1、2022-8-6计量人员培训教材计量人员培训教材计量人员培训教材计量人员培训教材第一节第一节 w 一、一、：二、二、：评定方法及评定原则：评定方法及评定原则 三、三、粗糙度参数粗糙度参数 四、规程四、规程计量人员培训教材第一节第一节w 一、比较测量一、比较测量w 表面粗糙度比较样块表面粗糙度比较样块(以下简称样块以下简称样块)是用来检查制件表面粗糙是用来检查制件表面粗糙度的一种工作量具。其使用方法是以样块工作面的表面粗糙度为标度的一种工作量具。其使用方法是以样块工作面的表面粗糙度为标准，凭触觉准，凭触觉(如指甲如指甲)、视觉、视觉(可借助于放大镜、比较显微镜可借助于放大镜、比较显微镜)与被检与
2、被检制件表面进行比较，从而判断制件表面粗糙度是否合乎要求。制件表面进行比较，从而判断制件表面粗糙度是否合乎要求。w 在进行比较时，所用的样块和被检制件的加工方法应该相同，在进行比较时，所用的样块和被检制件的加工方法应该相同，同时样块的材料、形状、表面色泽等也应尽可能与被检制件一致。同时样块的材料、形状、表面色泽等也应尽可能与被检制件一致。判断的准则是根据制件加工痕迹的深浅来决定表面粗糙度是否符合判断的准则是根据制件加工痕迹的深浅来决定表面粗糙度是否符合图纸图纸(或工艺或工艺)要求。当被检制件的加工痕迹深浅不超过样块工作面要求。当被检制件的加工痕迹深浅不超过样块工作面加工痕迹深度时，则被检制件的
3、表面粗糙度一般不超过样块的标称加工痕迹深度时，则被检制件的表面粗糙度一般不超过样块的标称值。值。计量人员培训教材第一节第一节w 一、比较测量一、比较测量w 表面粗糙度比较样板、比较的注意事项计量人员培训教材第一节第一节w 一、比较测量一、比较测量l表面粗糙度比较样板、比较的注意事项 比较样板的加工方法与被测的加工方法相同比较样板的加工方法与被测的加工方法相同 比较样板的参数值与被测的参数值接近比较样板的参数值与被测的参数值接近w 校准表面粗糙度比较样块时，需要计算出。校准表面粗糙度比较样块时，需要计算出。w 1、Ra的平均值的平均值w 2、平均值对标称值的偏移量、平均值对标称值的偏移量w 3、
4、平均值的标准偏差、平均值的标准偏差计量人员培训教材第一节第一节二、光切法测量计量人员培训教材第一节第一节计量人员培训教材第一节第一节 图 6-12 水平线对准方法 图6-13 光切显微镜外观结构计量人员培训教材第一节第一节 三、干涉法测量三、干涉法测量 图6-17光干涉法测量原理L光源：T被测表面：R参考镜：BS分光镜O物镜：V观测方向w a图单目镜双光束干涉显微镜，中分光镜在目镜和被测表面之间，目镜与被测表面之间的距离大，所以其数值孔径和放大倍数都不能大，分辨率较低，难于测量粗糙度值小的表面。计量人员培训教材第一节第一节 三、干涉法测量三、干涉法测量 图6-17光干涉法测量原理L光源：T被测
5、表面：R参考镜：BS分光镜O物镜：V观测方向w 图b为双物镜双光束干涉显微镜，由于分光镜放在物镜和目镜之间，物镜与被测表面之间的距离可以很小，从而物镜的数值孔径大、倍率高，分辨率高，适于测量粗糙度值小的表面。计量人员培训教材第一节第一节 三、干涉法测量三、干涉法测量 使用干涉显微镜测量表面粗糙度，调整干涉条纹及在高精度测量时，干涉光的颜色有白光、红色光、橙色光、绿色光，应尽量选用绿色光 计量人员培训教材第一节第一节 由光波干涉原理可知：在等厚干涉的条件下用一平晶与被测工件表面成一定的楔角，那么就可以得到明暗相间的干涉条纹，而相邻暗条纹对应的空气层的厚度变化h为：式中：为光波波长。当楔角变小时，
6、条纹变宽、变疏，反之变窄、变密。但不论条纹变宽变窄，相邻两暗条纹对应的厚度变化不变，计量人员培训教材第一节第一节 显然当被测表面是理想的平面时，任一干涉条纹都呈一条直线，而且相互平行。如果表面有凹凸不平，如图所示的被测表面有一凹槽，那么干涉条纹也呈现相应的弯曲。此时凹槽深度可由干涉条纹凹入深度a和相邻二暗条纹的间距b的比值来确定，即计量人员培训教材第一节第一节 在干涉显微镜中所得到在干涉显微镜中所得到的干涉条纹图像，其垂直放的干涉条纹图像，其垂直放大倍率是大倍率是可随意调整改变。可随意调整改变。这个放大被率不是仪器这个放大被率不是仪器物镜的倍率、改变不了仪器物镜的倍率、改变不了仪器的分辨率。的
