1、目录 无尘室管理规范图示 产线发现的问题 无尘室带入物品规范用完后的记录纸等要扔进垃圾箱，用完后的记录纸等要扔进垃圾箱，桌子要经常清理。桌子要经常清理。严禁打开搬入口的门说话。传递物严禁打开搬入口的门说话。传递物品时，搬入口的门如果长时间打开，品时，搬入口的门如果长时间打开，将使室内气压发生变化，影响洁净将使室内气压发生变化，影响洁净度。度。对落在地上的纸屑等污物，严禁视对落在地上的纸屑等污物，严禁视而不见。而不见。净化间的门，严禁长时间打开。净化间的门，严禁长时间打开。减少使用透明胶带。使用后的透明减少使用透明胶带。使用后的透明胶带成为灰尘源，应该不用胶带成为灰尘源，应该不用.禁止使用有破损
2、的料盒、纸张夹等。禁止使用有破损的料盒、纸张夹等。破损部位是发尘源。破损部位是发尘源。要点：透明胶袋尽量不用，粘的地方会变脏。产品料盒不能直接放在地板上。产品料盒不能直接放在地板上。禁止在净化间内大量堆放净化纸，禁止在净化间内大量堆放净化纸，大量堆积产生尘埃。大量堆积产生尘埃。要点：关注与产品直接接触物品是否会受污染。严禁杂乱地放置保管零部件和工具。严禁杂乱地放置保管零部件和工具。禁止使用附着有碎屑的料盒。禁止使用附着有碎屑的料盒。禁止使用有变形的料盒。禁止使用有变形的料盒。禁止使用有破损的椅子。破损处禁止使用有破损的椅子。破损处是发尘源。是发尘源。净化服有破损时，禁止使用。净化服有破损时，禁
3、止使用。禁止在净化间内跑动。禁止在净化间内跑动。要点：减少过快的运动（人与物）导致的尘埃飘浮。禁止头发露出，严禁不拉好拉链，指禁止头发露出，严禁不拉好拉链，指甲要剪短，保持清洁。甲要剪短，保持清洁。禁止在产品附近大声说话。禁止在产品附近大声说话。要点：戴胶皮手套，要注意长指甲破坏手套。禁止浓妆及涂指甲油，这是洁净禁止浓妆及涂指甲油，这是洁净的大敌。的大敌。打开料盒盖，手和腕部要避免在打开料盒盖，手和腕部要避免在产品的正上方，应从侧面打开。产品的正上方，应从侧面打开。要点：化妆与指甲油的挥发与脱落物是污染源。要点：注意产品上部可能的动作带来的影响。禁止在料盒上面写字。料盒中的制品禁止在料盒上面写
4、字。料盒中的制品发生震动，将会发尘。发生震动，将会发尘。禁止在净化间内集体行走。禁止在净化间内集体行走。要点：产品静止或运动状态下要避免明显的震动。要防止设备的保护层剥落，剥落时要防止设备的保护层剥落，剥落时会产生大量尘埃。会产生大量尘埃。新设备或货架等搬入净化间时，新设备或货架等搬入净化间时，要进行彻底清扫。要进行彻底清扫。药品瓶直接放在地板上，会使灰尘沾药品瓶直接放在地板上，会使灰尘沾污，作业使用时可能会影响产品，应污，作业使用时可能会影响产品，应避免。避免。药品保管柜也需要经常整理整顿，保药品保管柜也需要经常整理整顿，保持干净。持干净。要点：药品、物品、工具如果使用时会接近产品，那么这类
5、东西要有较好的防止被污染的保管措施。禁止使用被污染的搬运车。禁止使用被污染的搬运车。禁止使用生锈或者脏的清扫工具。禁止使用生锈或者脏的清扫工具。在规定的时间里，大家齐心协力清扫，在规定的时间里，大家齐心协力清扫，保持清洁。保持清洁。设备、架子、作业台的结合部都需要设备、架子、作业台的结合部都需要清扫，这些地方是灰尘易聚集的地方。清扫，这些地方是灰尘易聚集的地方。要点：清扫往往关注看得见的表面，请同时关注角落、背面、连接部等。垃圾箱满了以后，禁止使用。垃圾箱满了以后，禁止使用。禁止弄脏地板，胶类、药液等落到地禁止弄脏地板，胶类、药液等落到地板上后应及时擦干净。板上后应及时擦干净。禁止用污水清扫，
6、清扫用水要经常换禁止用污水清扫，清扫用水要经常换干净的。干净的。禁止在净化间内修理吸尘器或打开吸禁止在净化间内修理吸尘器或打开吸尘器的盖子。尘器的盖子。禁止将使用前后的无尘布等混放在一禁止将使用前后的无尘布等混放在一起。起。维修、清扫设备时，要防止弄脏设备维修、清扫设备时，要防止弄脏设备周边。周边。要点：清扫用品要使用前后分开。真空吸尘器、工具箱等，不进行风淋真空吸尘器、工具箱等，不进行风淋也禁止进入净化间。也禁止进入净化间。禁止跪在地板上作业。禁止跪在地板上作业。禁止摇晃着搬运制品。禁止摇晃着搬运制品。禁止将产品夹着运输。禁止将产品夹着运输。膝盖以下是灰尘较多的地方，产品应膝盖以下是灰尘较多
