1、Chip Production Technology Team/3E SemiconductorIdea Velocity Completion氮气吹扫方案氮气吹扫方案一.编制依据二.吹扫目的及技术要求三、吹扫前应具备条件四、作业程序五、作业后处理六、安全注意事项七、作业记录八、作业结果报告九、作业附件附图：氮气（N2）管线吹扫示意图图吹扫方案目录吹扫方案目录p吹扫目的及技术要求吹扫目的及技术要求1、目的：1.1.检查N2管网是否畅通。检查管网配管是否有疏漏；检查管网中的法兰，阀门、仪表等的接口处，阀门等是否有泄漏。1.2.由于管道施工及设备制造过程中残留的杂物，如：焊渣沉积物、在管道及设备内
2、表面的氧化皮、颗粒物、附于其内壁的泥砂杂物、油脂、焊渣和锈蚀物等。在工艺管道及设备投用前，必须进行彻底地清除，保证管道、设备的清洁，避免引起发生的堵塞管道、设备；损坏机器、阀门和仪表；玷污催化剂及化学溶液、影响产品质量保证化工投料的顺利进行及安全生产。2、技术要求：2.1.0.8Mpa（A）、25的N2用于吹扫各N2管网线；吹扫的空气流速30m/s；2.2.吹扫时，应将管道上安装的所有仪表测量元件（如流量计等）及过滤器滤芯拆除，防止吹扫时流动的赃物将仪表元件和滤芯损坏，同时，还应对调节阀采取保护措施；2.3.吹扫时，只有待上游吹扫合格后方可进入设备；2.4.吹扫时不得使用系统中的调节阀作为吹扫
3、的控制阀，如需控制系统吹扫风量时，应选用排放阀门或临时吹扫阀门；p吹扫目的及技术要求吹扫目的及技术要求2.5.系统吹扫时，将现场压力表拆除，并封堵。所有的仪表引压管线均应打开进行吹扫，并应在系统综合气密实验中再次吹扫；2.6.流量计管线和阀门等都必须吹扫；。2.7.检查系统内所有管道管卡安装完毕，配备合理，确保吹除过程中不会发生管道震动现象。2.8.吹洗时，应用锤（不锈钢管用橡胶锤）敲打管子，对焊缝、死角和管底等部位应重点敲打，但不得损伤管子；3、吹扫方法方法及合成标准3.1.吹扫方法3.1.1.各Take off 点必须密封，待吹除使用时一一拆除，防止带杂物的气体进入其它工序，吹扫按照（前）
4、先总管，后支管的顺序进行。3.1.2.吹扫中同时要将仪表引压管等进行彻底，防止出现死角；3.1.3.吹扫采用在各个排放口连续排放的方式进行。并以橡胶锤连续敲击管道，特别是对焊缝和死角等部位应重点敲打，但不得损坏管道，直至吹扫合格为止；p吹扫目的及技术要求吹扫目的及技术要求3.1.4.吹扫时，要缓慢向管道送气，当检查排出口有空气排出时，方可逐渐加大气量至要求量进行吹扫，以防因阀门、密封等不正确原因造成系统超压；3.2.合格标准每段管线或系统吹扫是否合格，应由厂务和安装人员共同检查。当目视排气清净和无杂色杂物时，在排放口用无尘布或涂有白铅油的靶板检查，如五分钟内无铁锈、尘土、水分及其他赃物和麻点即
5、为吹扫合格。p吹扫前的准备工作吹扫前的准备工作1、人员准备1.1.厂务与正帆需明确分工，进行技术准备；全体参加吹扫的人员必须熟知吹扫方案和N2管网图。1.2.在吹扫过程中，所有人员应服从指挥，尽职尽责。统计好检查点，并列出明细表，保压测漏时派专人记录。（见记录表）。2、验所需物资、工器具、安全防护和劳保用品准备p吹扫前的准备工作吹扫程序（吹扫示意图见附图）吹扫前的准备工作吹扫程序（吹扫示意图见附图）1.吹扫前准备1.1.检查管网中所有的管道、仪表、阀门是否正确，且符合要求。1.2.检查关闭管网中的所有切断阀关闭，未安装膜阀，三通等已密封。1.3.检查管网中的短接、+临时管按吹扫图安装就位且紧固