7、分辨率。用干涉显微镜测量球形用干涉显微镜测量球形表面粗糙度时，干涉图像中表面粗糙度时，干涉图像中的条纹间距不相等，这是由的条纹间距不相等，这是由于于光程差造成光程差造成计量人员培训教材第一节第一节使用干涉显微镜测量使用干涉显微镜测量表面粗糙度，调整表面粗糙度，调整干涉条纹及在高精干涉条纹及在高精度测量时，干涉光度测量时，干涉光的颜色有白光、红的颜色有白光、红色光、橙色光、绿色光、橙色光、绿色光，应尽量选用色光，应尽量选用绿色光绿色光 计量人员培训教材第一节第一节w 四、触针扫描测量计量人员培训教材第一节第一节w 接触式测量接触式测量测量方向测量方向(X)测头摆动测头摆动(Z)数据间隔数据间隔(
8、X)w 粗糙度仪传感器触针的针尖圆锥角有粗糙度仪传感器触针的针尖圆锥角有60 、90 计量人员培训教材第一节第一节w传感器的工作原理传感器的工作原理 电感式传感器测头测杆刀口支点铁芯线圈线圈计量人员培训教材第一节第一节w传感器的工作原理传感器的工作原理测头测杆压电晶体压电式传感器计量人员培训教材第一节第一节w传感器的工作原理传感器的工作原理激光器激光器光电二极光电二极管管测头测杆激光式传感器计量人员培训教材第一节第一节w 传感器的工作原理传感器的工作原理 残余轮廓：通过测量一个理想的光滑表面平晶而获残余轮廓：通过测量一个理想的光滑表面平晶而获得的原始轮廓得的原始轮廓 虚假轮廓是由导向基准的偏差
9、，外部和内部的干扰虚假轮廓是由导向基准的偏差，外部和内部的干扰以及轮廓传输中的偏差组成的，没有专用设备和适合的以及轮廓传输中的偏差组成的，没有专用设备和适合的环境一般不能确定这些偏差的原因环境一般不能确定这些偏差的原因 静测力的变化静测力的变化:针尖上下垂直移动时针尖上下垂直移动时,测量力的变化测量力的变化.静测力的变化率静测力的变化率触针针尖半径为触针针尖半径为2 m传感器触针静态测量力传感器触针静态测量力0.0075N计量人员培训教材第二节、第二节、某一零件的某一表面图纸上规定的是某一零件的某一表面图纸上规定的是某种形状（如平面、球面、柱面等）的几何某种形状（如平面、球面、柱面等）的几何表
10、面，但加工后的实际表面与几何表面相比表面，但加工后的实际表面与几何表面相比存在着几何形状误差，如图存在着几何形状误差，如图a所示。可以把所示。可以把实际表面相对理想几何表面的几何形状误差实际表面相对理想几何表面的几何形状误差按峰谷起伏大小和节距大小分为表面粗糙度按峰谷起伏大小和节距大小分为表面粗糙度、波度和宏观形状误差。表面粗糙度是指由、波度和宏观形状误差。表面粗糙度是指由加工方法在加工表面所产生的微观形状误差加工方法在加工表面所产生的微观形状误差，也称微观不平度，如图，也称微观不平度，如图b所所 示。波度是指表面峰谷起伏中间距较宽并呈现出周期性的成分。示。波度是指表面峰谷起伏中间距较宽并呈现
11、出周期性的成分。如图如图c所示。波度是由机床或工件的偏摆，振动等造成的。宏观形所示。波度是由机床或工件的偏摆，振动等造成的。宏观形状误差是指除粗糙度和波度之外的与理想几何表面的偏差，如图状误差是指除粗糙度和波度之外的与理想几何表面的偏差，如图d所示。零件上的不平度，不直度，不圆度等就是此类误差。所示。零件上的不平度，不直度，不圆度等就是此类误差。计量人员培训教材第二节、第二节、1、中线中线 粗糙度的基准：中线，具有几何轮廓形状并划分轮廓的基准线粗糙度的基准：中线，具有几何轮廓形状并划分轮廓的基准线 最小二乘中线是具有几何最小二乘中线是具有几何轮廓形状并划分轮廓的基准线轮廓形状并划分轮廓的基准线
