1、5-1 扫描探针显微镜的产生和历史扫描探针显微镜的产生和历史5-2 扫描探针显微镜的原理扫描探针显微镜的原理5-3 扫描探针显微镜的特点与应用扫描探针显微镜的特点与应用5-4 存在的问题及其展望存在的问题及其展望5-5 总结总结参考文献参考文献|扫描探针显微镜产生的必然性扫描探针显微镜产生的必然性Dendrimer-like Gold Nanoparticle3 Biomolecular Recognition on Vertically Aligned Carbon Nanofibers1 -Co nanocrystals coated by a monolayer of poly(acry
2、lic acid)-block-polystyrene 2DNA Translocation in Inorganic Nanotubes4Diameter-Dependent Growth Direction of Epitaxial Silicon Nanowires5扫描探针显微镜的产生扫描探针显微镜的产生Gerd.BinnigHeinrich Rohrer ）扫描探针显微镜的发展历史扫描探针显微镜的发展历史 对于扫描探针显微术的最初研究可以追溯到上个世对于扫描探针显微术的最初研究可以追溯到上个世纪年代。纪年代。 19281928年英国科学家年英国科学家SyngeSynge提出了扫描探针
3、近场光学显提出了扫描探针近场光学显微镜的概念。他提出制造一个玻璃的针尖，在这个针尖微镜的概念。他提出制造一个玻璃的针尖，在这个针尖的末端有一个极小的照相机的光圈，然后用这个针尖对的末端有一个极小的照相机的光圈，然后用这个针尖对待测样品作一行行的扫描。他后来也提出了对样品进行待测样品作一行行的扫描。他后来也提出了对样品进行压电式扫描的想法。但由于种种原因，他的工作没有受压电式扫描的想法。但由于种种原因，他的工作没有受到注意。到注意。 直到直到19561956年，年，OKeefeOKeefe重新研究了相同的想法。这重新研究了相同的想法。这次，次，OKeefeOKeefe研究了光在一个研究了光在一个
4、100100埃的狭逢中的传播，埃的狭逢中的传播，指出了该技术有望达到指出了该技术有望达到100100埃的分辨率。但不幸的是，埃的分辨率。但不幸的是，他断言相关的技术还不成熟，实验方面的工作还不具有他断言相关的技术还不成熟，实验方面的工作还不具有可行性，因此他放弃了进一步的研究。可行性，因此他放弃了进一步的研究。BaezBaez之后用声波之后用声波的方法一一核实了这些概念。的方法一一核实了这些概念。 19721972年，年，AshAsh和和NichollsNicholls两人使用两人使用3cm3cm波长的微波辐波长的微波辐射做成了世界上第一个近场高分辨率扫描显微镜。他们射做成了世界上第一个近场高
5、分辨率扫描显微镜。他们达到了达到了150150微米的分辨率（波长的二百分之一）微米的分辨率（波长的二百分之一）. . 1981 1981年年IBMIBM的的Gerd.Binnig Gerd.Binnig 和和Heinrich RohrerHeinrich Rohrer制成制成了世界上第一台扫描隧道显微镜，由此人类第一次获得了世界上第一台扫描隧道显微镜，由此人类第一次获得了原子尺度上的图像。二人因此项工作获得了诺贝尔奖。了原子尺度上的图像。二人因此项工作获得了诺贝尔奖。自此自此SPMSPM的发展日新月异。的发展日新月异。 扫描探针显微镜的原理扫描探针显微镜的原理 当探针与样品表面间距小到纳米时，
6、按照近代当探针与样品表面间距小到纳米时，按照近代量子力学的观点，由于探针尖端的原子和样品表量子力学的观点，由于探针尖端的原子和样品表面的原子具有特殊的作用力，并且该作用力随着面的原子具有特殊的作用力，并且该作用力随着距离的变化非常显著。当探针在样品表面来回扫距离的变化非常显著。当探针在样品表面来回扫描的过程中，顺着样品表面的形状而上下移动。描的过程中，顺着样品表面的形状而上下移动。独特的反馈系统始终保持探针的力和高度恒定，独特的反馈系统始终保持探针的力和高度恒定，一束激光从悬臂梁上反射到感知器，这样就能实一束激光从悬臂梁上反射到感知器，这样就能实时给出高度的偏移值。样品表面就能记录下来，时给出
