1、天津理工大学纳米材料与技术研究中心 我国古代用光滑的陶瓷在蜡烛火焰的上方收集烟雾，经我国古代用光滑的陶瓷在蜡烛火焰的上方收集烟雾，经冷凝后变成很细的纳米碳粉，用这种超细碳粉做成的墨具有冷凝后变成很细的纳米碳粉，用这种超细碳粉做成的墨具有良好的性能，这是一种制备纳米材料的最简单方法。良好的性能，这是一种制备纳米材料的最简单方法。第三章：纳米材料合成方法概述第三章：纳米材料合成方法概述纳米材料制备途径纳米材料制备途径从小到大从小到大:原子原子团簇团簇纳米颗粒纳米颗粒从大到小从大到小:固体固体微米颗粒微米颗粒纳米颗粒纳米颗粒通常可通过两大的途径得到纳米材料：通常可通过两大的途径得到纳米材料：天津理工
2、大学纳米材料与技术研究中心按有无发生反应按有无发生反应目前纳米材料制备常采用的方法目前纳米材料制备常采用的方法:天津理工大学纳米材料与技术研究中心(按物态分类按物态分类)气相法气相法液相法液相法固相法固相法蒸发蒸发-冷凝法冷凝法化学气相反应法化学气相反应法溶胶溶胶-凝胶法凝胶法沉淀法沉淀法喷雾法喷雾法非晶晶化法非晶晶化法机械粉碎机械粉碎(高能球磨高能球磨)法法固态反应法固态反应法天津理工大学纳米材料与技术研究中心主要介绍以下三类纳米结构的制备方法主要介绍以下三类纳米结构的制备方法零维纳米材料的制备方法，如纳米颗粒等。零维纳米材料的制备方法，如纳米颗粒等。一维纳米材料的制备方法，如纳米线等。一维
3、纳米材料的制备方法，如纳米线等。二二维纳米材料的制备方法，如纳米薄膜等。维纳米材料的制备方法，如纳米薄膜等。天津理工大学纳米材料与技术研究中心零维纳米材料的制备方法零维纳米材料的制备方法固相合成法固相合成法气相合成法气相合成法液相合成法液相合成法天津理工大学纳米材料与技术研究中心高能球磨法制备纳米材料高能球磨法制备纳米材料滚动球磨滚动球磨搅拌球磨搅拌球磨振动球磨振动球磨高能球磨法已成功地制备出以下几类纳米晶材料高能球磨法已成功地制备出以下几类纳米晶材料:纳米晶纯金纳米晶纯金属、固溶体、纳米金属间化合物及纳米金属属、固溶体、纳米金属间化合物及纳米金属-陶瓷粉复合材料。陶瓷粉复合材料。液态金属液态
4、金属非晶条带非晶条带热处理热处理固相法制备纳米材料固相法制备纳米材料 非晶晶化法非晶晶化法该法采用该法采用快速凝固法将液态金属制备非晶快速凝固法将液态金属制备非晶条带条带,再将非晶条带再将非晶条带经过热处理使其晶化获经过热处理使其晶化获得纳米晶条带得纳米晶条带的方法。的方法。特点特点工艺较简单工艺较简单,化学成分准确。化学成分准确。非晶晶化法制备的非晶晶化法制备的纳米材料的塑性对粒径纳米材料的塑性对粒径十分敏感十分敏感，只有粒径很小时，塑性较，只有粒径很小时，塑性较好否则材料变得很脆。因此，对于某些好否则材料变得很脆。因此，对于某些成核激活能很小，晶粒长大激活能大的非成核激活能很小，晶粒长大激
5、活能大的非晶合金采用非晶晶化法，才能获得塑性较晶合金采用非晶晶化法，才能获得塑性较好的纳米晶合金。好的纳米晶合金。天津理工大学纳米材料与技术研究中心高高 温温 燃燃 烧烧 合合 成成 法法 利用外部提供的能量利用外部提供的能量诱发高放热反应诱发高放热反应，体系局部发生反应，体系局部发生反应形成反应前沿形成反应前沿(燃烧波燃烧波)，化学反应在自身放出热量的支持下快化学反应在自身放出热量的支持下快速进行，燃烧波蔓延整个体系速进行，燃烧波蔓延整个体系。反应热使前驱物快速分解，导。反应热使前驱物快速分解，导致大量气体放出，避免了前驱物因熔融而粘连，体系在瞬间达致大量气体放出，避免了前驱物因熔融而粘连，