12、，是指在取样长度内使轮廓线，是指在取样长度内使轮廓线上各点到该中线的距离上各点到该中线的距离Yi（称（称为轮廓偏距）的平方和为最小为轮廓偏距）的平方和为最小。计量人员培训教材第二节、第二节、1、中线中线 算数平均中线：算术平均中算数平均中线：算术平均中线是具有几何轮廓形状在取样长线是具有几何轮廓形状在取样长度内与轮廓走向一致的基准线。度内与轮廓走向一致的基准线。在取样长度内由该线划分轮廓使在取样长度内由该线划分轮廓使上、下两边的面积相等。上、下两边的面积相等。计量人员培训教材第二节、第二节、2、取样长度、取样长度 取样长度：取样长度：取样长度是用于判别具有表面粗糙度特征的一段基取样长度是用于判
13、别具有表面粗糙度特征的一段基准线长度。准线长度。规定和选择这段长是为了限制和减弱表面波度对表面粗规定和选择这段长是为了限制和减弱表面波度对表面粗糙度测量结果的影响。糙度测量结果的影响。0.08mm、0.25mm、0.8mm、2.5mm、8mm、25mm 在测量时不予考虑。由于表面的粗糙度不同，表面的微观轮廓在测量时不予考虑。由于表面的粗糙度不同，表面的微观轮廓峰谷起伏高度和节距不同，表面越粗糙，节距就越大。为了正确评峰谷起伏高度和节距不同，表面越粗糙，节距就越大。为了正确评定表面粗糙度，取样长度的选取应保证包括定表面粗糙度，取样长度的选取应保证包括5个以上的表面微观起个以上的表面微观起伏的峰谷
14、伏的峰谷。另外取样长度的选取要和被测表面的轮廓走向一致。另外取样长度的选取要和被测表面的轮廓走向一致 计量人员培训教材第二节、第二节、非周期性粗糙度轮廓的测量程序非周期性粗糙度轮廓的测量程序对于具有非周期粗糙度轮廓的表面应遵循下列步骤进行测量对于具有非周期粗糙度轮廓的表面应遵循下列步骤进行测量 1）待求的粗糙度轮廓参数）待求的粗糙度轮廓参数Ra、Rz、Rz1 max或或Rsm的数值，择优选用以下的数值，择优选用以下手段，例如：目测，用粗糙度比较样块、全轮廓轨迹的图解分析等方法来手段，例如：目测，用粗糙度比较样块、全轮廓轨迹的图解分析等方法来估计。估计。2）利用）利用1）中估计的）中估计的Ra、
15、Rz、Rz1 max或或Rsm的数值，按表的数值，按表1、表、表2或表或表3预预选取样长度选取样长度 3）利用测量仪器按中）利用测量仪器按中2）预选的取样长度，完成）预选的取样长度，完成Ra、Rz、Rz1或或Rsm的一的一次典型的测量。次典型的测量。4）将测得的）将测得的Ra、Rz、Rz1 max或或Rsm的数值和表的数值和表1、表、表2或表或表3中预先取样中预先取样长度所对应的长度所对应的Ra、Rz、Rz1或或Rsm的数值范围相比较。的数值范围相比较。如果测得值超出了预选取样长度对应的数值范围，则应按测得值指示的取如果测得值超出了预选取样长度对应的数值范围，则应按测得值指示的取样长度来设定，
16、即把仪器调整至相应的较高或较低的取样长度。然后应用样长度来设定，即把仪器调整至相应的较高或较低的取样长度。然后应用这一调定的取样长度测得一组典型数值，并再次与表这一调定的取样长度测得一组典型数值，并再次与表1、表、表2或表或表3中数值相中数值相比比.此时测得值应达到由表此时测得值应达到由表1、表、表2或表或表3建议的测得值和取样长度的组合。建议的测得值和取样长度的组合。计量人员培训教材第二节、第二节、5）如果以前在）如果以前在4）步骤评定时没有采用过更短的取样长度，则把）步骤评定时没有采用过更短的取样长度，则把取样长度调至更短些获得一组取样长度调至更短些获得一组Ra、Rz、Rz1 max或或R
17、sm的数值，检查的数值，检查所得到的所得到的Ra、Rz、Rz1或或Rsm的数值和取样长度的组合是否亦满足表的数值和取样长度的组合是否亦满足表1、表、表2或表或表3的规定的规定.6）只要）只要4）步骤中最后的设定与表）步骤中最后的设定与表1、表、表2或表或表3相符合，则设定的相符合，则设定的取样长度和取样长度和Ra、Rz、Rz1或或Rsm的数值二者是正确的。如果的数值二者是正确的。如果5）步骤）步骤也产生一个满足表也产生一个满足表1、表、表2或表或表3规定的组合，则这个较短的取样长规定的组合，则这个较短的取样长度设定值和相对应的度设定值和相对应的Ra、Rz、Rz1或或Rsm的数值是正确的。的数值