6、。1.4.用储罐总阀控制吹扫所需的N2量，防止超压。1.5.所需物资：橡胶锤 4把、无尘布 10包、耳塞 若干、手套 若干、扳手 4把、脚手架 临时搭建1/2寸临时吹扫软管 50米、圆盘压力仪、压力表等吹扫保压相关物资2.吹扫步骤：2.1.GN2从储罐吹扫到与氮气管廊界面，吹净的清洁度用无尘布检查，无尘布无吹打痕迹即可。吹扫合格后，安装盲板进行保压24小时，压降小于1%，保压合格后将法兰连接。2.2.GN2从氮气管廊界面吹扫到纯化器1/2寸阀V01002处，接临时软管到室外排空，将阀门关闭进行保压24小时，压降小于1%，保压合格进行下一段管线吹扫保压。2.3确认GN2管网其他所有支路阀密封。打
7、开总管末端1/2寸阀V01169，接临时软管到室外排空。开始吹扫总管线，吹扫合格后阀门关闭，进行保压24小时，压降小于1%。(详见图示)p吹扫前的准备工作吹扫程序（吹扫示意图见附图）吹扫前的准备工作吹扫程序（吹扫示意图见附图）2.4 确认PN2管网其他所有支路阀密封。打开总管末端1/2寸阀V02170，接临时软管到室外排空。开始吹扫总管线，吹扫合格后阀门关闭，进行保压24小时，压降小于1%。(详见图示)2.5 然后按照以上吹扫方法分别对N2管网其他所有支路的吹扫，逐步打开各支路切断阀，分别进行吹扫合格后，进行保压24小时，压降小于1%。p系统流程图系统流程图-N2 N2 站站N2N2Purif
8、ierPurifier Filter VaporizerVaporizer30M3LN230M3LN2TankTankPN2 OutletPN2 Outlet3030立立液液态态 LN2 LN2 储储存槽存槽0.8MPa0.8MPa拆除法兰，此处进行拆除法兰，此处进行吹扫排气吹扫排气过滤过滤器器滤芯不安装滤芯不安装液液态态LN2 LN2 经吸热经吸热蒸蒸发成气态发成气态GN2GN2液态液态 LN2LN2 灌充槽車灌充槽車p系统流程图系统流程图-GN2 GN2 管线管线此处接此处接1/21/2寸临时软管寸临时软管室外排放室外排放此处接此处接1/21/2寸临时软管寸临时软管室外排放室外排放p系统流
9、程图系统流程图-PN2 PN2 管线管线此处接此处接1/21/2寸临时管寸临时管室外排放室外排放p作业后处理作业后处理系统吹扫合格后，恢复所有仪表、阀门到正常位置。将垃圾清理。相关表格双方及监理签字并存档。p安全注意事项：安全注意事项：1、注意事项1.1.吹扫气体排放区应立警示标志并且临时性用绳子隔离。1.2.禁止靠近受影响的区域，注意受吹扫气体影响的电器、仪表、设备情况，采取必要的遮挡措施。1.3.所有参加吹扫工作的人员必须使用个人防护用品（包括耳塞、布工作服、皮革手套、劳保皮鞋、安全帽、防护眼镜等）。1.4.所有被吹扫的管道尤其是吹扫气体排放口必须要支撑和固定，排放气体应直接送到能够承受气体吹扫且结构坚固的气体排放口,如果需要可安装临时弯头和排汽管。1.5.吹扫时所加堵板必须认真记录清楚，吹除完毕一一拆除。1.6.防止管道甩动或位移，杜绝发生人员伤亡及设备损坏的事故。1.7.方案实施过程中必须严格执行现场施工操作的相关安全规定。p安全注意事项：安全注意事项：2、风险辨识及防范措施p作业记录作业记录过滤器检查表压力表检查表流量计检查表阀门检查表p作业结果报告作业结果报告p作业附件作业附件1、相关安全作业票2、相关图纸