6、体系在瞬间达到几千度的高温，可使挥发性杂质蒸发除去。到几千度的高温，可使挥发性杂质蒸发除去。例如：以硝酸盐和有机燃料经氧化还原反应制备掺例如：以硝酸盐和有机燃料经氧化还原反应制备掺Y的的ZrO2粒子；采用钛粉坯在粒子；采用钛粉坯在N2中燃烧，获得的高温来点燃镁中燃烧，获得的高温来点燃镁粉坯合成出粉坯合成出Mg3N2。构筑法的一个例子构筑法的一个例子分子束外延分子束外延该方法是在低压的该方法是在低压的ArAr、HeHe等惰性气体中加热等惰性气体中加热蒸发源蒸发源，使其蒸发汽化使其蒸发汽化,然后在气体介质中冷凝后形成然后在气体介质中冷凝后形成5-100 5-100 nmnm的纳米微粒。通过在纯净的
7、惰性气体中的蒸发和冷的纳米微粒。通过在纯净的惰性气体中的蒸发和冷凝过程获得较干净的纳米粉体。凝过程获得较干净的纳米粉体。蒸蒸 发发 -冷冷 凝凝 法法根据加热根据加热蒸发源的方式不同可分为：蒸发源的方式不同可分为：电阻加热法、高频感应电阻加热法、高频感应法、溅射法、混合等离子法、流动液面真空蒸镀法等。法、溅射法、混合等离子法、流动液面真空蒸镀法等。天津理工大学纳米材料与技术研究中心惰性气体原位加压法是由 Gleiter 等人提出的，已成功地制备了Fe、Cu、Au、Pd 等纳米金属块体材料惰性气体原位加压法液氮液氮蒸发源蒸发源漏斗漏斗蒸发源蒸发源真空泵真空泵隋性气体隋性气体真空室真空室惰性气体原
8、位加压法示意图惰性气体原位加压法示意图该法是制粉和成形一步完成。该法是制粉和成形一步完成。包括：包括：(1)制备纳米颗粒；制备纳米颗粒；(2)颗粒收集；和颗粒收集；和 (3)压制成块体压制成块体等三步。等三步。在高真空中采用电子束加热来蒸在高真空中采用电子束加热来蒸发金属原子，在流动的油面内形发金属原子，在流动的油面内形成纳米粒子，产品为含有大量纳成纳米粒子，产品为含有大量纳米微粒的糊状油。米微粒的糊状油。流流 动动 液液 面面 真真 空空 蒸蒸 镀镀 法法此方法的优点此方法的优点：可制备Ag、AuPd、Cu、Fe、Ni、Co、Al、In等纳米颗粒，平均粒径约3nm，而用惰性气体蒸发法很难获得
9、这样小的微粒；粒径均匀分布窄；纳米颗粒分散地分布在油中。粒径的尺寸可控。天津理工大学纳米材料与技术研究中心 溅溅 射射 法法 用两块金属板分别作为阳极、用两块金属板分别作为阳极、阴极，阴极，阴极为蒸发用的材料阴极为蒸发用的材料，两电极间充入两电极间充入Ar气，两极间气，两极间辉光放电形成的辉光放电形成的Ar+在电场的在电场的作用下冲击阴极靶材表面，作用下冲击阴极靶材表面，使靶材原子从其表面蒸发并使靶材原子从其表面蒸发并沉积下来形成纳米粒子。沉积下来形成纳米粒子。可制备多种纳米金属（包括可制备多种纳米金属（包括高熔点和低熔点金属）及多高熔点和低熔点金属）及多组元的化合物纳米微粒组元的化合物纳米微
