1、第四期工程技术人员培训总结报告第四期工程技术人员培训总结报告K465I设备控制系统部分第四期工程技术人员培训总结报告第四期工程技术人员培训总结报告K465I控制系统总结构图第四期工程技术人员培训总结报告第四期工程技术人员培训总结报告K465I Device Net网络结构图第四期工程技术人员培训总结报告第四期工程技术人员培训总结报告K465I 模拟数字网络结构图第四期工程技术人员培训总结报告第四期工程技术人员培训总结报告K465I温度控制系统结构图第四期工程技术人员培训总结报告第四期工程技术人员培训总结报告K465I温度体系结构图第四期工程技术人员培训总结报告第四期工程技术人员培训总结报告K4
2、65I过热联锁系统K465IK465I设备过热硬件联锁系统。包括：设备过热硬件联锁系统。包括：PLC PLC通过监控程序软件，来处理更改电源使能状态，来禁用电源。其优先级最低。通过监控程序软件，来处理更改电源使能状态，来禁用电源。其优先级最低。PID PID 控制器硬连线至电源的使能位，如果控制器测量到过热情况，则可取代来自控制器硬连线至电源的使能位，如果控制器测量到过热情况，则可取代来自Nexus/PLCNexus/PLC的使能输入。的使能输入。PIDPID控制器持续监视两个控制器持续监视两个PVPV（直接连接到（直接连接到PIDPID控制器的控制器的T/CT/C，以，以及通过及通过Ethe
3、rnetEthernet连接接入的连接接入的 PyroPyro）。如果两个）。如果两个PVPV都显示过热，则都显示过热，则PIDPID控制器将通过硬控制器将通过硬连线的使能位禁用电源。同时，过热状态将通过数字输入传送至连线的使能位禁用电源。同时，过热状态将通过数字输入传送至PLCPLC，收到信号后，收到信号后PLCPLC将调整电源状态。将调整电源状态。高温计（高温计（PyroPyro）也硬连线至电源使能位。如果高温计测量到过热状态，电源将被）也硬连线至电源使能位。如果高温计测量到过热状态，电源将被禁用。同时，过热状态将通过数字输入传送至禁用。同时，过热状态将通过数字输入传送至PLCPLC，收到
4、信号后，收到信号后PLCPLC将调整电源状态。将调整电源状态。第四期工程技术人员培训总结报告第四期工程技术人员培训总结报告K465I设备程序分析部分第四期工程技术人员培训总结报告第四期工程技术人员培训总结报告K465I“Dynamic Shutdown”程序举例分析1.0 程序开始。程序开始。1.1 除了反应室维护程序，终止其他所有程序。除了反应室维护程序，终止其他所有程序。1.2 设定所有的设定所有的MFC和和PC的流量斜率为的流量斜率为“1”。1.3 关闭电源。关闭电源。A）设定温度斜率为）设定温度斜率为“0”（内，中，外）（内，中，外）B）设定温度为）设定温度为“0”C）设定加热模式为）
5、设定加热模式为“电流加热电流加热”D）设定电流为）设定电流为“0”E）软件使能禁用电源）软件使能禁用电源1.4 设定阀门状态为设定阀门状态为Shutdown状态，关闭所状态，关闭所有阀除了：有阀除了：A）关闭）关闭Diff Seal 阀（只有阀（只有K475有）有）B）关闭所有气体进气阀）关闭所有气体进气阀第四期工程技术人员培训总结报告第四期工程技术人员培训总结报告K465I“Dynamic Shutdown”程序举例分析1.5 设定所有设定所有MFC流量为流量为“0”，设定压力值：，设定压力值：A）设定）设定PCRT（GSD-88,89,110&111）值为）值为0（只有（只有K475有）有
6、）B）设定）设定Bubble PC值为值为1000TorrC）设定蝶阀压力为）设定蝶阀压力为15Torr1.6 判断宕机是否由危险判断宕机是否由危险Alarm造成的：造成的：2.0 不是：保持蝶阀为当前开合角度。不是：保持蝶阀为当前开合角度。2.1 是：关闭蝶阀。是：关闭蝶阀。2.2 检查检查Warnings值值3.0 数值数值=03.1 数值数值0第四期工程技术人员培训总结报告第四期工程技术人员培训总结报告K465I“Dynamic Shutdown”程序举例分析3.0 数值数值=0 关闭软挂闸关闭软挂闸3.1 数值数值0 开启软挂闸开启软挂闸3.2 设定阀门状态为设定阀门状态为Shutdo
