1、第七章 控制系统的设计方法与实例主要内容：主要内容：第一节第一节 控制系统的设计思想控制系统的设计思想 、设计思想、设计思想 二设计方法二设计方法 第二节第二节 控制系统设计的技术指标控制系统设计的技术指标 一、技术指标一、技术指标 二、控制系统技术指标的转换二、控制系统技术指标的转换 第三节第三节 经典理论设计控制系统的方法经典理论设计控制系统的方法 一、控制系统的特性设计一、控制系统的特性设计 一、校正方式一、校正方式 三、串联校正的基本方法三、串联校正的基本方法 第四节第四节 控制系统的设计实例控制系统的设计实例 第一节第一节 控制系统的设计思想控制系统的设计思想控制系统的设计任务就是根
2、据控制对象特性、技术要控制系统的设计任务就是根据控制对象特性、技术要求及工作环境，选择设计元、部件及信号变换处理求及工作环境，选择设计元、部件及信号变换处理装置，组成相应形式的控制系统，完成给定的控制装置，组成相应形式的控制系统，完成给定的控制任务。任务。从控制系统设计的角度出发，一般将控制系统分为：从控制系统设计的角度出发，一般将控制系统分为：顺序控制系统顺序控制系统(或开环控制系统或开环控制系统)、反馈控制系统、反馈控制系统(或或闭环控制系统闭环控制系统)、复合控制系统、复合控制系统(由开环控制与闭环由开环控制与闭环控制相结合构成控制相结合构成)， 对于不同的控制对象，系统的设计方案和具体
3、对于不同的控制对象，系统的设计方案和具体的技术指标是不同的，但控制系统的设计原的技术指标是不同的，但控制系统的设计原则是相同的。这就是则是相同的。这就是满足工艺要求，可靠性满足工艺要求，可靠性高，操作性能好，实时性强，通用性好，经高，操作性能好，实时性强，通用性好，经济效益高。济效益高。、设计思想、设计思想()设计大纲的制定设计大纲的制定包含内容：包含内容：1)明确控制对象及其控制过程的工艺特点及要求2)限定控制系统的工作条件及环境。3)关于控制方案的特殊要求。4)控制系统的性能技术指标。5)规定试验项目。(二二)设计步骤设计步骤1、建立控制对象的数学、建立控制对象的数学模型模型2方案选择方案
4、选择3建立系统框图建立系统框图4静态计算静态计算5动态特性分析及校正动态特性分析及校正装置的确定装置的确定6改变控制方式改变控制方式7实验与仿真实验与仿真(三三)基本设计基本设计 1元件选择元件选择 2建立确定系统组成建立确定系统组成元、部件的数学模型元、部件的数学模型 3动态计算动态计算(四四)工程化设计工程化设计(五五) 测试调试测试调试 二设计方法二设计方法 v试探法试探法v解析法解析法v查克夏尔的配置零极点法查克夏尔的配置零极点法v最优设计法最优设计法v经验法经验法第二节第二节 控制系统设计的技术指标控制系统设计的技术指标 主要内容：主要内容： 一、技术指标一、技术指标 二、控制系统技
5、术指标的转换二、控制系统技术指标的转换一、技术指标一、技术指标(一一)顺序控制系统的设计技术指标顺序控制系统的设计技术指标 顺序控制系统，一般是控制机械设备的运转、停止，顺序控制系统，一般是控制机械设备的运转、停止，生产过程中的加工、运输、检验等阶段性动作。控生产过程中的加工、运输、检验等阶段性动作。控制过程是不连续的，是根据一定的顺序或条件变化制过程是不连续的，是根据一定的顺序或条件变化的。顺序控制系统的设计技术指标是：的。顺序控制系统的设计技术指标是：自动化范围及水平；自动化范围及水平；操作过程的顺序、转移条件要求；操作过程的顺序、转移条件要求；工作环境。工作环境。至于转移过程的精度及静态
6、精度均由所选定的元、部至于转移过程的精度及静态精度均由所选定的元、部件确定。件确定。 (二二)反馈控制系统的设计技术指标反馈控制系统的设计技术指标v设计时应同时给出设计时应同时给出静态静态及及动态特性动态特性要求。设计反馈要求。设计反馈v控制系统可以用控制系统可以用时域设计方法时域设计方法，也可用也可用频域设计方法频域设计方法。应用不同方法时，设计技术指标是以不同形式给出的。通常应用不同方法时，设计技术指标是以不同形式给出的。通常在设计控制系统中，主要的设计指标有：在设计控制系统中，主要的设计指标有：稳定性要求稳定性要求、静静态特性指标态特性指标、动态特性指标动态特性指标等。等。1 1稳定性要
