅助排气阀逐渐减小，直至最后关闭。至最后关闭。图图46 双级泵结构示意图双级泵结构示意图东北大学首期真空技术培训班系列教程东北大学首期真空
15、技术培训班系列教程 通常，泵抽除的气体为永久性气体和可凝性气通常，泵抽除的气体为永久性气体和可凝性气体的混合物。在压缩和排气的过程中，当可凝体的混合物。在压缩和排气的过程中，当可凝性气体的分压超过泵温时该气体饱和蒸汽压时，性气体的分压超过泵温时该气体饱和蒸汽压时，可凝性气体会凝结并混于泵油中，随泵油循环，可凝性气体会凝结并混于泵油中，随泵油循环，并在返回高真空侧时重新蒸发成蒸汽。这将影并在返回高真空侧时重新蒸发成蒸汽。这将影响到泵的抽气性能，加重泵油的污染程度。气响到泵的抽气性能，加重泵油的污染程度。气镇法或称掺气法可以有效地防止可凝性气体的镇法或称掺气法可以有效地防止可凝性气体的凝结，即在压
16、缩过程中将经过控制的永久性气凝结，即在压缩过程中将经过控制的永久性气体体（通常为室温干燥空气）由气镇孔掺入被压（通常为室温干燥空气）由气镇孔掺入被压缩气体中，使可凝性气体分压达到排气压力，缩气体中，使可凝性气体分压达到排气压力，排气阀打开，将可凝性气体同永久气体一同排排气阀打开，将可凝性气体同永久气体一同排出。油封式机械真空泵普遍装有气镇装置，因出。油封式机械真空泵普遍装有气镇装置，因此也叫气镇泵。此也叫气镇泵。气镇阀是旋片泵为抽除可凝性气体而设置的。气镇阀是旋片泵为抽除可凝性气体而设置的。东北大学首期真空技术培训班系列教程东北大学首期真空技术培训班系列教程 气镇阀（掺气阀）是由节流阀和逆止阀
17、两部分气镇阀（掺气阀）是由节流阀和逆止阀两部分组成，节流阀控制掺入气体量，逆止阀防止泵组成，节流阀控制掺入气体量，逆止阀防止泵腔内气体压力高于掺气压力时出现返流。气镇腔内气体压力高于掺气压力时出现返流。气镇孔的位置设置一般有两种：一种是在泵排气口孔的位置设置一般有两种：一种是在泵排气口附近，当压缩腔与排气口相通时，开始掺气；附近，当压缩腔与排气口相通时，开始掺气；另一种是设置于端盖上，当吸气终了以后，转另一种是设置于端盖上，当吸气终了以后，转子再转过一个角度（子再转过一个角度（10 15）时，露出气）时，露出气镇孔，开始掺气。再掺气过程中，泵的极限压镇孔，开始掺气。再掺气过程中，泵的极限压力上
18、升和抽气速率下降。在低压时，适当打开力上升和抽气速率下降。在低压时，适当打开气镇阀，掺如少量气体，可以减少泵油冲击排气镇阀，掺如少量气体，可以减少泵油冲击排气阀引起的噪声。高速直联泵温度（气阀引起的噪声。高速直联泵温度（90 100）下运行，有利于可凝性气体的抽出。）下运行，有利于可凝性气体的抽出。图图47 气镇阀结构气镇阀结构东北大学首期真空技术培训班系列教程东北大学首期真空技术培训班系列教程1调节阀；2气镇阀座；3密封垫；4挡块；5钢球；6弹簧图图47 气镇阀结构气镇阀结构BACK五、滑阀式油封机械泵五、滑阀式油封机械泵5.1 概述概述 滑阀式油封机械泵（简称滑阀泵）同旋片滑阀式油封机械泵
