1、图1 单向流气流流型二、非单向流洁净室1、非单向流洁净室的气流流型又可分为顶送下回；顶送下侧回；顶送顶回等。图2 非单向流气流流型三、混合流洁净室图3 混合流气流流型图4 矢流气流流型五、各种气流流型洁净室的风量、冷量、初投资和运行费的比较（仅供参考）不同洁净级别洁净厂房的送风量、冷量投资耗电的指标注：表中的送风量、单向流以断面风速表示，非单向流以换气次数表示。表中冷量指标一般指电子工业洁净厂房。表中的初投资包括洁净厂房的围护、冷冻供应系统、空调净化系统，不含土建结构和自动控制的投资。表中的耗电量系指制冷系统和空调送风系统耗电，不含电加热和电加湿的耗电量。三、工业洁净室与生物洁净室的差别工业洁
2、净室与生物洁净室的差别表2.08Nn(0.1/D)10C注：美国联邦标准FS 209E已经停止使用集水池泵排放含酸废水中和池集水池泵集水池泵反应池沉淀池过滤器污泥浓缩污泥脱水泥饼外运半导体集成电路工厂的废水处理大都采用化学中和沉淀法处理。其典型流程如下：tFKQii传 （kW）式中：Ki 围护结构的传热系数（W/m2）Fi 洁净室围护结构的面积（m2）t 洁净室内外温差（）NnnnQ310灯 FFUQQQQQQ设灯人显传显FFUQQQQQQ设灯人全传显人人wnW设设wFW设人WWW t i i/Qtc/QL全显热 d/W1000L湿 注：表中换气次数适应于层高小于4.0m的洁净室。室内人员少、
3、热源少时，宜采用下限值。lqL正 围护结构单位长度缝隙的渗漏风量表（m3/hm）洁净室的压差值与房间换气次数表（次/时）ZPm L2vDP2mba2abD2v2（Pa）2vZ2 示意图 焓湿(i-d)图空调机组（AHU）全新风空气处理方案示意图及焓湿图 示意图 焓湿(i-d)图空调机组（AHU）一次回风空气处理方案示意图及焓湿图示意图 焓湿(i-d)图空调机组（AHU）一、二次回风空气处理方案示意图及焓湿图示意图 焓湿(i-d)图MAU加RAU空气处理方案示意图及(i-d)图其送风原理图和焓湿图如下：示意图 焓湿(i-d)图AHU加FFU空气处理方案示意图及焓湿图示意图 焓湿(i-d)图MAU加RAU加FFU空气处理方案示意图及(i-d)图示意图 焓湿(i-d)图MAU加FFU加DC空气处理方案示意图及焓湿图根据我国“空气过滤器”GB/T 14295-93国家标准划分空气过滤器的效率和阻力根据我国“高效空气过滤器”GB 13554-92国家标准划分高效过滤器和超高效过滤器的效率和阻力我国过滤器分类与欧美国家分类的比较表FFU示意图如下。FFU示意图1工艺要求的各种参数：