7、求稳定性要求 主要指标：主要指标： 相角裕度相角裕度 幅值裕度幅值裕度h 系统开环频率特性上幅值为系统开环频率特性上幅值为1 1时所对应的角频率称为幅时所对应的角频率称为幅 值穿越频率或截止频率，记为值穿越频率或截止频率，记为c c，即，即定义定义相位裕度相位裕度为为相角裕度相角裕度的含义是，对于闭环稳定系统，如果系统开环相的含义是，对于闭环稳定系统，如果系统开环相频特性再滞后频特性再滞后 度，则系统将处于临界稳定状态。度，则系统将处于临界稳定状态。 1)()()(cccjHjGA)()(1800ccjHjG幅值裕度幅值裕度h h 系统开环频率特性上相位等于系统开环频率特性上相位等于-180-
8、1800 0时所对应的角频率时所对应的角频率称为相位穿越频率，记为称为相位穿越频率，记为x x，即，即定义幅值裕度为定义幅值裕度为幅值裕度幅值裕度h h的含义是，对于闭环稳定系统，如果系统开环幅的含义是，对于闭环稳定系统，如果系统开环幅频特性再增大频特性再增大h h倍，则系统将处于临界稳定状态，复平面中倍，则系统将处于临界稳定状态，复平面中 和和h h 的表示如下张图所示。的表示如下张图所示。对数坐标下，幅值裕度按下式定义：对数坐标下，幅值裕度按下式定义： 0()()180 xxG jH j 1()()xxhG jH j20lg() ()()xxhG jH jdB2.静态特性指标静态特性指标一
9、般有两种方式给定：一般有两种方式给定：v一是对应于一定的输入信号的稳态误差要求一是对应于一定的输入信号的稳态误差要求v二是对应于二是对应于定输入信号的误差系数要求。定输入信号的误差系数要求。3 动态特性指标动态特性指标过渡过程指标过渡过程指标1)超调量超调量 2)延迟时间延迟时间td，3)调节时间调节时间ts，又称过渡过程时间，又称过渡过程时间，4)闭环主导极点位置，即控制系统的阻尼比闭环主导极点位置，即控制系统的阻尼比及自然及自然频率频率n n。频域法指标频域法指标 1)谐振峰值谐振峰值MP，表示系统输出的超调量大小。，表示系统输出的超调量大小。2)峰值谐振频率峰值谐振频率p 3)截止频率截
10、止频率4)带宽带宽b，表示系统动态过程的快速性，表示系统动态过程的快速性带宽定义带宽定义： 1、 闭环时，幅值下降为闭环时，幅值下降为0.707时对应的频率时对应的频率 2、二阶系统以自然频率、二阶系统以自然频率n n为带宽为带宽 3、 波特图设计，以波特图设计，以0db线的穿越频率（剪切线的穿越频率（剪切频率）频率） c c控制系统常用指标控制系统常用指标 t tr r b b对于反馈控制系统，不仅要求快速性对于反馈控制系统，不仅要求快速性,也要求对也要求对干扰和噪声有效抑制干扰和噪声有效抑制,而快速性与精度相矛盾而快速性与精度相矛盾,带宽带宽越大越大, 快速性越好快速性越好, 静态指标越好
11、静态指标越好,但是噪声但是噪声与抑制干扰的能力下降与抑制干扰的能力下降, 一般情况快速性满足一般情况快速性满足基本要求即可基本要求即可. 二、控制系统技术指标的转换二、控制系统技术指标的转换1. 精确度与误差系数精确度与误差系数Kp,Kv,Ka转换转换0000200lim( )lim( )lim( )psVsaskG sksG sks G s 000( )( )lim( )lim1( ) ( )ssR ssE ssG s H s 2. 二阶系统二阶系统与与之间的转换之间的转换 典型二阶系统开环传递函数为典型二阶系统开环传递函数为当当 所以所以)2() 1()()()()(2nnssTssKjH
12、jGsHsG2/ 124214nc2/124214122arctan2arctan90)arg(180arctgGHcnnc242)2(| )()(| )2arctan(90)()(arg(nnnjHjGjHjG1| )()(| ,cccHjG 由于由于在在0.40.8时，时，系统超调量较小并系统超调量较小并且稳定时间也较短，且稳定时间也较短，所以在设计系统时，所以在设计系统时，由图看出，对应由图看出，对应值值一般取一般取y43-70 较合适。较合适。3. 与Mp的关系 开环传递函数开环传递函数 系统开环相频特性可表示为系统开环相频特性可表示为即角度相对与即角度相对与-180度偏移，度偏移，