19、（简称滑阀泵）同旋片泵一样，也是一种变容式气体传输泵。其应用泵一样，也是一种变容式气体传输泵。其应用范围和使用条件与旋片泵基本相同。范围和使用条件与旋片泵基本相同。滑阀泵由于其结构特点，容量比旋片泵大滑阀泵由于其结构特点，容量比旋片泵大得多，因此常常用在大型真空设备上。滑阀泵得多，因此常常用在大型真空设备上。滑阀泵有单级和双级两种形式。单级泵的极限压力对有单级和双级两种形式。单级泵的极限压力对小泵小泵0.6Pa，对大泵对大泵1.3Pa（均关气镇），双均关气镇），双级泵的极限压力级泵的极限压力0.06Pa（关气镇）。抽速大关气镇）。抽速大于于150L/s的滑阀泵多采用单级型式。的滑阀泵多采用单级
20、型式。由于滑阀泵的旋转质量有较大的偏心，如由于滑阀泵的旋转质量有较大的偏心，如果没有很好的质量平衡，在运转时会产生较大果没有很好的质量平衡，在运转时会产生较大的振动。但泵旋转质心的运动轨迹是形状复杂的振动。但泵旋转质心的运动轨迹是形状复杂东北大学首期真空技术培训班系列教程东北大学首期真空技术培训班系列教程东北大学首期真空技术培训班系列教程东北大学首期真空技术培训班系列教程 的封闭曲线，因此很难实现对滑阀泵惯性力的的封闭曲线，因此很难实现对滑阀泵惯性力的完全平衡。做好滑阀泵的完全平衡。做好滑阀泵的 质量平衡，减少泵质量平衡，减少泵的振动一直是滑阀泵需要解决的一个重要课题。的振动一直是滑阀泵需要解
21、决的一个重要课题。滑阀泵的振动限制了泵的转速的提高，泵转速滑阀泵的振动限制了泵的转速的提高，泵转速一般在一般在35035036003600r/minr/min，个别的也有达个别的也有达10001000r/minr/min以上的。新型的三腔滑阀泵的出现，以上的。新型的三腔滑阀泵的出现，较好地解决了滑阀泵地质量平衡，使泵的振动较好地解决了滑阀泵地质量平衡，使泵的振动得到了有效的控制，泵转速也可相应得到提高。得到了有效的控制，泵转速也可相应得到提高。东北大学首期真空技术培训班系列教程东北大学首期真空技术培训班系列教程5.2.1工作原理5.2 5.2 滑阀泵的工作原理和结构特点滑阀泵的工作原理和结构特
22、点东北大学首期真空技术培训班系列教程东北大学首期真空技术培训班系列教程1泵盖；2气镇量调节阀；3导管；4逆止阀；5油气分离器5.2.2 5.2.2 结构特点结构特点图52 滑阀泵结构图东北大学首期真空技术培训班系列教程东北大学首期真空技术培训班系列教程目前滑阀泵有三种结构形式：（a）滑阀杆铰接在滑阀环上；（b）滑阀杆与滑阀环成一体；（c）行星式滑阀泵，如图53所示。图图5 53 3滑阀泵的三种结构形式滑阀泵的三种结构形式东北大学首期真空技术培训班系列教程东北大学首期真空技术培训班系列教程图图5 54 4 双缸滑阀泵结构双缸滑阀泵结构图图5 55 5双缸滑阀泵的平衡双缸滑阀泵的平衡六、罗茨式真空
23、泵六、罗茨式真空泵6.1 概述概述 罗茨式真空泵（简称罗茨泵）是一种无罗茨式真空泵（简称罗茨泵）是一种无内压缩的旋转变容式真空泵。主要特点有：内压缩的旋转变容式真空泵。主要特点有：在较宽的压力范围内有较大的抽速在较宽的压力范围内有较大的抽速 ；转子之间、转子与泵腔壁之间有间隙，泵腔内转子之间、转子与泵腔壁之间有间隙，泵腔内运动件无摩擦，不必润滑，泵腔内无油；运动件无摩擦，不必润滑，泵腔内无油；转子形状对称，动平衡性能良好，运转平稳，转子形状对称，动平衡性能良好，运转平稳，选择高精度的齿轮传动，运转时噪音低；选择高精度的齿轮传动，运转时噪音低；对被抽气体中含有的灰尘和水蒸气不敏感；对被抽气体中含