7、高度的偏移值。样品表面就能记录下来，最终构建出三维的表面图。最终构建出三维的表面图。 扫描探针显微镜扫描探针显微镜(SPM)主要主要包括扫描隧道显微镜包括扫描隧道显微镜(STM)和和原子力显微镜原子力显微镜(AFM)两种功能两种功能。 扫描隧道显微镜扫描隧道显微镜 工作原理是利用电子隧道现象，将样品本身作为一工作原理是利用电子隧道现象，将样品本身作为一具电极，另一个电极是一根非常尖锐的探针。把探针具电极，另一个电极是一根非常尖锐的探针。把探针移近样品，并在两者之间加上电压，当探针和样品表移近样品，并在两者之间加上电压，当探针和样品表面相距只有数十埃时，由于隧道效应在探针与样品表面相距只有数十埃
8、时，由于隧道效应在探针与样品表面之间就会产生隧穿电流，并保持不变。若表面有微面之间就会产生隧穿电流，并保持不变。若表面有微小起伏，那怕只有原子大小的起伏，也将使穿电流发小起伏，那怕只有原子大小的起伏，也将使穿电流发生成千上万倍的变化。这些信息输入电子计算机，经生成千上万倍的变化。这些信息输入电子计算机，经过处理即可在荧光屏上显示出一幅物体的三维图像。过处理即可在荧光屏上显示出一幅物体的三维图像。扫描隧道显微镜一般用于导体和半导体表面的测定。扫描隧道显微镜一般用于导体和半导体表面的测定。 原子力显微镜原子力显微镜 主要包括接触模式、主要包括接触模式、非接触模式和轻敲模式。非接触模式和轻敲模式。一
9、个对力非常敏感的微悬一个对力非常敏感的微悬臂，其尖端有一个微小的臂，其尖端有一个微小的探针，当探针轻微地接触、探针，当探针轻微地接触、接近或轻敲样品表面时，接近或轻敲样品表面时，由于探针尖端的原子与样由于探针尖端的原子与样品表面的原子之间产生极品表面的原子之间产生极其微弱的相互作用力而使其微弱的相互作用力而使微悬臂弯曲，将微悬臂弯微悬臂弯曲，将微悬臂弯曲的形变信号转换成光电曲的形变信号转换成光电信号并进行放大，就可以信号并进行放大，就可以得到原子之间力的微弱变得到原子之间力的微弱变化的信号。这些信息输入化的信号。这些信息输入电子计算机，经过处理即电子计算机，经过处理即可在荧光屏上显示出一幅可在
10、荧光屏上显示出一幅物体的三维图像。物体的三维图像。 扫描探针显微镜的特点扫描探针显微镜的特点 HMHM：高分辨光学显微镜；：高分辨光学显微镜；PCMPCM：相反差显微镜；：相反差显微镜；(S)TEM(S)TEM：（扫描）透射电子显微镜；：（扫描）透射电子显微镜；FIM：场离子显微镜；：场离子显微镜；REM：反射电子显微镜：反射电子显微镜 可达可达 2、 。SFM images of double-stranded DNA (dsDNA) adsorbed on a graphite surface modified with CH3(CH2)11NH2 molecules. Manipulat
11、ion was performed by bringing the tip in contact with the surface and moving it in the desired direction, using homemade manipulation hardwire and softwire; (a)ds-plasmid DNA molecules as deposited; (b)after stretching two of them along the arrows (c) after manipulation of the same molecules into tr