13、当当=c c时时 ，即为相角裕量即为相角裕量所以开环频率特性可表示为所以开环频率特性可表示为 闭环幅频特性闭环幅频特性()()()( )jG jH jAe 0( )180( ) 0180()()( )( ) cos ( )sin ( )jG jAeAj 222222()1( )1()1/( )cos ( )sin( )AA1 Acos A sin1 2AcosAG jMG jA 一般，在一般，在 的极大值附近，的极大值附近， 变化较小，且使变化较小，且使 为极值的谐振频率为极值的谐振频率 常在常在 附近，即有附近，即有当当 时，时， 为极值，谐振峰值为为极值，谐振峰值为 较小时，上式的近似程度
14、较高。较小时，上式的近似程度较高。( )M( )M( ) rccos ()cos ()cosrc ( )M1( )cos ( )A 11()sin ()sinrrrMM 4、二阶系统频域指标与时域指标的关系二阶系统频域指标与时域指标的关系谐振峰值谐振峰值)707.0(12/12rM)707.0(212nr谐振频率谐振频率带宽频率带宽频率42244221nb截止频率截止频率24241nc相角裕度相角裕度24241 arctg超调量超调量%100%21/e调节时间调节时间nst/5 .3tgtsc/7应用以上公式估算高阶系统时域指标，一般偏保守，应用以上公式估算高阶系统时域指标，一般偏保守，实际性
15、能比估算的结果要好。但在初步设计时，应用实际性能比估算的结果要好。但在初步设计时，应用这组公式便于留有一定余地。这组公式便于留有一定余地。5、高阶系统频域指标与时域指标的关系高阶系统频域指标与时域指标的关系谐振峰值谐振峰值超调量超调量调节时间调节时间sin/1rM)8 . 11 () 1(4 . 016. 0rrMMcsKt/)8 . 11 () 1(5 . 2) 1(5 . 122rrrMMMK第三节第三节 经典理论设计控制系统的方法经典理论设计控制系统的方法 一、控制系统的特性设计一、控制系统的特性设计 对于控制理论而言，对于控制理论而言，控制系统特性设计控制系统特性设计是指是指设计设计一
16、个能满足给定性能一个能满足给定性能(稳定性、响应快速性、稳态精度稳定性、响应快速性、稳态精度等等)指标要求，且在物理上能实现的数学模型指标要求，且在物理上能实现的数学模型。 控制系统一般由控制系统一般由基本部分基本部分和和辅助部分辅助部分两大部分组两大部分组成。成。基本部分基本部分包括包括执行元件执行元件、测量元件测量元件及及放大器放大器等组等组成。在这部分中，除成。在这部分中，除放大增益放大增益可以调节外，其他部分可以调节外，其他部分的结构参数都是不能改变的。如果系统的性能要求不的结构参数都是不能改变的。如果系统的性能要求不高，有时高，有时调节放大器增益调节放大器增益，就可以满足系统性能要求
17、。，就可以满足系统性能要求。但在多数情况下，在控制系统设计过程中，通常引入但在多数情况下，在控制系统设计过程中，通常引入辅助装置辅助装置，称为，称为系统的校正装置系统的校正装置，来改善系统的性能。，来改善系统的性能。 当系统中基本元件、部件选定以后，系统的数学当系统中基本元件、部件选定以后，系统的数学模型有一部分已经确定因此控制系统统的特性设计实模型有一部分已经确定因此控制系统统的特性设计实质上就是质上就是确定系统放大器增益确定系统放大器增益和和校正装置的数学模型校正装置的数学模型。 基于一个控制系统可视为由控制器和被控对象两大基于一个控制系统可视为由控制器和被控对象两大部分组成，当被控对象确
