1、1帆宣系统科技股份有限公司帆宣系统科技股份有限公司吉威电子系统工程有限公司吉威电子系统工程有限公司 無塵室验证标准及程序2帆宣系统科技股份有限公司帆宣系统科技股份有限公司吉威电子系统工程有限公司吉威电子系统工程有限公司 大綱大綱壹壹. 測試驗證說明測試驗證說明貳貳. 測試驗證設備一覽表測試驗證設備一覽表參參. 測試驗證步驟說明測試驗證步驟說明肆肆. 測試驗證方法與程序測試驗證方法與程序3帆宣系统科技股份有限公司帆宣系统科技股份有限公司吉威电子系统工程有限公司吉威电子系统工程有限公司 壹、測試驗證說明壹、測試驗證說明無塵室驗收測試規範依據如下：ISO-14644: 世界標準組織制定無塵室測試之標
2、準規範NEBB: 美國國家環境平衡協會所制定無塵室測試之標準規範 無塵室測試分三階段: 第一階段第一階段 As Built 第二階段 At Rest (由吉威配合業主部份需求點進行抽測) 第三階段 Operation (由吉威配合業主部份需求點進行抽測)4帆宣系统科技股份有限公司帆宣系统科技股份有限公司吉威电子系统工程有限公司吉威电子系统工程有限公司nAs BuiltAs Built潔淨室建造完成，生產設備未搬入之狀態nAt RestAt Rest潔淨室建造完成，生產設備已搬入但未運轉之狀態nOn OperationOn Operation潔淨室建造完成，生產設備已搬入且運轉之狀態 測試前空調
3、系統應已完成測試、調整、平衡，並已連續運轉測試前空調系統應已完成測試、調整、平衡，並已連續運轉4848小時以上小時以上. .5帆宣系统科技股份有限公司帆宣系统科技股份有限公司吉威电子系统工程有限公司吉威电子系统工程有限公司無塵室測試驗證項目無塵室測試驗證項目1. 1. 濾網風速測試濾網風速測試 (Air flow velocity testing)(Air flow velocity testing)2. 2. 濾網洩漏測試濾網洩漏測試 (Filter leakage testing)(Filter leakage testing)3. 3. 無塵室內溫溼度測試無塵室內溫溼度測試 (Tempe
4、rature & Humidity testing)(Temperature & Humidity testing)4. 4. 無塵室內壓差測試無塵室內壓差測試 (Room pressurization testing)(Room pressurization testing)5. 5. 無塵室內噪音測試無塵室內噪音測試 (Noise level testing)(Noise level testing)6. 6. 無塵室內照度測試無塵室內照度測試 (Lighting level testing)(Lighting level testing)7. 7. 無塵室內環境微粒子測試無塵室內環境微粒
5、子測試 (Air Particle counts)(Air Particle counts)8 8. . 無塵室內地板靜電測試無塵室內地板靜電測試 (Floor Conductivity testing)(Floor Conductivity testing)6帆宣系统科技股份有限公司帆宣系统科技股份有限公司吉威电子系统工程有限公司吉威电子系统工程有限公司貳貳. . 測試驗證設備一覽表測試驗證設備一覽表NoTest DescriptionEquipment/InstrumentationModelsS/NAccuracyRemark1Airflow Velocity TestShortridg
6、e Electronic MicromanometerADM-870M98801+/-3% of readingShortridge Electronic MicromanometerADM-870CM97311+/-3% of readingShortridge Electronic MicromanometerADM-870M89721+/-3% of reading2Filter Installation Leak TestPMS Aerosol Particle CounterLasair-11035235-0696-4125% coincidence losePMS Aerosol
7、Particle CounterLasair-110150575% coincidence losePMS Aerosol Particle CounterLasair-11036634-0697-5845% coincidence lose3Airborne Particle Count Test PMS Aerosol Particle CounterLasairII-310A447345% coincidence losePMS Aerosol Particle CounterLasairII-310A363335% coincidence lose4Room Pressurizatio
