1、1.电子束与固体物质相互作用产生的物理信号 材料研究方法电子束作用于试样上电子束作用于试样上所产生的物理信号主所产生的物理信号主要有背散射电子、二要有背散射电子、二次电子、吸收电子、次电子、吸收电子、透射电子、俄歇电子、透射电子、俄歇电子、连续连续X X射线、特征射线、特征X X射射线、线、X X荧光、阴极发光、荧光、阴极发光、衍射电子等。衍射电子等。材料研究方法 各种物理信号各种的产生深度、广度、途和分辨率深度和广度范围 材料研究方法各种物理信号应用的深度和广度 材料研究方法概念：概念：背散射电子是背散射电子是被固体样品反射回来的入射电子，被固体样品反射回来的入射电子，其中包括弹性背散其中包
2、括弹性背散射电子和非弹性背散射电子。弹性背散射电子的能量几乎没有损失，而射电子和非弹性背散射电子。弹性背散射电子的能量几乎没有损失，而非弹性背散射电子的能量有不同程度的损失。非弹性背散射电子的能量有不同程度的损失。2 各种物理信号的产生机理及用途2.1 背射电子特点：特点：总的来说，背散射电子的总的来说，背散射电子的能量较高能量较高，等于或接近入射电子的能量。，等于或接近入射电子的能量。其产率随试样原子序数的增大而增大其产率随试样原子序数的增大而增大。用途：用途：在扫描电镜和电子探针中，用背散射电子可以在扫描电镜和电子探针中，用背散射电子可以获得试样的表面形貌获得试样的表面形貌像像和和成分像成
3、分像。材料研究方法概念：概念：在入射电子的撞击下，脱离原子核的束缚，逸出在入射电子的撞击下，脱离原子核的束缚，逸出试样表面的自由电子试样表面的自由电子称为二次电子。称为二次电子。特点：特点：二次电子的二次电子的能量较低能量较低(小于小于50eV)，产生范围小产生范围小（仅在试样表面（仅在试样表面10nm层内产生）；层内产生）；产率与试样的表产率与试样的表面形状密切相关面形状密切相关，对试样的表面状态非常敏感，能很，对试样的表面状态非常敏感，能很好地反映试样的表面形貌。好地反映试样的表面形貌。用途：用途：在扫描电镜中用来在扫描电镜中用来获取试样的表面形貌像获取试样的表面形貌像。2.22.2二次电
4、子二次电子 材料研究方法概念：概念：被试样吸收掉的入射电子称为吸收电子被试样吸收掉的入射电子称为吸收电子。特点：特点：吸收电子的吸收电子的数量与试样的厚度、密度、组成试样数量与试样的厚度、密度、组成试样的原子序数有关的原子序数有关。试样的厚度赿大、密度赿大，原子。试样的厚度赿大、密度赿大，原子序数赿大，吸收电子的数量就赿大。如果试样足够厚，序数赿大，吸收电子的数量就赿大。如果试样足够厚，电子不能透过试样，那么入射电子电子不能透过试样，那么入射电子I0与背散射电子与背散射电子IB、二次电子二次电子IS和吸收电子和吸收电子IA之间有以下关系之间有以下关系 I0=IB+IS+IA 故故吸收电子像是二
5、次电子像、背散射电子像的负像。吸收电子像是二次电子像、背散射电子像的负像。用途：用途：在扫描电镜中，可以用其在扫描电镜中，可以用其获取试样的形貌像、成获取试样的形貌像、成分像。分像。2.3 吸收电子 材料研究方法概念：概念：穿透试样的入射电子称为透射电子穿透试样的入射电子称为透射电子。特点：特点：透射电子的透射电子的数量与试样的厚度和加速电压有关数量与试样的厚度和加速电压有关。试样厚度赿小，加速电压赿高，透过试样的电子数量试样厚度赿小，加速电压赿高，透过试样的电子数量就赿多。试样比较薄的时候，由于有透射电子存在，就赿多。试样比较薄的时候，由于有透射电子存在，(1)式的右边应加上透射电子项，即式
6、的右边应加上透射电子项，即 I0=IB+IS+IA+IT用途：用途：透射电子是透射电子显微镜要检测的主要信息，透射电子是透射电子显微镜要检测的主要信息，用于用于高倍形貌像观察高倍形貌像观察，高分辨，高分辨原子、分子、晶格像观原子、分子、晶格像观察和电子衍射晶体结构分析。察和电子衍射晶体结构分析。2.4透射电子 材料研究方法由俄歇作用产生的自由电子称由俄歇作用产生的自由电子称为俄歇电子为俄歇电子。如下图所示，入。如下图所示，入射电子使试样中某原子的内层射电子使试样中某原子的内层(如如K层层)电子激发电子激发(打飞打飞)后，外后，外层电子层电子(如如L2层电子层电子)将回跃到内将回跃到内层层(K层