7、wn状态，关闭所状态，关闭所有阀除了：有阀除了：A）关闭）关闭Diff Seal 阀（只有阀（只有K475有）有）B）关闭所有气体进气阀）关闭所有气体进气阀3.3 设定所有设定所有MFC流量为流量为“0”，设定压力值：，设定压力值：A）设定）设定PCRT（GSD-88,89,110&111）值为）值为0（只有（只有K475有）有）B）设定）设定Bubble PC值为值为1000TorrC）设定蝶阀压力为）设定蝶阀压力为15Torr第四期工程技术人员培训总结报告第四期工程技术人员培训总结报告K465I“Dynamic Shutdown”程序举例分析3.4 延迟延迟5秒。秒。3.5 设定马达转速为
8、设定马达转速为“0”：A）使）使Spindle Motor使能使能B）以）以 3转转/秒秒 降速。降速。3.6 将存储配置设定给阀。（配置表：将存储配置设定给阀。（配置表：TDSW20102）3.7 复位所有处于禁止状态的程序为待机状复位所有处于禁止状态的程序为待机状态。态。4.0 程序完成。程序完成。第四期工程技术人员培训总结报告第四期工程技术人员培训总结报告K465I“Dynamic Shutdown”程序举例分析1.6 危险危险Alarm：CDA Pressure Low 条件：条件：70Psig PEA Cabinet Ventilation（HW）条件：条件：0.5”WC PEA P
9、ressure Exhaust Overpressure 条件：条件：3Psig Process Stop Button 条件：条件：Button Depressed SDA RHA THA Cabinet Ventilation（HW）条件：）条件：0.5”WC Reactor Overpressure PLC Alarm 条件：条件：ATM+40Torr Process Pump Stopped PLC Alarm 条件：条件：Pump Off注：注：”WC英寸水柱，压力单位，英寸水柱，压力单位，1inwc=1000Kg/m9.8N/Kg0.0254m=248.92Pa 第四期工程技术人员
10、培训总结报告第四期工程技术人员培训总结报告K465I 设备控制程序思考 程序思考：程序思考：K465I设备除了设备工艺设计和工艺生产程序，剩下最重要的要是设备控制系统程设备除了设备工艺设计和工艺生产程序，剩下最重要的要是设备控制系统程序了，它是设备自动化运转的前提和保证。序了，它是设备自动化运转的前提和保证。K465I设备有很多的系统控制程序，以上列举了动态设备有很多的系统控制程序，以上列举了动态Shutdown程序，在分析了程序程序，在分析了程序流程后，我们可以加深对设备一个操作的行为原理进行充分的了解，在对我们理解系流程后，我们可以加深对设备一个操作的行为原理进行充分的了解，在对我们理解系
11、统结构，系统运行状态及系统故障分析有很大的帮助。统结构，系统运行状态及系统故障分析有很大的帮助。例如，例如，“Idle Routine”程序，在理解其程序流程后，我们就可以清楚的指导当程序程序，在理解其程序流程后，我们就可以清楚的指导当程序开始后，设备将会进行哪一步动作，设备在当前步骤中的状态。若没有进入成功，我开始后，设备将会进行哪一步动作，设备在当前步骤中的状态。若没有进入成功，我们可以根据程序流程来检查设备条件是否满足程序条件，逐个排查，直到程序运行完们可以根据程序流程来检查设备条件是否满足程序条件，逐个排查，直到程序运行完成。成。第四期工程技术人员培训总结报告第四期工程技术人员培训总结
12、报告K465I设备维护部分第四期工程技术人员培训总结报告第四期工程技术人员培训总结报告维护项（说明书）维护项（说明书）状况状况频率频率动作动作反应室清理UGan/Ngan在200TorrBuffer在500Torr150RUN或一个月擦拭炉壁和FF，清理干净金属反应残留物，检查灯丝是否正常FF和ScreenUGan/Ngan在200TorrBuffer在500Torr三个月拆除FF，对Screen进行清洗尾气排放管路发生堵塞一年抽干净尾气排放金属管道，从反应室到泵进口，更换所有O-Ring。灯丝（中和外）灯丝寿命尽三个月更换新的灯丝过滤器清理GC与TGV压差过大2个月或清反应室清洗，更换LL和
13、HUB发现适当的微粒按需求开盖，擦拭K465I 日常维护项目第四期工程技术人员培训总结报告第四期工程技术人员培训总结报告K465I 日常维护项目维护项（蓝光）维护项（蓝光）状况状况频率频率动作动作反应室清理UGan/Ngan在200TorrBuffer在500Torr约12020炉/次擦拭炉壁和FF，清理干净金属反应残留物，检查灯丝是否正常FF和ScreenUGan/Ngan在200TorrBuffer在500Torr从不拆除FF，对Screen进行清洗尾气排放管路发生堵塞约2年/次（直至堵塞）抽干净尾气排放金属管道，从反应室到泵进口，更换所有O-Ring。灯丝（中和外）灯丝寿命尽直至用坏更换
