1、ESDESD個人靜電防護個人靜電防護ESD(靜電放電)簡介電子產品製程作業之ESD防制措施1PPT课件講義主題一、ESD(靜電放電)簡介.1.何謂靜電放電.2.靜電產生的來源.3.影響摩擦生電的因素.4.監測靜電實驗條件與結果 5.典型的ESD電壓.6.半導體產品抗靜電能力 7.電子元件之ESD破壞機制.8.ESD的影響.9.ESD破壞分析.10.靜電防護用品點檢方式.11.ESD防制設施之檢查週期及合格標準.二、電子產品製程作業之ESD防制措施.1.ESD防護用品.2.如何預防ESD破壞.4.ESD防護的標示.5.有效的查核現場ESD防護作業.6.結論.2PPT课件何謂靜電放電1.ESD:E
2、lectro Static Discharge.2.何謂靜電 物質表面經由摩擦而失去(+)電子或得到(-)電子,使帶靜止的電荷.3.何謂靜電放電 電位不同之物體間的電荷轉移,不一定伴隨有電弧或火花發生.簡單來說;即是物體間有電位差,造成電位轉移.靜電放電(ESD)簡介 嚴寒的冬天，當您脫下暖和的毛衣，您會聽到嗶嗶啪啪聲 乾燥的冷天，當伸手去開車門或窗戶，會感到觸電的感覺 用手去撫摸家裡的貓，您會發現貓竟然怒髮衝冠,這些就是靜電瞬間洩放(ESD)所主導產生的現象 其實靜電並不僅由人為才會產生，例如 空中對流的雲層 沙漠中隨風飄起的砂3PPT课件靜電產生的來源摩擦生電(Triboelectric)
3、感應(Induction)光電效應(Photoelectric effect)粒子波(Particle Beam)結冰(Freezing)噴霧(Spray).靜電是史載最早發現的一種電 靜電其實是自從有人類以來，就影響著人類的生活 西元前 640年，希臘哲學家 THACES 把琥珀(Amber)摩擦後發現可以吸附毛髮，而開始知道靜電的存在 靜電的形成 導 體 具有可移動的電子或價電子(Valence Electrons)在原子結構的最外層，亦即受原子核(Nuclei)的 束縛最小，當受到外來電場的吸引而移動(產生電流)，此類物質稱為導體 絕緣體 缺乏上述可移動的電子或價電子的物質，稱為絕緣体靜
4、電放電(ESD)簡介4PPT课件影響摩擦生電的因素物質材料接觸面積相對濕度摩擦頻率靜電放電(ESD)簡介5PPT课件影響摩擦生電的因素靜電放電(ESD)簡介以物体抗靜導電性來區分材質 導電性(Conductive)材質:表面店電阻係數在 105/square 以下 靜電衰減性(Static Dissipative)材質:表面電阻係數介於105 109/square 抗靜電性(Anti-Static)材質:表面電阻係數介於109 1012 /square 絕緣体(Insulator)材質:表面電阻係數介於 1012 /square以上摩擦生電 7P+7P+7P+7P+e-e-e-e-e-e-e-
5、平衡原子平衡原子 1e-平衡原子平衡原子 2帶負電原子帶負電原子 帶正電原子帶正電原子e-e-e-e-e-e-e-摩摩擦擦e-e-e-e-e-e-e-e-e-e-e-e-e-6PPT课件影響摩擦生電的因素靜電放電(ESD)簡介物質產生靜電大小排列如下表,其中愈正性與愈負性物質互相摩擦產生之靜電愈大.Air 空氣 Amber 琥珀 Hands 手 Sealing Wax 蠟 Asbestos石棉Hard Rubber 橡膠 Rabbit Fur 兔毛 Nickel,Copper 鎳,銅 Glass 玻璃Brass,Silver 黃銅,銀 Mica 雲母Gold,Platinum 金,白金 Hum
6、an Hair 頭髮Acetate Rayon 人造絲 Nylon 尼龍 Sulfur 硫磺 Wool 羊毛Polyester 多元脂 Fur 皮革Orlon 奧龍 Lead Hand 石墨 Poly urethane PU聚亞氨脂 Silk 絲 Polyethylene PE聚乙烯 Aluminum 鋁 Polypropylene PP聚丙烯 Paper 紙 Polyvinyl PVC聚氯乙烯 Cotton 棉 Silicon 矽 Steel 鋼絲Teflon 鐵弗龍 Wood 木材Positive 正正 性性(+)NegaNegativetive負負 性性 (-)(-)7PPT课件影響摩擦
