1、大大 纲纲lHJT HJT C/R 介紹l洁净室系统型式l为何需要Clean Room*洁净室的定义洁净室的定义*洁净等级定义洁净等级定义*制程线宽与洁净度之关制程线宽与洁净度之关系系l Clean Room之环境因子*影响影响C/RC/R洁净度的环境因子洁净度的环境因子*风管系统风管系统*FFU系統系統*轴流风机系统轴流风机系统*架构表及主要系统介绍架构表及主要系统介绍*Layout 说明说明*MAUMAU与空气循环系统与空气循环系统洁洁 净净 室室 的的 定定 义义u洁净室为将一定空间范围内之空气中的微尘粒子、有害空气、细菌等之污染物排除，并将室内之温湿度、洁净度、室内压力、气流速度与气流
2、分布、噪音震动及照明、静电控制在某一需求范围内，而给于特别设计之房间以符合制程工艺之需求 回主画面洁净等级洁净等级1k1001010.10.01100k10kM60.010.11101001,000100,000每立方呎塵粒數1011,00010010,000100,000每立方公尺塵粒數10,0001,000,000M5M4M3M2M1ISO6ISO5ISO4ISO3ISO2ISO1ISO8ISO7英制ISO/TC209SI0.5um0.1um0.3um0.2um微塵粒徑制回主画面制程线宽与洁净度之关系制程线宽与洁净度之关系1995199820012004200720101989199201
3、0203040預估製程良率公元5060708090100年Class 1Class 0.1Class 0.01製程線寬 潔淨度0.650.500.350.250.180.150.12(um)(%)回主画面污染物大小0.3um粒径肉眼可视粒径人类头发直径-100um回主画面影响C/R洁净度之环境因子J温度K湿度L压力S微尘粒子照度v微振动M噪声h静电化学物质回主画面洁净室空调系统型式洁净室空调系统型式u风管系统风管系统uFFUFFU系統系統u轴流风机系统轴流风机系统*以风管输送洁净空气以风管输送洁净空气*循环空调箱兼处理外气循环空调箱兼处理外气*天花空间为微负压气室天花空间为微负压气室*独立设置
4、外气空调箱独立设置外气空调箱*天花空间为正压气室天花空间为正压气室*独立设置外气空调箱独立设置外气空调箱回主画面风管系统风管系统( (循环空调箱兼处理外气循环空调箱兼处理外气) )OASAAHURASA DUCTRA DUCTRASASA洁净度、温度及湿度控制FFUFFU系統系統( (独立设置外气空调箱独立设置外气空调箱) )MAFROM OARA SHAFTRA SHAFTMAUSASARARA洁净度控制温度控制湿度控制温度控制轴流风机系统轴流风机系统( (独立设置外气空调箱独立设置外气空调箱) )MASA SHAFTSA SHAFTVDVD洁净度控制温度控制湿度控制温度控制架构表及主要系统
5、设备介绍LIGHTINGSPEAKERFFU HARMONICMAU&DC BANK&HARMONIC FILTERHVAC MONITORFFU MONITORION. SYS.FMSARCHHVACFIRE PROTECTIONELEC/CONTROLELECCHEMICALC/RHVACDIARCHGASP-PEPOXY COATINGRAISED FLOORCEILING GRID SYS.PARTITIONAIR SHWOR/AIR LOCKTOOL FOUNDATIONVIRBRATION DEFENCEMAU SYS.FFU SYS2nd CHWDRY COILAIR WASHE
6、R SYS.FIRE SPRINKLERDESMOKE SYS.ADRANCE DETECTOR SYS.AIR SAMPLING SYS.CDAPCWPVHVBAIW回主画面HJT C/R 主要洁净需求Cleanliness TemperatureHumidity100230.5455% RH1000232 455% RH0.1230.5455% RH10000232 4510% RH回主画面电子厂平面配置概念图电子厂平面配置概念图FAB 2FAB 2FAB 1FAB 1S S B BO O B BC C U U B BW H回主画面SUB FAB（MASK SHOP)回主画面RAP回主画面
7、FAB、SB3F、G/R回主画面TRUSS、SB4F-TEST AREA回主画面电子厂剖面概念图电子厂剖面概念图RAISED FLOORCOILCOILDESMOKE FANDESMOKE FANCDABAPCWPV回主画面MAU + MAU + 空气循环系统空气循环系统l外气空调箱功能外气空调箱功能*压力之控制压力之控制*湿度之控制湿度之控制*外气微尘粒之预处理外气微尘粒之预处理*气态分子之控制气态分子之控制l空气循环系统功能空气循环系统功能*洁净度之控制洁净度之控制*溫度之控制溫度之控制*湿度之维持湿度之维持*气态分子之控制气态分子之控制/MAU/洁净室热源分布洁净室热源分布/洁净室系统流
8、程洁净室系统流程回主画面外气处理空调箱外气处理空调箱Pre-filter (EU3)Medium-filter (EU6)Cooling Coil (Step1)Cooling Coil (Step2)OAMAAir WasherEliminatorRe-heating CoilFanChemical FilterMedium-filter (EU8)HEPA (EU12)Back-draft DamperSteam HumidifierEliminator回主画面洁净室热源分布洁净室热源分布MASAPFABRA SHAFTRARARAPEQUIPMENTq1q2q5q6Ta2Ta3Ta4Ta4Ta5Ta1q4q3qc回主画面洁净室系统流程洁净室系统流程MAMATRUSSFABRA SHAFTRA SHAFTRARARARAP = 30PaP = -5Pat = 22 Ct = 23 Ct = 25 CRAPP = 25PaRARADE-SMOKEOutsideRARA回主画面
