1、沈 阳 工 业 大 学湿度传感器沈 阳 工 业 大 学课程内容课程内容1 湿度表示方法湿度表示方法2 湿敏传感器分类湿敏传感器分类3 湿度传感器的主要参数湿度传感器的主要参数4 几种常用测量湿度方法几种常用测量湿度方法5 半导体陶瓷湿敏元件半导体陶瓷湿敏元件6 元素半导体湿敏元件元素半导体湿敏元件7 半导体结型和半导体结型和MOS型湿敏元件型湿敏元件8.高分子湿度传感器高分子湿度传感器9 湿敏传感器的应用湿敏传感器的应用10 典型湿度传感器典型湿度传感器沈 阳 工 业 大 学1 湿度表示方法湿度表示方法 在某一温度下，其水蒸气压同其饱和蒸气压的百分比。在某一温度下，其水蒸气压同其饱和蒸气压的百
2、分比。 相对湿度相对湿度%100sppRH单位体积内单位体积内,空气里所含水蒸气的质量。空气里所含水蒸气的质量。 绝对湿度绝对湿度Vmv 当空气的温度下降到某一特定温度当空气的温度下降到某一特定温度,空气中的水蒸气将向液相转化空气中的水蒸气将向液相转化而凝结成露珠而凝结成露珠,相对湿度为相对湿度为100RH，简称露点。，简称露点。如果露点温度低于如果露点温度低于0时时,水蒸气将结霜水蒸气将结霜,统称为露点。统称为露点。 露点温度露点温度 霜点温度霜点温度湿度：湿度： 大气中含有水蒸气的多少大气中含有水蒸气的多少,表明大气的干湿程度。表明大气的干湿程度。常表示为常表示为%RH；道尔顿部分压力定律
3、：在常温常压下，一定体积混合气体的压力，等道尔顿部分压力定律：在常温常压下，一定体积混合气体的压力，等于其各组成成分分别单独在相同体积内产生的部分压力之和。于其各组成成分分别单独在相同体积内产生的部分压力之和。沈 阳 工 业 大 学毛发式、干湿球式、陶瓷式、有机高分子式、半导体式和电解质式等。毛发式、干湿球式、陶瓷式、有机高分子式、半导体式和电解质式等。2 湿敏传感器分类湿敏传感器分类电阻式、电容式和频率式等；电阻式、电容式和频率式等； 按探测功能按探测功能相对湿度、绝对湿度、结露和多功能式四种；相对湿度、绝对湿度、结露和多功能式四种； 按材料按材料 按湿敏元件输出的电学量按湿敏元件输出的电学
4、量沈 阳 工 业 大 学干干球球温温度度计计湿湿球球温温度度计计刻度盘刻度盘纱布纱布水槽水槽2 湿敏传感器分类湿敏传感器分类干湿球式湿度计干湿球式湿度计沈 阳 工 业 大 学2 湿敏传感器分类湿敏传感器分类干湿球式湿度计干湿球式湿度计 利用水蒸发要吸热降温，而蒸发的快慢（即降温的多少）是和当时空气的相对湿度有关。 原理原理沈 阳 工 业 大 学3 湿度传感器的主要参数湿度传感器的主要参数A 湿度量程湿度量程B 感湿特征量感湿特征量C 感湿灵敏度感湿灵敏度D 特征量温度系数特征量温度系数100121TRRR100121TCCC电容温度系数电容温度系数(%/)=电阻温度系数电阻温度系数(%/)=T
5、温度温度25与另一规定环境温度之差；与另一规定环境温度之差；E 感湿温度系数感湿温度系数THH21感湿温度系数感湿温度系数(%RH/)=T温度温度25与另一规定环境温度之差；与另一规定环境温度之差；低湿型（低湿型（0.5%RH-30%RH） 中湿型（中湿型（30%RH-70%RH）高湿型（高湿型（70%RH-100%RH） 全湿型（全湿型（0-100%RH）例：例：R1%/ R20%沈 阳 工 业 大 学)e1 (KKt-tF 响应时间响应时间G 湿滞回线和湿滞回差湿滞回线和湿滞回差I 频率特性频率特性 加直流电压，会引起湿敏元件的感湿体内水加直流电压，会引起湿敏元件的感湿体内水分子电解，致使