7、生電的因素靜電放電(ESD)簡介工作場所中常見的靜電產生物質或活動：工作桌面 一般的塑膠、上臘、上漆。地 板 水泥地板、一般塑膠地板。衣 服 人造纖維衣服、一般非導電鞋、抹布。椅 子 木材椅、塑膠椅、玻璃纖維椅。包裝及運送 塑膠袋、泡棉、保麗龍、塑膠盒。組裝、加工、測試、修理 噴霧清潔劑、吸錫器、鉻鐵、刷子、塑膠帶、熱氣、烤箱、複寫紙。8PPT课件監測靜電實驗條件靜電放電(ESD)簡介靜電就在您的週圍人在走路或跑步就可以產生可觀的靜電下面是一個量測人體靜電的實驗 靜電壓量表 不銹鋼板 人(不帶靜電環)(Static Locator)(12x 12)絕緣架絕緣架量測時溫度為24.5，相對濕度 R
8、H 為55%一般地面一般地面鞋子鞋子(皮鞋或球鞋皮鞋或球鞋)導導 線線9PPT课件監測靜電實驗結果靜電放電(ESD)簡介 A)上述條件測量結果 所穿鞋子 動 作 產生靜電壓(Volts)皮 鞋 原地慢速踏步 150200 皮 鞋 原地快速跑步 200250 球 鞋 原地慢速踏步 200250 球 鞋 原地快速跑步 250350 B)當不同條件下，靜電壓之變化 產生方法 10%20%相對濕度 65%95%相對濕度 走過地毯 35,000 1,500 走過塑膠地毯 12,000 250 在椅子上工作 6,000 100 拿起塑膠文件夾 7,000 600 工作椅墊摩擦 18,000 1,50010
9、PPT课件典型的ESD電壓靜電之產生靜電之產生靜電壓靜電壓(KV)相對濕度相對濕度20%在乙烯基材質的地板走動在乙烯基材質的地板走動在人造地毯上走動在人造地毯上走動坐離發泡椅墊坐離發泡椅墊拿起聚乙烯塑膠袋拿起聚乙烯塑膠袋在地上滑動苯乙烯材質的箱子在地上滑動苯乙烯材質的箱子移除移除PC板上的板上的Mylar膠帶膠帶PCPC板上的收縮膜板上的收縮膜作動真空吸錫器作動真空吸錫器噴電路冷凝噴霧器噴電路冷凝噴霧器123518201812168155相對濕度相對濕度80%1.51.5310.251.51.50.6靜電放電(ESD)簡介11PPT课件半導體產品抗靜電能力半導體產品抗靜電能力靜電放電(ESD)
10、簡介 抗靜電能力之量測(Human Body Model)依 MIL-STD-883，Method 3015，測試線路圖：RegulationHigh VoltagePower SupplyDC MeterD.U.T.R1R21.5K 5%C1100pf 10%WaveformMeasurtmentTerminalR1-Current LimiterRs-RelayC1-人體電容(平均)R2-人體電阻(平均)D.U.T.-待測材料A,B-待測物之接腳ABRS1.Input(A),Common(B)2.Output(B),Common(A)3.Input(A),Output(B)4.V+(A),
11、Common(B)5.V+(B),Common(A)12PPT课件半導體產品抗靜電能力半導體產品抗靜電能力靜電放電(ESD)簡介 各類半導體材料抗靜電能力之比較(NEPCON/WEST Report)晶片種類 靜電破壞電壓(Volts)MOSFET 100200EPROM 100JFET 1407,000Op-Amp 1902,500CMOS 2503,000SCHOTTKY DIODE 3002,500 TTL 3002,500Bipolar Transistor 3807,000ECL 500SCR 68010,00013PPT课件半導體產品抗靜電能力半導體產品抗靜電能力靜電放電(ESD)