12、iangles; (d)seven-letter word written with a polydisperse sample of linear dsDNA; (e)magnified view of the square marked in (b); (f)magnified view of the square marked in (c) 11.扫描探针显微镜的其他应用扫描探针显微镜的其他应用|双链双链DNA吸附在石墨表面用吸附在石墨表面用CH3(CH2)11NH2分子改性。操作过分子改性。操作过程是这样的，将探针与表面接触，然后使用自制的操纵硬件向程是这样的，将探针与表面接触，然后使
13、用自制的操纵硬件向一定方向移动。一定方向移动。a.是双链质粒是双链质粒DNA分子的交存；分子的交存；b.其中其中2个顺着个顺着箭头方向拉伸之后；箭头方向拉伸之后；c.同样的分子进行操作后形成三角形；同样的分子进行操作后形成三角形；d.用线性双链用线性双链DNA的分散样品写的的分散样品写的7个字母；个字母；e.放大放大b图中的方块图中的方块部分；部分；f.放大放大c图中方块的部分。图中方块的部分。: : 缺陷识别，电性测量（甚至可穿过钝化层）和缺陷识别，电性测量（甚至可穿过钝化层）和键合电极的键合电极的摩擦特性摩擦特性: : 液体中完整活细胞成象，细胞膜孔隙率和结构液体中完整活细胞成象，细胞膜孔
14、隙率和结构表征，生物纤维测量，表征，生物纤维测量，DNADNA成像和局部弹性测量成像和局部弹性测量: : 表面检查和缺陷鉴定，磁畴成象，摩擦力和磨表面检查和缺陷鉴定，磁畴成象，摩擦力和磨损方式，读写头表损方式，读写头表: : 孔隙率分析，覆盖率，附着力，磨损特性，纳孔隙率分析，覆盖率，附着力，磨损特性，纳米颗粒和岛屿的分布米颗粒和岛屿的分布扫描探针显微镜的其他应用扫描探针显微镜的其他应用存在的问题存在的问题 由于其工作原理是控制具有一定质量的探针进由于其工作原理是控制具有一定质量的探针进行扫描成像，因此扫描速度受到限制，检测效率行扫描成像，因此扫描速度受到限制，检测效率较其他显微技术低；较其他
15、显微技术低； 由于压电效应在保证定位精度前提下运动范围由于压电效应在保证定位精度前提下运动范围很小（目前难以突破很小（目前难以突破100m100m量级），而机械调节量级），而机械调节精度又无法与之衔接，故不能做到象电子显微镜精度又无法与之衔接，故不能做到象电子显微镜的大范围连续变焦，定位和寻找特征结构比较困的大范围连续变焦，定位和寻找特征结构比较困难；难； 目前扫描探针显微镜中最为广泛使用管状压电目前扫描探针显微镜中最为广泛使用管状压电扫描器的垂直方向伸缩范围比平面扫描范围一般扫描器的垂直方向伸缩范围比平面扫描范围一般要小一个数量级，扫描时扫描器随样品表面起伏要小一个数量级，扫描时扫描器随样品
16、表面起伏而伸缩，如果被测样品表面的起伏超出了扫描器而伸缩，如果被测样品表面的起伏超出了扫描器的伸缩范围，则会导致系统无法正常甚至损坏探的伸缩范围，则会导致系统无法正常甚至损坏探针。因此，扫描探针显微镜对样品表面的粗糙度针。因此，扫描探针显微镜对样品表面的粗糙度有较高的要求；有较高的要求； 由于系统是通过检测探针对样品进行扫描时由于系统是通过检测探针对样品进行扫描时的运动轨迹来推知其表面形貌，因此，探针的几的运动轨迹来推知其表面形貌，因此，探针的几何宽度、曲率半径及各向异性都会引起成像的失何宽度、曲率半径及各向异性都会引起成像的失真（采用探针重建可以部分克服）。真（采用探针重建可以部分克服）。最
17、新展望和应用 1） 作为电子束发射装置作为电子束发射装置 由于由于STM的针尖和样品表面间存的针尖和样品表面间存在隧道电流作用，因此可以利用它来在隧道电流作用，因此可以利用它来作弹道电子注入。通过测量这个电流，作弹道电子注入。通过测量这个电流，Bell和和Kaiser得以测量埋在样品表面下得以测量埋在样品表面下的肖特基势垒的深度的肖特基势垒的深度1213。这项技。这项技术被称作弹道电子发射显微镜术被称作弹道电子发射显微镜（BEEM）。自此以后，弹道电子发）。自此以后，弹道电子发射谱被广泛的应用在其他方面的研究射谱被广泛的应用在其他方面的研究中中12，包括对肖特基势垒的研究，包括对肖特基势垒的研
