1、 ： ： 3cXLC3LCS C S绝对误差测量值（ ）真实值（C）100%SSC-C相对误差（）C 12222121()()()1()11nniiccccccccnn(100RSDCVc或）1 .2 3CBfBfC CfBfBC1.23()CBBffCmax1.23CBfCBf bLbXXKSbXbSbXLXLX 清洁度分类清洁度分类最大污染颗粒数最大污染颗粒数（颗粒（颗粒/m2）颗粒直径颗粒直径1001000 0.5 5.0100001000065 0.5 5.010000001000000700 0.5 5.0* * niiinxxxS12) 1/()()(nxSxui/ )()(mjn
2、ijjipnmxxxS112)1(/)()(nxSpxui/ )()(23663221()()nciiifuyuxxifxix()()iiiifuyuxx称为的灵敏系数（或称不确定度传播系数）；)(,)()()(22212ncxuxuxuyu 22212,12( )( )nccrelnu xu xu xu yuyyxxx( )cUkuyYyU082. 02058. 0210. 0082. 005. 022)1()()1(12PPxxPtUPiia urel=0.00073/136.0855=5.410-6molmgu/00073. 000072. 0000001. 000008. 0000058. 02222/UXt Sn XS /Xt Sn AU基本测量 单位权威性方法基准参考物质参考方法二级参考物质现场方法现场应用参考方法研制和评价高准确度二级标准物 质的生产重大的质量保证应用现场方法研制与评价工作参考物质的制备内部和外部质量保证程 序SI追溯性追溯性SI单位基准方法(PRM)基准物质（PMM）高精密度比较法标准方法（RMM）一级RM(CRM)二级RM(WRM)例行分析检测精密比较法有效方法（VMM） 。 )1()()1(12PPxxPtUPiia