7、的地方，产品应放在放在60cm以上的位置。以上的位置。要点：尘埃由上往下走，净化间下部是相对最脏的，产品放置尽量有一定高度，实施困难时至少要加盖子保护。禁止空料盒随意搬运。随意搬运，在禁止空料盒随意搬运。随意搬运，在行走中极易沾上灰尘。行走中极易沾上灰尘。装产品的料盒上不要随意贴东西（纸装产品的料盒上不要随意贴东西（纸张、胶带）。张、胶带）。禁止在料盒上放置其它物品。禁止在料盒上放置其它物品。禁止手拿到料盒的内侧。禁止手拿到料盒的内侧。纸屑严禁揉成团扔掉，揉成团时会产纸屑严禁揉成团扔掉，揉成团时会产生灰尘。生灰尘。要点：无尘纸不是不发尘，要注意使用方法。头发必须全部在净化服内。头发必须全部在净
8、化服内。制品作业中，禁止探头往里看。制品作业中，禁止探头往里看。吸尘器的软管、电源线等，在净化间吸尘器的软管、电源线等，在净化间内不能在地板上拖着，否则会扬起尘内不能在地板上拖着，否则会扬起尘埃。埃。禁止使用有破损的手套，有破损要及禁止使用有破损的手套，有破损要及时更换。时更换。接触产品的物品不能弄脏，例如料盒、接触产品的物品不能弄脏，例如料盒、机械手、传送带等。机械手、传送带等。清扫后的无尘布要认真叠好，以免清清扫后的无尘布要认真叠好，以免清扫后的灰尘散落到其它地方。扫后的灰尘散落到其它地方。要点：清扫后的赃物要拿出净化间，而不是在净化间里转移。戴好手套后，禁止接触地板、显示屏、戴好手套后，
9、禁止接触地板、显示屏、清扫工具等脏的东西。清扫工具等脏的东西。设备的噪音、震动要控制到最小。设备的噪音、震动要控制到最小。要点：噪音、震动大本身会发尘，同时会使尘埃飘散。使用有尘胶带使用有尘胶带产线发现的问题破损后露出发尘部件破损后露出发尘部件晶圆盒放在地上晶圆盒放在地上注意注意5S5S槽槽体的灰尘体的灰尘非无尘纸的带入非无尘纸的带入无尘布的折叠不规范无尘布的折叠不规范无尘室带入物品规范无尘室带入物品规范纸张可以带入可以带入不可带入不可带入普通纸、再生纸、普通纸、再生纸、复写纸复写纸但是，经树脂处但是，经树脂处理后的普通纸可以理后的普通纸可以带入带入。 无无尘纸尘纸 无尘室带入物品规范无尘室带
10、入物品规范胶带可以带入可以带入不可带入不可带入普通普通胶带，透明胶胶带，透明胶带，及纸质的胶带带，及纸质的胶带芯芯无无尘胶带尘胶带 无尘室带入物品规范无尘室带入物品规范办公用品可以带入可以带入不可带入不可带入普通纸制的文件夹、普通纸制的文件夹、盒子和书写板等盒子和书写板等使用时或使用后发使用时或使用后发尘量多的物品、浆尘量多的物品、浆糊、修正液、橡皮、糊、修正液、橡皮、铅笔、自动铅笔、铅笔、自动铅笔、水性签字笔、白板水性签字笔、白板笔、钢笔笔、钢笔尺子、剪刀、刀尺子、剪刀、刀具、电脑、磁贴、具、电脑、磁贴、卡片膜、文件夹、卡片膜、文件夹、书写板、圆珠笔、书写板、圆珠笔、油性笔、油性笔、1电子媒
11、体电子媒体（软盘、（软盘、CD、DVD）、）、2订书器、曲订书器、曲别针别针无尘室带入物品规范无尘室带入物品规范布可以带入可以带入不可带入不可带入非无尘擦拭布：非无尘擦拭布：油污抹布、棉布、油污抹布、棉布、手帕、无纺布手帕、无纺布无无尘布尘布 无尘室带入物品规范无尘室带入物品规范工具可以带入可以带入不可带入不可带入带有棉布带有棉布/木材的工木材的工具具金属金属塑料制的塑料制的工具、工具工具、工具工具带入前请用无尘布擦拭工具带入前请用无尘布擦拭无尘室带入物品规范无尘室带入物品规范不可不可带入私人物品带入私人物品手机，香烟、火柴、打火机, 饮料、食品、口香糖, 宝石、装饰品、化妆品, 餐巾纸、手绢, 笔记本，及其他类似的私人物品