18、定后，对系统的设计实际部分组成，当被控对象确定后，对系统的设计实际上归结为对控制器的设计，这项工作称为对控制系上归结为对控制器的设计，这项工作称为对控制系统的校正。统的校正。输出量串串联联补补偿偿元元件件放放大大元元件件执执行行元元件件被被控控对对象象反反馈馈补补偿偿元元件件测测量量元元件件局部反馈为改善系统性能测量元件被控对象执行元件局部反馈放大元件串联补偿主反馈反馈补偿为改善系统性能输入量输出量二二 、校正方式、校正方式常用的校正方式有两种：常用的校正方式有两种：串联校正串联校正和和并联校正并联校正。v校正装置串联在系统的前向通路中称为串联校正，校正装置串联在系统的前向通路中称为串联校正，
19、 串联校串联校正了减小功率损失，串联校正装置一般故在前向通道的前端，正了减小功率损失，串联校正装置一般故在前向通道的前端，即低功率部分。即低功率部分。 按校正环节的性质划分，串联校正分为按校正环节的性质划分，串联校正分为相位超前校正相位超前校正相位滞后校正相位滞后校正校正装置校正装置)(sR)(sC)(sG)(sH)(sE)(sGc)(sGoY(s)v并联校正：并联校正：反馈校正和顺馈校正反馈校正和顺馈校正校正装校正装置置)(sR)(sC)(sH)(sE)(sGo)(sGcY(s)前馈校正（对扰动的补偿）前馈校正（对扰动的补偿）前馈校正（对给定值处理）前馈校正（对给定值处理）)(sC)(sG)
20、(sN)(sG)(sGcY(s)(sR)(sC)(sG)(sH)(sE)(sG)(sGcY(s)三、串联校正的基本方法三、串联校正的基本方法 (一一)用频率法校正用频率法校正1 改变静态增益改变静态增益K来改善系统动态性能来改善系统动态性能v应用频率法对系统进行校正，其目的是改变系统的频率特性形状，使校正后的系统频率特性具有合适的低频、中频和高频特性以及足够的稳定裕量，从而满足所要求的性能指标。v控制系统中常用的串联校正装置是带有单零点与单极点的滤波器，若其零点比极点更靠近原点，则称之为超前校正，否则称之为滞后校正2. 相位超前校正相位超前校正v设超前校正装置的传递函数为v其频率特性为) 1(
21、j1j1jcTTG）（) 1(11cTsTssG）（(1) 极坐标图v 超前校正装置的极坐标图所示。v当0变化时，Gc(j)的相位角 0，Gc(j)的轨迹为一半圆，由图可得超前校正的最大超前相位角m为v v令v v可得对应于最大相位角m时的频率m为11sin1m0d)(dT1m(2) 对数坐标图v超前校正装置的对数坐标图如图所示。v当 v v v v由此可见，超前校正装置是一个高通滤波器(高频通过，低频被衰减),它主要能使系统的瞬态响应得到显著改善，而稳态精度的提高则较小。越大，微分作用越强，从而超调量和过渡过程时间等也越小。0|j|lg20, 0c）（Glg20|j|lg20,c）（Glg1
22、0|j|lg20,cm）（G 应用应用：一般用于稳态精度基本满足要求，但动态性能较差的：一般用于稳态精度基本满足要求，但动态性能较差的系统。系统。 基本原理基本原理：利用超前网络或：利用超前网络或PDPD控制器的相角超前特性。控制器的相角超前特性。 关键技术关键技术：正确地将超前网络的交接频率：正确地将超前网络的交接频率1/1/T T和和1/T1/T选在待选在待校正系统截止频率的两旁，并适当选择参数校正系统截止频率的两旁，并适当选择参数和和T T ，就可以，就可以使已校正系统的截止频率和相角裕度满足性能指标的要求，使已校正系统的截止频率和相角裕度满足性能指标的要求，从而改善闭环系统的动态性能。
23、从而改善闭环系统的动态性能。 d 利用其相位超前特性，可以增大系统的稳定裕度，提利用其相位超前特性，可以增大系统的稳定裕度，提高动态响应的平稳性和快速性；高动态响应的平稳性和快速性；d 对提高系统稳态精度作用不大，系统抗干扰能力有所对提高系统稳态精度作用不大，系统抗干扰能力有所下降（一般用于稳态精度已基本满足要求，但动态性下降（一般用于稳态精度已基本满足要求，但动态性能差的系统）；能差的系统）；d 若在未校正系统的截止频率附近相位下降迅速，导致若在未校正系统的截止频率附近相位下降迅速，导致单个超前网络的相角超前量不足以补偿到要求的数值单个超前网络的相角超前量不足以补偿到要求的数值时（一般：时（
