01/359.4 激光干涉在工程中的应用 以激光束作载波，传递的信息称为调制信号。如果使激光的振幅、频率、相位、强度等参量按调制信号的规律变化，可以达到“运载”信息的目的。如图9-23所示，通常，激光干涉调制器可用于激光通信，其原理是将音频信号（或录放机语音信号）经电压放大后加在压电陶瓷片上作为调制信号。在此调制电压的作用下，压电陶瓷片的厚度将作微小变化，从而使相干光的光程差随之变化，这样干涉后的光强就受到了调制。图9 23 激光干涉调制器以及调制原理图 数控机床在运行过程中，其定位精度会产生一定误差，采用激光干涉仪对数控机床进行定位精度检测已经成为目前公认的高效、高精度的检测方法。以雷尼绍ML10激光干涉仪测量机床的线性位移误差为例，如图9-24所示。图9 24 激光干涉仪根据光的干涉原理，回光孔接收到的光线会不断产生明暗条纹交替。干涉相长时，产生明纹；干涉相消时，产生暗纹。在此过程中，激光干涉仪能够不断记录明暗交替的次数。明暗条纹每交替一次，表明光走过了一个波长。光移动的距离为 若反射镜保持静止，分光镜沿着轴线运动。若分光镜静止不动，则反射镜沿着预定的方向运动。把分光镜到激光发射器的距离作为参考值，当反射镜到激光发射器之间的距离发生变化时，激光发射器中条纹计数器的明条纹数值将会发生相应的变化。反射镜到激光头之间的距离为光移动距离的一半，即