12、簡介 抗靜電能力之分類 依上述量測方法得到的結果，可將材料之 抗靜電能力區分為Category A與Category B(早期MIL分法)類別 耐電壓(Min.Volts)材料防靜電包裝保護需求 A 20 2000 防靜電管及導電袋 B 2000 防靜電管及防靜電袋 由上可知，大體而言只要100V以上的靜電壓就可以對半導体產生傷害，故 ESD 之防護工作，我們不可不慎。而基本上，不同Category 之半導體可以不同的等級來做ESD防護，但為方便於處理，通常都以處理較嚴密的Category A來做防護措施。14PPT课件電子元件之ESD破壞機制1.人體帶電模型 (HBM)Human Body
13、Model 2.機器帶電模型 (MM)Machine Model3.元件帶電模型 (CDM)Charged Device Model4.感應充電及放電 (FIM)Induced Charge and Discharge靜電放電(ESD)簡介15PPT课件電子元件之ESD破壞機制靜電放電(ESD)簡介 1.人體放電模式(Human Body Model,HBM)顧名思義知道此為借由人體於走動摩擦產生靜電，而影響 到元件的模式人 體元 件(HBM)-16PPT课件電子元件之ESD破壞機制靜電放電(ESD)簡介元元 件件外在電場感應電荷外在電場感應電荷 (FIM)(Field)E元元 件件接地造成放
14、電接地造成放電移離電場移離電場(CDM)(Field)(Ground)移除移除 2.電場感應模式(Field Induced Model,FIM)指由於外來電場感應產生電荷.3.充電元件模式(Charged Device Mode,CDM)上述FIM模式中當元件被移離開電場,巧遇機緣將電荷引 導接地就變成導接地就變成CDM模式17PPT课件ESD的影響*ESD事件會產生局部高溫或電位差,造成半導體元件的損壞(功率).*在許多情況下,破壞電壓的臨界質很低(電壓產生).*可能發生在製程中或使用中的任何階段(潛在性障礙).如:wafer processing,packaging,testing,bo
15、ard,assembly,transportation,in the field.*成本問題;客戶抱怨;商譽的損失.-如果是潛在故障如果是潛在故障,成本損失將更為龐大成本損失將更為龐大.靜電放電(ESD)簡介18PPT课件ESD的影響靜電放電(ESD)簡介 ESD 對人体會造成傷害嗎？家中的110V、240V常常因為使用不慎造成傷亡，那動輒幾KV 之ESD呢？是否會對人體造成傷害呢？造成肌肉或心臟麻痺主要的是電流，尤其是交流電流。電流對人體傷害分析表(MIL-STD-454)。電 流(毫安培、mA)AC (60Hz)DC 結 果 0-1 0-1 有知覺 1-4 4-15 感到驚訝 4-21 1
16、5-80 有反射動作 21-40 80-160 肌肉麻痺 40-100 160-300 休克 100 以上 300 以上 立即死亡19PPT课件ESD的影響靜電放電(ESD)簡介 ESD破壞之型態1.接面崩熔（Junction Burnout）過大的電流通過接面時，產生極大的熱量，使得接面崩熔。此種破壞是屬於接面短路，並有二個特性A.即使ESD的能量未能打穿接面（Junction Burnout），也能造成元件的失效B.正向偏壓的ESD破壞能量是負向偏壓的515倍2.氧化層貫穿針引線（Oxide Punch Through）通常在金屬氧化層半導體（MOS）上可以發現此類型之破壞，這是由於外加的
17、靜電壓超過了氧化層的崩潰電壓所致。其現象亦是短路。EBCEBC20PPT课件ESD的影響靜電放電(ESD)簡介 3.金屬層崩熔（Metalization Burnout）由於過大的電流流經金屬層，並在較脆弱的地方產生，由於此種破經常是伴隨著接面短路或是氧化層短路之後發生故屬於所謂的二次崩潰（Secondary Breakdown）。而其現象為斷路。21PPT课件ESD的影響靜電放電(ESD)簡介 靜電的累積破壞 負傷而行 負傷而行（Walking Wounded）許多實驗證實靜電能使半導體負傷，但不玫立即完全破壞其功能，而且有多數這些負傷而行的元件都能通過測試直到這些元件送到客戶之後，隨時會從