24、有的灰尘和水蒸气不敏感；由于压缩比比较小，在抽气过程中消耗的功率由于压缩比比较小，在抽气过程中消耗的功率比较大。比较大。东北大学首期真空技术培训班系列教程东北大学首期真空技术培训班系列教程东北大学首期真空技术培训班系列教程东北大学首期真空技术培训班系列教程 罗茨泵的种类罗茨泵的种类:东北大学首期真空技术培训班系列教程东北大学首期真空技术培训班系列教程6.26.2罗茨泵的工作原理及其结构特点罗茨泵的工作原理及其结构特点东北大学首期真空技术培训班系列教程东北大学首期真空技术培训班系列教程1前端端盖；2油标；3压力传感器；4注油塞；5放油塞；6齿轮侧轴承端盖；7泵体；8入口法兰；9出口法兰；10转子
25、；11马达侧轴承盖；12中间法兰；13油封处注油塞；14油封处放油塞；15笼形支架；16电动机；17泵底座图图6-2 6-2 罗茨泵的剖面示意图罗茨泵的剖面示意图东北大学首期真空技术培训班系列教程东北大学首期真空技术培训班系列教程1溢流阀；2泵入口；3泵体；4转子；5泵出口图图6-3 6-3 罗茨泵的旁路溢流阀结构示意图罗茨泵的旁路溢流阀结构示意图东北大学首期真空技术培训班系列教程东北大学首期真空技术培训班系列教程1转子；2转子；3泵腔；4冷气入口；5抽气口；6泵出口；7冷却器图图6-6 6-6 气冷式罗茨泵原理图气冷式罗茨泵原理图七、油扩散泵七、油扩散泵 油扩散泵属于射流真空泵的一种，但与水
26、油扩散泵属于射流真空泵的一种，但与水蒸气喷射泵不同的是，油扩散泵工作在高真空蒸气喷射泵不同的是，油扩散泵工作在高真空区域，以低压高速油蒸汽流作为工作介质。泵区域，以低压高速油蒸汽流作为工作介质。泵的抽气过程是被抽气体扩散到油蒸汽射流中而的抽气过程是被抽气体扩散到油蒸汽射流中而被携带到泵出口排除的过程。被携带到泵出口排除的过程。油扩散泵的工作压力范围为油扩散泵的工作压力范围为101 106Pa，其极限压力可达其极限压力可达108Pa。泵的抽气速率可从每泵的抽气速率可从每秒几升到每秒十几万升。此外与其他高真空或秒几升到每秒十几万升。此外与其他高真空或超高真空获得设备相比，油扩散泵除效率低外，超高真
27、空获得设备相比，油扩散泵除效率低外，它具有单位抽速所需成本较低，结构简单，没它具有单位抽速所需成本较低，结构简单，没有机械运动部件，操作方便，使用寿命长，高有机械运动部件，操作方便，使用寿命长，高7.1 7.1 概述概述东北大学首期真空技术培训班系列教程东北大学首期真空技术培训班系列教程 可靠性和维修方便等特点，因此它成为一种量可靠性和维修方便等特点，因此它成为一种量面大面广的获得高真空和超高真空的真空泵。面大面广的获得高真空和超高真空的真空泵。油扩散泵除了在一般工业中有广泛的应用外，油扩散泵除了在一般工业中有广泛的应用外，特别适应于那些要求对大工作室（大的被抽容特别适应于那些要求对大工作室（