6、其电导率随时间的延长而下降。分子电解，致使其电导率随时间的延长而下降。故采用交流电压。故采用交流电压。注：通常脱湿响应时间大于吸湿相应时间；注：通常脱湿响应时间大于吸湿相应时间；H 电压特性电压特性 高湿时，频率影响较小；低湿高频时，频率增加，元件阻值下降，高湿时，频率影响较小；低湿高频时，频率增加，元件阻值下降，上上限频率通常由实验决定限频率通常由实验决定；为；为防止水解防止水解，频率通常大于，频率通常大于50Hz。3 湿度传感器的主要参数湿度传感器的主要参数沈 阳 工 业 大 学4 几种常用测量湿度方法几种常用测量湿度方法 用纤维素与约用纤维素与约 50微米厚金属箔粘合在微米厚金属箔粘合在
7、一起，卷成螺旋状构成；适用范围一起，卷成螺旋状构成；适用范围: 30%100%RH。 毛发湿度计毛发湿度计 电子式温湿度计电子式温湿度计干湿球式干湿球式温湿度计温湿度计沈 阳 工 业 大 学5电解质湿度传感器电解质湿度传感器R感湿膜梳状梳状柱状柱状氯化锂湿度电阻特性曲线 吸附脱附157.06.56.05.55.04.54.0405060708090相对湿度 / %RH电阻值的对数 /利用吸湿性盐类潮解，离子导电率发生变化而制成的测湿元件。 原理原理沈 阳 工 业 大 学水分子结构示意图水分子结构示意图6 半导体陶瓷湿敏元件半导体陶瓷湿敏元件 材料材料金属氧化物半导体陶瓷金属氧化物半导体陶瓷 类
8、型类型烧结型、厚膜型和薄膜型烧结型、厚膜型和薄膜型 感湿机理感湿机理A 电子导电理论电子导电理论B 质子导电理论质子导电理论C 电子电子-质子混合导电理论质子混合导电理论陶瓷湿敏元件利用其表面多孔性吸湿导电。陶瓷湿敏元件利用其表面多孔性吸湿导电。 特点特点测湿范围宽，工作温度高，响应时间短、精度高；测湿范围宽，工作温度高，响应时间短、精度高； 水分子特点水分子特点 极性分子，电子云趋向于氧原子，氢极性分子，电子云趋向于氧原子，氢原子附近有很强的正电场，水分子具有很原子附近有很强的正电场，水分子具有很强的电子亲和力。强的电子亲和力。沈 阳 工 业 大 学6 半导体陶瓷湿敏元件半导体陶瓷湿敏元件感
9、湿机理感湿机理A 电子导电理论电子导电理论实质：用能带理论来解释多孔陶瓷的感湿机理。实质：用能带理论来解释多孔陶瓷的感湿机理。 表面能级表面能级表面受主态能级表面受主态能级表面施主态能级表面施主态能级成对出现成对出现本征表面态本征表面态 P型金属氧化物半导体型金属氧化物半导体(a)未吸附水分子时未吸附水分子时(b)吸附水分子后吸附水分子后P型半导体陶瓷表面能态型半导体陶瓷表面能态 水分子在晶粒表面吸附，在价水分子在晶粒表面吸附，在价带上方产生新的能级，相对湿度增带上方产生新的能级，相对湿度增大时，表面吸附的水增多，增加了大时，表面吸附的水增多，增加了表面受主密度。表面空穴的浓度随表面受主密度。