10、粒天津理工大学纳米材料与技术研究中心激光诱导化学气相沉积激光诱导化学气相沉积(LICVD)往捕集装置往捕集装置反应焰反应焰激光束激光束反应气体反应气体氩气氩气激光挡板激光挡板 (LICVD)法制备纳米材料是法制备纳米材料是近几年兴起的。该法利用反应近几年兴起的。该法利用反应气体分子气体分子(或光敏剂分子或光敏剂分子)对特对特定波长激光束的吸收，引起反定波长激光束的吸收，引起反应气体分子应气体分子激光光解激光光解、激光热激光热解解、激光光敏化激光光敏化和和激光诱导化激光诱导化学反应学反应，通过激光束照在反应，通过激光束照在反应气体上形成反应焰，经反应在气体上形成反应焰，经反应在火焰中形成纳米微粒
11、，由氩气火焰中形成纳米微粒，由氩气携带进入上方微粒捕集装置。携带进入上方微粒捕集装置。天津理工大学纳米材料与技术研究中心特点特点:该法具有清洁表面、粒子大小可精确控制、无粘结、粒该法具有清洁表面、粒子大小可精确控制、无粘结、粒度分布均匀等优点，并容易制备出几纳米至几十纳米的度分布均匀等优点，并容易制备出几纳米至几十纳米的非晶态或晶态纳米微粒。非晶态或晶态纳米微粒。激光辐照硅烷气体激光辐照硅烷气体 分子分子(SiH4)时硅烷分子很容易热解时硅烷分子很容易热解热解生成的气体硅热解生成的气体硅Si(g)在一定温度和压力条件下开始成核和在一定温度和压力条件下开始成核和生长，形成纳米微粒。生长，形成纳米
12、微粒。喷喷 射射 沉沉 积积 法法沉淀法沉淀法液相法溶胶溶胶-凝胶法凝胶法微乳液法微乳液法喷雾法喷雾法水热法水热法液相法液相法是目前实验室和工业广泛采用的纳米材料的制备方法是目前实验室和工业广泛采用的纳米材料的制备方法,主要用于氧化物纳米材料的制备。主要用于氧化物纳米材料的制备。特点特点设备简单、原料容设备简单、原料容易获得、纯度高、均匀性好、化学组成控制准确等优点。易获得、纯度高、均匀性好、化学组成控制准确等优点。沉淀法主要分为：沉淀法主要分为：直接沉淀法、共沉淀法、均匀沉淀法、直接沉淀法、共沉淀法、均匀沉淀法、水解沉淀法、化合物沉淀法等水解沉淀法、化合物沉淀法等沉淀物的粒径取决于核形成与核
13、成长的相对速度。即核形沉淀物的粒径取决于核形成与核成长的相对速度。即核形成速度低于核成长，那么生成的颗粒数就少，单个颗粒的成速度低于核成长，那么生成的颗粒数就少，单个颗粒的粒径就变大。粒径就变大。A+溶液溶液沉淀剂沉淀剂沉淀物沉淀物过滤、干燥或煅烧过滤、干燥或煅烧纳米粉体纳米粉体沉淀条件：沉淀条件：A+.B-Ksp Ksp 溶度积溶度积Ag+溶液溶液Cl-溶液溶液AgClAgCl过滤、干燥过滤、干燥纳米粉体纳米粉体在金属盐溶液中加入沉淀剂时，沉淀剂浓度在局部会变得在金属盐溶液中加入沉淀剂时，沉淀剂浓度在局部会变得很高。很高。均匀沉淀法是不外加沉淀剂，而是使沉淀剂在溶液均匀沉淀法是不外加沉淀剂，
14、而是使沉淀剂在溶液内缓慢地生成，消除了沉淀剂的局部不均匀性。内缓慢地生成，消除了沉淀剂的局部不均匀性。如：将尿素水溶液加热到7070o oC C 左右，就会发生如下水解反应(NH2)2CO+3H2O 2NH3.H2O+CO2YCl3+3NH3.H2O Y(OH)3+3NH4Cl 2Y(OH)3 Y2O3+3H2O 生成了沉淀剂生成了沉淀剂 NH3.H2O有很多化合物可用水解生成沉淀，有很多化合物可用水解生成沉淀，通过控制其水解条件可用来通过控制其水解条件可用来制备纳米粒子制备纳米粒子，反应的产物一般是氢氧化物或水合物反应的产物一般是氢氧化物或水合物。因为原。因为原料是水解反应的对象是金属盐和水