28、大的被抽容器）进行快速抽空以及迅速排除被处理材料在器）进行快速抽空以及迅速排除被处理材料在处理过程中放出大量气体的工艺过程。例如，处理过程中放出大量气体的工艺过程。例如，真空冶金、真空热处理设备及真空镀膜设备等。真空冶金、真空热处理设备及真空镀膜设备等。东北大学首期真空技术培训班系列教程东北大学首期真空技术培训班系列教程东北大学首期真空技术培训班系列教程东北大学首期真空技术培训班系列教程1电阻丝；2人字形挡板；3弹簧；4中心拉杆；5泵芯；6泵壳7.27.2油扩散泵的工作原理油扩散泵的工作原理图121 油扩散泵 结构示意图东北大学首期真空技术培训班系列教程东北大学首期真空技术培训班系列教程1锅炉
29、；2导流管；3喷嘴；4加热器5冷凝器；6工作介质；ab射流的抽气表面图图122油扩散泵的抽气过程示意图油扩散泵的抽气过程示意图BACK 在图在图12122 2中的锅炉中的锅炉1 1内装有工作介质（泵油）内装有工作介质（泵油）6 6，并用电热器，并用电热器4 4加热使之沸腾蒸发而产生油蒸加热使之沸腾蒸发而产生油蒸汽。由于泵内已经预抽真空，压力较低，故泵汽。由于泵内已经预抽真空，压力较低，故泵油可以在较低温度下蒸发。油蒸汽经导流管油可以在较低温度下蒸发。油蒸汽经导流管2 2进入伞形喷嘴进入伞形喷嘴3 3，油蒸汽经过喷嘴将压力能转，油蒸汽经过喷嘴将压力能转化为动能，形成高速蒸汽射流。当油蒸汽呈锥化为
30、动能，形成高速蒸汽射流。当油蒸汽呈锥环状（见图环状（见图12122 2aaaabbbb断面）从伞形喷嘴以断面）从伞形喷嘴以超高音速喷出后急剧膨胀，其速度逐渐增大，超高音速喷出后急剧膨胀，其速度逐渐增大，压力及密度逐渐降低，射流中气体分子的浓度压力及密度逐渐降低，射流中气体分子的浓度非常低。射流上面的被抽气体因密度差很容易非常低。射流上面的被抽气体因密度差很容易扩散到射流的内部，并与工作蒸汽分子碰撞，扩散到射流的内部，并与工作蒸汽分子碰撞，在射流方向上得到动量，从而被蒸汽射流携带在射流方向上得到动量，从而被蒸汽射流携带到水冷的泵壁处（到水冷的泵壁处（b bbb）。）。在在b bbb处，工处，工作
31、蒸汽大部分被冷凝成油滴沿泵壁流回油锅中作蒸汽大部分被冷凝成油滴沿泵壁流回油锅中东北大学首期真空技术培训班系列教程东北大学首期真空技术培训班系列教程东北大学首期真空技术培训班系列教程东北大学首期真空技术培训班系列教程图图125 扩散泵体外形图扩散泵体外形图循环使用。这样的喷嘴和泵冷却壁之间形成最稳定的工作蒸汽流。而被抽气体在bb处从冷凝的蒸汽射流中释放出来后堆积压缩，最后被下级蒸汽射流携带走。经过这样的等级压缩，最后被前级泵抽走。八、油扩散喷射泵八、油扩散喷射泵 油扩散喷射泵又称油增压泵，它是从油扩油扩散喷射泵又称油增压泵，它是从油扩散泵发展而来的。油扩散泵的工作压力范围内散泵发展而来的。油扩散
32、泵的工作压力范围内1010-2Pa，在此工作压力范围内油扩散喷射泵在此工作压力范围内油扩散喷射泵较高的抽速和最大的出口压力。通常油扩散泵较高的抽速和最大的出口压力。通常油扩散泵要比油扩散泵的抽气量高要比油扩散泵的抽气量高420倍，加热功率高倍，加热功率高25倍。按其工作压力范围来说，油扩散喷射倍。按其工作压力范围来说，油扩散喷射泵正好填补了油封式机械泵和高真空油扩散泵泵正好填补了油封式机械泵和高真空油扩散泵抽气能力下降的中间地带。油封式机械泵的抽抽气能力下降的中间地带。油封式机械泵的抽速在低压力范围有明显地降低，在速在低压力范围有明显地降低，在101Pa时实时实际上抽速几乎为零；而大多数地高真
