1、ELA基础知识介绍Array-MFG2015/09/10Locfe南城1Outline1. ELA与LTPS制程2. 准分子激光退火系统3. ELA工艺技术4. ELA工艺测试2准分子就是一种处于激发态的复合粒子，在标准状态下，即在基态时，它处于分离状态，而在激发态处于分子状态。常见的准分子有：XeF*、KrF*、ArF*、XeCl*、XeBr* 3准分子激光对应的紫外波段，a-Si薄膜对紫外光有大的吸收系数紫外光的注入深度较小，可以减小激光对玻璃基板的作用4567 2. 准分子激光退火系统(2) 准分子激光原理、结构及参数 (1) 准分子激光退火系统的结构(3) 光学系统构成简介(4)退火腔
2、结构简介8ELA系统基本组成9TCZ & JSW ELA System overviewELA System overview10激光器原理11激光器原理1213Laser tube designLasingIon branchDischarge Xe，F2Xe，Xe* ，Xe+ ，F2 ，F-Xe*，F2 Xe+ ，F-(XeF)*Xe，FNeutral branch351 nme- + XeXe+ + e- + e-e- + XeXe*+ e- e- + F2F- + FXe+ + F-+ M(XeF)*+ MXe*+ F2 (XeF)*+ FPumping:Stimulated:(XeF
3、)* + hXe + F +2h (351nm)Losses:(XeF)*Xe + F+h (351nm)(XeF)* + MXe + F + M(XeF)* + M + XeXe2F + MX + h(351nm)X*1516Gas lifetime17准分子激光原理、结构及参数准分子激光原理、结构及参数-参数参数18准分子激光原理、结构及参数准分子激光原理、结构及参数-参数参数Peak to Peak Energy Fluctuation19准分子激光原理、结构及参数准分子激光原理、结构及参数-参数参数Pulse duration20Pulse duration21准分子光学系统简介准分子
4、光学系统简介光学系统示意图22准分子光学系统简介准分子光学系统简介Monitor system示意图23准分子光学系统简介准分子光学系统简介Beam Short Axis & Long Axis24Short Axis Slope准分子光学系统简介准分子光学系统简介25退火腔结构简介退火腔结构简介退火腔室结构26退火腔结构简介退火腔结构简介Scan Process273. ELA工艺技术(1)晶化机制(2)主要参数28薄膜吸收与加热薄膜吸收与加热薄膜表层熔融薄膜表层熔融热能传导热能传导部分熔融部分熔融接近完全熔融接近完全熔融完全熔融完全熔融激光照射激光照射多晶硅晶化过程29晶化机制30主要参数
5、Energy Density Vs Melt regime31主要参数Overlap Vs PitchOverlap相邻两个shot之间的重合程度Pitch相邻两个shot之间的距离Overlap=(Beam Width-Pitch)/ Beam Width32Overlap Vs. Grain Size主要参数33主要参数CVD Thin Film Concern34主要参数Dehydrogen354. ELA工艺测试(2) SEM测试(3) AFM测试(1) 宏观检查(4) -PCD测试36宏观检查宏观检查-Mura37SEM测试38AFM测试39AFM测试Surface Maphology Mechanism40-PCD测试4142
