1、设计处教育训练资料Confidential,unpublished property of L&K.Do not duplicate or distribute L&K Engineering Co.,Ltd.2006Confidential,unpublished property of L&K.Do not duplicate or distribute L&K Engineering Co.,Ltd.2006制程控制系统设计制程控制系统设计n 制程控制系统概述n CDA控制系统n GN2控制系统n PCW控制系统n PV控制系统Confidential,unpublished prope
2、rty of L&K.Do not duplicate or distribute L&K Engineering Co.,Ltd.2006制程控制系统设计制程控制系统设计 概述 无尘室制程系统主要包含：CDA系统、GN2系统、PCW系统、PV系统；制程控制系统就是对每一个系统进行自动控制。Confidential,unpublished property of L&K.Do not duplicate or distribute L&K Engineering Co.,Ltd.2006制程控制系统设计制程控制系统设计 CDA系统空压机空压机干燥机干燥机tank过滤器过滤器空压机TO 使用点t
3、ankConfidential,unpublished property of L&K.Do not duplicate or distribute L&K Engineering Co.,Ltd.2006制程控制系统设计制程控制系统设计 CDA系统主要参数：1、排气量2、排气压力3、排气含油量4、排气含尘量5、排气露点Confidential,unpublished property of L&K.Do not duplicate or distribute L&K Engineering Co.,Ltd.2006制程控制系统设计制程控制系统设计空压机空压机干燥机干燥机tank过滤器过滤器空
4、压机tank流量计露点温度压力传感器微尘粒子计数器差压开关差压开关1、AUTO/MANUL2、RUNNING STATUS3、FAULT4、REMOTE ON/OFF CDA系统自控设计Confidential,unpublished property of L&K.Do not duplicate or distribute L&K Engineering Co.,Ltd.2006制程控制系统设计制程控制系统设计空压机空压机干燥机干燥机tank过滤器过滤器空压机tankVFD:1、AUTO/MANUL2、RUNNING STATUS3、FAULT4、REMOTE ON/OFF CDA系统自控
5、设计1、AUTO/MANUL2、RUNNING STATUS3、FAULT4、REMOTE ON/OFF通过通讯接口，通常为MODBUS通讯接口：1、AUTO/MANUL2、RUNNING STATUS3、FAULT4、REMOTE ON/OFFConfidential,unpublished property of L&K.Do not duplicate or distribute L&K Engineering Co.,Ltd.2006制程控制系统设计制程控制系统设计 GN2系统10m3PSA纯化器PSA纯化器CDATO 使用点Confidential,unpublished prope
6、rty of L&K.Do not duplicate or distribute L&K Engineering Co.,Ltd.2006制程控制系统设计制程控制系统设计 CDA系统主要参数：1、排气量2、排气压力3、排气露点Confidential,unpublished property of L&K.Do not duplicate or distribute L&K Engineering Co.,Ltd.2006制程控制系统设计制程控制系统设计 GN2系统自控设计10m3PSA纯化器PSA纯化器CDA流量计露点温度压力传感器1、AUTO/MANUL2、RUNNING STATUS3
7、、FAULT4、REMOTE ON/OFF通过通讯接口，通常为MODBUS通讯接口：1、AUTO/MANUL2、RUNNING STATUS3、FAULT4、REMOTE ON/OFFConfidential,unpublished property of L&K.Do not duplicate or distribute L&K Engineering Co.,Ltd.2006制程控制系统设计制程控制系统设计 PCW系统Confidential,unpublished property of L&K.Do not duplicate or distribute L&K Engineerin
8、g Co.,Ltd.2006制程控制系统设计制程控制系统设计 PCW系统主要参数：1、出水温度2、出水压力3、回水温度4、回水压力Confidential,unpublished property of L&K.Do not duplicate or distribute L&K Engineering Co.,Ltd.2006制程控制系统设计制程控制系统设计 PCW控制设计主要分二部分：1、水箱控制2、加压控制3、过滤控制4、冷却控制Confidential,unpublished property of L&K.Do not duplicate or distribute L&K Engi
9、neering Co.,Ltd.2006制程控制系统设计制程控制系统设计 PCW系统自控设计-水箱控制液位传感器控制补水导电计控制排水Confidential,unpublished property of L&K.Do not duplicate or distribute L&K Engineering Co.,Ltd.2006制程控制系统设计制程控制系统设计 PCW系统自控设计-加压、过滤、冷却控制露点温度压力传感器1、AUTO/MANUL2、RUNNING STATUS3、FAULT4、REMOTE ON/OFF差压开关控制板换冰水阀VFD:1、A/M2、RS3、FAULT4、ON/O
10、FFConfidential,unpublished property of L&K.Do not duplicate or distribute L&K Engineering Co.,Ltd.2006制程控制系统设计制程控制系统设计 PV系统真空机真空机储气罐5m用气点排气排气CHWSCHWRConfidential,unpublished property of L&K.Do not duplicate or distribute L&K Engineering Co.,Ltd.2006制程控制系统设计制程控制系统设计水气分离器水冷却器真空泵浦（转子）马达控制电盘 Confidentia
11、l,unpublished property of L&K.Do not duplicate or distribute L&K Engineering Co.,Ltd.2006制程控制系统设计制程控制系统设计真空使用端泵浦入口泵浦出口排气冷却水进水冷却出水水进入冷却器水冷却出口进入泵浦水，气进入分离器自来水补水自来水排水自来水补水Confidential,unpublished property of L&K.Do not duplicate or distribute L&K Engineering Co.,Ltd.2006制程控制系统设计制程控制系统设计 PV系统自控设计真空机真空机储气罐5m用气点排气排气冰水温度压力传感器1、AUTO/MANUL2、RUNNING STATUS3、FAULT4、REMOTE ON/OFFCHWSCHWR谢谢谢谢Confidential,unpublished property of L&K.Do not duplicate or distribute L&K Engineering Co.,Ltd.2006
