1、传感器与检测技术传感器与检测技术传感器与检测技术传感器与检测技术传感器与检测技术传感器与检测技术1.变换原理变换原理:将被测量的变化转化为电容量变化将被测量的变化转化为电容量变化两平行极板组成的电容器两平行极板组成的电容器,它的电容量为它的电容量为:+S 当被测量当被测量、S或或发生变化时，都会引起电容的变化。发生变化时，都会引起电容的变化。如果保持其中的两个参数不变，而仅改变另一个参数，如果保持其中的两个参数不变，而仅改变另一个参数，就可把该参数的变化变换为单一电容量的变化。就可把该参数的变化变换为单一电容量的变化。SSCr0 传感器与检测技术传感器与检测技术2 分类分类 电容式传感器电容式
2、传感器 c)c)介质变化型介质变化型AC0a)a)极距变化型极距变化型;+b)b)面积变化型面积变化型:角位移型角位移型,平面线位移型平面线位移型,柱面线位移型柱面线位移型.+传感器与检测技术传感器与检测技术 SSCr0 传感器与检测技术传感器与检测技术 0000CCSC00 SC 302003020000)()()()(1(CC00 CC电容微位移计传感器与检测技术传感器与检测技术2000 SCCK%100/)/(0020 L传感器与检测技术传感器与检测技术)()(250300021 CCCC002 CC%100/)/(20030 L002 CCK 传感器与检测技术传感器与检测技术传感器与检
3、测技术传感器与检测技术220RSC)1(2)(02CRC 0 00CK传感器与检测技术传感器与检测技术 abSC 0)1()(0axCxabCx ，baCdxdCK0灵敏度灵敏度传感器与检测技术传感器与检测技术)/ln(212rrlC llCrrlrrllrrlC 0121212)/ln(2)/ln()(2)/ln(2 传感器与检测技术传感器与检测技术)/ln()(2)/ln(221221rRhhrRhC )/ln(2112rRhC 12112112121.)/ln()(2)/ln(2)/ln(2)/ln()(2KhArRhrRhrRhrRhhCCC传感器与检测技术传感器与检测技术110011
4、0011001010 ddSdSdSdSdSCCCCC 传感器与检测技术传感器与检测技术（1）初态时：电桥调整到）初态时：电桥调整到平衡状态，此时平衡状态，此时C1C3=C2CX，Uo=0。传感器与检测技术传感器与检测技术UCCCCUZZZZUUZZZUUUC21212112212202)(1)(1222111CCjZCCjZ00UUCCU00传感器与检测技术传感器与检测技术21CC 0C00UCCC01CCC02UCCU00传感器与检测技术传感器与检测技术传感器与检测技术传感器与检测技术SCUUSCCCZZUUOxxO0000传感器与检测技术传感器与检测技术 21 210RioRRRRRiN
5、iXNUUUUUUUUUUUCCUwiixoUSCUCCU12112100传感器与检测技术传感器与检测技术传感器与检测技术传感器与检测技术传感器与检测技术传感器与检测技术HBPHAPUTTTUUTTTU212211fHHUUUCRTln111fHHUUUCRTln222传感器与检测技术传感器与检测技术221122112121CRCRCRCRUTTTTUUUUHHBPAPOHOUCCCCU2121HUCCUO021RRRCCC01CCC02传感器与检测技术传感器与检测技术HHHoUUUCCCCU21122121传感器与检测技术传感器与检测技术HHHoUSSUSSSSUCCCCU21212121传感器与检测技术传感器与检测技术传感器与检测技术传感器与检测技术传感器与检测技术传感器与检测技术传感器与检测技术传感器与检测技术传感器与检测技术传感器与检测技术传感器与检测技术传感器与检测技术hSCX0ioUhSCU12100传感器与检测技术传感器与检测技术)/ln(212ddhCxx 传感器与检测技术传感器与检测技术传感器与检测技术传感器与检测技术