10、表面空穴的浓度随相对湿度的增大而不断增大，使表相对湿度的增大而不断增大，使表面电阻明显下降，引起感湿陶瓷的面电阻明显下降，引起感湿陶瓷的电阻下降。电阻下降。沈 阳 工 业 大 学6 半导体陶瓷湿敏元件半导体陶瓷湿敏元件感湿机理感湿机理A 电子导电理论电子导电理论 N型金属氧化物半导体型金属氧化物半导体AEiBA 过程：过程：正感湿过程。正感湿过程。B 过程：过程： 随着相对湿度，界面积累的空穴浓度将超过导带中原有电子随着相对湿度，界面积累的空穴浓度将超过导带中原有电子浓度，出现反型层，界面电阻率下降，呈现负感湿特性。浓度，出现反型层，界面电阻率下降，呈现负感湿特性。沈 阳 工 业 大 学B 质
11、子导电理论质子导电理论6 半导体陶瓷湿敏元件半导体陶瓷湿敏元件感湿机理感湿机理-32OHOHO2HC 电子电子-质子混合导电理论质子混合导电理论 化学吸附产生电场促进物化学吸附产生电场促进物理吸附水的分解，其电荷输运理吸附水的分解，其电荷输运是通过一个质子附载在水分子是通过一个质子附载在水分子上形成水合氢离子进行的，表上形成水合氢离子进行的，表现为负感湿特性。现为负感湿特性。 在任何湿度下，陶瓷湿敏元件同时存在有电子导电和质子导电。在任何湿度下，陶瓷湿敏元件同时存在有电子导电和质子导电。低湿情况低湿情况下，则以电子导电为主。高湿情况下，则以质子导电为主。中等湿度情况，下，则以电子导电为主。高湿
12、情况下，则以质子导电为主。中等湿度情况，则是电子导电和质子导电的过渡区域。则是电子导电和质子导电的过渡区域。沈 阳 工 业 大 学6.1 MgCr2O4-TiO2陶瓷湿敏元件结构陶瓷湿敏元件结构6 半导体陶瓷湿敏元件半导体陶瓷湿敏元件以不同的金属氧化物为原料，通过典型的陶瓷工艺烧制而成。以不同的金属氧化物为原料，通过典型的陶瓷工艺烧制而成。陶瓷湿敏元件结构图陶瓷湿敏元件结构图金隔漏环金隔漏环感湿陶瓷感湿陶瓷多孔多孔RuO2电极电极加热器加热器陶瓷基板陶瓷基板电极引线电极引线（Pt-Ir）沈 阳 工 业 大 学RH0eRR6.2 MgCr2O4-TiO2湿敏元件特性（国产湿敏元件特性（国产SM-
13、1型）型）6 半导体陶瓷湿敏元件半导体陶瓷湿敏元件 阻阻-湿特性湿特性 响应时间响应时间吸湿和脱湿响应时间约为吸湿和脱湿响应时间约为10s； 加热清洗特性加热清洗特性 气敏特性气敏特性 MgCr2O4-TiO2半导体陶瓷材料为多孔性结构，工作温度低于半导体陶瓷材料为多孔性结构，工作温度低于150 时，良好感湿特性；时，良好感湿特性；300-550时，丧失对水蒸汽敏感特性，对多种时，丧失对水蒸汽敏感特性，对多种气体敏感，例如乙醇。气体敏感，例如乙醇。沈 阳 工 业 大 学6.2 MgCr2O4-TiO2湿敏元件特性（国产湿敏元件特性（国产SM-1型）型）6 半导体陶瓷湿敏元件半导体陶瓷湿敏元件日
14、本松下公司日本松下公司MgCr2O4-TiO2系多功能传感器典型特性系多功能传感器典型特性沈 阳 工 业 大 学6.3 MgCr2O4-TiO2湿敏元件工艺湿敏元件工艺6 半导体陶瓷湿敏元件半导体陶瓷湿敏元件 材料制备材料制备配比：配比：MgO:Cr2O3:TiO2=70:70:30 (摩尔分数摩尔分数)。配好原料放入球磨罐中进行球磨。干燥、过筛配好原料放入球磨罐中进行球磨。干燥、过筛后，制成粒径合适的粉料。后，制成粒径合适的粉料。 成型成型 在加工好的粉料中加入有机粘合剂，搅拌在加工好的粉料中加入有机粘合剂，搅拌均匀后，装入模具内，经压力机加压成型。均匀后，装入模具内，经压力机加压成型。 烧
