1、低温泵知识低温泵知识PPTPPT徐玉峰徐玉峰、低温泵的构造低温泵的构造、低温泵各部件的功用及工作原理低温泵各部件的功用及工作原理、低温低温泵实泵实用案例用案例 4、低温的维护保养及特点低温的维护保养及特点目次目次浙浙 江江 博博 开开 机机 电电 科科 技技 有有 限限 公公 司司2什么是低温泵什么是低温泵 利用小型氦制冷机作为冷源，产生10K（-263)左右的低温，通过冷凝和吸附被抽容器的气体来获得和保持高真空的设备。浙浙 江江 博博 开开 机机 电电 科科 技技 有有 限限 公公 司司3采用技术采用技术 浙浙 江江 博博 开开 机机 电电 科科 技技 有有 限限 公公 司司低温技低温技术术
2、 低温的获得（即降温）、保持与应用技术真空技真空技术术 真空的获得、保持与应用技术4 *压缩机将氦气压缩之后送到制冷机里 *制冷机使被压缩的氦气在制冷机里压缩，膨胀，持续降温，达到冷却作用 *泵体泵体内（障板处）将气体凝固，使气体被吸附获得更高真空上述的三个系统组成一个整体的低温泵系统运转上述的三个系统组成一个整体的低温泵系统运转。低温泵的构成低温泵的构成浙浙 江江 博博 开开 机机 电电 科科 技技 有有 限限 公公 司司5低温低温泵泵的构造的构造10k制冷机低温泵内部结构（氦）压缩机浙浙 江江 博博 开开 机机 电电 科科 技技 有有 限限 公公 司司67障板障板因为表面不光滑辐射出来的热
3、量因为表面不光滑辐射出来的热量将被吸住，使温度上升将被吸住，使温度上升因为表面光滑将辐射出来的热量因为表面光滑将辐射出来的热量反射掉，防止温度上升反射掉，防止温度上升浙浙 江江 博博 开开 机机 电电 科科 技技 有有 限限 公公 司司77 冷屏冷屏黑漆处理层面如果脱落了，辐射的黑漆处理层面如果脱落了，辐射的热量被反射，增加热量被反射，增加15 K15 K冷板的负载冷板的负载。热辐热辐射射浙浙 江江 博博 开开 机机 电电 科科 技技 有有 限限 公公 司司8如果表面污染了将吸收辐射出来如果表面污染了将吸收辐射出来的热量，使温度上升成为可能的热量，使温度上升成为可能辐辐射射热热20 冷板冷板吸
4、附阵吸附阵浙浙 江江 博博 开开 机机 电电 科科 技技 有有 限限 公公 司司9制冷装置制冷装置制冷机、压缩机制冷机、压缩机制冷机的物理学依据 根据热力学第二定律，封闭系统内部热能自发的流动方向是单向的，即只能从高热流向低热。低温泵的热负载主要是气体的凝结热和周围壁面对工作冷板的辐射热。气体在低温泵内遇冷从而凝华变成固态，凝华的过程中释放热量。热量被一级、二级冷凝头吸收，再通过热交换从压缩机转移出去。一级冷头50-70k二级冷头10-20k浙浙 江江 博博 开开 机机 电电 科科 技技 有有 限限 公公 司司10氦气循环原理氦气循环原理浙浙 江江 博博 开开 机机 电电 科科 技技 有有 限
5、限 公公 司司11低温泵的抽气方式低温泵的抽气方式抽气的主要方式低温冷凝 气体分子冷凝在表面上或冷凝板在已冷凝的气体层上，其平衡压力基本上等于冷凝物的蒸气压。抽空气时，冷板温度必须低于 25K；抽氢时，冷板温度更低。低温吸附气体分子以一个单分子层厚(10-8厘米数量级)被吸附到涂在冷板上的吸附剂表面上。低温捕集在抽气温度下不能冷凝的气体分子，被不断增长的可冷凝气体层埋葬和吸附。制冷装置制冷装置制冷机、压缩机制冷机、压缩机浙浙 江江 博博 开开 机机 电电 科科 技技 有有 限限 公公 司司12温度的换算温度的换算制冷装置制冷装置制冷机、压缩机制冷机、压缩机浙浙 江江 博博 开开 机机 电电 科
6、科 技技 有有 限限 公公 司司13低温泵抽气原理低温泵抽气原理H2ON2ArNe65-100 K15 K15 KH2通过这层，水蒸汽被冷凝，其它气体被预冷N2、Ar等气体通过这层被冷凝H2,He和Ne气体通过这层被低温吸附 制冷装置制冷装置制冷机、压缩机制冷机、压缩机14气体成分气体成分第一层次为 水气类第二层次为 氮气、氩气等第三层次为 氢气等制冷装置制冷装置制冷机、压缩机制冷机、压缩机浙浙 江江 博博 开开 机机 电电 科科 技技 有有 限限 公公 司司15制冷装置制冷装置制冷机、压缩机制冷机、压缩机浙浙 江江 博博 开开 机机 电电 科科 技技 有有 限限 公公 司司低温低温泵泵的抽速