33、空油扩散际上抽速几乎为零；而大多数地高真空油扩散泵在这样的压力范围内抽速也较小。然而在泵在这样的压力范围内抽速也较小。然而在1 101Pa的工作压力范围内，油扩散泵恰好具有的工作压力范围内，油扩散泵恰好具有8.1 8.1 概述概述东北大学首期真空技术培训班系列教程东北大学首期真空技术培训班系列教程 较大的抽速。因此，油扩散泵除用作主泵外，较大的抽速。因此，油扩散泵除用作主泵外，还可以用到大型油扩散泵的出口处，来增加其还可以用到大型油扩散泵的出口处，来增加其出口压力，使前级机械泵能有效地工作，故称出口压力，使前级机械泵能有效地工作，故称其为有增压泵。油扩散泵与油扩散泵相比，不其为有增压泵。油扩散
34、泵与油扩散泵相比，不同点仅在于性能曲线的有效工作范围不同而已。同点仅在于性能曲线的有效工作范围不同而已。虽然两者的结构和应用有所不同，但抽气的基虽然两者的结构和应用有所不同，但抽气的基本原理没有多大的区别。本原理没有多大的区别。油扩散喷射泵目前广泛用于真空感应炉和油扩散喷射泵目前广泛用于真空感应炉和真空电弧炉、电容器的真空干燥和浸渍、真空真空电弧炉、电容器的真空干燥和浸渍、真空蒸馏等设备上。蒸馏等设备上。东北大学首期真空技术培训班系列教程东北大学首期真空技术培训班系列教程东北大学首期真空技术培训班系列教程东北大学首期真空技术培训班系列教程图图13131 1 多级喷嘴抽气原理图多级喷嘴抽气原理图
35、东北大学首期真空技术培训班系列教程东北大学首期真空技术培训班系列教程1泵体；2导流管；3汇流管；4锅炉；5电热器图图134 小型双级油扩散喷射泵结构图小型双级油扩散喷射泵结构图东北大学首期真空技术培训班系列教程东北大学首期真空技术培训班系列教程1档油帽；2泵体；3导流管；4锅炉；5放油孔；6加热器；7注油管；8喷射喷嘴；9喷射级混合室；10挡油阱图图135带喷射级的油扩散喷射泵结构带喷射级的油扩散喷射泵结构九、低温泵九、低温泵 低温泵是利用低温（低于低温泵是利用低温（低于100K）表面冷凝、表面冷凝、吸附和捕集气体来获得和保持真空的设备。它吸附和捕集气体来获得和保持真空的设备。它有很多优点：有
36、很多优点：1）起始压力高（原则上可从大）起始压力高（原则上可从大气压开始抽气），极限压力低，可达气压开始抽气），极限压力低，可达1013Pa，因此，其工作压力宽。因此，其工作压力宽。2）抽速大，对于）抽速大，对于20空气，最大抽速可达空气，最大抽速可达11.6L/s*cm2。3）可以抽可以抽出各种气体，从而获得清洁的超高真空。出各种气体，从而获得清洁的超高真空。4）作为大容量的排气系统，占地面积小，电力消作为大容量的排气系统，占地面积小，电力消耗小。耗小。5）有极大的灵活性，可以做成插入式，）有极大的灵活性，可以做成插入式，用于无法布置其他类型泵的场合。低温泵运行用于无法布置其他类型泵的场合。