24、一般： ），若采用两个超），若采用两个超前网络串联，会使系统结构复杂，同时进一步降低了前网络串联，会使系统结构复杂，同时进一步降低了抗干扰能力，此时可考虑采用串联滞后校正或其它校抗干扰能力，此时可考虑采用串联滞后校正或其它校正装置。正装置。6040: 205m串联超前校正的特点：串联超前校正的特点：3 相位滞后校正 应用应用：1)1)对系统响应速度要求不高而抑制噪声电平性能对系统响应速度要求不高而抑制噪声电平性能要求较高的场合；要求较高的场合；2 2）若待校正系统已具备满意的动态若待校正系统已具备满意的动态特性，而稳态性能不满足指标要求，也可采用串联滞后特性，而稳态性能不满足指标要求，也可采用
25、串联滞后校正来提高稳态精度，同时保持其动态特性基本不变。校正来提高稳态精度，同时保持其动态特性基本不变。 基本原理基本原理：利用滞后网络或利用滞后网络或PIPI控制器控制器的高频衰减特性，的高频衰减特性，使已校正系统使已校正系统截止频率下降截止频率下降，从而获得足够的相角裕度。，从而获得足够的相角裕度。因此，因此，。 关键技术关键技术：选择参数：选择参数和和T T 以及校正装置放置的位置以及校正装置放置的位置v设滞后校正装置的传递函数为v其频率特性为) 1(11cTsTssG）（) 1(j1j1(jcTTG）图8-5 滞后校正装置的零极点图jT1T1ov 滞后校正装置的极坐标图如图所示。由图可
26、知，当=0变化时，Gc(j)的相位角0，Gc(j)的根轨迹为一半圆。v同理可求得最大滞后相位角和对应的频率分别为11sin1mT1m（2）对数坐标图v滞后校正装置的对数坐标图如图所示v由此可见，滞后校正装置是一个低通滤波器（低频通过，高频被衰减），且越大，高频衰减越厉害，抗高频干扰性能越好，但使响应速度变慢，故滞后校正能使稳态得到显著提高，但瞬态响应时间却随之而增加，越大，积分作用越强，稳态误差越小。0|lg20, 0c）（jGlg20|lg20,c）（jGlg10|lg20,cm）（jGl滞后校正装置的主要作用是在高频段造成幅值衰减，降低系统的剪切频率，以便能使系统获得充分的相位裕量，但应同
27、时保证系统在新的剪切频率附近的相频特性曲线变化不大。3. 滞后-超前校正方法v1.滞后-超前校正装置的特性v设滞后-超前校正装置的传递函数为v上式等号右边的第一项产生超前网络的作用，而第二项产生滞后网络的作用。) 1,(1111G122211cTTsTsTsTsTs）（(1) 极坐标图2101TTv 滞后-超前校正装置的极坐标图如图所示。v 由图可知，当角频率在00之间变化时, 滞后-超前校正装置起着相位滞后校正的作用；当在0之间变化时,它起着超前校正的作用，对应相位角为零的频率0为（2）对数坐标图v 滞后-超前校正装置的对数坐标图如图所示。从图可清楚看出，当00时滞后-超前校正装置起着相位滞
28、后校正的作用；当0高压运放与高压运放与PZT管看为一个运放管看为一个运放: Kpzt)/()(1TpS1sH探针变形可看作延时环节探针变形可看作延时环节并行并行AFMAFM电子控制系统电子控制系统PIPI分析分析vTp 取探针自由振动周期的5倍 F=71kv实验测出的Kop为0.01289v/nm vPZT系数:17nm/V v高压放大倍数: 15、10、5、 1v积分电容: 105pF RC=2ms，Kpzt=255，不同的比例放大倍数Kp，反馈控制对4nm阶越信号的响应当积分常数RC=1ms时，不同的比例放大倍数，对4nm的台阶的响应 当Kp、Kpzt固定，Kp=12，Kpzt=255时，
29、不同的积分常数，对4nm的台阶，PI系统得响应 当Kp=5，Kpzt=255时，不同的积分常数对应的PI反馈输出响应 当PI环节保持不变，高压运放取不同的放大倍数，对于1nm的台阶，系统的响应 并行并行AFMAFM电子控制系统电子控制系统PIPI分析分析结论：v采样采样10241024点，点，PIPI反馈的响应时间最好在反馈的响应时间最好在0.5ms0.5ms以内以内v比例比例P P、积分、积分I I的参数相互影响的参数相互影响1.1.当当I I一定时，一定时，P P越大，系统地响应越快越大，系统地响应越快2.2.当当KpKp一定时，一定时，I I越小，系统的响应越快越小，系统的响应越快 3.