8、n Test Shortridge Electronic MicromanometerADM-870CM04850+/-2% of readingShortridge Electronic MicromanometerADM-870CM89721+/-2% of reading7帆宣系统科技股份有限公司帆宣系统科技股份有限公司吉威电子系统工程有限公司吉威电子系统工程有限公司NoTest DescriptionEquipment/InstrumentationModelsS/NAccuracy Remark5Temperature & Relative Humidity TestTesto Da
9、ta LogerTesto 175-H220063921/507Temperature: +/- 0.10C R/H: +/- 3%Testo Data LogerTesto 175-H220063695/507Temperature: +/- 0.10C R/H: +/- 4%6Sound Pressure Level TestSound Level MeterRION NL-2100443361IEC/ CDV 61572-1 Class 27Light Intensity Level TestHioki Light Intensity Level Meter34230834380 +/-
10、 4% of reading, +/- 1 digit8Floor Conductivity Test3M megaohmmeter702346016+/-2% of reading8帆宣系统科技股份有限公司帆宣系统科技股份有限公司吉威电子系统工程有限公司吉威电子系统工程有限公司參、測試驗證步驟說明參、測試驗證步驟說明 測試前準備工作測試前準備工作: :v竣工圖面與點數確認v備妥測試程序計劃及依據規範之標準.v測試前無塵室空調系統已完成,並已持續運轉48小時以上.v測試進行當中,業主需派人或代表在現場監工以表測試結果認同.9帆宣系统科技股份有限公司帆宣系统科技股份有限公司吉威电子系统工程有限公
11、司吉威电子系统工程有限公司肆肆. . 測試驗證方法與程序測試驗證方法與程序一一. .濾網風速測試濾網風速測試 (Air flow velocity testing): As Built(Air flow velocity testing): As Built目的目的判定洁净室过滤器(ULPA/HEPA filter)的风速规格规格对于每个2X4过滤器, 距离其表面150MM处均匀取2个读数对于每个4X4过滤器, 距离其表面150MM处均匀取4个读数平均风速：0.45 m/s 20%测试状态：空态10帆宣系统科技股份有限公司帆宣系统科技股份有限公司吉威电子系统工程有限公司吉威电子系统工程有限公司
12、方法方法参照：IES Recommended Practice,IES-RP-CC006.2 Testing CleanroomsIES Recommended Practice,IES-RP-CC006.2 Testing Cleanrooms NEBB Procedural Standard for Certified Testing of Cleanroom NEBB Procedural Standard for Certified Testing of Cleanroom (Chapter 5.)(Chapter 5.)1.每个过滤器分成两个或四个测试格.2.装置好仪表和十字支架并调
13、整好仪表的内部设定.3.十字支架尺寸为14X14，测试时把支架放在过滤器中间的位 置，接触在过滤器的表面并且和过滤器边缘保持平行.4. 读取和记录每个格子的数据.11帆宣系统科技股份有限公司帆宣系统科技股份有限公司吉威电子系统工程有限公司吉威电子系统工程有限公司二二. .濾網洩漏測試濾網洩漏測試 (Filter leakage testing): As Built(Filter leakage testing): As Built 目的目的查证过滤器的安装瑕疵 (FILTER外緣和Ceiling Grid之间) 而且确定过滤器是否在安装中因过失产生小的漏洞.规格规格测试状态： 空态1.没有额外
14、的尘粒在被测试的过滤器的上游。2.在ULPA/HEPA 过滤器下游0.1微米粒子检测后不能多于1 个.3.对于每个过滤器，任何再修理过的表面不能超过 0.5 sq. 英寸.12帆宣系统科技股份有限公司帆宣系统科技股份有限公司吉威电子系统工程有限公司吉威电子系统工程有限公司方法方法参照：IES Recommended Practice, IES-RP-CC006.2 Testing CleanroomIES Recommended Practice, IES-RP-CC006.2 Testing Cleanroom NEBB Procedural Standard for Certified o
15、f Cleanroom (Chapter 6.) NEBB Procedural Standard for Certified of Cleanroom (Chapter 6.) 1.过滤器表面风速确保是在设计范围以内. 2.取上游气流，尘粒的尺寸在0.1 微米以上. 3.激光粒子计数器以 0.1 微米及以上 通道测试过滤器检漏，采样量为1 ft3/min. 4.用粒子计数器的探头扫描过滤器，探头选择可获取均匀采样量的尺寸, 扫描速度5cm/s. 濾網(filter)掃瞄路徑13帆宣系统科技股份有限公司帆宣系统科技股份有限公司吉威电子系统工程有限公司吉威电子系统工程有限公司5.采样头离过滤器之