14、新的灯丝过滤器清理GC与TGV压差过大约705炉/次清洗，更换LL和HUB发现适当的微粒从不开盖，擦拭第四期工程技术人员培训总结报告第四期工程技术人员培训总结报告K465I 日常维护项目维护项（蓝光）维护项（蓝光）状况状况频率频率动作动作冷水机滤芯更换出水流量不够约12020炉/次（从不更换）更换滤芯冷水机循环水更换约半年（从不更换）2桶纯净水更换冷却水滤芯更换进出水压力40Psi约1-2月/次更换水盘过滤芯灯丝内外围钼丝支架约130炉/次（从不更换）更换新支架灯丝内外隔热陶瓷片更换约150炉/次（从不更换）更换新陶瓷片第四期工程技术人员培训总结报告第四期工程技术人员培训总结报告K465I 日
15、常维护项目l 以上为是设备说明书中维护项目与上海现实行的维护项目的对比，相对于说明书以上为是设备说明书中维护项目与上海现实行的维护项目的对比，相对于说明书中所建议的维护，现实行的维护项目很多都不能符合要求，对于一些维护项目，我中所建议的维护，现实行的维护项目很多都不能符合要求，对于一些维护项目，我甚至根本没有进行，甚至根本没有进行，这对安全正常生产没有很好的保障。这对安全正常生产没有很好的保障。l 例如：对于灯丝，建议维护频率：三个月。对于生产企业来说，过频的更换必定例如：对于灯丝，建议维护频率：三个月。对于生产企业来说，过频的更换必定会带来成本的增加。但对于安全生产来说，很多次设备宕机都是因
16、为加热灯丝变形会带来成本的增加。但对于安全生产来说，很多次设备宕机都是因为加热灯丝变形，断裂导致的。，断裂导致的。l 希望在条件允许的情况下，认真落实日常维护项目，为工艺生产提供稳定的设备希望在条件允许的情况下，认真落实日常维护项目，为工艺生产提供稳定的设备条件。条件。第四期工程技术人员培训总结报告第四期工程技术人员培训总结报告一、清机一、清机1）反应室开腔前抽充，建议反复多抽充几次，减少反应室的）反应室开腔前抽充，建议反复多抽充几次，减少反应室的NH3残留。残留。2）公司有能力的条件下，更换钨丝支架和陶瓷。）公司有能力的条件下，更换钨丝支架和陶瓷。3）由于清机动了）由于清机动了FF，RT和和
17、DRT肯定有一定的位置偏差，所以建议在安装过后，调整及肯定有一定的位置偏差，所以建议在安装过后，调整及校准校准RT和和DRT。4）清机后进行）清机后进行SlowBake,可将反应室和陶瓷中的水分充分蒸发而又很好的保护陶瓷器件可将反应室和陶瓷中的水分充分蒸发而又很好的保护陶瓷器件及反应室工艺条件。及反应室工艺条件。二、更换过滤器二、更换过滤器1）更换过滤器前，进行程序）更换过滤器前，进行程序Bake，为了开过滤器时减少过滤芯燃烧。若公司采用过滤器，为了开过滤器时减少过滤芯燃烧。若公司采用过滤器多用一备的维护方式时，可不用进行程序多用一备的维护方式时，可不用进行程序Bake。2）在球阀（）在球阀（
18、104，105，106）连接处，采用较好的）连接处，采用较好的O-Ring，接口表面清洁、平行，减，接口表面清洁、平行，减少应力，便于检漏通过。少应力，便于检漏通过。K465I 日常维护项目思考（举例）第四期工程技术人员培训总结报告第四期工程技术人员培训总结报告K465I设备故障处理部分第四期工程技术人员培训总结报告第四期工程技术人员培训总结报告K465I报警故障处理案例分析（一）故障现象：机台宕机，冷水机故障现象：机台宕机，冷水机1#机关机。机关机。故障处理：故障处理：1、查看宕机信息，明确宕机原因为循环水问题。、查看宕机信息，明确宕机原因为循环水问题。2、查看冷水机，发现无法开启冷水机。、
19、查看冷水机，发现无法开启冷水机。3、打开、打开CBA，查点表，查看冷水机空开是否跳闸。，查点表，查看冷水机空开是否跳闸。4、冷水机空开没有跳闸，可能由于冷水机自身内部原因导致无法正常启动。、冷水机空开没有跳闸，可能由于冷水机自身内部原因导致无法正常启动。5、首先确定冷水机进电是否正常。（此步由于处理操作不认真，没有及时发、首先确定冷水机进电是否正常。（此步由于处理操作不认真，没有及时发现故障次故障点，导致以下多余步骤）现故障次故障点，导致以下多余步骤）6、拆开冷水机，查看电阻丝是否正常，查看表头是否有问题。、拆开冷水机，查看电阻丝是否正常，查看表头是否有问题。7、表头没有问题，查看内部继电器是