18、是正确的。7）运用上述步骤中预选出的截止波长取样长度完成一次典型的要）运用上述步骤中预选出的截止波长取样长度完成一次典型的要求的参数的测量。求的参数的测量。计量人员培训教材第二节、第二节、周期性粗糙度轮廓的测量程序周期性粗糙度轮廓的测量程序对于具有周期性粗糙度轮廓的表面应采用下述步骤进行测量对于具有周期性粗糙度轮廓的表面应采用下述步骤进行测量1）用图解法估计待求粗糙度的表面参数）用图解法估计待求粗糙度的表面参数Rsm的数。的数。2）按估计）按估计Rsm的数值由表的数值由表3确定推荐的取样长度作为截止波长值。确定推荐的取样长度作为截止波长值。3）必要时，如在有争议的情况下，利用由）必要时，如在有
19、争议的情况下，利用由2）选定的截止波长值测量）选定的截止波长值测量Rsm值值。4）如果按照）如果按照3）步骤相应的）步骤相应的Rsm值由表值由表3查出的取样长度比查出的取样长度比2）步骤的较小或）步骤的较小或较大则应采用这较小或较大的取样长度值作为截止波长值。较大则应采用这较小或较大的取样长度值作为截止波长值。5）用上述步骤中预选的截止波长（取样长度）完成一次典型的要求的参数的）用上述步骤中预选的截止波长（取样长度）完成一次典型的要求的参数的测量测量计量人员培训教材第二节、第二节、表1 测量Ra值的取样长度计量人员培训教材第二节、第二节、计量人员培训教材第二节、第二节、计量人员培训教材第二节、
20、第二节、2、评定长度、评定长度：由于被测表面微观峰谷起伏的不均匀性，只在一个取样长由于被测表面微观峰谷起伏的不均匀性，只在一个取样长度内测量和评定表面粗糙度往往不能充分反映被测表面的实际度内测量和评定表面粗糙度往往不能充分反映被测表面的实际粗糙程度，因此规定在测量时，要连续取若干个取样长度，在粗糙程度，因此规定在测量时，要连续取若干个取样长度，在每个取样长度上分别测量和评定粗糙度数值，然后取平均值作每个取样长度上分别测量和评定粗糙度数值，然后取平均值作为结果。这若干个连续取样长度之和即为评定长度为结果。这若干个连续取样长度之和即为评定长度ln。国标中规。国标中规定一个评定长度一般包含定一个评定
21、长度一般包含5个取样长度，即个取样长度，即ln=5l。评定长度是。评定长度是5倍的取样长度倍的取样长度w 均匀性好，小于均匀性好，小于5。均匀性不好，大于。均匀性不好，大于5。计量人员培训教材第二节、第二节、3、测量长度：、测量长度：测量长度是测量长度是7倍的取样长度倍的取样长度 去除测量速度变化对粗糙度测量的影响去除测量速度变化对粗糙度测量的影响计量人员培训教材第二节、第二节、2、滤波、滤波 ISO 2CR-第第1、2个取样长度舍弃个取样长度舍弃 2CR PC-第第1个和最后一个取样长度舍弃个和最后一个取样长度舍弃Gaussian-第第1个半个和最后一个半个取样长度舍个半个和最后一个半个取样
22、长度舍弃弃计量人员培训教材第二节、第二节、2、参数的分类：、参数的分类：原始轮廓参数原始轮廓参数 P参数参数粗糙度参数粗糙度参数 R参数参数波度参数波度参数 W参数参数 s、c、f 波纹度轮廓是对原始轮廓连续应用f和c两个滤波器以后形成的轮廓计量人员培训教材第二节、第二节、计量人员培训教材w 3、评定基准、评定基准w 3.1、算数平均中线：、算数平均中线：具有几何轮廓形状在取样长度内与轮廓具有几何轮廓形状在取样长度内与轮廓走向一致的基准线。在取样长度内由该线划分轮廓，使上下两边的走向一致的基准线。在取样长度内由该线划分轮廓，使上下两边的面积等。面积等。”以上所表述的基准线称为轮廓的算数平均中线