15、成烧成从室温升到从室温升到300左右，适当保温一段时间，把粘合剂从陶瓷胚体中排出，防左右，适当保温一段时间，把粘合剂从陶瓷胚体中排出，防止高温烧结时粘合剂燃烧出现裂纹。然后升温，在止高温烧结时粘合剂燃烧出现裂纹。然后升温，在1300 下保温下保温2-4h。 电极制作电极制作 选用选用Ru（钌）（钌）O2，RuO2材料方块电阻小（热膨胀系数相当、附着力好，材料方块电阻小（热膨胀系数相当、附着力好，化学性能稳定），化学性能稳定），RuO2电极具有多孔性，允许水分子通过电极到达陶瓷表面。电极具有多孔性，允许水分子通过电极到达陶瓷表面。 (5)安置加热器安置加热器沈 阳 工 业 大 学 6.4 ZrO
16、2厚膜陶瓷湿敏元件厚膜陶瓷湿敏元件6 半导体陶瓷湿敏元件半导体陶瓷湿敏元件 厚膜陶瓷感湿机理厚膜陶瓷感湿机理 由于物理吸附的水，在湿敏感湿层的表面上进行解离而产生质子，实由于物理吸附的水，在湿敏感湿层的表面上进行解离而产生质子，实际是质子导电。际是质子导电。 元件的结构元件的结构 工艺工艺ZrO2-Y2O3的固溶体简称的固溶体简称YSZ钇 沈 阳 工 业 大 学ZrO2厚膜湿敏元件的特性厚膜湿敏元件的特性6 半导体陶瓷湿敏元件半导体陶瓷湿敏元件 湿度、温度特性湿度、温度特性 在低湿度时在低湿度时 ，温度对阻，温度对阻-湿特性影响较大。湿特性影响较大。在相对湿度不变的情况下，随温度的上升，阻在相
17、对湿度不变的情况下，随温度的上升，阻值减小，呈现出值减小，呈现出NTC热敏电阻特性。热敏电阻特性。 响应特性响应特性 湿度从湿度从84%RH变化到变化到53% RH时响应速度时响应速度要慢些，即脱湿过程慢。在室温下吸湿时间为要慢些，即脱湿过程慢。在室温下吸湿时间为20 s，脱湿时间约为，脱湿时间约为1min。沈 阳 工 业 大 学6.5 多孔多孔Al2O3湿敏元件湿敏元件片状、棒状、针状片状、棒状、针状 类型类型6 半导体陶瓷湿敏元件半导体陶瓷湿敏元件片状多孔片状多孔Al2O3湿敏元件结构湿敏元件结构电极引线电极引线电极引线电极引线上电极（上电极（Au）多孔多孔Al2O3膜区膜区致密致密Al2
18、O3膜区膜区下电极下电极 元件结构元件结构元件核心：元件核心：具有感湿特性的多孔具有感湿特性的多孔Al2O3膜；膜；工艺：工艺：采用阳极氧化法制备；采用阳极氧化法制备；沈 阳 工 业 大 学222122222212220PRRCf4)RR(RCCC感湿机理感湿机理6 半导体陶瓷湿敏元件半导体陶瓷湿敏元件222122222212221222210pRRCf4)RR(RRCRRR1R1剖面图剖面图等效电路等效电路2210011111CjRRCjRZ等效电路阻抗：等效电路阻抗：可得：可得：沈 阳 工 业 大 学 多孔多孔Al2O3湿敏元件的特性参数湿敏元件的特性参数6 半导体陶瓷湿敏元件半导体陶瓷湿