18、究，对双层结构共振态的研究，对双层结构共振态的研究，CuPt型阵型阵列的研究，量子点的研究上。列的研究，量子点的研究上。 新近发展起来一种技术叫做新近发展起来一种技术叫做BEMM（弹道电子磁场谱）（弹道电子磁场谱）14，是是BEEM的技术加上巨磁阻效应。的技术加上巨磁阻效应。它是和它是和铁磁非铁磁铁磁薄膜铁磁非铁磁铁磁薄膜半导体基底半导体基底一起使用的。在恒一起使用的。在恒流模式下，通过流模式下，通过STM针尖，将电子针尖，将电子注入到该结构上。电子在通过第一注入到该结构上。电子在通过第一个铁磁薄膜时将被自旋极化。极化个铁磁薄膜时将被自旋极化。极化的电子然后进入铁磁金属半导体的电子然后进入铁磁
19、金属半导体异质结，如果两个铁磁薄膜是平行异质结，如果两个铁磁薄膜是平行磁性磁性(P)的，则通过的效率最高，如的，则通过的效率最高，如果是反平行磁性的（果是反平行磁性的（AP），则通过），则通过的效率最低（巨磁阻效应的效率最低（巨磁阻效应16）。）。这就我们就可以通过隧穿电流大小这就我们就可以通过隧穿电流大小的变化来研究薄膜磁性、弹道电子的变化来研究薄膜磁性、弹道电子输运等过程输运等过程15。 在自旋电子学方面的应用也是振在自旋电子学方面的应用也是振奋人心的。自旋电子学是利用电子奋人心的。自旋电子学是利用电子的自旋的方向（上或下）来表示的自旋的方向（上或下）来表示传统信息学里的传统信息学里的0和
20、和1。目前这们新。目前这们新兴学科所面临的重大难题是足够高兴学科所面临的重大难题是足够高的自旋注入效率。人们利用有磁性的自旋注入效率。人们利用有磁性探头的探头的STM,将自旋极化的弹道电子将自旋极化的弹道电子注入金属半导体异质结，来研究注入金属半导体异质结，来研究注入效率与异质结结构的关系注入效率与异质结结构的关系17。人们发现真空的隧道结能够有效地人们发现真空的隧道结能够有效地将自旋注入电子中，隧道结的边界将自旋注入电子中，隧道结的边界还能保存自旋极化。在还能保存自旋极化。在100K下，用下，用一个一个100自旋极化的自旋极化的STM探头作探头作为电子源将极化的电子注入为电子源将极化的电子注
21、入p型型GaAs的表面，并同时记录下了重组的表面，并同时记录下了重组发光的极化程度，结果表明，高度发光的极化程度，结果表明，高度自旋极化流自旋极化流(92)能够被注入能够被注入GaAs18。2 2） 在生物学方面的应用。在生物学方面的应用。 扫描探针显微术扫描探针显微术(SPM ) 现已广泛用现已广泛用于生物学研究于生物学研究, 形成了一门新的学形成了一门新的学科科纳米生物学纳米生物学(Nanobiology)19。 SPM在生物方面的主要优点是在生物方面的主要优点是1920：（1） 它极高的三维图像分辨率。它极高的三维图像分辨率。（2） 它可以在气体和液体环境下工它可以在气体和液体环境下工作
22、。这比生物学领域传统使用的电作。这比生物学领域传统使用的电子显微镜要好得多。子显微镜要好得多。SPM的这项优的这项优点使得生物学的研究者可以在生物点使得生物学的研究者可以在生物活体情况下研究生物学样品。活体情况下研究生物学样品。 （3） SPM也不需要对生物体进行也不需要对生物体进行重金属着色，也不像电子显微镜一重金属着色，也不像电子显微镜一样将生物体暴露在高能电子束下而样将生物体暴露在高能电子束下而带来对有机体的极大损害。带来对有机体的极大损害。 （4） SPM不依赖于你得到的样品不依赖于你得到的样品的数量、形式，不依赖于你是否得的数量、形式，不依赖于你是否得到晶体。举例来说，到晶体。举例来
