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格式:PPT , 页数:32 ,大小:686.63KB ,
文档编号:3708873      下载积分:25 文币
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Vacuum机台专用名词课件.ppt

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2、t CondensationSecond CondensationGasWater inWater outCompressorOil filterAbsorberStart up rege.Close main valveShut off cryopumpBand heater onIntroduce dry N2Atm pressurePurge dry N2Complete warm upStop dry N2yesyesnonoRough pump the cryopumpComplete rough pumpBand heater offnoyesStart up cryopumpComplete cool downComplete rege.noyes

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