1、1RENA 设备介绍设备介绍生产设备生产设备20112011年年1010月月2Chint Solar Confidential设备外观设备外观3Chint Solar Confidential设备简介设备简介设备名称：InTex 全称：Inline Texture Etching Machine 中文含义：在线纹理刻蚀机（在线制绒机&一次清洗机）InTex的主要功能：q去损伤q制绒，腐蚀深度为4.55.5m的光陷阱纹理表面，以减少光的反射q去金属离子和氧化物q制作疏水表面陷光原理图4Chint Solar Confidential设备简介设备简介设备名称：InOxside 全称：Inline
2、Edge Isolation and Oxide Etch Machine 中文含义：在线边缘隔离和氧化物刻蚀机（在线湿法刻蚀机&二次清洗机）InOxside的主要功能：q去磷硅玻璃q边缘刻蚀q去金属离子5Chint Solar ConfidentialInTex各槽体的功能各槽体的功能Acidic saw damage etching and texturingDrying Acidic cleaningRinsingRinsingKOHcleaningRinsing去损伤、制绒面去除残余的酸、辅助制绒1、去除残余的碱；2、去除金属离子；3、使硅片具有疏水性去除残余的化学品、清洁硅片干燥硅片
3、HF、HNO3HF、HCl3Si+4HNO33SiO2+2H2O+4NOSiO2+6HFH2SiF6+2H2Si+2KOH+H2O K2SiO3+2H2KOH多晶硅片制绒效果图多晶硅片制绒效果图单晶硅片制绒效果图单晶硅片制绒效果图6Chint Solar ConfidentialInOxside各槽的功能各槽的功能Drying HFBathRinsingRinsingKOHcleaningRinsing去PSG、去边缘去除残余的酸1、去PSG；2、去除残余的碱；3、去除金属离子去除残余的化学品、清洁硅片干燥硅片Edge isolation+Phosphor glassetchingn+SiPS
4、GPSGn+Sin+SiPSGHF、HNO3、H2SO4KOHHFSiO2+4HF=SiF4+2H2OSiF4+2HF=H2SiF6总结起来，刻蚀反应分成两步：1.硝酸/亚硝酸（HNO2）将硅氧化成二氧化硅（主要是亚硝酸将硅氧化）。2.二氧化硅和氢氟酸反应（快反应），生成四氟化硅和水（快反应），四氟化硅又和水化合成氟硅酸进入溶液。硫酸不参与反应，仅仅是增加氢离子浓度，加快反应，增加溶液黏度（增大溶液与PSG薄层间的界面张力）和溶液密度。Si+2HNO3+6HF=H2SiF6+2HNO2+2H2O3Si+4HNO3+18HF=3H2SiF6+4NO+8H2O3Si+2HNO3+18HF=3H2S
5、iF6+2NO+4H2O+3H25Si+6HNO3+30HF=5H2SiF6+2NO2+4NO+10H2O+3H2SiO2+4HF=SiF4+2H2OSiF4+HF=H2SiF67Chint Solar ConfidentialInTex管路图管路图Acrobat Document8Chint Solar Confidential传输系统示意图传输系统示意图9Chint Solar Confidential化学品供应系统化学品供应系统Media Room化学品供应单元10Chint Solar Confidential界面操作界面操作登陆：登陆：service c03rena点击“异常停止”点
6、击“手动模式”点击“手动”11Chint Solar Confidential点击“F11”12Chint Solar Confidential点击“传送马达”点击“所有传送马达”13Chint Solar Confidential点击“配方”在”关掉过程中的干燥机”前打钩点击“配方管理”把配方写入PLC14Chint Solar Confidential15Chint Solar Confidential16Chint Solar Confidential17Chint Solar Confidential常见的报警常见的报警碱槽泵的干燥保护碱槽泵的干燥保护 观察碱槽风刀工作状况，添加药液，
7、清洗风刀风刀清洗风刀清洗 关闭手阀 拆盖板、卸下风刀 放到扩散清洗间 用水枪冲洗，清理气孔 安装风刀18Chint Solar Confidential常见的报警常见的报警药液供给异常药液供给异常 查看报警信息，检查药房药桶，药液供给管道等。一般是药房相应的药液用完导致（通知生产更换）传感器的组合报警传感器的组合报警 查看相应部分的传感器工作状态 擦拭传感器 调节传感器无液有液19Chint Solar Confidential安全槽泄露报警安全槽泄露报警（上料滚轮会停止）查看相应安全槽的状况 无液：调试传感器 有液：找出并解决故障，用吸酸车清理液体冷却系统降至循环的最低温度以下或死机报警冷却系统降至循环的最低温度以下或死机报警（上料滚轮停止）处理措施：重新启动启动冷冻机 冷冻机开启步骤:开机时选择intex HT Enter factrgdefault alltogether enter yes(关闭电源需等待三分钟后开启)溢出报警溢出报警 查看相应传感器，如是药液过满可以手动排掉一些药液常见的报警常见的报警20Chint Solar Confidential谢 谢