23、说，19X 射线衍射线衍射方法是目前研究藻胆蛋白及其他射方法是目前研究藻胆蛋白及其他蛋白质晶体结构的有效手段蛋白质晶体结构的有效手段, 且分辨且分辨率很高。但这一方法首先必须要求率很高。但这一方法首先必须要求得到蛋白质的晶体得到蛋白质的晶体, 所以所以, 种类繁多种类繁多的藻胆蛋白到目前为止仅有为数很的藻胆蛋白到目前为止仅有为数很少的几种得到少的几种得到X 射线衍射结果。但射线衍射结果。但用用STM可以直接观察非晶体状态下可以直接观察非晶体状态下的藻胆蛋白的结构的藻胆蛋白的结构. 在生物学领域在生物学领域SPM最大的不足之处：最大的不足之处： SPM一般只能研究样本表面部一般只能研究样本表面部
24、分的性质，同时，它的扫描速度也分的性质，同时，它的扫描速度也非常低，通常每张图片要一分钟左非常低，通常每张图片要一分钟左右。一个普通的右。一个普通的SPM设备的价位在设备的价位在常规光学显微镜和低端的电子显微常规光学显微镜和低端的电子显微镜之间。和扫描隧道显微镜相比，镜之间。和扫描隧道显微镜相比，想操纵好一个电子显微镜，你需要想操纵好一个电子显微镜，你需要拥有长时间的操作经验和方方面面拥有长时间的操作经验和方方面面的技巧。的技巧。|以上是对以上是对SPM的起源发展及其工作的起源发展及其工作原理的介绍，同其他的表面分析仪原理的介绍，同其他的表面分析仪器相比，如光学和电子显微镜等，器相比，如光学和
25、电子显微镜等，SPM有着诸多优势，它有其他表面有着诸多优势，它有其他表面分析仪器所无法比拟的分析分辨率，分析仪器所无法比拟的分析分辨率，其纳米量级上的表面形貌描述，能其纳米量级上的表面形貌描述，能使人们对样品表面有了直观的映像。使人们对样品表面有了直观的映像。此外它不仅可以作为一种测量工具，此外它不仅可以作为一种测量工具，还可以利用其合适的探针对物质进还可以利用其合适的探针对物质进行加工、改性。是人们认识微观世行加工、改性。是人们认识微观世界改造微观世界的有利工具。界改造微观世界的有利工具。|目前对于目前对于SPM的研究主要在的研究主要在3个方个方面：面：1，对，对SPM 的针尖研究，针尖的针
26、尖研究，针尖是是SPM工作的关键，对于测量的分工作的关键，对于测量的分辨率起到至关重要的作用。研究新辨率起到至关重要的作用。研究新的针尖工艺，提高针尖的尖度和针的针尖工艺，提高针尖的尖度和针尖使用寿命都是今后长期研究的一尖使用寿命都是今后长期研究的一个目标；个目标；2,在在SPM方面主要是对针方面主要是对针尖偏置电压的研究。研究如何控制尖偏置电压的研究。研究如何控制偏置电压达到一个合适的值，使得偏置电压达到一个合适的值，使得既有利于电子迁移，又不会因为电既有利于电子迁移，又不会因为电化学反应对针尖起到腐蚀作用；化学反应对针尖起到腐蚀作用；3,对于针尖和样品表面距离的研究，对于针尖和样品表面距离
27、的研究，如何找到合适的距离，做到既没有如何找到合适的距离，做到既没有降低分辨率又能很好地保护探针，降低分辨率又能很好地保护探针，延长其使用寿命。延长其使用寿命。|1 Baker, S. E.; Tse, K.-Y.; Hindin, E.; Nichols, B. M.; Lasseter Clare, T.; Hamers, R. J.; Chem. Mater., 2005, 17:4971. |2 Liu, G.; Yan, X.; Lu, Z.; Curda, S. A.; Lal, J.; Chem. Mater., 2005,17:4985.|3 Pang, S.; Kondo,
28、T.; Kawai, T.; Chem. Mater., 2005, 17:3636.|4 Fan, R.; Karnik, R.; Yue, M.; Li, D.; Majumdar, A.; Yang, P.; Nano Lett., 2005, 5:1633. |5 Schmidt, V.; Senz, S.; Gosele, U.; Nano Lett., 2005, 5: 931. |6 Meba-Osteritz, E.; Meyer, A.; Langeveld-Voss, B.M.W.; Janssen, R.A.J.; Meijer, E.W.; Buerle, Angew.
