1、 二次配 turn on 流程技术方案目录1CDA、N2、O2、Ar turn on 操作流程2H2 turn on 操作流程3排气 turn on 操作流程4化学品供应及废液排放 turn on 操作流程5纯水、PCW、Drain turn on 操作流程6电力 turn on 操作流程第一步：turn on 前检查（CDA、N2、O2、AR）设备厂商及设备担当：检查设备内部管道连接、阀门组装完成，具备turn on条件。二次配厂商及动力担当：检查管道连接正确，标识完整，相关测试完成。第二步：检查二次配管路压力（CDA、N2、O2、AR）设备厂商：打开阀门，通过压力表检查二次配管路压力。二次
2、配厂商：保持take off点阀门关闭。由于测试、吹扫，管路里可能是正压，或者负压。第三步：二次配管路降压（CDA、N2、O2、AR）设备厂商：通过设备将管路压力抽到负压，或者放空到微正压。二次配厂商：保持take off点阀门关闭。第四步：turn on（CDA、N2、O2、AR）设备厂商：根据二次配厂商turn on的气体管路，打开阀门，连接正确检查压力、流量，并再次确认管路是否。二次配厂商：分气体种类、分腔室单独一个一个打开阀门，并配合设备厂商检查压力和流量。第五步：检查压力、流量（CDA、N2、O2、AR）设备厂商及设备担当：检查确认压力、流量、管路连接均没有问题后，签字确认。二次配厂
3、商及动力担当：检查确认压力、流量、管路问题后，签字确认。连接均没有目录1CDA、N2、O2、Ar turn on 操作流程2H2 turn on 操作流程3排气 turn on 操作流程4化学品供应及废液排放 turn on 操作流程5纯水、PCW、Drain turn on 操作流程6电力 turn on 操作流程第一步：turn on 前检查（H2）二次配厂商及动力担当：检查管道连接正确，标识完整，保压、氦检完成设备厂商及设备担当：检查设备内部管道连接、阀门组装完成，具备turn on条件。第二步：检查二次配管路压力（H2）二次配厂商：保持VMB内阀门关闭。设备厂商：打开阀门，确认管路内为
4、负压状态。第三步：turn on（H2）二次配厂商：1.分腔室单独一个一个turn on；2.Turn on步奏：调压阀关闭，两个手动阀缓慢打开，通过缓慢调节调压阀，将H2 turn on至GAS BOX。设备厂商：根据二次配厂商turn on的管路顺序，打开阀门，并调节压力，检查压力、流量，并再次确认管路是否连接正确。第四步：检查压力、流量（H2）二次配厂商及动力担当：检查确认压力、流量、管路连接均没有问题后，签字确认。设备厂商及设备担当：检查确认压力、流量、管路连接均没有问题后，签字确认。目录1CDA、N2、O2、Ar turn on 操作流程2H2 turn on 操作流程3排气 tur
5、n on 操作流程4化学品供应及废液排放 turn on 操作流程5纯水、PCW、Drain turn on 操作流程6电力 turn on 操作流程第一步：turn on 前检查（酸碱、有毒、有机、一般排气）设备厂商及设备担当：检查设备内部管道连接、阀门组装完成，具备turn on条件。二次配厂商及动力担当：检查管道连接正确，标识完整，相关测试完成。第二步：turn on（酸碱、有毒、有机、一般排气）设备厂商：根据二次配厂商turn on的气体管路，打开阀门，检查压力、流量，并再次确认管路是否连接正确。二次配厂商：打开阀门，并配合设备厂商检查压力和流量。第三步：检查压力、流量（酸碱、有毒、有
6、机、一般排气）设备厂商及设备担当：检查确认压力、流量、管路连接均没有问题后，签字确认。二次配厂商及动力担当：检查确认压力、流量、管路连接均没有问题后，签字确认。目录1CDA、N2、O2、Ar turn on 操作流程2H2 turn on 操作流程3排气 turn on 操作流程4化学品供应及废液排放 turn on 操作流程5纯水、PCW、Drain turn on 操作流程6电力 turn on 操作流程第一步：Turn On 前检查设备厂商及设备担当：检查设备内信号线、化学品供应管道、废液排放管道连接正确；二次配厂商及动力担当：检查信号线、化学品供应管道、废液排放管道连接正确，标识完整，
7、废液可顺利排放至废液罐。第二步：信号测试设备厂商及设备担当：发出/停止药液需求信号；二次配厂商及动力担当：确认 CCSS 房间内供应设备收到/停止药液需求信号；第三步：阀门 Turn On设备厂商及设备担当：Turn On 工艺端药液供应及废液排放阀门；二次配厂商及动力担当：Turn On VMB、废液罐的相应阀门；第四步：药液供应设备厂商及设备担当：发出药液需求信号，检查流量，并再次确认管路是否连接正确；二次配厂商及动力担当：CCSS 药液顺利供应至工艺设备，并配合设备厂商检查流量；第五步：各方签字设备厂商及设备担当：检查确认流量、管路连接均没有问题后，签字确认。二次配厂商及动力担当：检查确
8、认流量、管路连接均没有问题后，签字确认。目录1CDA、N2、O2、Ar turn on 操作流程2H2 turn on 操作流程3排气 turn on 操作流程4化学品供应及废液排放 turn on 操作流程5纯水、PCW、Drain turn on 操作流程6电力 turn on 操作流程第一步：turn on 前检查（PCW、UPW、Drain）设备厂商及设备担当：检查设备内部管道连接、阀门组装完成，具备turn on条件。二次配厂商及动力担当：检查管道连接正确（包括与设备连接的接口），标识完整，相关测试完成。若Drain管道的动力端有阀门，则工艺担当根据设备启相应阀门。运行模式告知动力担
9、当，并由动力担当确认开第二步：turn on前冲洗管路（仅UPW）设备厂商：设备端阀门保持关闭状态，冲洗时不得进行任何操作。二次配厂商：在下夹层通过拆卸二次配阀门由令，对UPW管道的供、回水管道进行冲洗，冲洗完成后恢复二次配阀门。第三步：turn on（PCW、UPW、Drain）设备厂商：根据二次配厂商turn on的管路，打开阀门，检查压力、流量，并再次确认管路是否连接正确。二次配厂商及动力担当：分，并配腔室单独一个个打开阀门合设备厂商检查压力和流量。供水阀门打开并确认压力和流量后，进行排水确认，确保排水管道可进行正常排放。第四步：turn on后检查（PCW、UPW、Drain）设备厂商
10、及设备担当：检查确认压力、流量、管路连接均没有问题后，签字确认。二次配厂商及动力担当：检查确认压力、流量、管路连接是否有跑冒滴漏，均没有问题后，签字确认。目录1CDA、N2、O2、Ar turn on 操作流程2H2 turn on 操作流程3排气 turn on 操作流程4化学品供应及废液排放 turn on 操作流程5纯水、PCW、Drain turn on 操作流程6电力 turn on 操作流程一、设备送电标准化流程二、设备送电检查记录表黄线区域由设备包商自行检查确认确认无误后汇报工艺担当紫色区域二次配包商检查确认确认无误后汇报动力担当三、检查界面划分-1黄线区域由设备包商自行检查确认确认无误后汇报工艺担当紫色区域二次配包商检查确认确认无误后汇报动力担当三、检查界面划分-2