18、負傷而行變成完全失效。下面是一ESD累積破壞的試驗：應用前述HBM接線方式（僅略去人體的電阻R2=1.5K）來量測54S163IC 試驗條件：試驗結果：材料：54s163 測試前 I=2.883A PASS 人體電容：100pf 第一次 I=2.883A PASS 每次放電：50V 第二次 I=2.890A PASS 放電次數：5次 第三次 I=2.890A PASS 測試點：Vin=Pin2(A)第四次 I=1.872mA FAIL GND=Pin8(B)第五次 I=2.147mA FAIL22PPT课件ESD破壞分析靜電放電(ESD)簡介 找出PCB上之故障元件 對故障元件進行基本電性量測
19、 功能測試 參數測試 X-ray做表層分析 去封膠（Decapsulate）檢視內部 去除各層（玻璃層、鋁層）層層檢視幾種遭ESD破壞案例參考23PPT课件ESD破壞分析靜電放電(ESD)簡介接合窗放大10,000之後可見貫穿現象金屬接合窗橫 切 面 放 大(2,000)橫 切 面 放 大(10,000)24PPT课件靜電防護用品點檢方式 5-1-1 導電手環：直接配戴於手腕上，導線尾 端插入導電手環功能測試 器之測試孔內，再用手指 按住測試器之測試觸鈕約 3-5 秒，此時觀察亮燈結 果，綠燈為合格品；紅燈則 為不良品應立即更換，不得 使用。(ESD-S1.1-1998)5-1-2 防靜電鞋：
20、將待測之防靜電鞋置於金屬板 上，再用手指按住測試器之測試 觸鈕約 3-5 秒，此時觀察亮燈之 結果，綠燈為合格品；紅燈則為 不合格，應加以調整穿戴方式或 清潔鞋底至合格後才可上線作業。(ESD-S9.1-1995)靜電放電(ESD)簡介25PPT课件靜電防護用品點檢方式5-1-3 抗 靜 電 無 塵 衣：將 衣 服 置 於 絕 緣 的 表 面 上，用 高 電 阻 計 採D C100V並 量 測 兩 袖 口 處，計 量15秒 或 直 到 讀 值 出 現。(ESD-S2.1-1995)靜電放電(ESD)簡介26PPT课件電子產品製程作業之ESD防制措施ESD防制設施之檢查週期及合格標準27PPT课
21、件ESD防護用品導電地板.防靜(導)電手環.抗靜(導)電鞋.抗靜電桌墊.導電箱(盒).導電椅.導電台車.電子產品製程作業之ESD防制措施28PPT课件ESD防護用品防靜電手套.離子風扇.防靜電袋.電子產品製程作業之ESD防制措施29PPT课件ESD防護用品電子產品製程作業之ESD防制措施1.靜電環 由伸縮拉環，內含1Mega 10%電阻之導線及接頭所構成。配帶靜電環時必須注意到：(a)靜電環必須與手緊密接觸，不可鬆脫或套於衣袖上(b)與接地之間必須保持1M 10%之電阻(c)接頭必須固定妥當，當接頭未接地妥當時，不得碰觸材料2.抗靜電材料(袋、管、管塞、盒等)在材料上塗佈抗靜電液，使材料不會產
22、生靜電荷，或僅產生微量的靜電荷(通常在100V以下)。此類材料表面電阻要求在1012/square以下，靜電消散時間2sec。使用此材料應：(a)此材料僅能防止本身產生靜電，而卻無法防止靜電場破壞(b)表面塗層必須考慮其有效期(c)一般工業界會將此類產品製成粉紅色30PPT课件ESD防護用品電子產品製程作業之ESD防制措施 3.靜電遮蔽材料(袋、管、管塞、盒等)此種材料一般含有二或三層，上下(或外)層是抗張力強的抗靜電化學合成物質(R1012/square，靜電消散時間2sec)，中間(或內)層是一層薄薄的金屬箔(105 R 109/square)。使用時需注意：(a)避免使用尖銳物品刮壞金屬
23、層(b)封閉的導電袋或容器才有完全之保護 4.靜電消除器 利用儀器所產生的大量離子，將絕緣體表面的靜電予以中和。使用靜電消除器必須注意：(a)靜電消除器必須在工作範圍45呎內方為有效區域(b)靜電消除器必須定期清理所積聚之灰塵，至少3個月內清理 一次(c)靜電消除器必須定期檢查其離子是否平衡(d)靜電消除器會產生臭氧(O3)對人體無害(有益)，但臭氧濃度不可超過0.1DPP M，否則其異味會使人難以忍受31PPT课件ESD防護用品電子產品製程作業之ESD防制措施5.防靜電工作桌1.人體2.靜電環3.防靜電桌面4.儀器5.靜電鞋6.導電地板32PPT课件ESD防護用品電子產品製程作業之ESD防制
