1、2023-1-27大连理工大学 集成电路课程设计1集成电路课程设计集成电路课程设计 大连理工大学大连理工大学电子与信息工程学院电子与信息工程学院Dalian University of technologyDalian University of technology 余隽余隽 讲师讲师Tel:84706184junyudlut.edu余隽余隽,8470 6184，大连理工大学 集成电路课程设计2 22023-1-27回顾：回顾：IC全定制设计步骤全定制设计步骤nCreate schematicnCreate SymbolnCreate a Testbench SchematicnSet Up
2、 and run SimulationnViewing WaveformsnCreate LayoutnDRCnLVSnPEX余隽余隽,8470 6184，大连理工大学 集成电路课程设计3 32023-1-27使用的使用的Mentor软件软件IC FlownICstudioorganize and maintain project data.nDesign Architect-IC Capture schematics,setup and control simulation.nEldo/Ezwave Simulate design and the associated waveform vi
3、ewing applications.nIC Station Layout IC.nCalibre Verify design including DRC,LVS and PEX.余隽余隽,8470 6184，大连理工大学 集成电路课程设计4 42023-1-27全定制设计倒相器版图全定制设计倒相器版图n目的：充分理解版图设计的规则（目的：充分理解版图设计的规则（DRC，LVS），熟练运用），熟练运用mentor的的icstudio软件软件和和calibre软件进行版图设计与验证。软件进行版图设计与验证。余隽余隽,8470 6184，大连理工大学 集成电路课程设计5 52023-1-27根据根
4、据drc文件及本次设计的要求，我们用到的工艺层如下：文件及本次设计的要求，我们用到的工艺层如下：层名层名层号层号说明说明NWELL3N阱阱OD6薄氧，掺杂区薄氧，掺杂区POLYG17多晶硅多晶硅PP25P+注入注入NP26N+注入注入CO30接触孔接触孔M131第第1层金属层金属VIA1511，2层金属的过孔层金属的过孔M232第第2层金属层金属MET1TEXT131金属金属1的端口标识的端口标识余隽余隽,8470 6184，大连理工大学 集成电路课程设计6 62023-1-27版图的层次版图的层次ndiffpolymet2contcontcontviaviamet1pdiffnwelloxi
5、de倒相器版图设计倒相器版图设计余隽余隽,8470 6184，大连理工大学 集成电路课程设计7 72023-1-27余隽余隽,8470 6184，大连理工大学 集成电路课程设计8 82023-1-271,Poly_M1_PP(命名可用下划线命名可用下划线)nNew group parts Poly_M1_PP余隽余隽,8470 6184，大连理工大学 集成电路课程设计9 92023-1-27nsetup grid 0.005 n调整工作区大小到能看见格点调整工作区大小到能看见格点n放大：滚轮上滚，或放大：滚轮上滚，或 Ctrl-z n缩小：滚轮下滚，或缩小：滚轮下滚，或 Shift-z包括的层
6、次：包括的层次：PolyG,CO,M1,PP余隽余隽,8470 6184，大连理工大学 集成电路课程设计10102023-1-27nLayer palette CO(30)nAdd rectangle 边长边长0.16余隽余隽,8470 6184，大连理工大学 集成电路课程设计11112023-1-27nM1比比Cont大大0.05nPoly比比cont大大0.07nPP比比Poly大大0.2(保证保证poly掺杂，电阻小掺杂，电阻小)余隽余隽,8470 6184，大连理工大学 集成电路课程设计12122023-1-27nSavenToolscalibrerun drc余隽余隽,8470 61
7、84，大连理工大学 集成电路课程设计13132023-1-27余隽余隽,8470 6184，大连理工大学 集成电路课程设计14142023-1-27n自动弹出自动弹出calibre-DRC RCE（看结果的窗口）（看结果的窗口）n双击一个错误，查看和分析错误原因。双击一个错误，查看和分析错误原因。n面积错误在本例中忽略。面积错误在本例中忽略。余隽余隽,8470 6184，大连理工大学 集成电路课程设计15152023-1-27n常见错误：距离过小。将在常见错误：距离过小。将在layout图中高亮显示。图中高亮显示。修改：修改：移动边缘：注意移动边缘：注意layout窗口下方窗口下方 Mouse