19、敏元件(1)感湿特性感湿特性膜厚度对其感湿特性的影响。膜厚度对其感湿特性的影响。总结：总结： 对以对以Cp为感湿特征量的元件，厚度越小，越好；为感湿特征量的元件，厚度越小，越好；沈 阳 工 业 大 学 多孔多孔Al2O3湿敏元件的特性参数湿敏元件的特性参数6 半导体陶瓷湿敏元件半导体陶瓷湿敏元件(1)感湿特性感湿特性膜厚度对其感湿特性的影响。膜厚度对其感湿特性的影响。总结：总结： 对以对以Rp为感湿特征量的元件，厚度越大，有利于提高灵敏度；为感湿特征量的元件，厚度越大，有利于提高灵敏度；沈 阳 工 业 大 学测量绝对湿度的感湿特性曲线测量绝对湿度的感湿特性曲线Cp值越大，值越大，Cp随露点温度
20、变化越明显，元件灵敏度越高。随露点温度变化越明显，元件灵敏度越高。CAeCBTp6半导体陶瓷湿敏元件半导体陶瓷湿敏元件 多孔多孔Al2O3湿敏元件的特性参数湿敏元件的特性参数函数关系：函数关系： 响应时间响应时间环境温度越高，通气流速越大，响应时间越短；环境温度越高，通气流速越大，响应时间越短； 湿滞特性湿滞特性 阳极氧化时生成的多孔阳极氧化时生成的多孔Al2O3有多个解理面，易于产生裂纹，以致在该处易于聚集有多个解理面，易于产生裂纹，以致在该处易于聚集水分而成缓慢的扩散源。气孔孔型不规则，分布不均匀，外电极上有机物的玷污，过厚水分而成缓慢的扩散源。气孔孔型不规则，分布不均匀，外电极上有机物的
21、玷污，过厚的外电极金属膜以及过大的感湿面积等，都是湿滞的原因。的外电极金属膜以及过大的感湿面积等，都是湿滞的原因。沈 阳 工 业 大 学7 元素半导体湿敏元件元素半导体湿敏元件 材料材料 原理原理用用Ge，Si或或C等薄膜制成的；等薄膜制成的；当环境温度发生变化时，水分子的吸附将改变晶粒的表面态的占据情当环境温度发生变化时，水分子的吸附将改变晶粒的表面态的占据情况，以及影响晶粒界面的势垒高度，有效的改变薄膜的电阻。况，以及影响晶粒界面的势垒高度，有效的改变薄膜的电阻。 硅（硅（Si）烧结型湿敏元件）烧结型湿敏元件在在Al2O3基片上，烧结一对金电极，涂覆一层基片上，烧结一对金电极，涂覆一层Si
22、湿敏材料。湿敏材料。结结 构构感湿特性曲线感湿特性曲线沈 阳 工 业 大 学 湿敏二极管湿敏二极管8 半导体结型和半导体结型和MOS型湿敏元件型湿敏元件结结 构构I-V曲线曲线表面态能级填充引表面态能级填充引起肖特基势垒变化。起肖特基势垒变化。沈 阳 工 业 大 学 湿敏湿敏MOSFET （MOSFET）的栅极上涂覆一层感湿薄膜，再在感湿薄膜上增设一个金）的栅极上涂覆一层感湿薄膜，再在感湿薄膜上增设一个金属电极构成。属电极构成。8半导体结型和半导体结型和MOS型湿敏元件型湿敏元件 湿敏湿敏MOSFET是是N沟道耗尽型，在栅沟道耗尽型，在栅压为零时，有沟道存在，工作时，无需外压为零时，有沟道存在
23、，工作时，无需外加栅压。加栅压。沈 阳 工 业 大 学 利用有机高分子材料吸湿性与胀缩性。某些高分子电介质吸湿后，介电常利用有机高分子材料吸湿性与胀缩性。某些高分子电介质吸湿后，介电常数明显改变，制成数明显改变，制成电容式湿度传感器电容式湿度传感器；某些高分子电解质吸湿后，电阻明显变；某些高分子电解质吸湿后，电阻明显变化，制成化，制成电阻式湿度传感器电阻式湿度传感器；利用胀缩性高分子（如树脂）材料和导电粒子，；利用胀缩性高分子（如树脂）材料和导电粒子，在吸湿之后的开关特性，制成在吸湿之后的开关特性，制成结露传感器结露传感器。 9.高分子湿度传感器高分子湿度传感器 原理原理 高分子薄膜电介质电容