24、措施Remarks：各接地點之標準接法4.其它常用抗靜電材料：(a)防靜電手套、指套、袖套(b)導電手套、袖套(c)靜電消除劑(d)靜電鞋33PPT课件如何預防ESD破壞接觸靜電敏感元件一定要配戴導電手環.(有線)靜電敏感元件需放置防潮箱或防靜電盒內.產品設計需將ESD保護線路列入.人員及設備需接地.靜電敏感元件於產線上需使用離子風扇.電子產品製程作業之ESD防制措施34PPT课件如何預防ESD破壞1.導電手環之腕帶須配戴於手腕之上，不得戴於腳上或身體其 他部位，且需確實貼緊皮膚。2.工作站之工作桌面均需舖上防靜電桌墊。3.防靜電桌墊、導電地墊、導電手環使用時須確實接地。4.裝載運送之半成品台
25、車，需加裝鐵鍊，並垂下與地面接觸(接 觸長度約1015公分），以達接地效果。5.裝載敏感性原件及散料之物料架，一律需適當接地。電子產品製程作業之ESD防制措施35PPT课件如何預防ESD破壞電子產品製程作業之ESD防制措施 晶片設計的靜電防護(治本方法)本方法乃是靜電防護最好的辦法，但在設計半導體的抗靜電電路時，必須考慮到電路產生熱的影響、反應時間、最大電壓、能量傳導、寄生電容等等因子，故並非隨心所欲可以辦到。因此靜電防護仍必須靠一些治標的方法。靜電防護的基本原則 1.避免靜電產生 2.疏導或中和所產生之靜電 3.摒蔽靜電場逐一介紹說明如下：36PPT课件如何預防ESD破壞電子產品製程作業之E
26、SD防制措施1.避免靜電產生(A)潮溼法(Moisturizing)水氣本身會有導電現象，故可降低絕綠體表面電阻，達到靜電防護目的(B)抗靜電塗佈法(Anti-Static Coating)有部份溶液可噴灑於絕緣體表面降低物體表面電阻，達到靜電防護的目的。但此種塗層，日久會脫落而漸漸失去其效果，故必須考慮其有效期。(C)內部靜電劑法(Imbedded Anti-Static Agent)這是在材料中加入具有導電性或吸溼性的物質，使其外層具有輕微導電性。此方法可以不必考慮有效期，但成本較高。2.疏導或中和靜電法 (A)疏導法(Bleed-Off)典型的疏導法就是配帶靜電環(Wrist Strap
27、)，是將人體產生之靜電電荷，藉由導線將所產生之電荷傳導出去。通常靜電環中會接一1M之接地電阻，以保護人員工作之安全。37PPT课件如何預防ESD破壞電子產品製程作業之ESD防制措施 (B)中和法(Neutralization)利用靜電消除器(Ionizer)來釋出正、負離子以中和消除靜電效應。目前常用的靜電消除器有下列幾種：a.放射性靜電消除器 使用放射性物質如釙元素之輻射能來撞擊空氣使之分裂成等量的正、負離子。使用此Ionizer必須加防護結構。其優點是不需電源容易裝置，具有防炸功能；缺點是使用壽命短(每年更換)，必須隔離使用遇火警時極危險。b.高壓放電效應消除器 利用針點高壓(5KV左右)
28、尖端放電來電離空氣分子。此種裝置具有高效率及高安全性之特點，所產生之電流僅幾微安培(A)，不會產生電擊。c.感應靜電效應消除器 這是利用帶電物質之高電壓(對接地點)來電離空氣離子38PPT课件如何預防ESD破壞電子產品製程作業之ESD防制措施 3.摒蔽靜電場（Static Field Shielding）此種方法乃利用Faraday Cage 之原理使靜電場被摒蔽在容器之外圍。左圖是5KV電場下各種容器內測得的靜電場，右圖是一摒蔽電場之模型電場無法貫穿僅分佈表面電 壓 (kv)時間 (秒)01.02.03.01.02.03.0導電袋防靜電袋一般PE袋金金 屬屬 容容 器器39PPT课件ESD防