23、。以上所表述的基准线称为轮廓的算数平均中线。w 3.2、最小二乘中线：具有几何轮廓形状在取样长度内与轮廓、最小二乘中线：具有几何轮廓形状在取样长度内与轮廓走向一致的基准线。在取样长度内由该线划分轮廓，使曲线上各点走向一致的基准线。在取样长度内由该线划分轮廓，使曲线上各点到该线距离的平方和最小。到该线距离的平方和最小。”以上所表述的基准线称为轮廓的最小以上所表述的基准线称为轮廓的最小二乘中线。二乘中线。w 用以评定表面粗糙度参数值的基准线轮廓中线，对于所有粗糙度参用以评定表面粗糙度参数值的基准线轮廓中线，对于所有粗糙度参数（包括间距参数等）的评定都有作用。数（包括间距参数等）的评定都有作用。第二
24、节、第二节、计量人员培训教材w 4.1、算数平均值、算数平均值Ra：Ra是普遍公认的，最常用的粗糙度的国际参是普遍公认的，最常用的粗糙度的国际参数。它是轮廓偏离平均线的算术平均。数。它是轮廓偏离平均线的算术平均。第三节、第三节、粗糙度参数粗糙度参数计量人员培训教材w 4.2、Rz 粗糙度最大峰谷高度：粗糙度最大峰谷高度：Rz定义了在轮廓取样长度内的最定义了在轮廓取样长度内的最大峰谷高度。大峰谷高度。(例如，例如，在取样长度在取样长度内最高的峰和最深的谷间的距内最高的峰和最深的谷间的距离。离。)第三节、第三节、粗糙度参数粗糙度参数计量人员培训教材w 4.3、Rt 粗糙度最大高度粗糙度最大高度：R
25、t定义了在轮廓评价长度内的最大峰定义了在轮廓评价长度内的最大峰谷高度。谷高度。(例如，例如，在评定长度内在评定长度内最高的峰和最深的谷间的距离。最高的峰和最深的谷间的距离。)。第三节、第三节、粗糙度参数粗糙度参数计量人员培训教材w 4.4、Rsm 粗糙度轮廓微观不平度的平均宽度粗糙度轮廓微观不平度的平均宽度：w 轮廓微观不平度的平均间距轮廓微观不平度的平均间距Sm w 该参数是该参数是在取样长度内在取样长度内，轮廓微观不平度的间距的平均值之间距。，轮廓微观不平度的间距的平均值之间距。w 轮廓微观不平度指相邻的一个峰和一个谷的一段中线长度。轮廓微观不平度指相邻的一个峰和一个谷的一段中线长度。w
26、定义该参数的一般形式是定义该参数的一般形式是:Rsm是在取样长度内轮廓轮廓微观不平是在取样长度内轮廓轮廓微观不平度之间的间距的平均值。度之间的间距的平均值。注：对参数注：对参数PSm、RSm、WSm需要需要辨别高度和间距，若未另外规定，省辨别高度和间距，若未另外规定，省略标注的高度分辨力分别为略标注的高度分辨力分别为Pz、Rz、Wz的的10%，省略标注的间距分辨力为，省略标注的间距分辨力为取样长度的取样长度的1%，上述两个条件都应，上述两个条件都应满足满足.第三节、第三节、粗糙度参数粗糙度参数计量人员培训教材w 4.5、Rs 粗糙度单峰的平均间距：粗糙度单峰的平均间距：w 轮廓单峰平均间距轮廓
27、单峰平均间距S w Rs是在测量的是在测量的取样长度内，取样长度内，轮廓单峰间距的平均值。轮廓单峰间距的平均值。一个局部峰是在两个相邻最一个局部峰是在两个相邻最小间的测量轮廓的最高部分，如小间的测量轮廓的最高部分，如果在峰和前面最小值间的高度至果在峰和前面最小值间的高度至少是轮廓所有的峰谷距的少是轮廓所有的峰谷距的1%，则，则包括该局部峰。包括该局部峰。第三节、第三节、粗糙度参数粗糙度参数计量人员培训教材w 4.6、Rmr 粗糙度材料比曲线（轮廓支撑曲线）：粗糙度材料比曲线（轮廓支撑曲线）：w Rmr是材料比（也称作承受比）参数，它是是材料比（也称作承受比）参数，它是承受表面承受表面（表示为（
28、表示为评定评定长度长度的百分比）长度的测量，在此，轮廓的峰被一条平行于轮廓平的百分比）长度的测量，在此，轮廓的峰被一条平行于轮廓平均线的直线所切割。均线的直线所切割。w 定义定义承受表面承受表面的直线可以被设置在最高峰以下的深度或在轮廓平均的直线可以被设置在最高峰以下的深度或在轮廓平均线之上或之下的距离。当这条直线设置在轮廓最深的谷时，则线之上或之下的距离。当这条直线设置在轮廓最深的谷时，则Rmr是是100%，因为这时所有的轮廓在该承受线之上。，因为这时所有的轮廓在该承受线之上。w 作为选择，如果一些应用需要一个特殊的承受比，那么它可决定峰作为选择，如果一些应用需要一个特殊的承受比，那么它可决