7、层)来填补空位，多余的能来填补空位，多余的能量量(E=EL2-EK)不是以特征不是以特征X射射线的形式释放出来，而是传给线的形式释放出来，而是传给了外层了外层(如如L3层层)的电子，使之的电子，使之激发。这个过程称为俄歇作用，激发。这个过程称为俄歇作用，由此产生的自由电子称为俄歇由此产生的自由电子称为俄歇电子。电子。2.5俄歇电子 材料研究方法 俄歇电子与特征俄歇电子与特征X射线一样，射线一样，具有特定的能量和波具有特定的能量和波长长，其能量和波长取决于原子的核外电子能级，其能量和波长取决于原子的核外电子能级结构。因此每种元素都有自己的特征俄歇能谱。结构。因此每种元素都有自己的特征俄歇能谱。俄
8、歇电子的能量一般是俄歇电子的能量一般是502000eV，逸出深度逸出深度420，相当于，相当于23个原子层。这种电子能个原子层。这种电子能反映反映试样的表面特征试样的表面特征。因此因此,检测俄歇电子可以对试样检测俄歇电子可以对试样表面成分表面成分和和表表面形貌面形貌进行分析。进行分析。材料研究方法 与与X射线管产生连续射线管产生连续X射线的原理一样，不同的是，这里射线的原理一样，不同的是，这里作阳极的不是磨光的金属表面，而是试样。当电子束作阳极的不是磨光的金属表面，而是试样。当电子束轰击试样表面时，有的电子可能与试样中的原子碰撞轰击试样表面时，有的电子可能与试样中的原子碰撞一次而停止，而有的电
9、子可能与原子碰撞多次，直到一次而停止，而有的电子可能与原子碰撞多次，直到能量消耗殆尽为止。每次碰撞都可能产生一定波长的能量消耗殆尽为止。每次碰撞都可能产生一定波长的X射线，由于各次碰撞的时间和能量损失不同，产生射线，由于各次碰撞的时间和能量损失不同，产生的的X射线的波长也不相同，加上碰撞的电子极多，因射线的波长也不相同，加上碰撞的电子极多，因此将产生各种不同波长的此将产生各种不同波长的X射线射线连续连续X射线。射线。连续连续X射线在电子探针定量分析中作为背景值应予射线在电子探针定量分析中作为背景值应予扣除。扣除。2.6连续X射线 材料研究方法 电子束与固体物质作用会产生特征电子束与固体物质作用
10、会产生特征X射线，这与射线，这与X射线射线管产生特征管产生特征X射线的过程和原理相同。射线的过程和原理相同。特征特征X射线的波长决定于原子的核外电子能级结射线的波长决定于原子的核外电子能级结构。每种元素都有自己特定的特征构。每种元素都有自己特定的特征X射线谱。一种元射线谱。一种元素的某根特征素的某根特征X射线射线(如如K1)的波长是不变的，它是的波长是不变的，它是识别元素的一种特有标志。在识别元素的一种特有标志。在X射线谱中发现了某种射线谱中发现了某种元素的特征元素的特征X射线，就可以肯定该元素的存在。射线，就可以肯定该元素的存在。特征特征X射线是电子探针射线是电子探针微区成分分析微区成分分析
11、所检测的主所检测的主要信号。要信号。2.7特征X射线 材料研究方法 由由X射线激发产生的次级射线激发产生的次级X射线称为荧光射线称为荧光X射线。射线。其产生机理与其产生机理与X射线管产生射线管产生X射线的机理是一样的，不同的是荧光射线的机理是一样的，不同的是荧光X射线以射线以X射线作激发源。射线作激发源。高能电子束轰击试样，会产生特征高能电子束轰击试样，会产生特征X射线和连续射线和连续X射线，射线，特征特征X射线会激发另一些元素的内层电子而产生次级特征射线会激发另一些元素的内层电子而产生次级特征X射线。这种由特征射线。这种由特征X射线激发出来的二级特征射线激发出来的二级特征X射线，叫做射线，叫
12、做特征特征X荧光荧光。从样品中发射出来的连续。从样品中发射出来的连续X射线，也会激发出射线，也会激发出一些二级一些二级X射线。这种由连续射线。这种由连续X射线激发出来的二级连续射线激发出来的二级连续X射射线叫做线叫做连续连续X荧光荧光。电子探针定量分析时，必须考虑电子探针定量分析时，必须考虑X射线荧光效应的影响，射线荧光效应的影响，进行进行X荧光校正。荧光校正。2.8荧光荧光X射线射线 材料研究方法 阴极荧光实际上是阴极荧光实际上是由阴极射线由阴极射线（电子束）（电子束）激发激发出来的一种波长较长的电磁波出来的一种波长较长的电磁波，一般是指可，一般是指可见光，有些书上把红外光和紫外光也包括在见