15、，若使用的是料是水解反应的对象是金属盐和水，若使用的是高纯度的高纯度的金属金属盐，就很容易得到盐，就很容易得到高纯度纳米粒子高纯度纳米粒子。如：Fe3+无机盐水解法水解-Fe2O3(纳米粒子)Fe(OH)3加热金属醇盐水解法金属醇盐水解法钛酸丁酯钛酸丁酯控制水解TiO2 沉淀沉淀热处理 TiO2 纳米粉体纳米粉体在含有多种阳离子的溶液中加入沉淀剂后，所有离子完全在含有多种阳离子的溶液中加入沉淀剂后，所有离子完全沉淀的方法称为共沉淀法。根据沉淀的类型可分为单相共沉淀的方法称为共沉淀法。根据沉淀的类型可分为单相共沉淀和混合共沉淀。沉淀和混合共沉淀。Ba、Ti 的的硝酸盐溶液硝酸盐溶液BaTiO(C
16、2H4)2.4H2O 沉沉 淀淀BaTiO3高温高温草酸草酸关键在于：如何使组成材料的多关键在于：如何使组成材料的多种离子同时沉淀？种离子同时沉淀？Zn、Fe的的硝酸盐溶液硝酸盐溶液Zn(OH)2.Fe(OH)3沉沉 淀淀ZnFe2O4高温高温OHOH-水热过程是指在高温、高压下在水、水溶液或蒸气等流体中所水热过程是指在高温、高压下在水、水溶液或蒸气等流体中所进行有关化学反应的总称进行有关化学反应的总称。在常温常压下一些从热力学上能进行的反应，往往因反应速度极慢而没有价值。但在水热条件下却可能使反应得以实现。1、水热氧化、水热氧化：mM+nH2O MmOn+H22、水热沉淀、水热沉淀：KF+M
17、nCl2 KMnF23、水热合成、水热合成：FeTiO3+KOH K2O.nTiO24、水热还原、水热还原：MexOy+yH2 xMe+yH2O5、水热分解、水热分解：ZrSiO4+NaOH ZrO2+Na2SiO36、水热结晶、水热结晶：Al(OH)3 Al2O3.H2O 用有机溶剂代替水作介质，采用类似水热合成用有机溶剂代替水作介质，采用类似水热合成的原理制备纳米粒子的原理制备纳米粒子。非水溶剂代替水，不仅扩大。非水溶剂代替水，不仅扩大了水热技术的应用范围，而且能够实现通常条件下了水热技术的应用范围，而且能够实现通常条件下无法实现的反应，包括制备具有亚稳态结构的材料。无法实现的反应，包括制
18、备具有亚稳态结构的材料。溶剂热法溶剂热法苯由于其稳定的共轭结构，是溶剂热合成的优良溶剂，最近苯由于其稳定的共轭结构，是溶剂热合成的优良溶剂，最近成功地发展成成功地发展成苯热合成技术苯热合成技术，溶剂热合成技术可以在相对低溶剂热合成技术可以在相对低的温度和压力下制备出通常在极端条件下才能制得的、在超的温度和压力下制备出通常在极端条件下才能制得的、在超高压下才能存在的亚稳相高压下才能存在的亚稳相。基本原理：基本原理：将金属醇盐或无机盐经水解直接形成溶胶或经解凝将金属醇盐或无机盐经水解直接形成溶胶或经解凝形成溶胶，然后使溶质聚合凝胶化，再将凝胶干燥、形成溶胶，然后使溶质聚合凝胶化，再将凝胶干燥、焙烧
