1、15:03115:03215:03315:03415:03515:03615:03715:03815:03915:031015:031115:031215:031315:031415:031515:031615:031715:031815:031915:0320发射源发射源钨灯丝钨灯丝LaB6热场发射热场发射冷场发射冷场发射直径直径,nm1000-20001000-200010-253-5温度温度,230015001500室温室温灯丝亮度灯丝亮度1105001000电流密度电流密度,A/cm21.32550050000能量扩展能量扩展,eV2.01.52000真空度真空度,Torr10-510
2、-710-910-1015:032115:032215:032315:032415:0325信号信号分辨率分辨率(nm)发射深度发射深度(nm)二次电子二次电子510550背散射电子背散射电子502001001000吸收电子吸收电子1001000透射电子透射电子0.510感应电动势感应电动势3001000阴极荧光阴极荧光3001000X射线射线10010005005000俄歇电子俄歇电子5100.5215:032615:032715:032815:032915:033015:033115:033215:033315:033415:033515:033615:033715:033815:0339
3、15:034015:034115:034215:034315:0344图图2-17 钴基高温合金腐蚀后的表面形貌钴基高温合金腐蚀后的表面形貌 15:0345图图2-20 陶瓷端口的沿晶断裂陶瓷端口的沿晶断裂 图图2-21 金属材料的韧窝状断口金属材料的韧窝状断口 15:0346图图 铝硅铜钛钎料的背散射组织铝硅铜钛钎料的背散射组织 图图 铝硅铜钛钎料的能谱分析铝硅铜钛钎料的能谱分析15:034715:034815:034915:0350图图2-29 能谱仪结构示意图能谱仪结构示意图 15:0351)(1ZK15:035215:035315:035415:035515:035615:035715:035815:0359