13、光，有些书上把红外光和紫外光也包括在内。内。产生阴极荧光的物质主要是那些含有杂质产生阴极荧光的物质主要是那些含有杂质元素或晶格缺陷元素或晶格缺陷(如间隙原子、晶格空位等如间隙原子、晶格空位等)的的绝缘体或半导体。绝缘体或半导体。2.9阴极荧光 材料研究方法 如右图所示，入射电子束作用在试样上，使得价如右图所示，入射电子束作用在试样上，使得价带带(满带满带)上的电子激发，从价带赿过禁带进入上的电子激发，从价带赿过禁带进入导带。导带上的电子跃回价带时，可以是直接导带。导带上的电子跃回价带时，可以是直接跃回价带，多余的能量以电磁幅射的形式一次跃回价带，多余的能量以电磁幅射的形式一次释放出来，其波长由
14、导带与价带的能级差释放出来，其波长由导带与价带的能级差(E=Ed-Ej)决定。如果其波长在可见光的范围，决定。如果其波长在可见光的范围，就会发出可见荧光。如果其波长比可见光短，就会发出可见荧光。如果其波长比可见光短，比比X光长，那样就会发出紫外荧光。光长，那样就会发出紫外荧光。导带上的电子跃回价带时，也可能先跃到杂质能导带上的电子跃回价带时，也可能先跃到杂质能级级(或者说被杂质能级捕获或者说被杂质能级捕获)然后再从杂质能级然后再从杂质能级跃回价带。这种情况下，其多余的能量将分跃回价带。这种情况下，其多余的能量将分两次释放出来，如果都是以电磁波的形式释两次释放出来，如果都是以电磁波的形式释放，那
15、么其波长将由导带能级、价带能级和放，那么其波长将由导带能级、价带能级和杂质能级来决定。如果波长在可见光范围，杂质能级来决定。如果波长在可见光范围，就会发出可见荧光，如果波长比可见光的长，就会发出可见荧光，如果波长比可见光的长，就可能发出红外荧光。就可能发出红外荧光。阴极发光可用来阴极发光可用来研究矿物的发光性、所含研究矿物的发光性、所含杂质类型和晶格缺陷杂质类型和晶格缺陷等。等。材料研究方法各种物理信号的产生深度和广度范围 材料研究方法扫描电子显微镜扫描电子显微镜1.扫描电镜的特点和工作原理2.扫描电镜的构造3.扫描电镜的主要性能4.扫描电镜的样品制备5.扫描电镜的应用 材料研究方法1.扫描电
16、镜的特点特点和工作原理扫描电镜的特点特点和工作原理 扫描电子显微镜的简称为扫描电镜，英文缩写为SEM(Scanning Electron Microscope)。SEM与电子探针（EPMA）的功能和结构基本相同，但SEM一般不带波谱仪（WDS）。它是用细聚焦的电子束轰击样品表面，通过电子与样品相互作用产生的二次电子、背散射电子等对样品表面或断口形貌进行观察和分析。现在SEM都与能谱（EDS）组合，可以进行成分分析。所以，SEM也是显微结构分析的主要仪器，已广泛用于材料、冶金、矿物、生物学等领域。扫描电镜可以直接观察大块试样，样品制备非常方便，加之扫描电镜的景深大，放大倍数连续调节范围大，分辨本
17、领比较高，所以它成为固体材料样品表面分析的有效工具，尤其适合于观察比较粗糙的表面和材料断口和显微组织的三维形态。扫描电镜不仅能做表面形貌分析，而且能配置各种附件，做表面成分分析及表层晶体学位向分析等。材料研究方法扫描电镜成像示意图 材料研究方法JSM-6700F场发射扫描电镜 材料研究方法2.扫描电镜的构造扫描电镜由5个系统组成1.电子光学系统2.扫描系统3.信号收集系统4.图像显示和记录系统5.真空系统和电源系统 材料研究方法扫描电镜的主要性能放大倍率高（放大倍率高（M=Ac/As）分辨率高（分辨率高（d0=dmin/M总）总）景深大（景深大（F d0/）保真度好保真度好 材料研究方法放大倍
18、率高放大倍率高从几十放大到几十万倍，连续可调。放大倍率不从几十放大到几十万倍，连续可调。放大倍率不是越大越好，要根据有效放大倍率和分析样品的是越大越好，要根据有效放大倍率和分析样品的需要进行选择。如果放大倍率为需要进行选择。如果放大倍率为M，人眼分辨率人眼分辨率为为0.20.2mm，仪器分辨率为仪器分辨率为5 5nm，则有效放大率则有效放大率M0.2 106nm 5nm=40000（倍）。如果选择高于倍）。如果选择高于4000040000倍的放大倍率，不会增加图像细节，只是虚倍的放大倍率，不会增加图像细节，只是虚放，一般无实际意义。放大倍率是由分辨率制约，放，一般无实际意义。放大倍率是由分辨率