16、间的距离为1英寸，看是否有探测到多于1 个粒子在来源于同一个地方.6. 所有已确定或是怀疑的过滤器做一下记录，在补救及整改之后重新再测一次。当过滤器无法修补或更换,记录下来并反映重新替换.14帆宣系统科技股份有限公司帆宣系统科技股份有限公司吉威电子系统工程有限公司吉威电子系统工程有限公司三三. .無塵室內溫溼度測試無塵室內溫溼度測試 (Temperature & Humidity testing): As Built(Temperature & Humidity testing): As Built目的目的 判定洁净室HVAC系统容量是否能将洁净室内的 温度和相对湿度维持在指定的范围内.规格规
17、格22 oC +/- 2 55% +/- 5% 测试状态：空态15帆宣系统科技股份有限公司帆宣系统科技股份有限公司吉威电子系统工程有限公司吉威电子系统工程有限公司方法方法參照參照:NEBB Procedural Standard for Certified Testing of Cleanroom :NEBB Procedural Standard for Certified Testing of Cleanroom (Chapter 10.)(Chapter 10.)1.测试之前所有气流平衡已经成功完成.2.测试开始前空调系统连续运行至少24小时以上.3.每个温控区测试一个测试点,每个房间至
18、少一个测试点.4.洁净室测试表格分成不大于9平方米.5.温度连同湿度传感器置于测试格中央，距地板的1米的位置.6.如果测试位置有障碍物, 可选择位于阻碍物上的6英尺处, 并避免洁净室入口位置进行测试7.每次测量时间为10分钟.8.采集所有读数并记录.16帆宣系统科技股份有限公司帆宣系统科技股份有限公司吉威电子系统工程有限公司吉威电子系统工程有限公司四四. .無塵室內壓差測試無塵室內壓差測試 (Room pressurization testing): As Built (Room pressurization testing): As Built 目的目的 判定洁净室系统的性能，使洁净室保持指
19、定的压差。规格规格压力差别： 依原設計各分區對外壓差测试状态： 空态17帆宣系统科技股份有限公司帆宣系统科技股份有限公司吉威电子系统工程有限公司吉威电子系统工程有限公司方法方法：參照:NEBB Procedural Standard for Certified Testing of Cleanroom NEBB Procedural Standard for Certified Testing of Cleanroom (Chapter 8.)(Chapter 8.)1.测试之前所有气流平衡已经成功完成.2.在此测试期间,洁净室相邻的门都是关闭的.3.测量和记下两个洁净室之间的压力差别.18帆
20、宣系统科技股份有限公司帆宣系统科技股份有限公司吉威电子系统工程有限公司吉威电子系统工程有限公司五五. .無塵室內噪音測試無塵室內噪音測試 (Noise level testing): As Built(Noise level testing): As Built目的目的 测量洁净室里的机械和电力系统所产生的噪声规格规格平均噪声：= NC 65测试状态：空态19帆宣系统科技股份有限公司帆宣系统科技股份有限公司吉威电子系统工程有限公司吉威电子系统工程有限公司方法方法參照:NEBB Procedural Standard for Certified Testing of Cleanroom (Cha
21、pter 9.)1.测试之前所有气流平衡已经完成.2.在读取读数之前所有的风机单元和空调设备均已开启.3.洁净室每个测试格不大于40平方米.4.噪声仪距地板以上1米的位置, 同时探头指向运行的设备.5.噪音仪测试单位NC,在每个测试点读取数据.6.如果测试位置有障碍物, 可选择位于阻碍物上的6英尺处, 并於避免洁净室入口位置进行测试.7.用算术的方法来计算房间的平均噪声数据.n20帆宣系统科技股份有限公司帆宣系统科技股份有限公司吉威电子系统工程有限公司吉威电子系统工程有限公司六六. .無塵室內照度測試無塵室內照度測試 (Lighting level testing): As Built(Lig
22、hting level testing): As Built目的目的在洁净室内工作高度位置的光照度 规格规格平均光照度: 依原設計規範需求测试状态：空态21帆宣系统科技股份有限公司帆宣系统科技股份有限公司吉威电子系统工程有限公司吉威电子系统工程有限公司方法方法參照:NEBB Procedural Standard for Certified Testing of Cleanroom NEBB Procedural Standard for Certified Testing of Cleanroom (Chapter 11.)(Chapter 11.)1.所有的荧光灯开过至少在100小时.2.