37、低温泵运行时需要冷剂或制冷设备。时需要冷剂或制冷设备。9.1 9.1 概述概述东北大学首期真空技术培训班系列教程东北大学首期真空技术培训班系列教程东北大学首期真空技术培训班系列教程东北大学首期真空技术培训班系列教程 低温泵的应用范围相当广泛：低温泵的应用范围相当广泛：1）在空间科学）在空间科学技术中，宇宙空间存在着真空和低温状态，外层技术中，宇宙空间存在着真空和低温状态，外层空间的真空度可达空间的真空度可达1014Pa，温度为温度为3K左右。因左右。因此，低温泵是宇宙空间模拟的理想设备。此外，此，低温泵是宇宙空间模拟的理想设备。此外，研究空间条件下材料表面现象，低压空气动力学研究空间条件下材料
38、表面现象，低压空气动力学试验，火箭发动机高空点火试验，空间生物技术试验，火箭发动机高空点火试验，空间生物技术等，都用低温泵。等，都用低温泵。2）应用在高能物理、等离子体）应用在高能物理、等离子体和核聚变研究中。和核聚变研究中。3）应用在薄膜制备领域。）应用在薄膜制备领域。4）应用在微电子学，尤其是半导体微电子技术，如应用在微电子学，尤其是半导体微电子技术，如离子注入，离子刻蚀等。离子注入，离子刻蚀等。5）应用在近代科学仪器）应用在近代科学仪器中，如扫描电镜，电子衍射仪等各种表面分析仪中，如扫描电镜，电子衍射仪等各种表面分析仪器。器。东北大学首期真空技术培训班系列教程东北大学首期真空技术培训班系
39、列教程 关于低温抽气机理，有许多不同的看法，大关于低温抽气机理，有许多不同的看法，大致可归纳为两种：一种是按速度分布决定捕获率致可归纳为两种：一种是按速度分布决定捕获率的说法，它认为飞到冷表面的气体分子中，仅仅的说法，它认为飞到冷表面的气体分子中，仅仅是能量低于某一临界值的分子才被捕获；另一种是能量低于某一临界值的分子才被捕获；另一种是动态平衡学说，它认为飞到冷表面的气体分子是动态平衡学说，它认为飞到冷表面的气体分子停留在冷表面上，同时有另外一些分子从表面蒸停留在冷表面上，同时有另外一些分子从表面蒸发，离开表面，被捕捉和离开表面的分子之差就发，离开表面，被捕捉和离开表面的分子之差就是抽气速度。
40、后者比较流行。是抽气速度。后者比较流行。9.2 9.2 低温泵的抽气原理和分类低温泵的抽气原理和分类东北大学首期真空技术培训班系列教程东北大学首期真空技术培训班系列教程 关于低温抽气机理，有许多不同的看法，大关于低温抽气机理，有许多不同的看法，大致可归纳为两种：一种是按速度分布决定捕获率致可归纳为两种：一种是按速度分布决定捕获率的说法，它认为飞到冷表面的气体分子中，仅仅的说法，它认为飞到冷表面的气体分子中，仅仅是能量低于某一临界值的分子才被捕获；另一种是能量低于某一临界值的分子才被捕获；另一种是动态平衡学说，它认为飞到冷表面的气体分子是动态平衡学说，它认为飞到冷表面的气体分子停留在冷表面上，同
41、时有另外一些分子从表面蒸停留在冷表面上，同时有另外一些分子从表面蒸发，离开表面，被捕捉和离开表面的分子之差就发，离开表面，被捕捉和离开表面的分子之差就是抽气速度。后者比较流行。是抽气速度。后者比较流行。东北大学首期真空技术培训班系列教程东北大学首期真空技术培训班系列教程图图142 低温冷凝泵低温冷凝泵东北大学首期真空技术培训班系列教程东北大学首期真空技术培训班系列教程图图14143 3普通低温泵普通低温泵东北大学首期真空技术培训班系列教程东北大学首期真空技术培训班系列教程图图144 连续流动式低温泵连续流动式低温泵东北大学首期真空技术培训班系列教程东北大学首期真空技术培训班系列教程图图145