20、否正常。（怀疑其中有个继电器有问题，、表头没有问题，查看内部继电器是否正常。（怀疑其中有个继电器有问题，从其他冷水机拆卸一个继电器安装，结果烧了，后发现将从其他冷水机拆卸一个继电器安装，结果烧了，后发现将24VDC继电器代替继电器代替220VAC继电继电器，结果导致设备二次故障）器，结果导致设备二次故障）8、返回第、返回第5步，发现设备进电电压为步，发现设备进电电压为110V左右，确定故障点。左右，确定故障点。9、查看、查看CBA 冷水机配电模块是否问题，发现接线端子烧焦，导致接触不良。冷水机配电模块是否问题，发现接线端子烧焦，导致接触不良。10、更换接线端子，重启冷水机。、更换接线端子，重启
21、冷水机。第四期工程技术人员培训总结报告第四期工程技术人员培训总结报告K465I报警故障处理案例分析（二）故障现象：机台故障现象：机台 14：01分出现超温报警。分出现超温报警。第四期工程技术人员培训总结报告第四期工程技术人员培训总结报告K465I报警故障处理案例分析（二）故障分析：根据报警信息，查询报警表，确定故障信息。故障分析：根据报警信息，查询报警表，确定故障信息。根据报警信息，我们可知，循环冷却水回水温度超过根据报警信息，我们可知，循环冷却水回水温度超过75时，设备将会宕机。但从时，设备将会宕机。但从实际报警信息中来看，在实际报警信息中来看，在75和和95时都有报警，不知道是否为宕机温度
22、窗口，有时都有报警，不知道是否为宕机温度窗口，有待查证。待查证。明确故障信息，但明确故障信息，但TC有很多，无法确定准确位置，这就要借助有很多，无法确定准确位置，这就要借助SQL电脑，查询数据，电脑，查询数据，确定故障点。确定故障点。点开点开DATAVIEW软件，查询数据。软件，查询数据。选择选择TC温度记录，对比查询，看是否有异常数据。温度记录，对比查询，看是否有异常数据。根据异常数据信息，我们得知异常点为根据异常数据信息，我们得知异常点为Confined Inlet#1 TC出现故障。出现故障。由于由于Confined Inlet#1 和和#2同为同为1路进水，路进水，1路出水。可排除由于
23、水堵塞造成的原因。路出水。可排除由于水堵塞造成的原因。对比数据，发现对比数据，发现TC温度出现频繁跳动，可确定为温度出现频繁跳动，可确定为TC接触不良导致的温度跳动。接触不良导致的温度跳动。故障处理：在结束这个故障处理：在结束这个RUN的生长后，更换的生长后，更换TC，并在生长过程中，严禁触碰，并在生长过程中，严禁触碰TC。第四期工程技术人员培训总结报告第四期工程技术人员培训总结报告K465I报警故障处理案例分析（二）异常数据异常数据第四期工程技术人员培训总结报告第四期工程技术人员培训总结报告K465I报警故障处理案例分析（二）正常数据正常数据第四期工程技术人员培训总结报告第四期工程技术人员培
24、训总结报告K465I报警故障处理思考故障处理思考方式：故障处理思考方式：确定故障信息，明确是哪一类故障，细化范围和内容。确定故障信息，明确是哪一类故障，细化范围和内容。根据报警信息，查询故障点，参考资料排除可能引发故障的可能点。根据报警信息，查询故障点，参考资料排除可能引发故障的可能点。若报警信息包含多个报警点，可查询机台数据记录信息，对比数据来明确故障点，并若报警信息包含多个报警点，可查询机台数据记录信息，对比数据来明确故障点，并通过数据信息，分析故障原因。通过数据信息，分析故障原因。根据分析，思考解决方案，认真处理故障。根据分析，思考解决方案，认真处理故障。故障处理注意事项故障处理注意事项
25、:首先熟悉设备的结构、原理以及其在系统中的作用首先熟悉设备的结构、原理以及其在系统中的作用。处理设备故障首先考虑人生安全，在保障人生安全的情况下，解决故障。处理设备故障首先考虑人生安全，在保障人生安全的情况下，解决故障。思考故障在处理过程中可能会牵涉到的哪些其他设备及其对设备的影响。思考故障在处理过程中可能会牵涉到的哪些其他设备及其对设备的影响。思考故障处理过程中应该做哪些安全措施避免伤害自己，伤害设备。思考故障处理过程中应该做哪些安全措施避免伤害自己，伤害设备。合肥彩虹藍光科技有限公司合肥彩虹藍光科技有限公司Hefei IRICO Epilight Technology Co.,Ltd.第四期工程技术人员培训总结报告第四期工程技术人员培训总结报告THANK YOU！