29、定峰顶被削掉得到的深度值顶被削掉得到的深度值第三节、第三节、粗糙度参数粗糙度参数计量人员培训教材w 轮廓材料比曲线的解释轮廓材料比曲线的解释w 通过绘出材料比值通过绘出材料比值(mr)相对在相对在0%和和100%之间限制的最高轮廓峰（之间限制的最高轮廓峰（或从平均线的距离）以下深度的图形，然后就可得到材料比曲线。或从平均线的距离）以下深度的图形，然后就可得到材料比曲线。该曲线表示了轮廓表面的材料比与深度的函数关系。该曲线表示了轮廓表面的材料比与深度的函数关系。w 在所选深度下，画出与中心线平行的承受线的曲线图，就可决定材在所选深度下，画出与中心线平行的承受线的曲线图，就可决定材料比，然后测量截
30、取轮廓的长度。料比，然后测量截取轮廓的长度。w 通过绘出轮廓深度范围的材料比曲线，就可看出材料比值随深度变通过绘出轮廓深度范围的材料比曲线，就可看出材料比值随深度变化的情形，并提供一个区别轮廓不同形状的方法。化的情形，并提供一个区别轮廓不同形状的方法。第三节、第三节、粗糙度参数粗糙度参数计量人员培训教材第三节、第三节、粗糙度参数粗糙度参数计量人员培训教材w 4.6、Rp 粗糙度最大轮廓峰高粗糙度最大轮廓峰高：w Rp是在取样长度内，在平均线以上的轮廓的最大高度是在取样长度内，在平均线以上的轮廓的最大高度。第三节、第三节、粗糙度参数粗糙度参数计量人员培训教材w 4.7、Rv 粗糙度最大轮廓深度粗
31、糙度最大轮廓深度w Rv是在取样长度内，平均线以下的轮廓的最大深度是在取样长度内，平均线以下的轮廓的最大深度。第三节、第三节、粗糙度参数粗糙度参数计量人员培训教材w 4.8、Rq 均方根粗糙度：均方根粗糙度：w Rq是在取样长度内，轮廓偏离平均线的均方根值，它是对应于是在取样长度内，轮廓偏离平均线的均方根值，它是对应于Ra的均方根的均方根(rms)参数参数。第三节、第三节、粗糙度参数粗糙度参数计量人员培训教材w 4.9、Rz(JIS)十点高度参数：十点高度参数：w 该参数也称为该参数也称为ISO十点高度参数。它是在取样长度内，五个最高的十点高度参数。它是在取样长度内，五个最高的峰和五个最深的谷
32、之间的平均高度差。峰和五个最深的谷之间的平均高度差。第三节、第三节、粗糙度参数粗糙度参数Rz(JIS)仅在粗糙度轮廓中被计量。计量人员培训教材第四节、规程、校准规范第四节、规程、校准规范w 一、表面粗糙度比较样块技术要求w 1、表面粗糙度参数Ra值 样块工作面的表面粗糙度用轮廓算术平均偏差Ra参数来评定。样块Ra的系列标称值列于附录A。样块校准所得的Ra值对其标称值的偏差不应超过+12%17%的范围(具体数值范围参见附录B)。w 2、Ra值的标准偏差 样块工作面校准所得Ra值的分散性(样块加工的均匀性)用标准偏差来评定。对各类加工方法的标准偏差的最大允许值参见表1 校准粗糙度比较样块示值时对仪
33、器的要求：相对示值误差不超过士5%的触针式表面粗糙度测量仪。计量人员培训教材第四节、规程、校准规范第四节、规程、校准规范计量人员培训教材第四节、规程、校准规范第四节、规程、校准规范二、表面粗糙度比较样块测量方法 校准粗糙度比较样块示值时对仪器的要求：相对示值误差不超过士5%的触针式表面粗糙度测量仪。1、样块工作面的表面粗糙度 校准方法:用触针式仪器进行测量。程序如下:1）、根据样块标记的加工方法和Ra标称值，按表1中的规定选取取样长度(即仪器的截止波长c)。2）、根据所选的取样长度（l）选定评定长度（ln），除取样长度与评定长度相匹配的仪器以外，一般取ln.=5l。3）、依次在样块均匀分布10