19、去除有机成分，最后得到无机材料。焙烧去除有机成分，最后得到无机材料。溶胶凝胶法一般包括以下过程溶胶凝胶法一般包括以下过程 先沉淀后解凝先沉淀后解凝 控制沉淀过程控制沉淀过程直接获得溶胶直接获得溶胶 控制电解质浓控制电解质浓度度 迫使胶粒间相迫使胶粒间相互靠近互靠近 加加 热热 蒸蒸 发发 焙焙 烧烧 等等天津理工大学纳米材料与技术研究中心 利用溶胶凝胶法可制备多种材料的纳米粉利用溶胶凝胶法可制备多种材料的纳米粉体和纳米薄膜。如氧化物纳米粉和薄膜、非晶体体和纳米薄膜。如氧化物纳米粉和薄膜、非晶体玻璃、多晶体陶瓷纳米粉和薄膜等。玻璃、多晶体陶瓷纳米粉和薄膜等。SolutionSolGelNanop
20、articlesFilm氢氧化钡的乙二氢氧化钡的乙二醇单甲醚溶液醇单甲醚溶液钛酸正丁脂钛酸正丁脂的乙醇溶液的乙醇溶液无定形无定形BaTiO3凝胶凝胶1:1溶胶溶胶灼烧灼烧蒸馏水和乙二醇蒸馏水和乙二醇单甲醚的混合液单甲醚的混合液溶胶凝胶法制备复合氧化物粉体溶胶凝胶法制备复合氧化物粉体溶胶溶胶-凝胶法制备钛酸钡凝胶法制备钛酸钡纳米粉体的工艺流程图粉体的工艺流程图 溶胶一凝胶法的优缺点溶胶一凝胶法的优缺点(1)(1)化学均匀性好化学均匀性好。由于溶胶。由于溶胶-凝胶过程中，溶胶由溶液制得。凝胶过程中，溶胶由溶液制得。故胶粒内及胶粒间化学成分完全一致。故胶粒内及胶粒间化学成分完全一致。(2)(2)高纯
21、度高纯度。粉料。粉料(持持别是多组分粉料别是多组分粉料)制备过程中无需机械混合。制备过程中无需机械混合。(3)(3)该法可容纳该法可容纳不溶性组分或不沉淀组分不溶性组分或不沉淀组分。不溶性颗粒均匀地分散在含不产生。不溶性颗粒均匀地分散在含不产生沉淀的组分的溶液中经胶凝化，不溶性组分可自然地固定在沉淀的组分的溶液中经胶凝化，不溶性组分可自然地固定在凝胶体系中。不溶性组分颗粒越细，体系化学均匀性越好。凝胶体系中。不溶性组分颗粒越细，体系化学均匀性越好。(1)(1)烘干后容易形成硬团聚现象烘干后容易形成硬团聚现象，在氧化物中多数是桥氧链的，在氧化物中多数是桥氧链的形成，再加上球形凝胶颗粒自身烧结温度
22、低，但凝胶颗粒之间形成，再加上球形凝胶颗粒自身烧结温度低，但凝胶颗粒之间烧结性差，块体材料烧结件不好。烧结性差，块体材料烧结件不好。(2)(2)干燥时收缩大干燥时收缩大。喷雾干燥法喷雾干燥法喷雾法喷雾法是将溶液通过各种物理手段进行是将溶液通过各种物理手段进行雾雾化化获得纳米粒子的一种化学与物理相结合获得纳米粒子的一种化学与物理相结合的方法。的方法。喷雾干燥法喷雾干燥法是将金属盐水溶液或是将金属盐水溶液或氢氧化物溶胶送入雾化器，由喷嘴高速喷氢氧化物溶胶送入雾化器，由喷嘴高速喷入干燥室获得了金属盐或氧化物的微粒，入干燥室获得了金属盐或氧化物的微粒，收集后再倍烧成所需要成分的纳米粒子。收集后再倍烧成
23、所需要成分的纳米粒子。特点特点:可连续生产、操作简单、但有些盐类分解时有毒气产生可连续生产、操作简单、但有些盐类分解时有毒气产生例如：将例如：将 NiSO4、Fe2(SO4)3 和和 ZnSO4的水溶液按一定比例的水溶液按一定比例混合后喷雾干燥得到小颗粒，再在混合后喷雾干燥得到小颗粒，再在8001000oC下焙烧下焙烧得到磁性材料得到磁性材料Ni、Zn铁氧体铁氧体Ni(Zn)Fe2O4。天津理工大学纳米材料与技术研究中心电解电解法法电解法电解法包括包括水溶液电解水溶液电解和和熔盐电解熔盐电解两种。该法两种。该法可制得很多可制得很多通常方法不能制备或难以制备的金属纳米粉通常方法不能制备或难以制备