23、在测试前确保照明灯开着至少在2小时以上.3.洁净室每个测试格不大于25平方米.4.光照仪表在测试格中央，距地板上1米的位置.5.如果测试位置有障碍物, 可选择位于阻碍物上的6英尺处, 并避免洁净室入口位置进行测试.6.采集所有读数并记录.22帆宣系统科技股份有限公司帆宣系统科技股份有限公司吉威电子系统工程有限公司吉威电子系统工程有限公司七七. .無塵室內環境微粒子測試無塵室內環境微粒子測試 (Air Particle counts): As Built(Air Particle counts): As Built 目的目的用于检查或验证洁净室是否达到設計要求的洁净等级规格规格测试状态：空态23
24、帆宣系统科技股份有限公司帆宣系统科技股份有限公司吉威电子系统工程有限公司吉威电子系统工程有限公司方法方法参考： ISO 14644-1/2ISO 14644-1/2 NEBB Procedural Standard for Certified Testing of Cleanroom NEBB Procedural Standard for Certified Testing of Cleanroom 1.在测试前洁净室至少净化12小时以上.2.洁净室的测试格以不少于总面积开平方根的数量来均匀划分。3.取样量为每分钟1个立方英尺,取样时间为一分钟。4.在每个点的中心最小取一分钟，高度在1米左右
25、.5.当有障碍物时采样点放在障碍物12 英寸上面.24帆宣系统科技股份有限公司帆宣系统科技股份有限公司吉威电子系统工程有限公司吉威电子系统工程有限公司ISO 14644-1 & Federal Standard 209E 潔淨等級比較表潔淨等級比較表Federal Standard 209EISO 14644-1FS Class ISO Class-1-2 13 104 1005 1,0006 10,0007 100,000825帆宣系统科技股份有限公司帆宣系统科技股份有限公司吉威电子系统工程有限公司吉威电子系统工程有限公司ISOClassification Maximum Concentra
26、tion limits (particles/m for air) for particles equal to and larger than the considered sizes shown below.0.1m0.2m0.3m0.5m1m5mISO Class 1102ISO Class 2 10024104 ISO Class 31 000237102358 ISO Class410 000 2 370 1 02035283ISO Class 5100 00023 70010 2003 52083229ISO Class 6 1 000 000237 000102 00035 20
27、08 320293ISO Class 7352 00083 2002 930ISO Class 83 520 000832 00029 300ISO Class 935 200 0008 320 000293 000 懸浮顆粒潔淨等級對比表懸浮顆粒潔淨等級對比表26帆宣系统科技股份有限公司帆宣系统科技股份有限公司吉威电子系统工程有限公司吉威电子系统工程有限公司八八. .無塵室內靜電地板導電度測試無塵室內靜電地板導電度測試 (Floor Conductivity testing): (Floor Conductivity testing): As BuiltAs Built目的目的测试点与洁净室
28、地板之间的电阻(欧姆)规格规格地板导电测试：104 106 .27帆宣系统科技股份有限公司帆宣系统科技股份有限公司吉威电子系统工程有限公司吉威电子系统工程有限公司方法方法參照:NEBB Procedural Standard for Certified Testing of CleanroomNEBB Procedural Standard for Certified Testing of Cleanroom 1.测量过程中,测试电压为500 伏特电阻.2.在每次测试前,应先清洁重锤及测试区域.3.地板电阻将测量在每30平米1个点，每个房间至少1个点.4.测试电阻时,将一端连接到置于测试格内的重锤,另一端连接到地面.5.记录每个读数及计算每块的平均数.在所选地板平均读数的基础上计算出房间的平均数.6.记录测试时周围环境的温湿度.