8、:L:full selection按键按键 F4 后后 Mouse:L:partial selection做标尺后移动边缘做标尺后移动边缘.再按再按F4回到回到full selection.修改后存盘再做修改后存盘再做DRC。同意。同意overwrite。通过通过DRC后，关闭视图。后，关闭视图。余隽余隽,8470 6184，大连理工大学 集成电路课程设计16162023-1-272，Poly_M1_NPnCopy Poly_M1_PPnPasterename Poly_M1_NPn打开打开Poly_M1_NP的的layout，将外面的，将外面的PP层改为层改为NP层：左键选中，快捷键层：左键
9、选中，快捷键q，改，改Layern完成后保存。可做完成后保存。可做DRC检查。检查。包括的层次：包括的层次：PolyG,CO,M1,PP余隽余隽,8470 6184，大连理工大学 集成电路课程设计17172023-1-273，Pdiff_M1n新建新建Pdiff_M1单元的单元的layout视图视图.n作图规则如下：作图规则如下：nCO:0.16nM1:CO+0.05nOD:CO+0.07nPP:OD+0.07包括的层次：包括的层次：PP,OD,CO,M1余隽余隽,8470 6184，大连理工大学 集成电路课程设计18182023-1-27修改某层的图案或颜色修改某层的图案或颜色余隽余隽,84
10、70 6184，大连理工大学 集成电路课程设计19192023-1-274，Ndiff_M1n与与Pdiff_M1类似，将类似，将PP改为改为NP包括的层次：包括的层次：NP,OD,CO,M1余隽余隽,8470 6184，大连理工大学 集成电路课程设计20202023-1-27沟道长：沟道长：0.13um;宽：宽：0.15um完成后，完成后，save，DRC5，nmos0.130.150.180.180.20.180.18Shift-f0.2余隽余隽,8470 6184，大连理工大学 集成电路课程设计21212023-1-27沟道长：沟道长：0.13um;宽：宽：0.15um5，pmosn与与
11、nmos类似，可复制类似，可复制nmos版图进行修改版图进行修改n选中要修改的两个选中要修改的两个Ndiff_M1，按快捷键，按快捷键q，改改cell为为Pdiff_M1.n选中外圈的选中外圈的NP，改为，改为PP.n注意：别忘了注意：别忘了Nwell!余隽余隽,8470 6184，大连理工大学 集成电路课程设计22222023-1-27nNwell必须超出有源区至少必须超出有源区至少0.31um0.310.310.310.31余隽余隽,8470 6184，大连理工大学 集成电路课程设计23232023-1-276、构建、构建myinverter版图版图n复制复制inverter单元，粘贴重命
12、名为单元，粘贴重命名为myinvertern打开打开myinverter的版图，将原来的图删除的版图，将原来的图删除n快捷键快捷键i，浏览放入自己做好的，浏览放入自己做好的nmos和和pmos余隽余隽,8470 6184，大连理工大学 集成电路课程设计24242023-1-27n在在pmos上方放上方放1行行2列列Ndiff_M1，并用，并用Nwell与下面的与下面的pmos相连相连n在在nmos下方放下方放1行行2列列Pdiff_M1余隽余隽,8470 6184，大连理工大学 集成电路课程设计25252023-1-27nPoly_M1_PP接在接在pmos栅极下方栅极下方nPoly_M1_N
13、P接在接在nmos栅极上方栅极上方余隽余隽,8470 6184，大连理工大学 集成电路课程设计26262023-1-27n用用M1连接连接pmos和和nmos的栅极：的栅极：nSetupObject Templatepaths余隽余隽,8470 6184，大连理工大学 集成电路课程设计27272023-1-27n选选M1层，层，Add path，双击结束操作，双击结束操作n快捷键快捷键L，或者菜单，或者菜单 add text余隽余隽,8470 6184，大连理工大学 集成电路课程设计28282023-1-27完成完成inverter版图，版图，DRC检查检查余隽余隽,8470 6184，大连理
14、工大学 集成电路课程设计29292023-1-27LVS检查检查nToolscalibrerun LVS余隽余隽,8470 6184，大连理工大学 集成电路课程设计30302023-1-27余隽余隽,8470 6184，大连理工大学 集成电路课程设计31312023-1-27余隽余隽,8470 6184，大连理工大学 集成电路课程设计32322023-1-27余隽余隽,8470 6184，大连理工大学 集成电路课程设计33332023-1-27余隽余隽,8470 6184，大连理工大学 集成电路课程设计34342023-1-27余隽余隽,8470 6184，大连理工大学 集成电路课程设计35352023-1-27余隽余隽,8470 6184，大连理工大学 集成电路课程设计36362023-1-27余隽余隽,8470 6184，大连理工大学 集成电路课程设计37372023-1-27余隽余隽,8470 6184，大连理工大学 集成电路课程设计38382023-1-27练习：练习：n设计三输入与非门设计三输入与非门原理图原理图仿真仿真版图版图DRCLVS