24、式湿度传感器的结构高分子薄膜电介质电容式湿度传感器的结构高分子薄膜高分子薄膜上部电极上部电极下部电极下部电极沈 阳 工 业 大 学相对湿度相对湿度/%050100200250300350电容电容湿度特性湿度特性C/pF（f=1.5MHZ） 传感器的电容量变化很大传感器的电容量变化很大, , 线性度欠佳线性度欠佳, ,可外可外接转换电路接转换电路, , 电容电容湿度特性趋于理想直线。湿度特性趋于理想直线。 传感器特性传感器特性（1）电容）电容湿度特性湿度特性9.高分子湿度传感器高分子湿度传感器（2）响应特性）响应特性 高分子薄膜可以做得极薄，吸湿响应时间都高分子薄膜可以做得极薄，吸湿响应时间都很
25、短，一般都小于很短，一般都小于5s，有的响应时间仅为，有的响应时间仅为1s。（3）电容一温度特性）电容一温度特性 电容式高分子膜湿度传感器的感湿特性受温度影响非常小，在电容式高分子膜湿度传感器的感湿特性受温度影响非常小，在550范围内范围内,电容温度系数约为电容温度系数约为0.06RH/。 沈 阳 工 业 大 学 电阻式高分子膜湿度传感器电阻式高分子膜湿度传感器（1）聚苯乙烯磺酸锂湿度传感器）聚苯乙烯磺酸锂湿度传感器梳状电极梳状电极引线端引线端感湿膜感湿膜基片基片9.高分子湿度传感器高分子湿度传感器（2）电阻）电阻湿度特性湿度特性1K30405060708090吸湿吸湿10K100K1M10M
26、相对湿度相对湿度/%R/脱湿脱湿3%R3%RH H电阻电阻湿度特性湿度特性沈 阳 工 业 大 学 聚苯乙烯磺酸锂的电导率随温度的变化较为明显，具有负温度系数。在聚苯乙烯磺酸锂的电导率随温度的变化较为明显，具有负温度系数。在( (055)时，温度系数为时，温度系数为(0.61. .0) )RH/。 040201046080100505010102103聚苯乙烯磺酸锂湿度传感器的湿度特性聚苯乙烯磺酸锂湿度传感器的湿度特性254040R R/相对湿度相对湿度/%/%（3）温度特性）温度特性 电阻式高分子膜湿度传感器电阻式高分子膜湿度传感器9.高分子湿度传感器高分子湿度传感器沈 阳 工 业 大 学10
27、 湿敏传感器的应用湿敏传感器的应用10.1 湿敏元件的标定湿敏元件的标定 结构简单结构简单 ，费用少，操作方便，费用少，操作方便，精度较高，但湿度是不连续的。精度较高，但湿度是不连续的。 饱和盐溶液法（湿度固定点法）饱和盐溶液法（湿度固定点法）特点特点: 将饱和盐水溶液置于封闭的容器中，在给定的温度将饱和盐水溶液置于封闭的容器中，在给定的温度下，盐溶液达到饱和时，其平衡蒸汽压也将恒定。下，盐溶液达到饱和时，其平衡蒸汽压也将恒定。沈 阳 工 业 大 学)%(%100RHeetst特点特点: 双温法双温法相对湿度相对湿度:10.1 湿敏元件的标定湿敏元件的标定10 湿敏传感器的应用湿敏传感器的应用