34、个位置上进行测量，将测得的Ra值取平均值，作为校准结果。计量人员培训教材第四节、规程、校准规范第四节、规程、校准规范计量人员培训教材第四节、规程、校准规范第四节、规程、校准规范2、Ra值的标准偏差标准偏差的计算公式如下:计量人员培训教材第四节、规程、校准规范第四节、规程、校准规范计量人员培训教材第四节、规程、校准规范第四节、规程、校准规范计量人员培训教材第四节、规程、校准规范第四节、规程、校准规范w 二、触针式表面粗糙度测量仪校准规范 w 触针式表面粗糙度测量仪(以下简称触针式仪器)一般由传感器、驱动器、电子信号处理装置、计算机、打印机等组成。其工作原理是:仪器的驱动器带动传感器沿被测表面作匀
35、速滑行，传感器通过锐利触针感受被测表面的几何形状变化，并转换成电信号。该信号经放大和处理，再转换成数字信号贮存在计算机系统的存贮器中。计算机对此原始轮廓进行数字滤波，分离出表面粗糙度并计算其参数。测量结果可由显示器输出，也可由打印机输出。w 20世纪 50年代至80年代初生产的触针式仪器带有指示表和记录器，这种模拟式仪器可由指示表读出测量结果，记录仪输出表面轮廓。计量人员培训教材第四节、规程、校准规范第四节、规程、校准规范 感器的不同原理，触针式仪器可分为电感式、压电式、光电式、激光式和光栅式等，还可分为有导头式和无导头式。导头式仪器仅限用于测量表面粗糙度，而无导头式仪器除可用于测量表面粗糙度
36、外，还可用于测量表面波纹度和表面几何形状。根据仪器的结构、外形、重量和使用方法，触针式仪器分台式和便携式两种。计量人员培训教材第四节、规程、校准规范第四节、规程、校准规范一、技术要求1、传感器触针1）针尖圆弧半径及角度 针尖半径:(2士0.5)m,(5士1)m、(10土2.5)m 圆锥角度:或 注:棱锥形针尖半径与角度要求同上。2）静态测量力及其变化率 传感器触针静态测量力及其变化率不超过表的规定。计量人员培训教材第四节、规程、校准规范第四节、规程、校准规范w 2 传感器导头w 1）导头压力w 导头压力范围:0.15N0.3Nw 2）导头工作面粗糙度w 导头的工作表面不应有波纹、划痕、毛刺等疵
37、病，其粗糙度Rz:不超过0.1m。w 3）导头端部半径w 传感器导头端部半径不小于40mm。如果使用两个同时工作的导头，其半径应该不小于标称截止波长的8倍。w 注:对于特种曲面传感器，其导头端部半径，应参照仪器的技术指标。计量人员培训教材第四节、规程、校准规范第四节、规程、校准规范3、驱动传感器滑行运动的直线度 对于使用导头的仪器，任意20mm行程，不超过0.4m 对于不使用导头的仪器或无导头式仪器，不超过(0.4十L/500)m。其中L(mm)为驱动器最大行程。4、残余轮廓 残余轮廓(虚假轮廓)是由导向基准的偏差、外部与内部的干扰、以及轮廓传输中的偏差组成的，又称虚假信号。残余轮廓Ra的允许
38、误差限见表25、示值误差6、示值重复性7、示值稳定性计量人员培训教材第四节、规程、校准规范第四节、规程、校准规范计量人员培训教材二、校准方法二、校准方法1 传感器触针针尖圆弧半径及角度传感器触针针尖圆弧半径及角度 首次校准的用扫描电镜或首次校准的用扫描电镜或400倍以上显微镜测量。后续倍以上显微镜测量。后续校准的用校准的用200倍以上显微镜检查针尖有无损坏，必要时倍以上显微镜检查针尖有无损坏，必要时可用可用400倍以上显微镜或刀刃法测量。倍以上显微镜或刀刃法测量。2 传感器触针静态测量力及其变化率传感器触针静态测量力及其变化率 2.1 静态测量力静态测量力 将触针针尖轻轻地压在电子天平上将触针
39、针尖轻轻地压在电子天平上(对于导头式仪器，对于导头式仪器，导头应悬空导头应悬空)，调整传感器的高低位置，使传感器触针，调整传感器的高低位置，使传感器触针位移显示指向零位。读出电子天平的示值，再乘以重力位移显示指向零位。读出电子天平的示值，再乘以重力加速度加速度g，即为触针静态测量力。，即为触针静态测量力。第四节、规程、校准规范第四节、规程、校准规范计量人员培训教材第四节、规程、校准规范第四节、规程、校准规范2.2 静态测量力变化率 选用仪器最大量程，调整传感器的高低位置，当针尖在上下两个极限位置时，分别读出电子天平的示值。计算两示值与重力加速度乘积，即得上下两极限位置静态测量力。用下式计算静态