42、小型制冷机低温泵小型制冷机低温泵东北大学首期真空技术培训班系列教程东北大学首期真空技术培训班系列教程图图1410 典型低温泵的布置典型低温泵的布置东北大学首期真空技术培训班系列教程东北大学首期真空技术培训班系列教程1致冷膨胀机；2一级冷头；3二级冷头；4气、电接头；5H2蒸汽温度计；6排水口；7百叶窗式入口障板；8热板；9冷板（三个）；10压力安全阀；11排气口；12清洗口图图1411 一种窄泵结构一种窄泵结构东北大学首期真空技术培训班系列教程东北大学首期真空技术培训班系列教程图图1412 12型低温泵结构型低温泵结构十、溅射离子泵十、溅射离子泵 溅射离子泵又称潘宁泵，它是一种使用较溅射离子泵
43、又称潘宁泵，它是一种使用较广泛的清洁真空泵。其优点是无油、无振动、广泛的清洁真空泵。其优点是无油、无振动、无噪音；使用简单可靠，寿命长，可烘烤；不无噪音；使用简单可靠，寿命长，可烘烤；不需要冷剂，置放方向不限；工作压力范围宽需要冷剂，置放方向不限；工作压力范围宽（1 11010-10-10PaPa），），对惰性气体抽速大。缺点是对惰性气体抽速大。缺点是带有笨重的磁铁，体积和重量较大，成本高；带有笨重的磁铁，体积和重量较大，成本高；对有机蒸汽污染敏感，连续抽对有机蒸汽污染敏感，连续抽3030minmin油蒸汽就油蒸汽就会使泵启动困难；在抽惰性气体时，二级泵会会使泵启动困难；在抽惰性气体时，二级泵
44、会出现氩不稳定性。出现氩不稳定性。这种泵被广泛的应用于现代尖端技术的这种泵被广泛的应用于现代尖端技术的一些领域中，如原子能工程、核工业、高能加一些领域中，如原子能工程、核工业、高能加速器、宇宙模拟、表面物理、电子工业和高纯速器、宇宙模拟、表面物理、电子工业和高纯金属的冶炼等领域。金属的冶炼等领域。10.1 10.1 概述概述东北大学首期真空技术培训班系列教程东北大学首期真空技术培训班系列教程东北大学首期真空技术培训班系列教程东北大学首期真空技术培训班系列教程图151 溅射离子泵结构1阴极板；2磁场方向；3阳极；4电源10.2 10.2 溅射离子泵的工作原理溅射离子泵的工作原理 10.2.1 1
45、0.2.1 溅射离子泵的结构溅射离子泵的结构东北大学首期真空技术培训班系列教程东北大学首期真空技术培训班系列教程图152 泵内的物理过程10.2.10.2.2 2 泵内的物理过程泵内的物理过程东北大学首期真空技术培训班系列教程东北大学首期真空技术培训班系列教程图图153溅射离子泵抽气机理示意图溅射离子泵抽气机理示意图十一、其他类型真空泵十一、其他类型真空泵11.1 分子筛吸附泵东北大学首期真空技术培训班系列教程东北大学首期真空技术培训班系列教程图163 内冷式吸附泵结构示意图东北大学首期真空技术培训班系列教程东北大学首期真空技术培训班系列教程图图164 外冷式吸附泵结构示意图外冷式吸附泵结构示