24、的金属纳米粉，尤其是，尤其是电负电负性很小的金属纳米粉性很小的金属纳米粉。通常采用加有机溶剂于电解液中的滚筒阴极电解法制备金属纳通常采用加有机溶剂于电解液中的滚筒阴极电解法制备金属纳米粉米粉。滚筒置于两液相交界处，当滚筒在水溶液中时，金属在。滚筒置于两液相交界处，当滚筒在水溶液中时，金属在其上面析出，而转动到有机液中时，金属析出停止，已析出之其上面析出，而转动到有机液中时，金属析出停止，已析出之金属被有机溶液涂覆。当再转动到水溶液中时，又有金属析出，金属被有机溶液涂覆。当再转动到水溶液中时，又有金属析出，两次析出之金属间因有机膜阻隔而不能联结在一起。该方法得两次析出之金属间因有机膜阻隔而不能联
25、结在一起。该方法得到的粉末到的粉末纯度高，粒径细，而且成本低，适于扩大和工业生产。纯度高，粒径细，而且成本低，适于扩大和工业生产。天津理工大学纳米材料与技术研究中心通常所制备的纳米材料是相互团聚或缠绕通常所制备的纳米材料是相互团聚或缠绕表表 面面 包包 覆覆 和和 表表 面面 改改 性性表面包覆表面改性微乳液法微乳液法微乳液微乳液通常是有表面活性剂、助表面活性剂、油类组成的透明通常是有表面活性剂、助表面活性剂、油类组成的透明的、各向同性的热力学稳定体系的、各向同性的热力学稳定体系。微乳液中存在由表面活性剂。微乳液中存在由表面活性剂和助表面活性剂所构成微小的和助表面活性剂所构成微小的“水池水池”
26、，其大小在几至几十个，其大小在几至几十个纳米间，这些微小的纳米间，这些微小的“水池水池”彼此分离，就是彼此分离，就是“微反应器微反应器”。表面活性剂表面活性剂的结构特点：分子的结构特点：分子中同时有中同时有疏水基团疏水基团（烷烃基）（烷烃基）和和亲水基团亲水基团（羧基、氨基）。（羧基、氨基）。表面活性剂溶液浓度超过一定表面活性剂溶液浓度超过一定值，其分子在溶液中会形成不值，其分子在溶液中会形成不同类型的分子有序组合体同类型的分子有序组合体。表面活性剂在溶液中超过一定浓度时,会从单体（单个离子或分子）缔合成为胶态聚集物，即形成胶团。溶液性质发生突变的浓度，亦即形成胶团的浓度，称为临界胶团浓度。胶
27、束的形成过程及几胶束的形成过程及几种胶束结构示意图种胶束结构示意图天津理工大学纳米材料与技术研究中心与其它化学法相比，微乳法制备的粒子与其它化学法相比，微乳法制备的粒子不易聚结不易聚结，大小可控大小可控，分散性好分散性好，可制备多种材料纳米粒子。，可制备多种材料纳米粒子。亲油端在内、亲水端在外的“水包油型”胶团，叫“正相胶团”亲水端在内、亲油端在外的“油包水型”胶团，叫“反相胶团”正相胶团的直径大约为 5-100nm，反相胶团的直径约为 3-6 nm，而多层囊泡的直径一般为 100-800 nm。反反 相相 胶胶 束束 模模 板板 制制 备备 纳纳 米米 材材 料料 机机 理理以下面反应为例：
28、以下面反应为例：A B C DA，B为溶于水的反应物，为溶于水的反应物，C为不溶于水的沉淀，为不溶于水的沉淀，D为副产物为副产物机理一：直接加入法机理一：直接加入法-渗透反应机理渗透反应机理A+W/O微乳液微乳液反应物反应物 BB 在反相微在反相微乳液扩散并乳液扩散并向胶束渗透向胶束渗透A、B 在胶束在胶束中反应、中反应、微粒微粒成核和长大成核和长大控制过程控制过程如金属烷基化合物如金属烷基化合物加水分解制备氧化加水分解制备氧化物纳米微粒、镉盐物纳米微粒、镉盐与硫化氢制备与硫化氢制备CdS纳米微粒纳米微粒微粒的形成一般经历：微粒的形成一般经历：化学反应、成核和长化学反应、成核和长大阶段大阶段天