40、测量力的变化率:式中:F1、F2 上下两极限位置静态测量力，N；F0 工作点的静态测量力，N；h1、h2 上下两极限位置偏离工作点的距离，m 1、2 静态测量力的变化率，N/m计量人员培训教材第四节、规程、校准规范第四节、规程、校准规范3、传感器导头压力 将传感器导头压在测力装置上，并使传感器处于水平位置。读出电子天平的示值，再乘以重力加速度g，即为导头压力。4 传感器导头工作面粗糙度 传感器导头工作面粗糙度用干涉显微镜测量，外观用20倍放大镜观察。5 传感器导头端部半径 传感器导头端部半径用半径样板或投影仪比较测定。6 驱动传感器滑行运动的直线度 在一级平晶工作表面上扫描滑行，从轮廓曲线图上
41、确定滑行运动的直线度。计量人员培训教材第四节、规程、校准规范第四节、规程、校准规范7 残余轮廓 选用仪器最小量程和最大放大倍数，对一级平晶进行测量，读取Ra值。8 示值误差 用一组多刻线粗糙度标准样板，在相应量程和取样长度分别对其进行测量。在样板工作区域内的三个不同位置上各测量3次，取其平均值按下式计算仪器的相对示值误差:计量人员培训教材第四节、规程、校准规范第四节、规程、校准规范9 示值重复性 在小量程高放大倍数条件下，选用一块相应的多刻线标准样板，在样板某一固定位置测量10次，其最大值与最小值之差对测量平均值的百分比为示值重复性。10 示值稳定性 在小量程高放大倍数条件下，选用一块相应的多
42、刻线标准样板，在一固定位置上每小时按9要求测量一次，共测4次。4h后，再按8要求测量一次。计量人员培训教材第四节、规程、校准规范第四节、规程、校准规范计量人员培训教材第四节、规程、校准规范第四节、规程、校准规范计量人员培训教材第四节、规程、校准规范第四节、规程、校准规范计量人员培训教材w 25.触针式表面粗糙度仪，探针测量表面时，探针提取的表面信触针式表面粗糙度仪，探针测量表面时，探针提取的表面信号有：号有：w 波度信号波度信号w 粗糙度信号粗糙度信号w 干涉显微镜测微目镜在任意一周内的示值误差不超过0.005mm。w 校准表面粗糙度比较样块时，对表面粗糙度仪的要求是相对示值误差不超过5%。w
43、 校准表面粗糙度比较样块时，计算Ra值的标准偏差不应超过其要求，如果略有超差，重新选择测量位置，重新进行计算。w 光切显微镜测微目镜在全程内的示值误差不超过0.01mm。四、四、粗糙度参数粗糙度参数计量人员培训教材w 在干涉显微镜中所得到的干涉条纹图像，其垂直放大倍率是（在干涉显微镜中所得到的干涉条纹图像，其垂直放大倍率是（）。）。w 可随意调整改变可随意调整改变w 用干涉显微镜测量球形表面粗糙度时，干涉图像中的条纹间距不相用干涉显微镜测量球形表面粗糙度时，干涉图像中的条纹间距不相等，这是由于（等，这是由于（）。）。w 光程差造成光程差造成四、四、粗糙度参数粗糙度参数计量人员培训教材w检定光切
44、显微镜示值误差时，若被检仪器检定光切显微镜示值误差时，若被检仪器有四组物镜，应该对（四组）物镜进行检有四组物镜，应该对（四组）物镜进行检定。定。w触针式仪器示值变动性的检定，应对某一触针式仪器示值变动性的检定，应对某一多刻线样板在（均匀分布的三个位置上多刻线样板在（均匀分布的三个位置上 ）测量）测量10次，取其最大于最小值之差对测次，取其最大于最小值之差对测量平均值的百分比来计算。量平均值的百分比来计算。四、四、粗糙度参数粗糙度参数计量人员培训教材w在粗糙度测量仪器中，改变放大倍数，（在粗糙度测量仪器中，改变放大倍数，（不改变轮廓的形状，但对测量结果有影响不改变轮廓的形状，但对测量结果有影响）。）。w在触针式粗糙度测量仪器中，静态测量力在触针式粗糙度测量仪器中，静态测量力是针尖（在零位电子天平的读数）乘以重是针尖（在零位电子天平的读数）乘以重力加速度。力加速度。四、四、粗糙度参数粗糙度参数2022-8-6计量人员培训教材