19、制约，不能盲目看仪器放大倍率指标。不能盲目看仪器放大倍率指标。材料研究方法分辨率高分辨率高分辨率指能分辨的两点之间的最小距离。分辨率分辨率指能分辨的两点之间的最小距离。分辨率d可以用贝克公式可以用贝克公式表示：表示：d=0.61/nsin ，为透镜孔径半角，为透镜孔径半角，为照明样品的光波长，为照明样品的光波长，n为透镜与样品间介质为透镜与样品间介质折射率。对光学显微镜折射率。对光学显微镜 7070 7575，n=1.4。因为因为 nsin1.4，而可见光波长范围为：而可见光波长范围为：400400nm-700nm，所以光学显微镜分辨所以光学显微镜分辨率率 d 0.5 ，显然显然 d 200n
20、m。要提高分辨率可以通过减小照明波要提高分辨率可以通过减小照明波长来实现。长来实现。SEM是用电子束照射样品，电子束是一种是用电子束照射样品，电子束是一种De Broglie波，波，具有波粒二相性，具有波粒二相性，12.26/12.26/V0.5(伏伏)，如果，如果V20kV时，则时，则 0.00850.0085nm。目前用目前用W灯丝的灯丝的SEM，分辨率已达到分辨率已达到3 3nm-6nm,场发场发射源射源SEM分辨率可达到分辨率可达到1 1nm。高分辨率的电子束直径要小，分辨高分辨率的电子束直径要小，分辨率与子束直径近似相等。率与子束直径近似相等。材料研究方法景深大 景深大的图像立体感强
21、，对粗糙不平的断口样品观察需要大景深的景深大的图像立体感强，对粗糙不平的断口样品观察需要大景深的SEM。SEM的景深的景深f可以用如下公式表示：可以用如下公式表示：式中式中D为工作距离，为工作距离，a为物镜光阑孔径，为物镜光阑孔径，M为为 放大倍率，放大倍率，d为电子束直径。为电子束直径。可以看出，长工作距离、小物镜光阑、低放大倍率能得到大景深图像。可以看出，长工作距离、小物镜光阑、低放大倍率能得到大景深图像。材料研究方法保真度好样品通常不需要作任何处理即可以直接样品通常不需要作任何处理即可以直接进行观察，所以不会由于制样原因而产生假进行观察，所以不会由于制样原因而产生假象。这对断口的失效分析
22、特别重要。象。这对断口的失效分析特别重要。材料研究方法扫描电镜的样品制备扫描电镜的样品制备扫描电镜的样品制备一般是非常方便的，只要样品尺寸合适，就可以直接放到仪器中去观察。样品的直径和厚度一般从几毫米到几厘米，视样品的性质和电镜样品室空间而定。对于绝缘体或导电性差的材料来说，则需要预先在分析表面上蒸镀一层为1020nm的导电层。否则，在电子束照射到试样上时，会形成电子堆积，阻挡入射电子束进入和样品内电子射出样品表面。导电层一般是二次电子发射洗漱比较高的金、银、碳和铝的真空蒸镀层，对在真空中有失水，放气、收缩变形等现象的样品以及在对生物样品或有机样品做观察时，为了获得具有良好衬度的图像，均需适当
23、处理。材料研究方法扫描电镜的像衬度扫描电镜的像衬度扫描电镜像衬度的形成主要基于样品微区诸如表面形貌、原子序数、晶体结构、表面电厂和磁场等方面存在着差异。入射电子与之相互作用，产生各种特征信号，其强度就存在着差异，最后反映到显像管荧光屏上的图像就有一定的衬度。1.表面形貌衬度：利用与样品形貌比较敏感的物理信号作为显像管的调制信号，所得到的的像衬度称为表面形貌衬度。二次电子信号与样品表面变化比较敏感，但与原子序数没有明确的关系，其像分辨本领也比较高，所以通常用它来获得表面形貌图像。2.原子序数衬度又称化学成分衬度，它是利用对样品微区原子序数或者化学成分变化敏感的物理信号作为调制信号的道德一种显示微区化学成分差别的像衬度。这些信号主要有背散射电子，吸收电子和特征X射线 材料研究方法形貌衬度原理形貌衬度原理 材料研究方法扫描电镜的应用扫描电镜因其景深大，特别适合于断口分析。新鲜金属断口可直接放入电镜进行观察，既简单又不致在制备过程中引入假象；扫描电镜允许在很宽的倍率范围内连续观察，可以对断口进行低倍大视域观察，并在此基础上确定感兴趣的区域进行高倍观察分析，现实断口姓毛的细节特称，揭示断裂机理。