28、 气体通过具有一定温度的饱和槽，使其成为饱和气体，饱和槽气体通过具有一定温度的饱和槽，使其成为饱和气体，饱和槽的饱和水蒸气压为的饱和水蒸气压为et，再将气体通入比饱和槽温度高的试验槽，试，再将气体通入比饱和槽温度高的试验槽，试验槽温度对应的饱和水蒸气压为验槽温度对应的饱和水蒸气压为ets。 装置简单，难于精确控制温度，精度低。装置简单，难于精确控制温度，精度低。沈 阳 工 业 大 学 将被压缩的干燥气体通入一定温度下的饱和槽内，使之变成饱和气体，饱将被压缩的干燥气体通入一定温度下的饱和槽内，使之变成饱和气体，饱和槽的气体压力为和槽的气体压力为Ps，再将这种饱和气体膨胀到同一温度下的试验槽中，由
29、于，再将这种饱和气体膨胀到同一温度下的试验槽中，由于压缩气体的膨胀，气体变成了非饱和的气体，若试验槽内的气体压力为压缩气体的膨胀，气体变成了非饱和的气体，若试验槽内的气体压力为Pt。)%(%100RHppst因高、低湿时气体膨胀情形不一样，对调整压力精度的技术要求高。因高、低湿时气体膨胀情形不一样，对调整压力精度的技术要求高。 特点特点: 双压法双压法(压缩膨胀法压缩膨胀法)相对湿度相对湿度:10.1 湿敏元件的标定湿敏元件的标定10 湿敏传感器的应用湿敏传感器的应用沈 阳 工 业 大 学AH-TB0eRR 10.2 湿敏元件的温度补偿湿敏元件的温度补偿 半导体陶瓷湿敏元件半导体陶瓷湿敏元件
30、（NTC）特性）特性电阻温度系数（电阻温度系数（TCR）：）：电阻湿度系数（电阻湿度系数（HCR）：）：2TBTRR1TCRAHRR1HCR对于负温度系数湿敏元件，温度补偿方法在测试探头回路中串联正温度系数元件。对于负温度系数湿敏元件，温度补偿方法在测试探头回路中串联正温度系数元件。BpTpTBnneReRRpnTCRTCR2TBnBp 设设Rn=Rp，要使，要使R不随温度变化，必须使不随温度变化，必须使10 湿敏传感器的应用湿敏传感器的应用湿度温度系数2ATBTH湿度系数温度系数沈 阳 工 业 大 学 无源线性变化无源线性变化RcRRRcRbRRRbRbRRRbRaRRRa2RbRcRa2R
31、cRaRbRcRaRbR10.3 线性化线性化并联电阻并联电阻满足关系：满足关系：优点：简单、方便；优点：简单、方便；缺点：牺牲灵敏度。缺点：牺牲灵敏度。10 湿敏传感器的应用湿敏传感器的应用沈 阳 工 业 大 学 有源线性变化有源线性变化u0usRRIESsbeRIuqKTVlnESsRIuqKTuln010.3 线性化线性化RuIs（1）KTqVESEbeeII（2）beVu0（5）（3）（6）KTqVESsbeeIRu（4）10 湿敏传感器的应用湿敏传感器的应用沈 阳 工 业 大 学A2A1A3A4A5A6+_湿敏元件R1R2R3R4R5R6RTUSCC1C2C3WD1振荡器放大电路传感器驱动电路整流电路对数温补电路 湿度传感器测量电路10 湿敏传感器的应用湿敏传感器的应用沈 阳 工 业 大 学瑞士Sensiron公司电容相对湿度传感器数字温湿度传感器(DHT9X)Honeywell电容式湿度传感器11 典型湿度传感器沈 阳 工 业 大 学电容湿度传感器电容湿度传感器(SMTHS07)高精度湿度传感器高精度湿度传感器湿度传感器湿度传感器HS1101 11 典型湿度传感器典型湿度传感器