29、津理工大学纳米材料与技术研究中心微乳液法制备微乳液法制备Fe2O3示意图示意图机理二：共混法-融合反应机理B+W/O微乳液微乳液A、B两种反相微乳液的胶束相互碰撞、融合、交换、传质A、B 在胶束在胶束中反应、中反应、微粒微粒成核和长大成核和长大控制过程控制过程A+W/O微乳液微乳液含有相同含有相同的水油比的水油比如硝酸银与氯化钠反应制备氯化银纳米微粒如硝酸银与氯化钠反应制备氯化银纳米微粒气相合成气相合成方法，如化学气相沉积方法，如化学气相沉积(CVD)(CVD)等；等；液相合成液相合成方法，如电化学沉积等；方法，如电化学沉积等；其它合成其它合成方法；方法；气气-液液-固固(VLS)生长机制生长
30、机制 气气-固固(VS)生长机制生长机制 氧化辅助氧化辅助(OA)生长机制生长机制 其它生长机制其它生长机制(SLS)气相合成一维纳米材料气相合成一维纳米材料CVD方法合成一维纳米材料的装置图方法合成一维纳米材料的装置图 VLS生长机制生长机制VLSVLS机制最早由机制最早由WagnerWagner于于19641964年提出，用于解释硅晶须的生长七年提出，用于解释硅晶须的生长七十年代后，许多科学家对十年代后，许多科学家对VLSVLS机制作了更深入的探讨。如机制作了更深入的探讨。如GivagizovGivagizov系统研究了系统研究了VLSVLS机制热解硅烷生长硅晶须的动力学机机制热解硅烷生长
31、硅晶须的动力学机制，并对这种生长模式从物理化学及结晶学角度作了深入研制，并对这种生长模式从物理化学及结晶学角度作了深入研BootsmaBootsma和和GassenGassen 定量研究了定量研究了VLSVLS机制热解硅烷和锗烷生长硅和机制热解硅烷和锗烷生长硅和锗晶须的生长速率问题。锗晶须的生长速率问题。19981998年年C.M.LieberC.M.Lieber小组首次将小组首次将VLSVLS机制机制应用到了纳米线的生长中。他们使用应用到了纳米线的生长中。他们使用FeFe作为催化剂，获得了作为催化剂，获得了10nm10nm直径的单晶直径的单晶SiSi纳米线，展现出了纳米线，展现出了VLSVL
32、S机制在制备准一维机制在制备准一维纳米材料中的巨大潜力。纳米材料中的巨大潜力。VLS生长机制生长机制合成的氧化铝纳米带以及微结构分析合成的氧化铝纳米带以及微结构分析 VS生长机制生长机制VSVS机制是另一种重要的生长机制，一般用来解释无催化剂的晶机制是另一种重要的生长机制，一般用来解释无催化剂的晶须生长过程。在须生长过程。在VSVS机制生长一维纳米材料过程中，反应物蒸汽机制生长一维纳米材料过程中，反应物蒸汽首先经热蒸发、化学分解或气相反应而产生，然后被载气输运首先经热蒸发、化学分解或气相反应而产生，然后被载气输运到衬底上方，最终在衬底上沉积、生长成一维纳米材料。到衬底上方，最终在衬底上沉积、生