29、護的標示目的是使圖形及文字的標示讓工作人員做好靜電防護,讓ESDS元件不致遭受破壞.間接提醒進入ESD防護廠區之人員,可立即做好ESD必要之防護工作.電子產品製程作業之ESD防制措施40PPT课件ESD防護的標示電子產品製程作業之ESD防制措施 A.對對ESD敏感敏感標示：C.對對ESD敏感敏感+外弧去斜之標示:適用於告知電子零組件對ESD 用於工具或材料上已具有控制ESD極為敏感，易遭ESD破壞。之功效。B.對對ESD敏感敏感+警語之標示：D.對對ESD敏感敏感標示亦可用：適用於防靜電包裝袋上。41PPT课件有效的查核現場ESD防護作業分析公司現有產品的ESD敏感程度,並作分極.工作區域需有
30、ESD防護說明及文件.定期針對靜電防制做內部教育訓練.工作環境的靜電需高於標準.電子產品製程作業之ESD防制措施42PPT课件有效的查核現場ESD防護作業電子產品製程作業之ESD防制措施 設備要求1.設備機殼：AC-INPUT一律使用三插頭有接地端子電源線，設備外殼一律接地。(AI、RI、SMD、加工成型機、測試儀器、錫爐等)2.外加工治具：一律使用金屬製作，並接地處理。(含散熱片鎖附治具)3.維修站：工作台表面，需鋪上靜電墊，其表面阻值為105 109/SQUARE，人員、儀器皆需確實接地4.鉻鐵：外殼需接地處理5.零件盒：半導體之零件被裝置或取出時，作業人員需配帶靜電環，零件放於導電容器或
31、導電之零件盒中。半導體零件嚴禁放置於塑膠容器(非靜電盒)或保麗龍容器中43PPT课件有效的查核現場ESD防護作業電子產品製程作業之ESD防制措施 搬運要求1.靜電盒：石墨型(黑色，永久型)規格為105109/SQUARE，可使用期限一年以上2.金屬盒：手插件段(HI)放置小零件之料盒，一般為不銹鋼導 體，必須接地使用3.籃子：防靜電盒如使用一般塑膠籃，則需加上防靜電之隔離 使用4.輸送帶：生產線若以輸送帶方式作業時，輸送帶及其各裝置 需確實接地5.台車：A/I室及生產線的搬運台車，一般必須使用導體材質，並在台車底部加接地鍊條，鍊條必須與地面接觸 儲存要求1.濕度：儲存空間之相對濕度需控制於50
32、%60%的範圍之內2.保存架：必須使用導體材質，及具備接地設施3.取放材料：儲存人員取放材料時必須配帶靜電環並接地44PPT课件有效的查核現場ESD防護作業電子產品製程作業之ESD防制措施4.裝取容器：拆封之半導體需使用防靜電袋分裝，不可使用一般之塑膠袋包裝人員要求人員：工作人員一律配帶有線靜電環並接地，靜電環需每日點檢兩次，嚴禁使用無線之靜電環ESD點檢1.點檢內容：2.做靜電測試定時需附記當時之溼度及溫度。序 號點檢項目 點檢週期 點檢規格 備 註1靜電環每日1M10%請參照靜電環點檢規範2靜電盒6個月105109 請參照靜電盒板檢驗管理程序3靜電板6個月105109 請參照靜電盒板檢驗管
33、理程序45PPT课件有效的查核現場ESD防護作業電子產品製程作業之ESD防制措施3.若使用靜電防止劑，需明確記錄下次的塗佈使用時間。4.每日確認作業員腕帶的接地狀況及是否有斷線。5.保存用導電零件盒的外圍，需貼上任何作業員看後均可明瞭之標籤，以標示其內存有不耐靜電之零件。6.靜電盒上需貼上能負荷靜電量及檢驗日期之標籤。7.確實記錄點檢所得資料。【註】靜電環點檢方法1.作業員於座位上坐好後，帶上靜電環（右手操作者將靜電環戴於左手，左手操作者將靜電環戴於右手）並將靜電環接地線插頭插於接地孔中。2.線上領班攜帶靜電環檢測器至各作業員作業位置，將檢測器接地線插頭插於接地孔中。3.作業員自行壓下檢測開關(靜電環戴於左手者，用右手壓檢測開關；靜電環戴於右手者，用左手壓檢測開關)，直到訊號顯示完成。4-1.檢測時“GOOD”綠色顯示燈亮表示該靜電環符合規格，可正常使用4-2.檢測時“HIGH”紅色顯示燈亮表示該靜電環超出規格，禁止使用4-3.檢測時“LOW”紅色顯示燈亮表示該靜電環超出規格，禁止使用46PPT课件結論 綜合以上觀點,可了解ESD對於元件及產品之影響,不同的材質、溼度、頻率、面積;即有不同的靜電壓產生,相對如果有完整的ESD防護及管制,相信ESD對產品的影響將會降至最低.The End47PPT课件