30、3.当取积分常数为当取积分常数为1ms1ms时，时，P8P8时，系统就可能发生震荡时，系统就可能发生震荡vPIPI固定时，对于相同的样品的形貌，高压放大倍数固定时，对于相同的样品的形貌，高压放大倍数越小，越小，PIPI反馈输出越大，有利于形貌信号的采集，反馈输出越大，有利于形貌信号的采集，提高分辨率，但响应变慢提高分辨率，但响应变慢v10105 5pFpF积分电容，积分电容，100K100K可变电阻来控制积分常数，比可变电阻来控制积分常数，比例电路的放大倍数不超过例电路的放大倍数不超过8 8为宜为宜数据采集及接口数据采集及接口vDA DAS-DA8 DA 输出输出 14bit 1.22mV 0
31、.008nm vAD DA-100L AD 12bit 4.9mv 0.083nmP PI IO O- -D DA A8 8PCI-1002PCIPCIXTip1FlTip1SumBiasZSp2Setpoint1YoffYXoffPC1-3PC13-16Tip1FnTip1ZTip2FlTip2SumTip2FnTip2ZPC4-6PC7-12X扫 描 电 压探 针 1的 摩 擦 力 输 入探 针 1的 信 号 总 强 度 输 入偏 压 ， 为 STM或 者 微 加 工 预 留探 针 1的 Z扫 描 器 电 压探 针 2的 电 压 参 考 值探 针 1的 电 压 参 考 值X扫 描 偏 执
32、电 压XY扫 描 范 围 控 制保 留探 针 1的 正 压 力 输 入探 针 1形 貌 输 入Z扫 描 范 围 控 制马 达 控 制Y扫 描 电 压Y扫 描 偏 执 电 压探 针 2的 摩 擦 力 输 入探 针 2的 信 号 总 强 度 输 入探 针 2的 正 压 力 输 入探 针 2形 貌 输 入计 算 机AFMAFM控制软件控制软件v数据采集与显示、数据采集与显示、后处理和模拟教学后处理和模拟教学 v在线改变采集的速在线改变采集的速度，采集点数，扫度，采集点数，扫描的范围、位置、描的范围、位置、工作点、扫描方式工作点、扫描方式等信息等信息 v实现马达的逼近实现马达的逼近/远远离、获得力曲线
33、及离、获得力曲线及力曲线标定等功能。力曲线标定等功能。v能够同时采集能够同时采集16种种数据，并能够选择数据，并能够选择四种实时处理方法四种实时处理方法对数据进行处理，对数据进行处理，实时显示其中的实时显示其中的9 9种种数据图像或数据图像或16个扫个扫描曲线描曲线(示波器模式示波器模式) 用户界面数据层抽象层硬件层PIO-DA8卡PCI-1002卡PIO-DA8卡类PCI-1002卡类参数设置显示参数类操作数据类显示控制执行层主线程线程类动作请求消息应应用用层层物物理理层层AFMAFM控制软件控制软件- -主线程主线程初始化主线程类启动主线程判断行动指令(Switch(This()-GetAction ()连续马达后退单步马达逼近调整光斑位置从顶端开始扫描单步马达后退最优马达逼近单行扫描数据采集连续马达逼近空闲状态线程结束012345678从中间开始扫描做力曲线从底端开始扫描做力标定扫描参数改变10111213914线程运行标志=0进入循环while（标志=0）退出扫描/采样程序YNAFMAFM控制软件控制软件主显示窗口多频道显示窗口位置选择逼近及对光斑力标定力曲线工具栏参数、控制栏状态显示及监控设计效果800nm800nm探针1获得软盘的表面形貌图。左图为前扫描，右图为后扫描图。扫描的面积4.0m4.0m