33、长成一维纳米材料。在在VS VS 机制生长准一维纳米结构的过程中，形貌的控制主要是机制生长准一维纳米结构的过程中，形貌的控制主要是通过对过饱和度的控制来实现的。当过饱和度很低时，二维通过对过饱和度的控制来实现的。当过饱和度很低时，二维成核被抑制，所以纳米结构主要沿一维方向生长，在纳米线成核被抑制，所以纳米结构主要沿一维方向生长，在纳米线的长度远小于表面扩散平均自由程时，纳米线直径较均。的长度远小于表面扩散平均自由程时，纳米线直径较均。王中林王中林小组利用高温热蒸发、低温沉积的方法制备了氧化锌小组利用高温热蒸发、低温沉积的方法制备了氧化锌纳米带。这些纳米带结构表面平整，没有发现螺旋位错，没纳米带
34、。这些纳米带结构表面平整，没有发现螺旋位错，没有金属催化剂参与生长。他们使用有金属催化剂参与生长。他们使用VSVS机制解释生长过程。机制解释生长过程。王中林王中林小组利用高小组利用高温热蒸发、低温沉温热蒸发、低温沉积的方法制备了氧积的方法制备了氧化锌纳米环。同样，化锌纳米环。同样，他们也使用他们也使用VSVS机制机制解释生长过程。解释生长过程。王中林王中林小组通过多小组通过多步的生长过程，调步的生长过程，调节生长动力学，制节生长动力学，制备 出 了 由 极 性 表备 出 了 由 极 性 表面面部分极性表面部分极性表面的超结构的超结构极性表极性表面的纳米带弹簧，面的纳米带弹簧，展示出能够控制生展
35、示出能够控制生长动力学的长动力学的VSVS机制机制在调节材料微观结在调节材料微观结构方面的潜力。构方面的潜力。VLS机制的特点机制的特点：生长促进剂诱导生长；生长促进剂诱导生长；合金液滴作为原子、分子陷阱；合金液滴作为原子、分子陷阱；生长速度快，受热力学影响较小；生长速度快，受热力学影响较小；端部一般有合金颗粒，表面一般较粗糙。端部一般有合金颗粒，表面一般较粗糙。VS机制的特点机制的特点：缺陷等诱导生长；缺陷等诱导生长；原子级台阶等作为原子、分子陷阱；原子级台阶等作为原子、分子陷阱；生长速度较慢，受热力学影响大；生长速度较慢，受热力学影响大；纳米线一般呈锥形，表面往往由特定晶面构成。纳米线一般
36、呈锥形，表面往往由特定晶面构成。VLS机制和机制和VS机制的对比机制的对比 纳纳 米米 薄薄 膜膜 的的 制制 备备物理气相沉积方法作为一类常规的薄膜制备手段被广物理气相沉积方法作为一类常规的薄膜制备手段被广泛的应用于纳米薄膜的制备，包括蒸镀、电子束蒸镀、泛的应用于纳米薄膜的制备，包括蒸镀、电子束蒸镀、溅射等。其基本过程包括：溅射等。其基本过程包括：物物 理理 气气 相相 沉沉 积积（PVD）磁控溅射系统实物图磁控溅射系统实物图 0%8%60%100%GaAs1-xNx薄膜薄膜随着氮气的出现，颗粒由球状变成针状。随随着氮气的出现，颗粒由球状变成针状。随氮偏压的增加，颗粒密度增加，粗糙度减小氮偏压的增加，颗粒密度增加，粗糙度减小化学气相沉积化学气相沉积（CVD CVD）方法目前被广泛的应用于纳方法目前被广泛的应用于纳米薄膜材料的制备，主要用于制备半导体、氧化物、米薄膜材料的制备，主要用于制备半导体、氧化物、氮化物、碳化物纳米薄膜。氮化物、碳化物纳米薄膜。LangmuirBlodgett技术技术天津理工大学纳米材料与技术研究中心 尺寸可控尺寸可控(小于小于 100 100 nm)nm)成分可控成分可控 形貌可控形貌可控 晶型可控晶型可控 表面物理和化学特性可控表面物理和化学特性可控 (表面改性和表面包覆表面改性和表面包覆)对纳米材料制备的要求对纳米材料制备的要求