29、 Chem. Int. Ed., 2000, 39:2679.|7 Yang, Y.-C.; Yen, Y.-P.; Yang, L.-Y. O.; Yau, S.-L.; Itaya, K.; Langmuir, 2004, 20:10030.|8 Numata, K.; Hirota, T.; Kikkawa, Y.; Tsuge, T.; Iwata, T.; Abe, H.; Doi, Y.; Biomacromolecules, 2004, 5:2186.|9 Rong, W.Z.; Pelling, A. E.; Ryan, A.; Gimzewski, J. K.; Friedl
30、ander, S. K.; Nano Lett., 2004, 4:2287.|10 Maltezopoulos,T.; Kubetzka, A.; Morgenstern, M.; Wiesendanger, R.; Appl. Phys. Lett., 2003, 83:1011.|11 Severin. N.; Barber, J.; Kalachev, A.A.; Rabe, J.P.; Nano. Lett., 2004, 4:577.|12M. Kemerink, K. Sauthoff, et.al PRL vol 86,2404,(2001)|13 W. J. Kaiser a
31、nd L. D. Bell, Phys. Rev. Lett. 60,1406 (1988).|14 W. H. Rippard and R. A. Buhrman, Appl. Phys.Lett. 75, 1001 (1999).|15W. H. Rippard and R. A. Buhrman Phys.Rev. Lett84, 971(2000)|16 M,N.Baibitch et.al Phys.Rev. Lett 61, 2472 (1988)|17李林峰，刘之景，完绍龙, 半导体技术28,7(2003)|18 LABELLA V P，BULLOCK D W， DING Z，e
32、tal Science，2001，292：15181521|19 张玉忠 时东霞等 生物化学与生物物理学报29，521（1997）|20 J. K. H. Hrber and M. J. Miles 10.1126/science.1067410氧化锌薄膜的AFM图(单位：nm)氧化锌颗粒的颗粒比例图（a）和粒度分布图（b）乳胶薄膜的AFM图(A)和三维立体图(B) (单位:nm)AB有严重缺陷(A)和较为完美(B)的高分子镀膜（单位:nm)AB a)STM image of the short-range ordering of head-to-tail coupled poly(3-dod
33、ecylthiophene) on highly oriented pyrolytic graphite (20 20nm); b)calculated model of poly(3-dodecylthiophene) corresponding to the area enclosed in the white square in (a); c) three-dimensional image of 3 showing submolecular resolved chains and folds (9.39.3nm2)6|a.高取向热解石墨上聚乙烯高取向热解石墨上聚乙烯3-十二烷噻吩头尾相
34、接，短程有序十二烷噻吩头尾相接，短程有序的的STM图像图像|b.a图中白框区域内聚乙烯图中白框区域内聚乙烯3-十二烷噻吩计算得到的模型十二烷噻吩计算得到的模型|c.亚分子链接和褶皱的三维立体图像亚分子链接和褶皱的三维立体图像(a-c) Time-sequenced constant-current(height mode) STM images showing the nucleation and growth of benzenethiol (BT) molecules at Pt( ) potentiostated at 0.15V in 0.1M HClO47.|0.15V恒压下，在恒压
35、下，在0.1MHClO4溶液中，苯硫醇分子溶液中，苯硫醇分子的晶核形成和生长过程的的晶核形成和生长过程的STM图像图像Continuous AFM height images of melt-crystallized poly(R)-3-hydroxybutyric acid (PH3B) thin film before (A) and during (B-F) enzymatic degradation by PHB depolymerase from Ralstonia pickettii T1 at 20 8|该图该图A是聚乙烯是聚乙烯3羟基丁酸薄片晶体的溶解羟基丁酸薄片晶体的溶解AEM图像图像|图图BF是皮氏罗尔斯顿菌是皮氏罗尔斯顿菌 在在phb解聚酶作用下降解的过程解聚酶作用下降解的过程AFM图像图像 透射电镜点分辨(0.30.5nm)晶格分辨(0.10.2nm) 高真空 室温 小 接近SEM,但实际上为样品厚度所限，一般小于100nm. 扫描电镜610nm 高真空 室温 小 10mm (10倍时)1m (10000倍时) 场离子显微镜 原子级 超高真空 3080K 有 原子厚度