7、的抽速16气体吸附效果图气体吸附效果图 制冷装置制冷装置制冷机、压缩机制冷机、压缩机17 低温泵应用案低温泵应用案例例制冷装置制冷装置制冷机、压缩机制冷机、压缩机浙浙 江江 博博 开开 机机 电电 科科 技技 有有 限限 公公 司司博开DZB500低温泵在无锡某微电子公司镀膜机上的应用18 实用案例实用案例制冷装置制冷装置制冷机、压缩机制冷机、压缩机浙浙 江江 博博 开开 机机 电电 科科 技技 有有 限限 公公 司司 博开DZB500低温泵在南京某光电公司红外镜片镀膜机上的应用19 制冷装置制冷装置制冷机、压缩机制冷机、压缩机浙浙 江江 博博 开开 机机 电电 科科 技技 有有 限限 公公
8、司司博开DZB550低温泵在浙江某装钸品镀膜机上的应用20 制冷装置制冷装置制冷机、压缩机制冷机、压缩机浙浙 江江 博博 开开 机机 电电 科科 技技 有有 限限 公公 司司博开DZB300在某LCD显示屏镀膜线上的的应用21 制冷装置制冷装置制冷机、压缩机制冷机、压缩机浙浙 江江 博博 开开 机机 电电 科科 技技 有有 限限 公公 司司博开DZB250在昆山某台资企业EMI膜磁控溅射生产线上的的应用22 制冷装置制冷装置制冷机、压缩机制冷机、压缩机浙浙 江江 博博 开开 机机 电电 科科 技技 有有 限限 公公 司司博开DZB400低温 泵与分子泵组合使用在多弧离子镀膜机上23 制冷装置制
9、冷装置制冷机、压缩机制冷机、压缩机浙浙 江江 博博 开开 机机 电电 科科 技技 有有 限限 公公 司司为长春某研究所研制的液氮辅助制冷型1250mm口径低温泵24低温泵的再生低温泵的再生什么是低温泵的再生 低温泵的再生是使泵内吸附凝结所贮存的气体解析和脱附的过程，再生的方式有多种，其所需时间和再生效果也有所不同。再生的方式自然加热再生 它是利用泵壁与周围空气的热交换来使泵升温的，这个升温过程相当缓慢。气体冲洗再生 气体冲洗再生是普遍的一种方法，它利用冲入泵内的室温或加热的干燥的惰性气体（N2 或Ar）对泵进行加热，因为能够进行有效的对流热交换，所以可以缩短再生时间，而且气体冲洗有利于水蒸气从
10、活性炭中脱附出来，提高了低温泵的再生质量。电加热再生 电加热再生是一种经济的再生方法，目前有两种不同的加热方式，一种是利用加热带裹在泵壁外表进行加热，另一种是利用泵内冷头上的加热板进行加热。由于低温泵中的部分元件不能承受高温，因而需要对加热过程进行控制。浙浙 江江 博博 开开 机机 电电 科科 技技 有有 限限 公公 司司25 低温泵的优势低温泵的优势-真空度真空度制冷装置制冷装置制冷机、压缩机制冷机、压缩机浙浙 江江 博博 开开 机机 电电 科科 技技 有有 限限 公公 司司 一台标准型的低温泵，其极限真空度可达10-7Pa，必要时，在不加其它辅助泵的情况下也可以做到10-9Pa，而理论上，
11、甚至于达到更高。26 低温泵的优势低温泵的优势-抽速抽速制冷装置制冷装置制冷机、压缩机制冷机、压缩机浙浙 江江 博博 开开 机机 电电 科科 技技 有有 限限 公公 司司 。在同口径的情况下差不多比分子。在同口径的情况下差不多比分子泵泵和油和油扩扩散散泵泵大大1/3 。对对水具有超高的抽速水具有超高的抽速 。大多数情况下，水蒸气是真空系。大多数情况下，水蒸气是真空系统统的主要的主要负负荷，低温荷，低温泵泵的高抽速使得建立真空的速度比其他真空的高抽速使得建立真空的速度比其他真空泵泵快，可以大大快，可以大大提高提高产产品品产产出量。出量。27 低温泵的优势低温泵的优势-洁净洁净制冷装置制冷装置制冷
12、机、压缩机制冷机、压缩机浙浙 江江 博博 开开 机机 电电 科科 技技 有有 限限 公公 司司 。真空室无任何运真空室无任何运动动部件；真正意部件；真正意义义上的上的“无油无油”真空真空泵泵 。切。切换压换压力高。减少抽气力高。减少抽气时间时间，不会，不会产产生返油生返油28 低温泵的优势低温泵的优势-成本低成本低制冷装置制冷装置制冷机、压缩机制冷机、压缩机浙浙 江江 博博 开开 机机 电电 科科 技技 有有 限限 公公 司司。节约电节约电力力；。无需液氮。无需液氮。维护费维护费用低；用低；。低温。低温泵泵工作，前工作，前级泵级泵休息。休息。29 低温泵的优势低温泵的优势-安全可靠安全可靠制冷装置制冷装置制冷机、压缩机制冷机、压缩机浙浙 江江 博博 开开 机机 电电 科科 技技 有有 限限 公公 司司。可承受固体颗粒的入侵；。不受真空突然破坏的影响；。对断电的”真空惯性“，可有效保护加工器件30 低温泵的优势低温泵的优势-可靠可靠制冷装置制冷装置制冷机、压缩机制冷机、压缩机浙浙 江江 博博 开开 机机 电电 科科 技技 有有 限限 公公 司司。任意方位；。任意方位；。只需。只需电电力和水；力和水；。可。可实现实现无人无人值值班或遥控班或遥控。即停即开。即停即开31