46、意图东北大学首期真空技术培训班系列教程东北大学首期真空技术培训班系列教程 钛升华泵和其他真空泵相比，有如下优点：钛升华泵和其他真空泵相比，有如下优点：1 1）抽速大。新鲜钛膜在液氮温度下，对氮的抽速可抽速大。新鲜钛膜在液氮温度下，对氮的抽速可达达10.110.1L/(cmL/(cm2 2*s),s),对氢的抽速可达对氢的抽速可达19.919.9L/(cmL/(cm2 2*s)s)。2 2）极限真空度高。可达极限真空度高。可达10101010PaPa。3 3）在超高真空在超高真空下，泵的抽速随着压力的降低而增大，这时泵的下，泵的抽速随着压力的降低而增大，这时泵的抽速主要受泵口流导的限制。抽速主要
47、受泵口流导的限制。4 4）可获得）可获得“清洁清洁”的真空。的真空。5 5）结构简单，运转费用低。其主要缺点）结构简单，运转费用低。其主要缺点是对惰性气体的抽速小，因此常与其他类型泵搭是对惰性气体的抽速小，因此常与其他类型泵搭配使用。配使用。11.211.2钛升华泵钛升华泵东北大学首期真空技术培训班系列教程东北大学首期真空技术培训班系列教程1吸气面；吸气面；2热丝；热丝；3控制器；控制器；升华出来的钛；升华出来的钛；活性气体活性气体图图165钛升华泵的工作原理钛升华泵的工作原理东北大学首期真空技术培训班系列教程东北大学首期真空技术培训班系列教程 电离升华泵又称轨旋式离子泵。它结构简单，电离升华
48、泵又称轨旋式离子泵。它结构简单，体积小，重量轻，造价低，制造方便。它既有钛体积小，重量轻，造价低，制造方便。它既有钛升华泵的特点，能使钛加热到升华泵的特点，能使钛加热到12001200而升华，来而升华，来抽除活性气体，又有溅射离子泵的特点，对惰性抽除活性气体，又有溅射离子泵的特点，对惰性气体电离抽气，且不用磁场而获得高效率抽气作气体电离抽气，且不用磁场而获得高效率抽气作用。其有效工作范围宽，大约在用。其有效工作范围宽，大约在10102 210109 9PaPa，在超高真空区域内保持恒定的抽速。在超高真空区域内保持恒定的抽速。这种泵的缺点是电离抽气与钛损耗之间有矛这种泵的缺点是电离抽气与钛损耗之
49、间有矛盾，欲提高惰性气体的抽速，势必加高阳极电压，盾，欲提高惰性气体的抽速，势必加高阳极电压，提高发射电流，因此钛的损耗增大，泵的寿命缩提高发射电流，因此钛的损耗增大，泵的寿命缩短；欲增加储钛量延长泵的寿命，阳极要变粗，短；欲增加储钛量延长泵的寿命，阳极要变粗，电子的轨道变短，电离抽速下降。这种泵的直径电子的轨道变短，电离抽速下降。这种泵的直径11.311.3电离升华泵电离升华泵东北大学首期真空技术培训班系列教程东北大学首期真空技术培训班系列教程 该泵结构简单，体积小，造价低，造作安全该泵结构简单，体积小，造价低，造作安全可靠，维修方便，清洁无油。对活性气体尤其是可靠，维修方便，清洁无油。对活
50、性气体尤其是对氢具有很高的抽气能力。但不能抽除惰性气体。对氢具有很高的抽气能力。但不能抽除惰性气体。此外还有一种锆钒铁合金材料作为吸气剂的活化此外还有一种锆钒铁合金材料作为吸气剂的活化温度温度450450，室温下对活性气体具有较大抽速。，室温下对活性气体具有较大抽速。锆铝泵对氢及其同位素氘、氚的吸气是可逆锆铝泵对氢及其同位素氘、氚的吸气是可逆的，而对其他活性气体的吸气是以稳定的化合物的，而对其他活性气体的吸气是以稳定的化合物扩散到吸气剂体内，但存在饱和寿命问题。扩散到吸气剂体内，但存在饱和寿命问题。11.411.4非蒸散型吸气泵非蒸散型吸气泵越大，所需阳极电压越高，上万伏电压对生产不越大，所需
